JP2006245088A - 物理情報取得装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】化合物半導体である混晶系の組成比を変えることでバンドギャップを制御する。たとえばAlGaInP系混晶やSiGeC系混晶やZnCdSe系混晶やAlGaInN系混晶にすることで格子不整Δaの絶対値を小さくする。Siの格子定数より大きいGeをSiCに混ぜるなどによって、格子不整の絶対値を小さくし、結晶性を高くする。また、SiとSiCまたはSiGeC系層の界面に、厚み10nm程度以下の超格子層を1層以上入れることで、結晶性をさらに高くする。
【選択図】図3
Description
図1は、本発明に係る物理情報取得装置の一例であって、バンドギャップを制御することで色分別をする撮像装置(イメージセンサ)の概念を説明する図である。
図2は、バンドギャップを得る第1の方法の一例(第1の方法の第1例という)を説明する図である。
図3は、混晶系の組成比を変える第1の方法の他の例(第1の方法の第2例という)を説明する、量子井戸型構造を示す図である。この第1の方法の第2例は、Geを入れてSiGeC系混晶にすることで格子不整Δaの絶対値を小さくする点に特徴を有する。
上述した第1の方法のそれぞれは、化合物半導体である混晶系の組成比を変えることでバンドギャップを制御する手法であり、特に、Geを入れてSiGeC系の混晶とすることで結晶性を高めるようにしている。
図4および図5は、バンドギャップを得る第2の方法の一例(第2の方法の第1例という)を説明する図である。ここで、図4は、SiGeC中にSiの量子井戸を作製した場合の計算結果を示す図である。また、図5は、量子井戸の積層構造例を示す図である。
図6および図7は、信号の取出方法を説明する図である。図6および図7では、COMS構造への適用例で示している。なお、図6および図7では、1つのフォトダイオード群を示している。
図8〜図11は、バンドギャップを得る第2の方法の一例(第2の方法の第2例という)を説明する図である。ここで、図8は図3に対応し量子井戸型構造を示す図であり、図9は図4に対応しZnSSe(SとSeの組成比はx:1−x)中にCdSeの量子井戸を作製した場合の計算結果を示す図である。また、図10は図5に対応するもので量子井戸の積層構造例を示す図であり、図11はそれぞれの格子定数を示す図である。
ところで、上述のような化合物系材料の結晶成長は、たとえば、ウエハ上に薄膜を形成するCVD(Chemical Vapor Deposition;化学気相成長法)あるいはMOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition ;有機金属気相成長法)や、イオン注入法や、MBE(Molecular Beam Epitaxy ;分子線エピタキシ)や、レーザアブレーションや、スパッタ法などの各種方法を用いることでも可能である。以下、バンドギャップを深さ方向に変化させた構造を持つイメージセンサを製造する手法について説明する。
図12は、イオン注入法の適用事例を説明する図である。ここでは、図6に示した固体撮像素子20を製造する場合への適用事例で示す。イオン注入を利用する場合、そのイオン注入を繰り返し行なうことで固体撮像素子20に示す構造を作製できる。
図13は、熱拡散法の適用事例を説明する図である。ここでは、図6に示した固体撮像素子20を製造する製造プロセス(特に不純物拡散プロセス)への適用事例で示す。熱拡散を利用する場合にも、イオン注入法と同様に、熱拡散を繰り返し行なうことで固体撮像素子20に示す構造を作製できる。
図14〜図16は、CVD法の適用事例を説明する図である。ここで、図14は、CVD法の処理手順を示すフローチャートであり、図15は、製造される固体撮像素子の層構造を示す模式図であり、図16は、固体撮像素子の層構造の最終形態を示す模式図である。なお、ここでは、Si/SiGeC系量子井戸を持つ図6に示したような固体撮像素子20への適用事例で示す。
図17〜図19は、MBE法の適用事例を説明する図である。ここで、図17は、MBE法の処理手順を示すフローチャートであり、図18は、製造される固体撮像素子の層構造を示す模式図であり、図19は、固体撮像素子の層構造の最終形態を示す模式図である。なお、ここでは、ZnCdSe/ZnSSe系量子井戸を持つ図6に示したような固体撮像素子20への適用事例で示す。
たとえば、上記実施形態では、可視光帯をB,G,Rの3原色の波長成分に分けることについて述べたが、実際には1画素内で半導体層の縦方向に形成されるフォトダイオード群に設ける色別の検知層(事実上の光電変換素子)をさらに分別することで、さらに細かく分光できるようになるから、4色以上の多色の検知が可能となる。この場合、従来の3原色方式の撮像ではできなかった正確な色の情報を検知できるようになる。すなわち、4色以上の多色に分けて検知することも可能であり、赤、緑、および青以外の分光色の成分を増やすほど、より正確な情報を得ることができるようになる。
さらに上述の技術は必ずしも可視光帯内での複数の波長成分への分光に限った技術ではない。構造を最適化すれば、減色フィルタを用いずに、赤外光や紫外光の分光や検知も可能となる。この場合、たとえば可視光とともに赤外光や紫外光も同時に検出してイメージ化できる。また、同時に検出する可視光については、分光せずにモノクロ画像を検知することに限らず、上述のようにして可視光帯内をたとえば3原色成分に分光することでカラー画像を検知することもできる。これによって眼で見ることができる可視光のイメージ像(モノクロ画像あるいはカラー画像)と対応して、眼で見ることのできない赤外光や紫外光の像情報を同時に取得することができる。これによって暗視カメラや光合成監視カメラなどの新しい情報システムのキーデバイスとして応用が広がる。
Claims (5)
- 所定の基板上にバンドギャップエネルギを利用した複数の検知領域を備え、各検知領域で電磁波を波長分離して検知することにより、前記電磁波の各波長に対応する単位信号を出力する物理量分布検知のための物理情報取得装置であって、
前記検知領域は、格子整合系で、もしくは所定の元素を添加することで格子整合条件に適合するように構成されている
ことを特徴とする物理情報取得装置。 - 前記検知領域は、3元以上の混晶により、前記格子整合条件に適合するように構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の物理情報取得装置。 - 前記検知領域は、量子井戸構造を有している
ことを特徴とする請求項1に記載の物理情報取得装置。 - 前記検知領域は、超格子構造を有している
ことを特徴とする請求項3に記載の物理情報取得装置。 - 前記検知領域は、前記基板と格子整合した構造を有している
ことを特徴とする請求項1に記載の物理情報取得装置。
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