JP2006245022A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板に処理を施す基板処理装置において基板上の処理のむらを抑制する。
【解決手段】基板処理装置1では、基板9を保持しつつ回転する回転部51の環状面51aに対向して環状のカバー部61が設けられ、カバー部61の外周に沿ってカバー部61に接続されるダクト本体63により、カバー部61の外周に沿ってカバー部61と環状面51aとの間の間隙62に連通する排気路64が形成される。排気路64の断面積は回転部51の回転方向に沿って漸次増大し、これにより、基板処理装置1では、間隙62における空気の流入速度のばらつきを緩和することができ、基板9上の処理のむらを抑制することができる。
【選択図】図1
【解決手段】基板処理装置1では、基板9を保持しつつ回転する回転部51の環状面51aに対向して環状のカバー部61が設けられ、カバー部61の外周に沿ってカバー部61に接続されるダクト本体63により、カバー部61の外周に沿ってカバー部61と環状面51aとの間の間隙62に連通する排気路64が形成される。排気路64の断面積は回転部51の回転方向に沿って漸次増大し、これにより、基板処理装置1では、間隙62における空気の流入速度のばらつきを緩和することができ、基板9上の処理のむらを抑制することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板に処理を施す基板処理装置に関する。
従来より、半導体基板やガラス基板(以下、「基板」という。)を回転させながら基板に様々な処理液を供給して基板に処理を施す基板処理装置が使用されている。例えば、円環状の固定部と円環状の回転部とを有する環状のモータを設け、保持部である回転部と共に基板を回転しつつ基板に処理を施す薄型化された基板処理装置が提案されている(このような基板処理装置として、例えば特許文献1参照。)。
なお、特許文献2の基板処理装置では、基板保持部が内部に配置されるとともに底面に排気口が形成される排気カップを設け、排気カップの内側面に基板の回転方向に向かって下方に傾斜しつつ下端部にて排気口を覆うカバーを形成することにより、排気カップ内の排気効率を向上する技術が開示されている。また、特許文献3の基板処理装置では、第1排気経路へと接続するとともに基板保持部が内部に配置される排気カップを設け、排気カップの周囲に、第2排気経路へと接続する環状の開口部をさらに設けることにより、基板処理装置における排気能力を向上する技術が開示されている。
特開2003−111352号公報
特開2000−150452号公報
特開平10−151401号公報
ところで、近年、処理される基板の大型化が進められているが、大型の基板では、基板上に施される処理のむらも大きくなる。基板上において洗浄や乾燥等の処理の均一化を図るには、基板処理装置において基板の外周からおよそ均一に排気を行う必要がある。基板に処理液を付与する処理では、基板の中心からおよそ放射状に均一に処理液を除去(排液)するとともに均一な排気が極めて重要となる。しかしながら、大型の基板の場合には、底面に排気口が形成されたカップからの排気では排気の周方向の均一性が低下してしまう。また、大型の基板を処理する装置にカップを設けると装置が水平方向および下方向に大きくなってしまう。特に、特許文献1に記載の環状のモータを有する装置にカップを設けると環状のモータによる装置の小型化が無意味なものとなってしまう。
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、基板処理装置において基板の外周からの排気のばらつきを緩和して基板上の処理のむらを抑制することを目的としている。
請求項1に記載の発明は、基板処理装置であって、基板を保持する保持部と、前記保持部に保持される基板の主面に垂直な所定の中心軸を中心に前記保持部を回転する回転機構と、前記回転機構により回転する前記保持部および基板を含む回転体の外縁部において、前記中心軸に垂直であって前記中心軸を中心とする前記回転体上の環状の領域と対向する環状のカバー部と、前記カバー部の外周に沿って前記カバー部と前記環状の領域との間の間隙に連通するとともに、前記保持部の回転方向に沿って断面積が漸次増大する排気路とを備える。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の基板処理装置であって、前記保持部の外縁部が前記保持部に保持される基板の外側に位置し、前記環状の領域が前記保持部上の領域である。
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の基板処理装置であって、前記保持部が、環状のモータにおいて環状固定部に組み合わされる環状回転部の一部であり、前記回転機構が前記モータの駆動機構である。
請求項4に記載の発明は、請求項3に記載の基板処理装置であって、前記環状固定部に対する前記環状回転部の回転をガイドするガイド機構が、前記環状固定部と前記環状回転部との間にガスを供給する供給路を備え、前記環状固定部と前記環状回転部との間の間隙から噴出するガスの補助流路が、前記モータの外周に沿って前記排気路と平行に設けられ、前記モータの外周に沿って設けられたダクトを仕切ることにより、前記排気路および前記補助流路が形成されている。
請求項5に記載の発明は、請求項1ないし4のいずれかに記載の基板処理装置であって、前記回転体の外周に沿って前記保持部の回転方向へと前記排気路の始点から前記外周上の他の位置に向かう距離と、前記他の位置における前記排気路の断面積とが比例する。
請求項6に記載の発明は、請求項1ないし5のいずれかに記載の基板処理装置であって、前記排気路において、前記保持部の回転方向に沿って流路の幅および高さが漸次増大する。
請求項7に記載の発明は、請求項6に記載の基板処理装置であって、前記排気路の断面の外周が外側に向かって凸であり、前記断面の最も広い幅が最も狭い幅の2倍以下である。
請求項8に記載の発明は、請求項1ないし7のいずれかに記載の基板処理装置であって、前記カバー部が、前記回転体側の面から突出するとともに前記中心軸側から前記回転体の外周に向かって前記保持部の回転方向に傾斜して伸びる複数の整流構造を備える。
請求項9に記載の発明は、請求項1ないし8のいずれかに記載の基板処理装置であって、前記排気路が前記回転体の外周全体に沿って1つのみ設けられる。
請求項10に記載の発明は、請求項1ないし9のいずれかに記載の基板処理装置であって、前記保持部に保持される基板の前記カバー部側の主面に処理液を供給する処理液供給部をさらに備え、前記基板の前記主面が前記中心軸方向に関して前記カバー部と前記環状の領域との間に位置し、前記排気路に処理後の処理液が流入する。
本発明によれば、基板処理装置においてカバー部と回転体上の環状の領域との間の間隙における気体の流入速度のばらつきを緩和することができ、基板上の処理のむらを抑制することができる。
また、請求項3の発明では、基板処理装置の小型化を図ることができ、請求項4の発明では、簡単な構造で排気路と補助流路とを設けることができる。
また、請求項5の発明では、カバー部と回転体上の環状の領域との間の間隙における気体の流入速度のばらつきをさらに緩和することができ、請求項6および7の発明では、排気路において気体を効率よく排気することができる。
また、請求項8の発明では、カバー部と回転体との間における気体の流れを安定させることができ、請求項10の発明では、処理液を利用した基板の処理を適切に行うことができる。
図1は、本発明の一の実施の形態に係る基板処理装置1の構成を示す図である。本実施の形態における基板処理装置1は、半導体基板9(以下、単に「基板9」という。)の両主面を洗浄し、基板9に付着したパーティクル等の異物を除去する装置である。
図1に示すように、基板処理装置1は、円板状の基板9の外縁部を保持する基板保持機構2、基板保持機構2にて保持される基板9の一方の主面である下面側に配置され、基板9の下面にドライ物理洗浄を行う第1洗浄機構3、および、基板9を挟んで第1洗浄機構3とは反対側に配置され、基板9の他方の主面である上面に液体を用いるウェット洗浄を行う第2洗浄機構4を備える。ここで、ドライ物理洗浄とは、基板9上に液体(以下、「洗浄液」という。)を供給することなく洗浄するドライ洗浄のうち、化学反応を利用しないものを意味する。
基板保持機構2は、基板9の外縁部に下から当接する円環状の載置リング21と、載置リング21上にて基板9の側面に向けて僅かに進退可能な保持ピン22とを有する。
基板処理装置1は、基板保持機構2を回転することにより基板9を下面および上面に平行な面内にて回転する略円環状のモータ5をさらに備え、モータ5の外縁部には、第2洗浄機構4によるウェット洗浄における使用済みの洗浄液(基板9の上面の洗浄に使用された処理後の洗浄液であり、以下、「洗浄廃液」という。)を基板9の外側から回収するとともに排気を行う排気部6が設けられる。図1中に簡略化して示すように、基板処理装置1は、基板保持機構2、第1洗浄機構3、第2洗浄機構4、モータ5および排気部6を内部に収納するチャンバ11を備える。なお、チャンバ11は気密構造とされる必要はない。
本実施の形態では、基板9は、微細なパターンが形成された表側の面を下方に向け、裏側の面を上方に向けて保持される。すなわち、以下の説明では、基板9の上面とは基板9の裏側の面を指し、下面とは基板9の表側の面を指す。
第2洗浄機構4は、基板9の上面に洗浄液を供給する洗浄液供給部42、洗浄液が供給された基板9の上面に当接し、これをブラシ洗浄する洗浄ブラシ41を備える。基板処理装置1では、基板保持機構2により基板9の上面が下面側から隔離されて保持されるため、基板9の上面に供給された洗浄液が基板9の下面に回り込むことが防止される。
第1洗浄機構3は、基板9の下面に向けて二酸化炭素(CO2)の微粒子を噴出する微粒子噴出機構である噴射ノズル31、並びに、窒素(N2)ガスおよび液体の二酸化炭素を個別に噴射ノズル31に供給する窒素ガス供給管32,二酸化炭素供給管33を備える。噴射ノズル31の先端は液体二酸化炭素の吐出口とされ、吐出口の周囲には窒素ガスを噴出する噴出口が形成される。噴射ノズル31に液体二酸化炭素および窒素ガスが供給されると、噴射ノズル31の吐出口から液体二酸化炭素が吐出され、噴射口から窒素ガスが勢いよく噴射される。そして、吐出時の断熱膨張により凍結した二酸化炭素の微粒子が、キャリアガスである窒素ガスの気流と混合して加速される。このように噴射ノズル31はいわゆる外部混合型の2流体ノズルとなっている。キャリアガスにて運ばれる固形の二酸化炭素の微粒子は、広がりながら基板9に衝突し、その結果、基板9の下面から有機物等の微小なパーティクルが効率良く除去される。噴射ノズル31では、液体二酸化炭素および窒素ガスがそれぞれのノズル内の流路に沿って上方に導かれるため、二酸化炭素の微粒子の噴射ノズル31からの噴射の指向性が高められ、微粒子が基板9に効率良く導かれる。
モータ5は、内側に中空部を有する中空モータであり、鉛直方向を向く中心軸50を中心として回転するとともに基板9の外縁部に沿って設けられる略円環状の回転部51、および、回転部51に組み合わされて回転部51との間でトルクを発生する略円環状の固定部52を備える。回転部51の上面は環状の面(以下、「環状面51a」という。)となっており、基板保持機構2は回転部51の上部に取り付けられて回転部51の一部とされる。基板9の外縁部は環状面51a上に位置し、基板9の両主面に垂直な中心軸は中心軸50と一致する。
回転部51は、固定部52の内側面(すなわち、中心軸50側の側面)、上面および下面を覆うように固定部52に組み合わされており、固定部52の上面および下面にそれぞれ対向する2つの環状の導電板511を備える。固定部52は、中心軸50を中心として略円環状に所定の間隙を設けて多数配置される磁気コア521、および、磁気コア521の複数の部位にそれぞれ設けられるコイル522を備える。磁気コア521およびコイル522は、導電板511と対向して配置されて電機子520を構成する。磁気コア521は、板状の珪素鋼板チップを多数重ねて形成され、コイル522は、エナメル線を磁気コア521に巻き付けて形成される。
固定部52の内部には、ガス(本実施の形態では、窒素ガス)が流れる円環状のガス流路523、および、冷却水が流れる円環状の複数の冷却水流路524が形成される。ガス流路523には、固定部52の内側面と回転部51との間の微小な間隙に向けてガスを供給するための多数の微小な開口523aが形成されており、外部のガス供給装置からガス流路523に供給されたガスが開口523aから噴射されることにより、固定部52と回転部51とが互いに離れるように力が作用する。すなわち、回転部51がガスを介して固定部52に支持されて静圧気体軸受機構が構成される。また、固定部52は環状部材112に嵌め込まれて外周側から支持され、環状部材112はモータ支持部111を介してチャンバ11の内壁に固定される。なお、基板保持機構2に基板9が保持された状態では、基板9、基板保持機構2、モータ5、環状部材112およびモータ支持部111により、チャンバ11の内部空間が基板9の上面側と下面側とに分割される。
モータ5では、複数のコイル522に多相交流(例えば、2相交流や3相交流)が順に与えられ、電機子520に沿って固定部52の上面側および下面側に進行磁界が発生する。その結果、電機子520の上下に設けられた回転部51の導電板511に渦電流が発生し、リニアモータと同様の原理により回転部51にトルクが与えられる。すなわち、モータ5では、電機子520および導電板511によりモータ5の駆動機構が構成される。また、上述のように、固定部52の内側面と回転部51との間にガス流路523によりガスが供給されて固定部52に対する回転部51の回転がガイドされ、回転部51、基板保持機構2および基板9が1つの回転体として基板9の主面に垂直な中心軸50を中心に滑らかに回転する。固定部52では、外部の冷却水供給装置から冷却水流路524に冷却水が供給されることにより、複数のコイル522にて発生した熱の除去が行われる。
図1に示すように、排気部6は回転部51の環状面51aの上方に配置される同心の環状のカバー部61を有し、カバー部61の内側面は下方に向かって径が漸次増大する傾斜面610とされる。カバー部61と環状面51aとの間には、全周に亘って一定の高さ(幅)の間隙62が形成される。なお、図1では間隙62の幅を実際より広く図示している。カバー部61の外側には、カバー部61の外周部に接続しつつ環状部材112を覆うようにしてダクト本体63が設けられる。ダクト本体63は外周側にて下方へと屈曲して環状部材112の外縁部に当接し、ダクト本体63および環状部材112により、基板9の洗浄時に排気および廃液の排出が行われる流路であるダクトがモータ5の外周に沿って形成される。
ダクト本体63の内部には、回転部51に向かって突出する環状の仕切り板631が取り付けられる。また、回転部51の上部には、外側に環状に突出する突出部512が形成され、仕切り板631の内周部および突出部512が互いにオーバラップしてラビリンス構造が形成され、ダクトが上側と下側とに仕切られる。これにより、ダクト内において、カバー部61の外周に沿って間隙62に連通する上側の排気路64、および、モータ5の外周に沿って排気路64と平行に設けられる下側の補助流路65が簡単な構造にて形成される。補助流路65は、モータ5の固定部52と回転部51との間の間隙から上側へと噴出するガスの排気に利用される。なお、仕切り板631および突出部512により、後述する洗浄時に排気路64へと排出される洗浄廃液や空気がモータ5の内部へと流入することが防止される。
図2は回転部51および排気部6を示す平面図である。また、図3.Aないし図3.Dはそれぞれ図2中の矢印A−A,B−B,C−C,D−Dにて示す位置における断面図である。なお、図3.Aないし図3.Dでは、断面の平行斜線の図示を省略している。
ダクト本体63は、図2中に符号641を付して示す排気路64の始点から回転部51の回転方向(図2中における時計回り)に沿って半径方向(すなわち、中心軸50から離れる方向)の幅が漸次増大しており、始点641の直前にて最大となって、渦巻き状の排気路64の終点である開口642が設けられる。
詳細には、回転部51の回転方向に関して始点641の下流側極近傍の矢印A−Aにて示す位置では、図3.Aに示すように、排気路64の半径方向の幅は微小となっている。この位置から回転方向の下流側に向かって排気路64の幅のみが漸次増大し、矢印B−Bにて示す位置では、図3.Bに示すように、排気路64の断面がおよそ正方形となる。そして、この位置から回転方向に沿って排気路64の幅および高さが同じ割合にて漸次増大し、矢印C−Cにて示す位置では、図3.Cに示すように排気路64のおよそ正方形の断面が図3.Bに示すものよりも大きくなり、回転方向に関して開口642の上流側極近傍の矢印D−Dにて示す位置では、図3.Dに示すように排気路64のおよそ正方形の断面がさらに大きくなる。正確には、矢印B−Bにて示す位置から回転方向の下流側において、回転部51の外周に沿って回転方向へと排気路64の始点641から回転部51の外周上のいずれかの位置に向かう距離と、この位置における排気路64の断面積とが比例するように回転方向に沿って排気路64の断面積が漸次増大する。また、排気路64の断面は、ほぼ正方形(すなわち、ほとんどの部分において断面がおよそ正方形)となっている。なお、実際には開口642(および、補助流路65の開口)には、開口642の面積に比べて十分に大きい断面積の排気管(図示省略)が設けられ、排気路64を介して排出される洗浄廃液や空気が回収される。
また、図3.Aないし図3.Dに示すように、補助流路65の幅も排気路64と同様に、次第に大きくなっており、補助流路65の断面積も回転方向に沿って漸次増大する。さらに、カバー部61には回転部51側の面から突出するとともに(図1参照)、図2に示すように中心軸50側から回転部51の外周に向かって回転方向に傾斜して伸びる複数の整流板611が放射状に設けられる。なお、図1の断面図では整流板611の全体を図示しており、図3.Aないし図3.Dでは整流板611の図示を省略している。
図1の基板処理装置1により基板9が洗浄される際には、まず、基板9がチャンバ11内に搬入されて基板保持機構2にて保持され、基板9の上面が中心軸50に沿う方向に関してカバー部61と環状面51aとの間に配置される。このとき、カバー部61の内径が基板9の外径よりも大きいため、基板9が回転部51上に容易に載置される(後述の基板9の取り出しの際においても同様。)。続いて、モータ5により基板9の回転が開始され、第1洗浄機構3において、基板9の下面に対する二酸化炭素の微粒子の噴射、および、噴射ノズル31の揺動が開始される。第1洗浄機構3では、噴射ノズル31が微粒子の噴射を継続しつつ基板9の下方にて中心と外周との間で往復移動を繰り返すことにより、基板9の下面(すなわち、基板9の表側の面)に対するドライ物理洗浄が行われる。
また、第2洗浄機構4では、第1洗浄機構3による基板9の下面の洗浄開始と同時に、洗浄液供給部42による基板9の上面への洗浄液の供給、および、洗浄ブラシ41による上面の摩擦が開始される。そして、第1洗浄機構3による基板9の下面の洗浄と並行して、洗浄ブラシ41が基板9の上面のブラシ洗浄を継続しつつ基板9の上方で基板9の中心と外周との間で往復移動を繰り返すことにより、基板9の上面(すなわち、基板9の裏側の面)に対するウェット洗浄が行われる。
基板9の上面が洗浄される間、基板処理装置1では基板9の上面から洗浄廃液の除去が並行して行われる。具体的には、基板9および回転部51の回転により、基板9の上面上の洗浄廃液が遠心力により基板9の外周へと移動し、カバー部61と環状面51aとの間の間隙62に流入する。このとき、カバー部61の内側面が傾斜面610とされることにより、洗浄廃液は効率よく間隙62内へと流れ込む。間隙62に流入した洗浄廃液は、間隙62から外側の排気路64へと流出する。以下の説明において、環状のカバー部61と環状面51aとの間の間隙62を埋める環状の部材を仮想した場合における当該部材の内側面に相当する面を流入面と呼び、外側面に相当する面を流出面と呼ぶ。
また、基板9および回転部51上の空気も基板表面の移動および洗浄液の流れに引きずられるように移動しつつ遠心力により外側へと移動し、流入面から間隙62内へと吸い込まれるようにして流入する。そして、整流板611により外側へと滑らかに案内され、流出面から排気路64へと流出して回収される。これにより、基板9の上方において、基板9の中心へと吹き下ろされた空気が、基板9の上面に沿って外周へと流れて間隙62内へと吸い込まれることとなる。
ここで、間隙62を介して排気される空気について考えると、基板処理装置1では、図2の排気路64の断面積が始点641から回転方向に沿って線形に増大するため、単位時間の間において間隙62から排気路64へと流出する空気の流出面における単位面積当たりの量(体積)は、始点641から終点である開口642まで回転方向に沿っておよそ一定となる。したがって、基板9上から間隙62へと吸い込まれる空気の流入面における単位面積当たりの量もおよそ一定となる。すなわち、間隙62における空気の流入速度の大きさが流入面の全周に亘ってほぼ一定となり、これにより、基板9上の洗浄廃液の排出における空気の流れの影響も周方向に均一化される。実際には、間隙62における空気および洗浄廃液の流入には、洗浄ブラシ41の影響等が生じるが、洗浄工程全体で捉えた場合は、流入面の全周にて排液がおよそ均一化されることとなり、洗浄液を利用した基板9の上面の洗浄処理が適切に行われる。
また、基板保持機構2により基板9の外縁部が保持されるとともに、カバー部61が基板9の外側に位置する環状面51aの外縁部にのみ対向する(すなわち、カバー部61が基板9に干渉しない)ため、基板9の上面および下面のおよそ全体の洗浄が同時にかつ容易に行われる。さらに、噴射ノズル31からの微粒子を基板9の下面に衝突させることにより、基板9の下面に形成された微細なパターンを破壊することなく、付着したパーティクルが効率良く除去され、基板9の下面のドライ物理洗浄と並行して、洗浄ブラシ41の摩擦による強力なウェット洗浄が基板9の上面に対して行われることにより、上面に強固に付着した異物も効率良く除去される。
基板9の上面および下面の洗浄が終了すると、噴射ノズル31による微粒子の噴射、洗浄液供給部42による洗浄液の供給、および、洗浄ブラシ41による基板9の摩擦が停止されるとともに、噴射ノズル31および洗浄ブラシ41が基板9の外側へと退避する。
基板処理装置1では、さらに、基板9が継続して回転することにより、基板9の上面および下面が乾燥される。この場合においても、間隙62への空気の流入速度の大きさが流入面の全周においてほぼ一定とされるため、基板9の上面から洗浄液が均一かつ迅速に除去され、さらに基板9の上面が均一にかつ迅速に乾燥される。
上述のように、基板洗浄装置1では、基板9の下面に対して液体を用いないドライ物理洗浄が行われ、基板9の上面側の洗浄廃液を回収する排気部6が設けられることにより、チャンバ11の底部に洗浄廃液が溜まることが防止され、洗浄廃液からのミストの発生が防止される。また、チャンバ11に設けられたフィルタを介してチャンバ11内部には清浄な空気が供給されており、その結果、乾燥時における基板9への洗浄廃液のミストの付着や異物の再付着が防止され、基板9が清浄な状態を維持したまま乾燥される。そして、基板9の上面が乾燥すると、基板9が回転部51の環状面51a上から取り出されて、基板9の洗浄処理が終了する。
以上のように、図1の基板処理装置1では、基板9を保持しつつ回転する回転部51の環状面51aに対向して環状のカバー部61が設けられ、カバー部61の外周に沿ってカバー部61に接続されるダクト本体63により、カバー部61の外周に沿ってカバー部61と環状面51aとの間の間隙62に連通する排気路64が形成される。これにより、遠心力を利用する排気ダクトが構成される。ここで、仮に、回転部51の回転方向に沿って排気路64の断面積が一定とされると、始点641近傍と開口642近傍とで間隙62から外側への空気の流出量に大きな差が生じ、間隙62における空気の流入速度がばらついてしまうが、基板処理装置1では回転部51の回転方向に沿って排気路64の断面積が漸次増大するため、間隙62における空気の流入速度のばらつきを緩和することができ、基板9の上面上の洗浄処理のむらを抑制することができる。
また、基板処理装置1では、環状のダクトを設けることにより排気に関連する機構の小型化による装置の小型化が実現され、環状のモータ5を利用することにより基板処理装置1の一層の小型化が図られる。さらに、カバー部61に複数の整流板611が設けられて間隙62内の空気が排気路64へと案内されることにより、間隙62内にて気流の乱れが生じることを抑えて、間隙62における空気の流れを安定させることができる。なお、基板処理装置1では、基板9の微細なパターンが形成された表側の面が上方を向くように配置されて、この面に対して洗浄液を利用した洗浄処理が行われてもよい。
次に、基板処理装置1における空気の排気量について考察しつつカバー部61、ダクト本体63等に関連する具体的設計例を示す。図4は、間隙62における空気の流入速度について説明するための概念図であり、図4ではダクト本体63が設けられない場合を想定している。ここで、モータ5の駆動により回転部51が一定の回転速度に達して平衡状態となる場合に、回転部51の外縁部にて回転部51の外側へと振り飛ばされる空気の速度(すなわち、間隙62の外側面である流出面における流出速度)の大きさが、空気の粘性の影響(いわゆる、引きずり効果)により回転部51の外周における線速度(の大きさ)と同じとなり、流出速度は回転部51の外周全体に亘っておよそ一定になると仮定する。また、空気の圧縮の影響を無視し、図4中に符号71を付す矢印にて示すように、空気が流入面におよそ垂直な方向にて間隙62内へと流入し、この位置における空気の流入速度が、流体の連続性から間隙62からの流出速度に近似するものとする。
この場合に、回転部51の外周の直径をD[mm]、モータ5の(1分当たりの)回転数をA[rpm]、円周率をπとすると、回転部51の外周における線速度v[mm/s]は、(v=πD×A/60)として求められる。また、間隙62の高さ(中心軸50に沿う方向の幅)をH[mm]、カバー部61の内周の半径をR[mm]とすると、流入面において中心軸50を中心として微小角度dθに相当する範囲から1秒当たりに間隙62内へと流入する(吸い込まれる)空気の量dVは、(dV=Rdθ×H×v)として表すことができる。したがって、間隙62からの1秒当たりの総排気量Vは、流入面の全周に相当する範囲から間隙62内へと流入する空気の量に等しく、数1として求められる。
回転部51の外周の直径Dが548mm、モータ5の回転数Aが2400rpm、間隙62の高さHが10mm、カバー部61の内周の半径Rが175mmである場合には、間隙62における1分当たりの総排気量は数1より45m3と概算される。実際には、カバー部61の外側にはダクト本体63が設けられるが、排気路64の断面積が回転方向に沿って数1に基づく割合にて線形に十分に増大するものとすれば、ダクト本体63を不必要に大型化することなく、間隙62における空気の流入速度のばらつきを抑制しつつ上記排気量にて排気することが実現される。なお、本実施の形態におけるダクト本体63は、設計上の理由により、開口642における幅および高さが共に100mmとされる。この場合、図2に示す中心軸50を中心として始点641から回転方向にγ[度]だけ回転した位置における排気路64の断面積S[mm2]は、(S=10000×γ/360)として求められる。なお、中心軸50を中心として始点641から回転方向にγだけ回転した位置における排気路64の断面の幅(または高さ)Kは、γの増加に伴って増加量が漸次減少する単調増加関数f(γ)、並びに、所定の定数K1および係数a(ただし、(a>0))を用いて、一般的には、K=K1+af(γ)と表すことができる。
図5は、排気部の他の例を示す図である。また、図6.Aないし図6.Cは、図5中の矢印E−E,F−F,G−Gにて示す位置における断面図である。なお、図6.Aないし図6.Cでは整流板611の図示、並びに、断面の平行斜線の図示を省略している。
他の例に係る排気部6aでは、回転方向に関して始点641の下流側極近傍の位置(図2中の矢印A−Aの位置に相当する位置)において図3.Aと同様に、排気路64の半径方向の幅が微小となっている。ダクト本体63aは、回転方向の下流側に向かって排気路64の幅のみが漸次増大し、図5中の矢印E−Eにて示す位置では、図6.Aに示すように、排気路64の断面の幅と高さとが同じになる。さらに、この位置から回転方向の下流側に向かって排気路64の幅のみが漸次増大し、図5中の矢印F−Fにて示す位置では、排気路64の断面が図6.Bに示すように横に長い長方形となり、回転方向に関して開口642の上流側極近傍の図5中の矢印G−Gにて示す位置では、図6.Cに示すように排気路64の断面の幅のみがさらに長くなっている。
ダクト本体63aを有する基板処理装置1において、モータ5の回転数が1330rpm、間隙62の高さが10mm、カバー部61の内周の半径が175mmである場合に、熱線風速計にて開口642での風速を測定すると毎秒9mとなり、開口642の断面積は0.001m2であるため排気路64からの総排気量は毎分0.54m3となることが確認されている。また、この場合において間隙62における流入速度を測定すると、図5中の矢印81〜84を付す位置でそれぞれ毎秒2m,2m,1m,1mとなり、平均では毎秒1.5mとなる。カバー部61の内周側における間隙62の開口面積(すなわち、流入面の面積)は約0.01m2であるため、毎分の流入量は約1m3となり、間隙62における空気の流入量と排気路64からの空気の排気量とのバランスはおよそではあるがとれているといえる(2倍以上の差は生じるていない。)。
排気路64において空気を損失無く効率よく排気するという観点では、排気路64の断面は図3.Bないし図3.Dに示す正方形や円形、あるいは、図7に示すような形状(略半円形)とされることが好ましい。しかしながら、設計によっては高さ方向が制限される場合もあり、この場合には、図5に示すように排気路64の断面が扁平な形状とされるダクト本体63aであっても、排気路64の流路の断面積を下流に向かって増大させることにより、周方向における排気の均一化をある程度図ることができる。
なお、排気路64における空気の流れの抵抗を緩和しつつ設計を容易に行うという観点からは、図3.Aないし図3.Dに示す断面形状が好ましく、空気の流れの抵抗を最も少なくするという観点からは断面は円形とされることが好ましい。また、排気路64の断面形状は上記例には限定されず、排気路の断面が、断面の中心から外縁までの距離がおよそ均一な形状とされることより、具体的には、断面の外周が外側に向かって凸であり、断面の最も広い幅が最も狭い幅の2倍以下とされることにより、間隙62における気体の流入速度のばらつきをさらに緩和することが実現される。
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。
上記実施の形態では、基板9を保持する保持部が、回転部51の一部である環状面51aおよび基板保持機構2とされるが、保持部はモータ5とは別の部材として設けられてもよい。また、上記実施の形態では、回転部51の環状面51aに対向してカバー部61が設けられるが、例えば、基板9の下面の中心が保持部により保持され、モータのシャフトを介して保持部が回転する基板処理装置の場合は、回転する基板9の外縁部における環状の領域に対向してカバー部61が設けられてもよい。すなわち、基板処理装置ではモータ5により回転する保持部および基板9を含む回転体の外縁部において、中心軸50に垂直であって中心軸50を中心とする回転体上の環状の領域に対向してカバー部61が設けられることにより、環状の領域における引きずり効果および遠心力を利用した排気路への排気が実現される。
基板9の形状は円板状以外のものであってもよく、また、基板9は半導体基板以外に、プリント配線基板やフラットパネル表示装置に使用されるガラス基板等であってもよい。例えば、矩形の板状のガラス基板が基板処理装置にて処理される際には、ガラス基板よりも大きい円板状の補助部材が準備され、この補助部材上にガラス基板が載置されて保持された上で、回転する補助部材の外縁部、または、補助部材を保持する保持部の外縁部における環状の領域に対向してカバー部が設けられてガラス基板に対する処理が行われる。
上記実施の形態では、カバー部61の内側面が傾斜面610とされることにより、中心軸50方向に関してカバー部61と環状面51aとの間に配置される基板9上の空気および洗浄廃液が効率よく間隙62内へと吸い込まれるが、例えば、ドライ洗浄等の液体を用いない処理が行われる場合は回転部51の内側面に基板保持機構が設けられて径方向および上下方向に関して基板9が回転部51の内側に保持されてもよい(基板9が環状面51aよりも下方に位置する)。また、このような保持方法においてウェット洗浄等の液体を用いる処理が行われる場合は、回転部51の内側面に、基板9の上面の高さから上方に向かって径が漸次増大する傾斜面が設けられ、基板9上の洗浄廃液が間隙62内へと効率よく案内されてもよい。
また、間隙62内において気流の乱れを抑制する整流構造は整流板611以外に、例えば、断面が三角形となる部材にて実現されてもよい。
基板処理装置1では、必ずしも排気路が回転部51の外周全体に沿って1つのみ設けられる必要はなく、回転部51の外周に沿って複数の排気路が重なることなく設けられてもよい。ただし、基板処理装置1の部品点数を減少するという観点では、排気路が回転部51の外周全体に沿って1つのみ設けられることが最も好ましい。
また、間隙62における気体の流入速度のばらつきをさらに緩和するためには排気路の断面積を始点641から回転方向に沿って線形に増大させることが好ましいが、排気路の断面積を始点641から回転方向に沿って段階的に増大させるのみであってもある程度の排気の均一化を図ることができる。
モータ5は、基板処理装置の小型化という観点からは中空モータであることが好ましいが、それ以外の他の構成とされてもよい。例えば、既述のように円板状の保持部にシャフトを介してモータが接続され、保持部が基板の下面の中心を保持してもよい。また、駆動機構が外部に別途設けられた中空の回転機構にて基板が保持されてもよい。
また、上記実施の形態では、基板処理装置1では回転部51に1枚の基板9を保持して処理する装置としたが、2枚の基板を保持する構成としてもよい。図8に示すように、回転部51の下面側にも保持機構を設け、上面側の基板は裏面を上に向け、下面側の基板は裏面を下に向け、両方ともブラシで裏面を洗浄する。そして、回転部51の下面側にも対向して環状のカバー部と、カバー部に接続されるダクト本体とにより排気路を形成するようにしてもよい。これにより、2枚の基板の同時洗浄を行う小型な装置が提供される。
上記実施の形態では、基板処理装置1が基板を洗浄する基板洗浄装置であるものとして説明したが、基板処理装置は、基板表面へ各種処理液を供給して基板に処理を施す様々な用途に利用されてよい。また、基板処理装置は、各種処理ガスや微粒子を使用する基板の表面加工や表面処理、さらには乾燥等に利用することも可能であり、この場合においても、空気、処理ガス、微粒子等が均一に排気されて基板上の処理のむらが抑制される。
1 基板処理装置
2 基板保持機構
5 モータ
9 基板
42 洗浄液供給部
50 中心軸
51 回転部
51a 環状面
52 固定部
61 カバー部
62 間隙
64 排気路
65 補助流路
511 導電板
520 電機子
523 ガス流路
611 整流板
641 始点
2 基板保持機構
5 モータ
9 基板
42 洗浄液供給部
50 中心軸
51 回転部
51a 環状面
52 固定部
61 カバー部
62 間隙
64 排気路
65 補助流路
511 導電板
520 電機子
523 ガス流路
611 整流板
641 始点
Claims (10)
- 基板処理装置であって、
基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持される基板の主面に垂直な所定の中心軸を中心に前記保持部を回転する回転機構と、
前記回転機構により回転する前記保持部および基板を含む回転体の外縁部において、前記中心軸に垂直であって前記中心軸を中心とする前記回転体上の環状の領域と対向する環状のカバー部と、
前記カバー部の外周に沿って前記カバー部と前記環状の領域との間の間隙に連通するとともに、前記保持部の回転方向に沿って断面積が漸次増大する排気路と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記保持部の外縁部が前記保持部に保持される基板の外側に位置し、前記環状の領域が前記保持部上の領域であることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置であって、
前記保持部が、環状のモータにおいて環状固定部に組み合わされる環状回転部の一部であり、
前記回転機構が前記モータの駆動機構であることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項3に記載の基板処理装置であって、
前記環状固定部に対する前記環状回転部の回転をガイドするガイド機構が、前記環状固定部と前記環状回転部との間にガスを供給する供給路を備え、
前記環状固定部と前記環状回転部との間の間隙から噴出するガスの補助流路が、前記モータの外周に沿って前記排気路と平行に設けられ、
前記モータの外周に沿って設けられたダクトを仕切ることにより、前記排気路および前記補助流路が形成されていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記回転体の外周に沿って前記保持部の回転方向へと前記排気路の始点から前記外周上の他の位置に向かう距離と、前記他の位置における前記排気路の断面積とが比例することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記排気路において、前記保持部の回転方向に沿って流路の幅および高さが漸次増大することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項6に記載の基板処理装置であって、
前記排気路の断面の外周が外側に向かって凸であり、前記断面の最も広い幅が最も狭い幅の2倍以下であることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし7のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記カバー部が、前記回転体側の面から突出するとともに前記中心軸側から前記回転体の外周に向かって前記保持部の回転方向に傾斜して伸びる複数の整流構造を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし8のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記排気路が前記回転体の外周全体に沿って1つのみ設けられることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし9のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記保持部に保持される基板の前記カバー部側の主面に処理液を供給する処理液供給部をさらに備え、
前記基板の前記主面が前記中心軸方向に関して前記カバー部と前記環状の領域との間に位置し、前記排気路に処理後の処理液が流入することを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005054189A JP2006245022A (ja) | 2005-02-28 | 2005-02-28 | 基板処理装置 |
US11/360,891 US20060191556A1 (en) | 2005-02-28 | 2006-02-23 | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005054189A JP2006245022A (ja) | 2005-02-28 | 2005-02-28 | 基板処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006245022A true JP2006245022A (ja) | 2006-09-14 |
Family
ID=36930940
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005054189A Pending JP2006245022A (ja) | 2005-02-28 | 2005-02-28 | 基板処理装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060191556A1 (ja) |
JP (1) | JP2006245022A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009060596A1 (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-14 | Realize Advanced Technology Limited | 基板処理装置 |
JP2016207800A (ja) * | 2015-04-21 | 2016-12-08 | 株式会社ディスコ | スピンナ洗浄装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4731500B2 (ja) * | 2007-01-18 | 2011-07-27 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板支持装置、表面電位測定装置、膜厚測定装置および基板検査装置 |
JP6113960B2 (ja) * | 2012-02-21 | 2017-04-12 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP6545511B2 (ja) * | 2015-04-10 | 2019-07-17 | 株式会社東芝 | 処理装置 |
-
2005
- 2005-02-28 JP JP2005054189A patent/JP2006245022A/ja active Pending
-
2006
- 2006-02-23 US US11/360,891 patent/US20060191556A1/en not_active Abandoned
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WO2009060596A1 (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-14 | Realize Advanced Technology Limited | 基板処理装置 |
JP2016207800A (ja) * | 2015-04-21 | 2016-12-08 | 株式会社ディスコ | スピンナ洗浄装置 |
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---|---|
US20060191556A1 (en) | 2006-08-31 |
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