JP2016207800A - スピンナ洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
Description
T 粘着テープ
W1 ウエーハ
W ワークセット
1 スピンナ洗浄装置
2 洗浄ケース
22 底壁部(底板)
23 リングカバー
24 螺旋内側壁
25 排気口
3 スピンナテーブル
30 吸引プレート
31 リングフレーム保持部
37 吸引面
4 洗浄水供給手段
5 回転手段
Claims (2)
- リングフレームの開口部を封鎖して粘着テープを貼着し該開口部の該粘着テープにウエーハを貼着するワークセットを保持するスピンナテーブルと、該スピンナテーブルの中心を軸に回転させる回転手段と、該スピンナテーブルを収容する洗浄ケースと、該スピンナテーブルが保持するワークセットに洗浄水を供給する洗浄水供給手段と、を備えるスピンナ洗浄装置であって、
該スピンナテーブルは、ウエーハに相当する面積で該粘着テープを介してウエーハを吸引保持する吸引面を有する吸引プレートと、該吸引プレートに連結され該リングフレームを保持するリングフレーム保持部と、を備え、
該洗浄ケース内において該スピンナテーブルの回転方向に沿って該スピンナテーブルの最外周から径方向の距離が段階的に大きく該スピンナテーブルの上から見て渦巻き状に形成される螺旋内側壁と、該螺旋内側壁と該スピンナテーブルの最外周との距離が最も大きい該螺旋内側壁に配設される排気口と、該螺旋内側壁と連接される底板と、該スピンナテーブルの最外周から所定の隙間を設けて該スピンナテーブルを囲繞して下側が広い末広がりの斜面を形成して該洗浄ケースを上下に仕切るリングカバーと、を備え、
該リングフレーム保持部は、該リングフレームを保持したときに該リングカバーの該斜面に平行な斜面となる保持部斜面を有し、
該スピンナテーブルを回転させたとき回転する該保持部斜面と該リングカバーの斜面とによって該スピンナテーブルの上から下に向かって気流を発生させ、該気流を該スピンナテーブルの回転による遠心力によって該螺旋内側壁に沿って旋回させて該排気口から排気させることを特徴とするスピンナ洗浄装置。 - リングフレームの開口部を封鎖して粘着テープを貼着し該開口部の該粘着テープにウエーハを貼着するワークセットを保持するスピンナテーブルと、該スピンナテーブルの中心を軸に回転させる回転手段と、該スピンナテーブルを収容する洗浄ケースと、該スピンナテーブルが保持するワークセットに洗浄水を供給する洗浄水供給手段と、を備えるスピンナ洗浄装置であって、
該スピンナテーブルは、ウエーハに相当する面積で該粘着テープを介してウエーハを吸引保持する吸引面を有する吸引プレートと、該吸引プレートに連結され該リングフレームを保持するリングフレーム保持部と、を備え、
該洗浄ケース内において該スピンナテーブルの回転方向に沿って該スピンナテーブルの最外周から径方向の距離が段階的に大きく該スピンナテーブルの上から見て渦巻き状に形成される螺旋内側壁と、該螺旋内側壁と該スピンナテーブルの最外周との距離が最も大きい該螺旋内側壁に配設される排気口と、該螺旋内側壁と連接される底板と、を備え、
該排気口から該洗浄ケースを吸引する吸引手段を更に備え、
該スピンナテーブルを回転させたときに該吸引手段を用いて該排気口から該洗浄ケース内の空気を強制排気することで該洗浄ケース内に該スピンナテーブルの上から下に向かって気流を発生させ、該気流を該スピンナテーブルの回転による遠心力によって該螺旋内側壁に沿って旋回させて該排気口から排気させることを特徴とするスピンナ洗浄装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107156883A (zh) * | 2017-06-27 | 2017-09-15 | 山东省农作物种质资源中心 | 干果分级挑选设备 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006245022A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2009260094A (ja) * | 2008-04-18 | 2009-11-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | スピンナ洗浄装置および加工装置 |
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- 2015-04-21 JP JP2015086684A patent/JP6495083B2/ja active Active
Patent Citations (2)
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JP2009260094A (ja) * | 2008-04-18 | 2009-11-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | スピンナ洗浄装置および加工装置 |
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CN107156883A (zh) * | 2017-06-27 | 2017-09-15 | 山东省农作物种质资源中心 | 干果分级挑选设备 |
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