JP2006234538A - 走査形プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料と探針との間に流れる電流を利用して前記試料の表面を観察する試料観察装置であって、前記試料に対向する少なくとも2個の前記探針と、前記試料を置載する試料台と、前記試料台にバイアス電流を印加する試料バイアス電流印加手段と、前記試料バイアス電流印加手段を前記試料台より電気的に切り離すスイッチと、を備え、前記探針が前記試料にアプローチするときには前記スイッチをONとし、前記探針間の電気計測するときには前記スイッチをOFFとする走査形プローブ顕微鏡。
【選択図】 図1
Description
このため、図2のように装置に設置されている走査電子顕微鏡(以下、SEMという)等の他の方法を用いて拡大映像を確認しながらアプローチを行い、探針が試料に接触したことを確認する必要があった。
粗動駆動機構15にはXYZ方向の駆動信号を送る粗動駆動機構制御回路17が電気的に接続されており、微動駆動機構制御回路16は中央制御装置4が接続されている。
他方の探針3’も探針3と同様の構成になっている。
2 試料
3 探針
4 中央制御装置
5 電流−電圧変換アンプ
6 探針バイアス電源
7 試料バイアス電源
8 試料バイアススイッチ
9 試料基板
10 同軸線
11 シールドライン
12 電流検出ライン
13 走査電子顕微鏡
14 微動駆動機構
15 粗動駆動機構
16 微動駆動機構制御回路
17 粗動駆動機構制御回路
18 表示装置
Claims (8)
- 試料台に保持された試料に対向するように配置された少なくとも2個の探針と、
前記試料台にバイアス電圧を印加するための試料バイアス電源と、
前記探針にバイアス電圧を印加するための探針バイアス電源と、
前記探針からの電流を電圧に変換する増幅器と、
前記試料の被測定面に対し垂直方向に探針をアプローチさせるための探針駆動手段と、
前記増幅器からの信号に基づいて前記探針駆動手段をコントロールする探針駆動制御手段と、を備えた走査形プローブ顕微鏡において、
前記試料バイアス電源と前記試料台の間にスイッチを設け、前記試料の電気的特性を測定している時にはオフの状態に切り換え得るようにしたことを特徴とした走査形プローブ顕微鏡。 - 前記試料台と前記試料の間に電気絶縁性部材を挟むようにしたことを特徴とした請求項1記載の走査形プローブ顕微鏡。
- 前記増幅器の基準電圧が探針バイアス電圧となるように前記増幅器に前記探針バイアス電源を繋ぎ、前記増幅器と前記探針をシールド線で接続し、該シールド線の保護シースに探針バイアス電圧が印加されることを特徴とした請求項1又は2記載の走査形プローブ顕微鏡。
- 前記試料バイアス電源として、交流電源を使用することを特徴とした請求項1乃至3のいずれかに記載の走査形プローブ顕微鏡。
- 前記探針駆動手段は広い動作レンジを持つ粗動駆動手段と、狭い動作レンジを持つ微動駆動手段とから構成される請求項1乃至4のいずれかに記載の走査形プローブ顕微鏡であって、
前記粗動駆動制御手段は、前記増幅器からの信号と基準信号を比較し、一致したら、前記粗動駆動手段による探針移動を停止させる様に成っており、且つ、前記一致により前記スイッチをオフに切り換えるように成した走査形プローブ顕微鏡。 - 位相シフタを介して前記シールド線の保護シースに探針バイアス電圧を印加する様に成した請求項3記載の走査形プローブ顕微鏡。
- 前記増幅器をシールド容器にてシールドし、該シールド容器に探針バイアス電圧を印加する様に成した請求項1乃至6のいずれかに記載の走査形プローブ顕微鏡。
- 位相シフタを介して前記シールド容器に探針バイアス電圧を印加する様に成した請求項7記載の走査形プローブ顕微鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP (1) | JP4410700B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010092470A1 (ru) * | 2009-02-13 | 2010-08-19 | НТ-МДТ Сервис и Ложистик Лтд. | Многофункциональный сканирующий зондовый микроскоп |
JP5186501B2 (ja) * | 2007-08-28 | 2013-04-17 | 株式会社アルバック | ステージ装置 |
RU2538412C1 (ru) * | 2013-09-24 | 2015-01-10 | Закрытое Акционерное Общество "Нанотехнология Мдт" | Сканирующий зондовый микроскоп с устройством для функционирования многозондового датчика |
CN114199181A (zh) * | 2021-11-22 | 2022-03-18 | 青岛黄海学院 | 一种用于机电构件的调节式平整度检测装置 |
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A621 | Written request for application examination |
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