JP2006233316A - ナノ粒子生成方法及びレーザカラーマーキング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金の薄膜をスパッタで生成する第1のステップと、この薄膜にレーザを照射して金を粒状化する第2のステップとを含み、第2のステップで、連続発振レーザのレーザ光の走査速度を変えて、粒子径を制御し、発色する色の種類を制御する。この方法で、被加工物にマーキングするカラーの色を赤、青、黄(金色)に制御することができ、フルカラーのマーキングが可能となる。
【選択図】図5
Description
この方法では、被加工物の表面に金コロイドを混合した塗料を塗布し、その上にレーザ光線を照射する。この照射で塗料の媒質は蒸発し、金のナノ粒子は凝集し、さらに溶融して成長し、粒子径に応じた色を示す。
また、金ナノ粒子は、カラーマーキング以外にも、粒子を結合してナノテクノロジー用の部品を作製したり、金微粒子表面に機能性を持つチオール分子等を吸着させて分析化学や検査試薬用の機能性金コロイドを作製したりするためにも用いられている。
また、金コロイドの混合塗料を用いるレーザカラーマーキングでは、青色の発色が思うように得られない。これは粒子の大きさをナノレベルで制御することが如何に難しいかを示している。
レーザのエネルギーを受けた金属薄膜は、凝集して粒状化する。
この第1のステップと第2のステップとの繰り返しにより、粒状化した金属が核となって粒子が成長する。
この方法では、レーザの走査速度に応じて、金属薄膜の局所に投入されるエネルギー量が変わり、凝集量が変わることを利用して粒子径を制御する。
そのため、均一な薄膜が簡単に生成できる。
この方法では、レーザ照射時間やレーザ出力を変えて、粒子径を制御する。
この方法により、金属粒子のサイズに応じた発色を得ることができる。
この繰り返しにより、色は変わらずに、濃さだけが増加する。
この方法では、レーザの走査速度に応じて粒子径が変わり、そのために発色する色が変わる。
この方法によれば、熱に弱い合成樹脂等に対してもレーザカラーマーキングを施すことができる。
この場合は、飛翔中に粒子化した金属が冷えたところで被加工物に付着する。
本発明の第1の実施形態におけるナノ粒子生成方法では、スパッタリングで金の薄膜を形成し、その薄膜にレーザを照射して凝集を生じさせ、その上からスパッタリングで金の薄膜を形成し、さらにレーザを照射する、と言うように、スパッタリングでの金薄膜の形成とレーザ照射による処理とを1セットにして、そのセットを複数回繰り返すことにより金ナノ粒子を生成する。
そのため、スパッタリング及びレーザ照射のセットを繰り返せば、核を中心に金の粒子が徐々に成長し、所望の大きさの金ナノ粒子を得ることができる。
スパッタリングは、図9に示すイオンスパッタ装置を使用して行った。この装置は、アルミチャンバー11内に、ターゲット10を保持するターゲットホルダ12と、試料を載置する試料ステージ13とを具備し、また、ターゲット10とアルミチャンバー11との間に200KVの電圧を印加する直流電源を備えている。
図1は、サイクル数と粒子の大きさ(最大粒子径)との関係を示している。1サイクル目の処理により、金スパッタ膜から20nm〜30nmの金ナノ粒子が創成できた。サイクルを重ねるごとに粒子は大きくなり、10サイクルで160nmまで成長することが明らかになった。
波長400nm以上の透過率を見ると、6サイクル目ではほぼ60%以上であるが、9サイクル目で約50%、14サイクル目には約40%まで下がっており、サイクルを重ねるごとに暗くなっている。
これは、サイクルが増すに従って大きな粒子径のナノ粒子は出現するが、図2(b)に示すように、サイクルが増えても、ナノ粒子の大半は約13nmであり、物体表面の色は存在比率の高いこの粒子によって決まるためである。
本発明の第2の実施形態におけるナノ粒子生成方法では、一度のスパッタリングで形成した金の薄膜に連続発振レーザのレーザ光を照射して金ナノ粒子を生成する。このとき、連続発振レーザのレーザ光の走査速度を変えて金ナノ粒子の粒子径を制御する。
なお、連続発振レーザには、CW:YVO4レーザ(CWはcontinuous waveの略)、CW:YAGレーザ、CW:YLFレーザ等を用いることができる。
ここでは、図9のイオンスパッタ装置を用い、30秒間、約15mAの条件で一度だけ金スパッタを実施してスライドガラス上に金薄膜を生成し、この金薄膜に対して、波長532nmの連続発振レーザ(CW:YVO4レーザ)のレーザ光を、走査速度を0.25mm/s〜25mm/sの範囲で変化させて照射し、得られた粒子を原子間力顕微鏡(AFM)で観察した。
ビームの走査は、第1の実施形態と同様に、5mm×5mmの正方形内を塗り潰すように、ストローク5mm、ピッチ約42.3μmで実施した。図4は、連続発振レーザのレーザ光40でスライドガラス20上の金薄膜30を走査する様子を模式的に示している。
走査速度が25mm/sの場合は、660nm付近の赤色の波長、及び400nm付近の紫色の波長の透過率が高く、試料を視認すると、赤紫色あるいは赤色を呈している。走査速度が0.5mm/sの場合は、400nm付近の波長の透過率が高く、試料を視認すると、紫色を呈している。走査速度が0.25mm/sの場合は、500nm付近の青色の波長の透過率が上昇しており、試料を視認すると、青紫色を呈している。
こうした傾向は、連続発振レーザの出力が0.2W〜0.5Wの範囲で変わらない。しかし、連続発振レーザの出力を0.6W以上に設定すると、凝集の進行が速くなり、レーザの走査速度を25mm/sまで上げても青紫色を発色し、赤紫色を発色させることはできなかった。
剥離した金ナノ粒子は、ナノテクノロジー用の部品作製に使用したり、機能性金コロイドの作製に使用したりすることができる。
図8(a)(b)は、このカラーマーキング方法の一例を示している。この方法では、カラーマーキングを施す被加工物21を、スライドガラス20上に生成された金ナノ粒子31と対向させて近接配置し、スライドガラス20の背面をパルスレーザのレーザ光41で、被加工物21に転写するマークに沿って走査する。
また、この方法は、被加工物21上に金の回路を形成したり、ナノテクノロジー用の部品を形成したりするためにも利用できる。
また、各実施形態では、金の薄膜をスパッタリングで形成する場合を説明したが、蒸着等、その他の手段で薄膜を形成しても良い。
11 アルミチャンバー
12 ターゲットホルダ
13 試料ステージ
20 スライドガラス
21 被加工物
30 金薄膜
31 金ナノ粒子
40 連続発振レーザのレーザ光
41 パルスレーザのレーザ光
Claims (10)
- ナノレベルのサイズの金属粒子を生成する方法であって、
金属の薄膜を生成する第1のステップと、
前記薄膜にレーザを照射して前記金属を粒状化する第2のステップと
を含むことを特徴とする金属ナノ粒子生成方法。 - 請求項1に記載の金属ナノ粒子生成方法であって、基板上の同一箇所に、金属の薄膜を生成する前記第1のステップと、前記薄膜にレーザを照射して前記金属を粒状化する前記第2のステップとを交互に繰り返し、その繰り返し回数を変えて前記金属のサイズを制御することを特徴とする金属ナノ粒子生成方法。
- 請求項1に記載の金属ナノ粒子生成方法であって、前記第2のステップで連続発振レーザのレーザ光を照射し、前記レーザ光の走査速度を変えて、前記金属のサイズを制御することを特徴とする金属ナノ粒子生成方法。
- 請求項1から3のいずれかに記載の金属ナノ粒子生成方法であって、前記第1のステップでの前記金属の薄膜を、スパッタリングで生成することを特徴とする金属ナノ粒子生成方法。
- ナノレベルのサイズの金属粒子を生成する方法であって、
スパッタリングで金属の薄膜を生成しながら、生成中の前記薄膜にレーザを照射して前記金属を粒状化することを特徴とする金属ナノ粒子生成方法。 - ナノレベルのサイズの金属粒子を生成して前記サイズに応じた発色を得るレーザカラーマーキング方法であって、
金属の薄膜を生成する第1のステップと、
前記薄膜にレーザを照射して前記金属を粒状化する第2のステップと
を含むことを特徴とするレーザカラーマーキング方法。 - 請求項6に記載のレーザカラーマーキング方法であって、被加工物の同一箇所に、金属の薄膜を生成する前記第1のステップと、前記薄膜にレーザを照射して前記金属を粒状化する前記第2のステップとを交互に繰り返し、その繰り返し回数を変えて発色の濃淡を制御することを特徴とするレーザカラーマーキング方法。
- 請求項6に記載のレーザカラーマーキング方法であって、前記第2のステップで連続発振レーザのレーザ光を照射し、前記レーザ光の走査速度を変えて、発色する色の種類を制御することを特徴とするレーザカラーマーキング方法。
- 請求項6に記載のレーザカラーマーキング方法であって、前記第1のステップで基板の前面に前記金属の薄膜を生成し、前記第2のステップで連続発振レーザのレーザ光を照射して、前記レーザ光の走査速度を変えて発色する色の種類を制御し、さらに、第3のステップとして、前記基板の前記金属粒子が生成された前面と被加工物とを対向させ、前記基板の裏面からレーザを照射して、前記金属粒子を前記被加工物に転写することを特徴とするレーザカラーマーキング方法。
- 請求項6に記載のレーザカラーマーキング方法であって、前記第1のステップで基板の前面に前記金属の薄膜を生成し、前記第2のステップで前記基板の前記薄膜が生成された前面と被加工物とを対向させ、前記基板の裏面からレーザを照射して、前記薄膜を前記被加工物に向けて飛ばし、飛翔中に粒子化した金属粒子を前記被加工物に付着させることを特徴とするレーザカラーマーキング方法。
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