JP2006231797A - インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】インクジェットヘッド形成の際に、振動板の変形を防止しながら振動板を熱圧着または接着することができるインクジェットヘッドの製造方法、およびその方法で製造されたインクジェットヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】積層部材2側面におけるの上下方向インク流路205の開口を覆うように振動板4、4を位置決めして積層体を構成し、この積層体を押圧する押圧工程と、積層部材2に形成されたインク供給孔2a、インク吐出孔3aを封止する封止工程と、積層体を押圧し、かつインク供給孔2a、インク吐出孔3aを封止して、インク流路を密閉状態としたまま振動板4、4を積層部材2に熱圧着する熱圧着工程とを具備し、振動板4、4の変形を防止しながら拡散接合できる。
【選択図】図8
【解決手段】積層部材2側面におけるの上下方向インク流路205の開口を覆うように振動板4、4を位置決めして積層体を構成し、この積層体を押圧する押圧工程と、積層部材2に形成されたインク供給孔2a、インク吐出孔3aを封止する封止工程と、積層体を押圧し、かつインク供給孔2a、インク吐出孔3aを封止して、インク流路を密閉状態としたまま振動板4、4を積層部材2に熱圧着する熱圧着工程とを具備し、振動板4、4の変形を防止しながら拡散接合できる。
【選択図】図8
Description
本発明は、金属製薄板の積層部材などで構成される被圧着体である積層部材に振動板を熱圧着するのに適したインクジェットヘッドの製造方法、およびその製造方法によって製作されたインクジェットヘッドに関する。
インクジェット印刷機におけるノズル(インク吐出孔)は、印刷密度を向上させるために、微小間隔に複数配置され、そのノズルには、微量のインクを導くための配管部が接続されている。この配管部をパイプで形成した場合には、インクジェット印刷機の極小化を図ることが困難であった。そこで、パイプを用いずに、所定位置に所定形状の開口が形成された薄板を複数枚積層し、熱圧着して積層部材を製作することで、インク流路を形成する技術が開示されている(例えば、特許文献1参照。)。
また、上記のように薄板を複数枚積層して構成されたインクジェットヘッドでは、電圧の負荷により体積が変化して伸縮する圧電素子を利用して、インクをノズルから噴出させる構成を採用するものがある。この場合、圧電素子は、インク流路壁としても機能する振動板、およびフレキシブルプリント配線板(FPC)を介して配置される。この際、圧電素子の伸縮を効果的に利用するために、振動板の厚さは、薄い方が望ましい。
しかしながら、振動板の厚さを薄くすると、熱圧着処理によって、振動板が、空隙となっている流路側に窪んだ状態に変形したり、しわ状に変形したりすることがあった。これによって、フレキシブルプリント配線板を介して圧電素子を振動板の外側面に適切に設置することが困難となるとともに、圧電素子からの振動が減衰して、各ノズルからインクを均一に吐出することが困難となっていた。
また、熱圧着処理によらず、接着剤などによって振動板を接着する場合においても、振動板が、空隙となっている流路側に窪んだ状態に変形したり、しわ状に変形したりすることがあった。
そこで、従来においては、振動板の変形を抑制するために、振動板の厚さを増加させたりしていた。また、熱圧着処理を施す場合には、比較的低温によって熱圧着を施したり、熱圧着後に変形した振動板の外側面を研磨したりしていた。
特開2003−290935号公報
上記したように、振動板の変形を抑制するために、振動板の厚さを増加させることは、圧電素子の駆動振動の減衰率が高くなり、圧電素子の振幅を効果的に利用することができないという問題があった。また、比較的低温によって熱圧着を施すことで、接合ムラが発生しやすくなるという問題があった。さらに、熱圧着後に変形した振動板の外側面を研磨することによって、振動板を破損するという問題があった。
そこで、本発明では、インクジェットヘッド形成の際に、振動板の変形を防止しながら振動板を熱圧着または接着することができるインクジェットヘッドの製造方法、およびその方法で製造されたインクジェットヘッドを提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、側面にインク流路の一部が開口するように形成されたインクジェットヘッド構成部材と前記インク流路の開口を覆う振動板とを準備する準備工程と、前記インクジェットヘッド構成部材のインク流路の開口を覆うように所定の位置に前記振動板を位置決めして積層体を構成し、前記積層体を押圧する押圧工程と、前記インクジェットヘッド構成部材の前記側面と異なる面に形成された前記インク流路の開口部を封止する封止工程と、前記積層体を押圧し、かつ前記インク流路の開口部を封止して、前記インク流路を密閉状態としたまま加熱により前記振動板を前記積層部材に熱圧着する熱圧着工程とを具備することを特徴とする。
このインクジェットヘッドの製造方法によれば、インクジェットヘッド構成部材の側面に形成されたインク流路の開口を覆うように所定の位置に振動板を位置決めして構成された積層体を押圧し、かつ上記側面と異なる面に形成されたインク流路の開口部を封止して、インク流路を密閉状態としたまま加熱により振動板をインクジェットヘッド構成部材に熱圧着することで、振動板の変形を防止することができる。
また、本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、側面にインク流路の一部が開口するように形成されたインクジェットヘッド構成部材と前記インク流路の開口を覆う振動板とを準備する準備工程と、前記インクジェットヘッド構成部材のインク流路の開口を覆うように、所定の位置に前記振動板を接着剤を介して位置決めして積層体を構成し、前記積層体を押圧する押圧接着工程と、前記インク流路内を加圧する加圧工程とを具備することを特徴とする。
このインクジェットヘッドの製造方法によれば、インクジェットヘッド構成部材の側面に形成されたインク流路の開口を覆うように、所定の位置に振動板を接着剤を介して位置決めして構成された積層体を押圧し、かつインク流路内を加圧することで、振動板の変形を防止しながら振動板を接着することができる。
本発明のインクジェットヘッドは、上記したインクジェットヘッドの製造方法によって製作されたことを特徴とする。
このインクジェットヘッドによれば、振動板を変形させることなく熱圧着または接着できるので、各インク吐出孔から均一な量のインクを吐出することができる。
本発明のインクジェットヘッドの製造方法によれば、インクジェットヘッド形成の際に、振動板の変形を防止しながら振動板を熱圧着または接着することができるインクジェットヘッドの製造方法、およびその方法で製造されたインクジェットヘッドを提供することを目的とする。
以下、本発明の一実施の形態について図を参照して説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明に係る一実施の形態のインクジェットヘッドの製造方法によって製作されたインクジェットヘッド1の全体の概略構成を示す斜視図である。図2は、図1のインクジェットヘッド1の構造を分解して示す斜視図であり、図3は、図1のインクジェットヘッド1の底面の構成を示す平面図であり、図4は、図1のインクジェットヘッド1の上面の構成を示す平面図である。
図1は、本発明に係る一実施の形態のインクジェットヘッドの製造方法によって製作されたインクジェットヘッド1の全体の概略構成を示す斜視図である。図2は、図1のインクジェットヘッド1の構造を分解して示す斜視図であり、図3は、図1のインクジェットヘッド1の底面の構成を示す平面図であり、図4は、図1のインクジェットヘッド1の上面の構成を示す平面図である。
図1に示すように、インクジェットヘッド1は、金属製の積層部材2を具備している。この積層部材2は、図2に示すように、複数種(図2に示す例では大別して5種)の金属製の第1流路形成積層板21〜第5流路形成積層板25を複数枚(例えば、25〜250枚)積層して構成されている。これらの第1流路形成積層板21〜第5流路形成積層板25は、厚さが例えば0.02mm〜0.2mmの金属製(例えば、SUS304等)の板材から構成されており、これらを拡散接合等によって圧着することにより、ブロック状に形成されている。また、第1流路形成積層板21〜第5流路形成積層板25に開口されたインク流路は、例えば、エッチング加工やブラスト加工によって形成される。
また、積層部材2の底面には、図2および図3に示すように、複数のインク吐出孔3a(直径、例えば0.01mm〜0.05mmの孔)が形成されたオリフィスプレート3が拡散接合等によって接合されている。このオリフィスプレート3は、積層部材2と同一の材料(例えば、SUS304等)から構成されており、厚さが例えば0.05mm〜0.1mmとされている。また、図3に示すように、インク吐出孔3aは、1列形成され、例えば、パンチング加工やレーザ加工によって形成される。
また、積層部材2の両面には、図2に示すように、振動板(箔)4が、拡散接合等によって接合されている。この振動板4は、積層部材2と同一の材料(例えば、SUS304等)から構成されており、厚さが例えば0.01mm〜0.05mmとされている。また、振動板4は、レーザ加工やエッチング加工によって形成される。
振動板4の外側面には、接着剤(例えば、メチルシアノアクリレートやエポキシ系、アクリル系の接着剤)等によって、所定形状の導体パターンが形成されたフレキシブルプリント基板(FPC)5が貼着されており、このフレキシブルプリント基板5には、圧電素子6が熱圧着接合等により接合されている。圧電素子6は、材質がPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)等から構成されており、厚さが例えば、0.5mm〜2mmとされている。この圧電素子6には、各インク吐出孔3aにそれぞれ対応した電極が、蒸着等の方法で形成されており、これらの電極は、フレキシブルプリント基板5に形成された導体パターンと電気的に接続されている。
図2に示される、第1流路形成積層板21〜第5流路形成積層板25は、中央部に配置される第1流路形成積層板21から積層方向両側に向けて対称に配置されており、中央部から積層方向両側に向けてインク流路が形成されるようになっている。そして、これらの両側のインク流路は、一方側と他方側とが、図3に示されるインク吐出孔3aのように、同一直線上に形成されるようになっている。
上記した中央部に配置される第1流路形成積層板21には、インク供給流路201、インク溜め部202、インク吐出部207を形成するための開口部が設けられている。また、第1流路形成積層板21の外側に配置される第2流路形成積層板22には、インク供給流路201、インク溜め部202を形成するための開口部と、下側インク流路206を形成するための開口部が設けられている。
この第2流路形成積層板22の外側に配置される第3流路形成積層板23には、下側インク流路206と、上側共通インク流路203とを形成するための開口部が設けられている。また、この第3流路形成積層板23の外側に配置される第4流路形成積層板24には、下側インク流路206と、上側個別インク流路204とを形成するための開口部が設けられている。
そして、最も外側に配置される第5流路形成積層板25には、上下方向インク流路205を形成するための開口部が設けられている。
上記した構成の第1流路形成積層板21〜第5流路形成積層板25を、所定の順序で、所定枚数積層し、拡散接合することにより、積層部材2内には、インク供給流路201からインク吐出部207に至るインク流路が、積層方向中央部から両側に向けて形成される。そして、図1および図4に示すように、積層部材2の上側に、インク供給孔2aが開口した状態となる。
積層部材2へのインクの供給は、インク供給孔2aから行われる。そして、このインク供給孔2aから供給されたインクは、インク供給流路201を通って、インク溜め部202に導入され、このインク溜め部202から、上側共通インク流路203、上側個別インク流路204、上下方向インク流路205、下側インク流路206をこの順で通過して、インク吐出部207内にまで充填される。
そして、上記のように積層部材2内にインクが充填された状態で、フレキシブルプリント基板5を介して、圧電素子6に駆動信号が加わると、駆動信号が加わった部分の圧電素子6が変形することによって対応する部分の振動板4が振動し、対応する部分の上下方向インク流路205内のインクを押圧し、オリフィスプレート3の対応するインク吐出孔3aから所定量のインクが吐出されるようになっている。
次に、上記した積層部材2の両側面の上下方向インク流路205の開口部を覆うように振動板4を拡散接合して、インクジェットヘッド1を製造する方法について、図5〜8を参照して説明する。
図5には、拡散接合を行う熱圧着装置300の概要図を示している。また、図6および7には、被熱圧着体を押圧する概要を説明するための炉310内の構成図を示している。さらに、図8には、拡散接合時における図1のA−A断面の一部を模式的に示している。
この熱圧着装置300は、炉310と、この炉310の床上に設置された支え台311と、この支え台311上に設置されたあて板312aと、このあて板312a上に配置された被熱圧着体を上方から支え台311側に押圧するあて板312bを備えた圧着冶具313と、この圧着冶具313を駆動する油圧シリンダ314aと、被熱圧着体を構成する積層部材2のインク供給孔2aおよびインク吐出孔3aを封止するあて板312cを備えた封止冶具315と、この封止冶具315を駆動する油圧シリンダ314bとから主に構成されている。
炉310は、熱圧着を行う高温加熱が可能な炉であって、炉内の温度を最大1300℃程度まで上昇させることができる。また、炉310内を真空状態にして被熱圧着体を加熱することも可能であり、さらに、炉310内を、例えば、窒素などの不活性ガス雰囲気にして被熱圧着体を加熱することも可能である。
圧着冶具313は、積層部材2の上下方向インク流路205、205の開口部を覆うように振動板4、4を配設して構成された積層体として機能する被熱圧着体を、あて板312bを介して、上方から支え台311側に押圧する部材である。なお、圧着冶具313を、例えば、所定の重量を有する重りで代用することもでき、この場合には、油圧シリンダ314aは不要となる。
封止冶具315、315は、積層部材2のインク供給孔2aおよびインク吐出孔3aのそれぞれを、あて板312c、312cを介して、両側方向から積層部材2を挟持するように押圧する部材であり、対向する位置に対をなして設置されている。
油圧シリンダ314a、314bは、被熱圧着体を加圧するように圧着治具313または封止冶具315を駆動する駆動手段である。
あて板312aは、支え台311と被熱圧着体との間に介在し、支え台311が被熱圧着体と溶着するのを防止する部材である。また、あて板312b、312cは、圧着治具313または封止冶具315の被熱圧着体と接触する面に設けられ、圧着治具313または封止冶具315と被熱圧着体とが溶着するのを防止する部材である。これらのあて板312a、312b、312cは、例えば、ステンレス鋼にアルミニウムを含有させた析出硬化型ステンレス鋼などで形成される。この析出硬化型ステンレス鋼として、具体的には、日本冶金製の430A、日本高周波鋼業製のKTA17−7、KMS18−14、KMS18−17、日新製鋼製のNCA1、日本金属製のSUS631、日本金属工業製のNTK405、NTK631、NTKNY−80A等を使用することができる。なお、あて板312a、312b、312cの膨張率は、被熱圧着体の膨張率と同じ程度であることが好ましい。
また、あて板312a、312b、312cは、被熱圧着体を拡散接合する前に、炉310内で、1000℃程度に加熱されることにより、その表面にアルミニウムを析出し、析出したアルミニウムが酸化アルミニウム(アルミナ;Al2O3)の層を形成する。この層の形成によって、被熱圧着体との溶着が防止される。
なお、あて板312a上に設置される被熱圧着体の位置決めを容易に行うために、例えば、インク供給孔2aおよびインク吐出孔3aの封止の妨げとならない程度に、支え台311上に設置されたあて板312aの表面に、被熱圧着体の形状に対応させた均一な深さの溝部等を形成してもよい。また、あて板312b、312cは、圧着治具313または封止冶具315の一端面に配設されているが、この構成に限らず、例えば、あて板312b、312cを設けずに、圧着治具313および封止冶具315自体を、上記したあて板312b、312cを形成する材料で形成してもよい。
ここで、封止冶具315、315によりあて板312c、312cを介して封止される、積層部材2のインク供給孔2aを有する端面(図4に示された上面)およびインク吐出孔3aを有する端面(図3に示された底面)は、シール性能を向上させるために、鏡面仕上げされている。これらの鏡面仕上げされた端面の、例えば中心線平均粗さ(Ra)は、0.05〜0.1μmとなっている。また、封止冶具315、315に配置されたあて板312c、312cのシール面側は、上記した端面と同様に、例えば0.05〜0.1μmの中心線平均粗さ(Ra)で鏡面仕上げられている。
なお、積層部材2の振動板4を拡散接合する面、および圧着冶具313に配置されたあて板312bの押圧面も鏡面仕上げされていることが好ましい。これらの面を鏡面仕上げすることで、振動板4との拡散接合を的確に行うことができる。また、あて板312bの押圧面を鏡面仕上げすることで、振動板4におけるあて板312bとの接触面に傷がつくのを防止することができる。振動板4におけるあて板312bとの接触面の傷の発生を防止することで、振動板4とフレキシブルプリント基板5との接合部における気泡の介在を防止することができる。
次に、図6〜8を参照して、振動板4を積層部材2の側面に拡散接合する方法について具体的に説明する。
まず、積層部材2を設置する前に、あて板312a、312b、312cを炉310内において1100℃で360分程度熱し、あて板312a、312b、312cの表面に、アルミニウムを析出させ、そのアルミニウムが酸化した酸化アルミニウム層(アルミナ層)である層を形成する。
続いて、あて板312a上の所定の位置に振動板4を配置する。この振動板4上に、一方の上下方向インク流路205の開口部が振動板4に面するように積層部材2を配置する。さらに、上向きに開口している、他方の上下方向インク流路205の開口部を覆うように振動板4を配置する。このように、振動板4、積層部材2、振動板4の順に積層することで、積層体として機能する被熱圧着体を構成する。なお、この際、積層部材2は、インク供給孔2a、インク吐出孔3aがそれぞれあて板312c、312cのそれぞれに対向するように配置される。
続いて、油圧シリンダ314aによって圧着治具313を下降させ、あて板312bを介して、被熱圧着体を支え台311側に押圧する。さらに、油圧シリンダ314b、314bによって封止冶具315、315を積層部材2側に双方から移動させ、あて板312c、312cを介して、インク供給孔2a、インク吐出孔3aを封止する。なお、あて板312c、312cは、インク供給孔2a、インク吐出孔3aのそれぞれを気密に封止できる程度に封止面を押圧している。上記したように、積層部材2おける上下方向インク流路205の開口部、インク供給孔2aおよびインク吐出孔3aを封止することで、積層部材2のインク流路は、密閉された状態となる。
なお、炉310内を真空状態にして拡散接合する場合には、積層部材2のインク流路を密閉した状態としてから、真空引きが行われる。
続いて、インク流路を密閉した状態で、炉310内を加熱し、炉310内の温度を950℃に設定する。そして、その設定温度を3時間維持した後、48時間の除冷処理を行う。なお、この設定温度および加熱時間は、積層部材2および振動板4を形成する材料や厚さ、大きさなどの形状を考慮して適宜に設定可能である。
上記した処理工程を実施することで、振動板4、4が積層部材2の側面に拡散接合される。
次に、図8を参照して、上記した加熱処理中におけるインク流路内の状態を説明する。
上記したように、インク流路は、加熱処理前に密閉された状態となる。炉310内が加熱されると、積層部材2の温度が上昇し、それに伴ってインク流路内に密閉されている空気の温度も上昇する。空気の温度が上昇するとその体積が増加するため、インク流路内の圧力が上昇する。このインク流路内の圧力の上昇によって、厚さが0.01mm〜0.05mmという箔状の振動板4、4は、あて板312bの押圧面、またはあて板312aの上面に押し付けられた状態で積層部材2に拡散接合される。
また、除冷処理工程においては、密閉されたインク流路内の温度は徐々に低下するため、それに伴ってインク流路内の圧力も徐々に低下する。
冷却後、振動板4、4上には、一方の面に圧電素子6が異方性導電ファイル(ACF)を用いて熱圧着されたフレキシブルプリント基板5が、接着剤により接着されインクジェットヘッド1が形成される。なお、振動板4、4上にフレキシブルプリント基板5を接着する際、フレキシブルプリント基板5を振動板4、4側に押圧して接着される。
以上説明したように、本発明に係る第1の実施の形態では、インク流路の開口部を封止し、インク流路を密閉状態にして積層部材2に振動板4、4を拡散接合することで、振動板4、4が上下方向インク流路205側に窪んだ状態に変形したり、しわ状に変形したりすることを防止することができる。
また、除冷処理工程において、振動板4、4をあて板312bの押圧面またはあて板312aの上面に押し付ける圧力は徐々に低下しながらも、振動板4、4には、その圧力がかけられた状態が維持されるので、除冷処理工程における振動板4の変形も抑制することができる。
さらに、インク供給孔2a、インク吐出孔3aを有する積層部材2の封止面、およびこれらの封止面を封止するあて板312c、312cの封止面を鏡面仕上げすることで、あて板312c、312cを積層部材2の封止面に所定の圧力で押圧するのみで封止することができる。
また、上記したインクジェットヘッドの製造方法で製作されたインクジェットヘッド1においては、変形を有しない振動板4、4が形成されるため、フレキシブルプリント基板5の接合や、フレキシブルプリント基板5を介しての圧電素子6の接合を的確に行うことができる。これによって、圧電素子6の伸縮による変動を振動板4、4に的確に伝達し、各インク吐出孔3aから均一な量のインクを吐出することができる。
なお、上記した積層部材2に振動板4を拡散接合する説明では、積層部材2の両側面に同時に振動板4、4を拡散接合する一例を示したが、一方の側面ずつ振動板4を拡散接合してもよい。
また、積層部材として、両側面に上下方向インク流路205の開口部を有する形態のものを例にして説明したが、例えば、一側面にのみ上下方向インク流路の開口部を有する形態の積層部材にも、本発明は適用することができる。この場合にも、上記した作用効果と同様の作用効果を得ることができる。
また、上記した実施の形態では、積層部材2に振動板4を拡散接合する一例を示したが、積層部材2の代わりに、インクジェットヘッド構成部材として機能し、側面にインク流路の一部が開口するように形成された、積層構造以外の構造を有する金属部材を用い、この金属部材のインク流路の開口に振動板4を拡散接合する場合にも、本発明は適用することができる。
(第2の実施の形態)
第2の実施の形態では、振動板を拡散接合によらず、接着剤により接着してインクジェットヘッドを製作するするインクジェットヘッドの製造方法の一例を示す。
第2の実施の形態では、振動板を拡散接合によらず、接着剤により接着してインクジェットヘッドを製作するするインクジェットヘッドの製造方法の一例を示す。
ここでは、第1の実施の形態で示した積層部材2の上下方向インク流路205の開口部に接着剤により振動板を接着して、インクジェットヘッドを製造する方法の一例について説明する。なお、第1の実施の形態の構成と同一部分には同一の符号を付して重複する説明を簡略または省略する。
図9には、接着装置400の概要図を示している。また、図10は、接着時における図1のA−A断面の一部を模式的に示している。
この接着装置400は、支え台411と、この支え台411上に設置されたあて板412aと、このあて板412a上に配置された被接着体を上方から支え台411側に押圧するあて板412bを備えた圧着冶具413と、この圧着冶具413を駆動する油圧シリンダ414aと、被接着体を構成する積層部材2のインク供給孔2aまたはインク吐出孔3aを封止するあて板412cを備えた封止冶具415と、積層部材2内のインク流路内を加圧するための、あて板430aを備えた圧縮流体供給冶具430と、封止冶具415および圧縮流体供給冶具430を駆動する油圧シリンダ414b、414bとから主に構成されている。
圧着冶具413は、積層部材2の上下方向インク流路205、205の開口部を覆うように接着剤を介して振動板4a、4aを配設して構成された、積層体として機能する被接着体を、あて板412bを介して、上方から支え台411側に押圧する部材である。なお、圧着冶具413を、例えば、所定の重量を有する重りで代用することもでき、この場合には、油圧シリンダ414aは不要となる。また、圧着冶具413に設けられたあて板412bは、圧着冶具413と一体的に構成されてもよい。
封止冶具415は、積層部材2のインク供給孔2aまたはインク吐出孔3aを、あて板412cを介して、この封止冶具415と対向するように設けられた圧縮流体供給冶具430と両側方向から積層部材2を挟持するように押圧する部材である。また、封止冶具415に設けられたあて板412cは、封止冶具415と一体的に構成されてもよい。
圧縮流体供給冶具430は、積層部材2のインク流路に圧縮流体をあて板430aを介して導く部材である。また、圧縮流体供給冶具430内には、コンプレッサ440からの圧縮流体を積層部材2内のインク流路に導くための圧縮流体流路430bが形成され、圧縮流体供給冶具430に備えられたあて板430aにもそれに対応して開口部が形成されている。なお、コンプレッサ440からの圧縮流体は、フレキシブル配管441を介して圧縮流体供給冶具430に供給される。ここで、圧縮流体として、例えば圧縮空気などが挙げられる。また、圧縮流体供給冶具430に設けられたあて板430aは、圧縮流体供給冶具430と一体的に構成されてもよい。
油圧シリンダ414a、414bは、被接着体を加圧するように圧着治具413、封止冶具415、圧縮流体供給冶具430を駆動する駆動手段である。
あて板412c、430aの被接着体との接触面は、例えば0.05〜0.1μmの中心線平均粗さ(Ra)で鏡面仕上げされ、被接着体とのシール性能が向上されている。なお、あて板412a、430bの被接着体との接触面も、鏡面仕上げされていることが好ましい。
振動板4aは、例えば、ポリイミド、液晶ポリマーなどの樹脂で形成される。振動板4aを被接着体に接着する接着剤は、例えば、メチルシアノアクリレートやエポキシ系、アクリル系の接着剤などを用いることができるが、これらに限られるものではない。
次に、図9および10を参照して、振動板4を、インクジェットヘッド構成部材として機能する積層部材2の側面に接着する方法について具体的に説明する。
まず、あて板412a上の所定の位置に振動板4aを配置する。この振動板4a上に、一方の上下方向インク流路205の開口部が振動板4aに面するように積層部材2を配置する。さらに、上向きに開口している、他方の上下方向インク流路205の開口部を覆うように振動板4aを配置する。なお、振動板4a、4aを配置する際、振動板4a、4aを接着する積層部材2の接着面または振動板4aの接着面には、接着剤が塗布されている。
このように、振動板4a、積層部材2、振動板4aの順に積層することで、積層体として機能する被接着体を構成する。なお、この際、積層部材2は、インク供給孔2a、インク吐出孔3aがそれぞれあて板412c、430aのそれぞれに対向するように配置される。ここで、被接着体のインク流路内に圧縮流体を効率よく供給するために、1つの開口部によって構成されているインク供給孔2a側があて板430aに面する側に設置されていることが好ましい。
続いて、油圧シリンダ414aによって圧着治具413を下降させ、あて板412bを介して、被接着体を支え台411側に押圧する。さらに、油圧シリンダ414b、414bによって封止冶具415、圧縮流体供給冶具430を積層部材2側に双方から移動させ、あて板412c、430aを介して、インク供給孔2a、インク吐出孔3aを封止する。なお、ここでは、インク供給孔2aとあて板430aの開口部とが連通するように、被接着体にあて板430aを接触させている。
あて板412c、430aは、インク供給孔2a、インク吐出孔3aのそれぞれを気密に封止できる程度に封止面を押圧している。上記したように、積層部材2における上下方向インク流路205の開口部、インク吐出孔3aは封止された状態となる。
続いて、コンプレッサ440を作動して、圧縮流体供給冶具430を介して、被接着体のインク流路内に圧縮流体を供給し、振動板4a、4aをあて板412a、412b側へ押圧できる程度にインク流路内を加圧する。
次に、図10を参照して、上記した接着処理中におけるインク流路内の状態を説明する。
上記したように、インク流路において、あて板430aを介して圧縮流体供給冶具430が接触したインク供給孔2a以外は、密閉された状態となる。インク流路内が加圧されると、振動板4a、4aは、あて板412bの押圧面、またはあて板412aの上面に押し付けられた状態で積層部材2に接着される。
そして、振動板4a、4a上に、一方の面に圧電素子6が異方性導電ファイル(ACF)を用いて熱圧着されたフレキシブルプリント基板5を、接着剤により接着して、インクジェットヘッド1が形成される。なお、振動板4a、4a上にフレキシブルプリント基板5を接着する際、インク流路内に圧縮流体を供給してインク流路内を加圧した状態で、フレキシブルプリント基板5を振動板4a、4a側に押圧している。
以上説明したように、本発明に係る第2の実施の形態では、インク流路内を加圧した状態で、積層部材2に振動板4a、4aを接着することで、振動板4a、4aが上下方向インク流路205側に窪んだ状態に変形したり、しわ状に変形したりすることを防止することができる。
さらに、インク供給孔2a、インク吐出孔3aを有する積層部材2の封止面、およびこれらの封止面を封止するあて板412c、430aの封止面を鏡面仕上げすることで、あて板412c、430aを積層部材2の封止面に所定の圧力で押圧するのみで封止することができる。
また、上記したインクジェットヘッドの製造方法で製作されたインクジェットヘッド1においては、変形を有しない振動板4a、4aが形成されるため、フレキシブルプリント基板5の接合や、フレキシブルプリント基板5を介しての圧電素子6の接合を的確に行うことができる。これによって、圧電素子6の伸縮による変動を振動板4a、4aに的確に伝達し、各インク吐出孔3aから均一な量のインクを吐出することができる。
また、上記した実施の形態では、積層部材2に振動板4aを接着した後、圧電素子6を備えたフレキシブルプリント基板5を振動板4a上に接着しているが、この工程に限られるものではなく、例えば、次に示す(1)〜(3)の工程によって行ってもよい。
(1)予め振動板4aにフレキシブルプリント基板5を接着し、その後、フレキシブルプリント基板5上に圧電素子6を異方性導電ファイル(ACF)を用いて熱圧着して形成されたものを、前述した工程において、積層部材2に接着してもよい。
(2)振動板として、圧電素子6が熱圧着されたフレキシブルプリント基板5を用い、前述した工程において、フレキシブルプリント基板5を直接積層部材2に接着してもよい。この場合には、インク流路にフレキシブルプリント基板5が面する構成となる。
(3)前述した工程において積層部材2に振動板4aを接着した後、積層部材2の押圧を解除して、振動板4a上に、接着剤を介してフレキシブルプリント基板5を配置し、インク流路内を加圧しつつ、フレキシブルプリント基板5を振動板4a側に押圧して接着し、フレキシブルプリント基板5上に異方性導電ファイル(ACF)を用いて圧電素子6を熱圧着してもよい。なお、この熱圧着は、積層部材2、フレキシブルプリント基板5、圧電素子6からなる積層体全体を、プレス機によってプレスすることで行われる。なお、この(3)の工程は、前述した第1の実施の形態においても適用することができる。
また、第2の実施の形態では、積層部材2の両側面に同時に振動板4a、4aを接着する一例を示したが、一方の側面ずつ振動板4aを接着してもよい。また、第2の実施の形態では、樹脂で形成された振動板4aを用いた一例を示したが、第1の実施の形態で用いられた金属からなる振動板4を用いることもできる。
また、積層部材として、両側面に上下方向インク流路205の開口部を有する形態のものを例にして説明したが、例えば、一側面にのみ上下方向インク流路の開口部を有する形態の積層部材にも、本発明は適用することができる。この場合にも、上記した作用効果と同様の作用効果を得ることができる。
さらに、上記した第2の実施の形態では、積層部材2に振動板4a、4aを接着する一例を示したが、この実施の形態に限られるものではない。例えば、積層部材2の代わりに、インクジェットヘッド構成部材として機能し、側面にインク流路の一部が開口するように形成された、積層構造以外の構造を有する金属部材、樹脂部材、セラミックス部材などを用い、これらの部材のインク流路の開口に振動板4aを接着する場合にも、本発明は適用することができる。この場合にも、上記した作用効果と同様の作用効果を得ることができる。
また、インク流路内を加圧する方法は、上記した方法に限られるものではなく、接着の際、振動板4a、4aをあて板412a、412b側へ押圧するようにインク流路内を加圧できる方法ならばよい。
1…インクジェットヘッド、2…積層部材、4…振動板、205…上下方向インク流路、207…インク吐出部、300…熱圧着装置、310…炉、311…支え台、312a,312b,312c…あて板、313…圧着冶具、314a,314b…油圧シリンダ、315…封止冶具。
Claims (13)
- 側面にインク流路の一部が開口するように形成されたインクジェットヘッド構成部材と前記インク流路の開口を覆う振動板とを準備する準備工程と、
前記インクジェットヘッド構成部材のインク流路の開口を覆うように所定の位置に前記振動板を位置決めして積層体を構成し、前記積層体を押圧する押圧工程と、
前記インクジェットヘッド構成部材の前記側面と異なる面に形成された前記インク流路の開口部を封止する封止工程と、
前記積層体を押圧し、かつ前記インク流路の開口部を封止して、前記インク流路を密閉状態としたまま加熱により前記振動板を前記積層部材に熱圧着する熱圧着工程と
を具備することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記インクジェットヘッド構成部材が、複数枚の金属平板を加圧加熱することで一体化された積層部材であることを特徴とする請求項1記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記インク流路の開口部の封止は、前記開口部に封止部材を当接し、この封止部材を前記インクジェットヘッド構成部材側に加圧することにより行われることを特徴とする請求項1または2記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記インク流路の開口部を有する封止面およびこの封止面に当接する前記封止部材の当接面が鏡面処理されていることを特徴とする請求項3記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記インクジェットヘッド構成部材および前記振動板は、ステンレス鋼からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記熱圧着工程は、真空下で行われることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記熱圧着工程は、不活性ガス雰囲気下で行われることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 側面にインク流路の一部が開口するように形成されたインクジェットヘッド構成部材と前記インク流路の開口を覆う振動板とを準備する準備工程と、
前記インクジェットヘッド構成部材のインク流路の開口を覆うように、所定の位置に前記振動板を接着剤を介して位置決めして積層体を構成し、前記積層体を押圧する押圧接着工程と、
前記インク流路内を加圧する加圧工程と
を具備することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記振動板のインクジェットヘッド構成部材との接合面と異なる面には、圧電素子が圧着された回路基板が接着されていることを特徴とする請求項8記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記振動板が、圧電素子が圧着された回路基板であることを特徴とする請求項8記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記振動板が前記インクジェットヘッド構成部材に固着された後、前記積層体の押圧を解除して、前記振動板上に、接着剤を介して圧電素子が圧着された回路基板を配置し、前記インク流路内を加圧しつつ、前記回路基板を振動板側に押圧する第2の押圧接着工程を具備することを特徴とする請求項8記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記振動板が前記インクジェットヘッド構成部材に固着された後、前記積層体の押圧を解除して、前記振動板上に、接着剤を介して回路基板を配置し、前記インク流路内を加圧しつつ、前記回路基板を振動板側に押圧する第2の押圧接着工程と、
前記インク流路内を加圧しつつ、前記回路基板上に圧電素子を熱圧着する熱圧着工程と
を具備することを特徴とする請求項8記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 請求項1乃至請求項12のいずれか1項記載の製造方法によって製作されたことを特徴とするインクジェットヘッド。
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