JP2006228898A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】信頼性を向上できる半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置の製造方法は、強誘電体キャパシタCを形成する工程と、前記強誘電体キャパシタ上に絶縁膜35−2を形成する工程と、前記絶縁膜上に第1バリアメタル51を形成する工程と、前記第1バリアメタルおよび絶縁膜を貫通し、前記強誘電体キャパシタ上に達するコンタクトホール53−1を形成する工程と、前記第1バリアメタル上、コンタクトホール側壁上、および前記露出された強誘電体キャパシタ上に第2バリアメタル54を形成する工程と、前記第2バリアメタル上にタングステン43を形成し、前記コンタクトホール内にタングステン43を埋め込み形成する工程とを具備する。
【選択図】 図5
【解決手段】半導体装置の製造方法は、強誘電体キャパシタCを形成する工程と、前記強誘電体キャパシタ上に絶縁膜35−2を形成する工程と、前記絶縁膜上に第1バリアメタル51を形成する工程と、前記第1バリアメタルおよび絶縁膜を貫通し、前記強誘電体キャパシタ上に達するコンタクトホール53−1を形成する工程と、前記第1バリアメタル上、コンタクトホール側壁上、および前記露出された強誘電体キャパシタ上に第2バリアメタル54を形成する工程と、前記第2バリアメタル上にタングステン43を形成し、前記コンタクトホール内にタングステン43を埋め込み形成する工程とを具備する。
【選択図】 図5
Description
この発明は、半導体装置およびその製造方法に関し、例えば、強誘電体メモリ(FeRAM;Ferroelectric Random Access Memory)に適用されるものである。
図10乃至図13を用いて、従来の半導体装置およびその製造方法を説明する。図10は、従来の半導体装置を模式的に示す断面構造図である。ここでは、従来の半導体装置として強誘電体メモリ(FeRAM)を用いて説明する。上記FeRAMのメモリセルは、シリコン基板11上に形成されたセルトランジスタTrおよび強誘電体キャパシタCにより構成されている。セルトランジスタTrは、ソース/ドレインとして働く不純物拡散層12とゲート電極14等により構成されている。強誘電体キャパシタCは、シリコン基板11上の絶縁膜15−1中に形成された下部電極16、強誘電体膜17、および上部電極18により形成されている。
上記絶縁膜15−1上には、絶縁膜15−2及び絶縁膜20が形成されている。上記絶縁膜20中には、ビット線BLおよびプレート線PLが形成されている。プレート線PLと上部電極18とは、コンタクト25により電気的に接続されている。ビット線BLと不純物拡散領域12は、コンタクト26、19を介して電気的に接続されている。コンタクト25、26は、コンタクトホール内壁に沿って形成されたバリアメタル22と、バリアメタル22上に形成されコンタクトホール内に埋め込み形成されたタングステン23により形成されている。
次に、図10に示した半導体装置を例に挙げ、従来の半導体装置の製造方法について図11乃至図13を用いて説明する。
まず、図11に示すように、シリコン基板11上に、セルトランジスタTrおよび強誘電体キャパシタCを形成する。この強誘電体メモリの典型的な製造工程に関しては、例えば、特許文献1に記載されている。絶縁膜15−1中に強誘電体キャパシタCを形成した後、絶縁膜15−1と上部電極18との高さがほぼ同一となるように、CMP(Chemical Mechanical Polishing)法により平坦化する。さらに、全面上にCVD(Chemical Vapor Deposition)法によりシリコン酸化膜を堆積させて絶縁膜15−2を形成し、CMP法により平坦化する。さらに、フォトリソグラフィー法とRIE(Reactive Ion Etching)法を用いて、コンタクトホール21−1、21−2を形成する。さらに、CVD法により、絶縁膜15−2上、コンタクトホール21−1、21−2の側壁部及び底部の全面上にバリアメタルとなるTiN22を堆積する。
続いて、図12に示すように、TiN22上にタングステン(W)23をCVD法により堆積する。
続いて、図13に示すように、上記絶縁膜15−2上のタングステン(W)23とTiN22とをCMP法などで除去し、上記コンタクトホール21−1、21−2内に残存させて埋め込み、コンタクト25、26を形成する。その後、上記コンタクト25、26上に対応する位置にプレート線PLおよびビット線BLを形成し、絶縁膜20で埋め込む。
ところで、上記タングステン23を堆積する工程は、水素雰囲気中で行われるため大量の水素(H2)により、いわゆる水素アタックが発生する。このため、水素アタックの遮断(H−Block)が不十分であると強誘電体キャパシタCの特性劣化を起こす。
上記水素アタックとは、強誘電体膜17として用いられることの多いPZT(PbZrxTi1−xO3)系、SBT(SrBi2Ta2O9)系等の金属酸化物中の酸素を水素の還元性により欠損させることをいう。そのため、強誘電体膜17の分極反転電荷量が減少し、強誘電体キャパシタCの特性が劣化する。
ここで、バリアメタル膜として用いられるTiN22には、水素の遮断効果があるので、上記水素アタックから、強誘電体キャパシタCの特性劣化を保護する役割が期待できるとも考えられる。
しかし、TiN22の一層のみであるとTiN22の膜厚が薄いため、十分な水素アタックの遮断効果は期待できない。TiN22の膜厚を厚く形成すると水素アタックの遮断効果が高まると考えられるが、厚く形成することはコンタクトホール21−1、21−2との関係から限界がある。つまり、TiN23の膜厚を厚く形成しようとすると、コンタクトホール21−1、21−2の上部にひさしが形成される。そのため、コンタクトホール21−1、21−2内部にタングステン23で埋まらない空洞が生じ、コンタクトホール21−1、21−2の埋め込み不全が発生する。このような埋め込み不全によって、コンタクト抵抗が上昇する。
上記キャパシタCの特性の劣化およびコンタクト抵抗の上昇は、歩留まりの低下を招くだけでなく、信頼性を低下させる大きな原因となる。
特開2003−152165 明細書
上記のように従来の半導体装置およびその製造方法では、キャパシタの特性の劣化やコンタクト抵抗の上昇により信頼性が低下するという事情があった。
この発明は上記のような事情に鑑みて、信頼性を向上できる半導体装置およびその製造方法を提供する。
この発明の一態様によれば、強誘電体キャパシタを形成する工程と、前記強誘電体キャパシタ上に絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜上に第1バリアメタルを形成する工程と、前記第1バリアメタルおよび絶縁膜を貫通し、前記強誘電体キャパシタ上に達するコンタクトホールを形成する工程と、前記第1バリアメタル上、コンタクトホール側壁上、および前記露出された強誘電体キャパシタ上に第2バリアメタルを形成する工程と、前記第2バリアメタル上にタングステンを形成し、前記コンタクトホール内にタングステンを埋め込み形成する工程とを具備する半導体装置の製造方法を提供できる。
上記のような方法によれば、上記タングステンを形成する工程の際に発生する水素の拡散経路のうち表面側から拡散する経路に対して、上記第1バリアメタルだけでなく、第2バリアメタルにおいても遮断することができる。そのため、第1、第2バリアメタルによって十分な膜厚を確保し、水素アタックから上記強誘電体キャパシタの特性の劣化を防止することができる。さらに、まず第1バリアメタルを形成し、その後にコンタクトホールを形成する。その後、第1バリアメタル上、コンタクトホール側壁上、および露出された強誘電体キャパシタ上に沿って第2バリアメタルを形成する。そのため、表面側の膜厚は第1、第2バリアメタルにより十分に確保できる。かつコンタクトホールの埋め込み不全が起こらない程度の第2バリアメタルの膜厚を容易に、第1バリアメタルとは独立に選択することができる。そのため、コンタクトホールの埋め込み不全が生じず、コンタクト抵抗が上昇することがない。その結果、信頼性が向上できる半導体装置の製造方法が提供できる。
また、この発明の一態様によれば、半導体基板の主表面上に設けられたセルアレイ部と周辺回路部とを備え、前記セルアレイ部は、前記半導体基板の主表面上に設けられた強誘電体キャパシタと、前記強誘電体キャパシタ上の第1絶縁膜中に設けられ、タングステン以外の導体で形成されたセルアレイ部コンタクトとを有し、前記周辺回路部は、前記半導体基板の主表面上の前記第2絶縁膜中に設けられ、タングステンを含んで形成された周辺回路部コンタクトを有する半導体装置を提供できる。
上記のような構成によれば、セルアレイ部コンタクトは、タングステン以外の導体を備えている。そのため、タングステンに起因する強誘電体キャパシタの劣化を防止することができる。一方、上記周辺回路部コンタクトは、タングステンを備えている。しかし、上記セルアレイ部コンタクトと周辺回路部コンタクトとの距離は十分に遠いため、周辺回路部コンタクトのタングステンが強誘電体キャパシタの特性を劣化させることを防止できる。その結果、信頼性が向上できる半導体装置が提供できる。
この発明によれば、信頼性を向上できる半導体装置およびその製造方法が得られる。
以下、この発明の実施形態について図面を参照して説明する。尚、この説明においては、全図にわたり共通の部分には共通の参照符号を付す。
[第1の実施形態]
まず、この発明の第1の実施形態に係る半導体装置およびその製造方法について、図1乃至図6を用いて説明する。
まず、この発明の第1の実施形態に係る半導体装置およびその製造方法について、図1乃至図6を用いて説明する。
図1は、第1の実施形態に係る半導体装置の例として、セルトランジスタTrおよび強誘電体キャパシタCからなるメモリセルを備えているFeRAMのメモリセルを抽出して示している。図2は、図1に示すFeRAMのメモリセルの等価回路図を示している。
図1に示すように、セルトランジスタTrは、半導体基板31の主表面上のゲート絶縁膜32上に設けられたゲート電極33と、ゲート電極33を挟むように基板31中に隔離して設けられ、ソース/ドレインとして働く不純物拡散領域34とを備えている。強誘電体キャパシタCは、絶縁膜35−1中に設けられ不純物拡散領域34の一方とコンタクト39を介して電気的に接続された下部電極36と、下部電極36上に設けられた強誘電体膜37と、強誘電体膜37上に設けられた上部電極38とを備えている。上記強誘電体膜37は、例えば、PZT系、SBT系等のいわゆる金属酸化物により形成されている。
上部電極38上に、上部電極38とプレート線PLとを電気的に接続するコンタクト40が設けられている。コンタクト40は、コンタクトホールの側壁に設けられたサイドウォール41と、サイドウォール41上および上部電極38上に沿って設けられたバリアメタル42と、バリアメタル42上に設けられコンタクトホール内に埋め込まれたタングステン43とを備えている。上記サイドウォール41は、例えば、薄膜のAl2O3(アルミナ)等により形成されている。バリアメタル42は、例えば、TiN(窒化チタン)、Ti(チタン)等により形成されている。上記絶縁膜35−1、35−2は、例えば、シリコン酸化膜等により形成されている。
絶縁膜35−1、35−2中に他方の不純物拡散領域34とビット線BLとを電気的に接続するコンタクト45が設けられている。コンタクト45の構造は、上記コンタクト40と同様である。
図1および図2に示すように、絶縁膜47中にビット線BLおよびプレート線PLが設けられ、ビット線BLはコンタクト45、39を介して一方の不純物拡散層34に接続され、プレート線PLはコンタクト40を介して上部電極38に接続されている。また、ワード線WLは、ビット線BLおよびプレート線PLに沿った方向に設けられ、ゲート電極33と一体化されている。
次に、図3乃至図6を用いて第1の実施形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。
まず、図3に示すように、周知の工程により半導体基板31の主表面上に、セルトランジスタTr、強誘電体キャパシタC、絶縁膜35−1、およびコンタクト39を形成する。さらに、絶縁膜35−1上および上部電極37上に、周知の工程を用いて、シリコン酸化膜等により絶縁膜35−2を形成する。この後、絶縁膜35−2上に、例えば、CVD法を用いてTiN51(第1バリアメタル)を堆積する。この工程の際におけるTiN51の膜厚は、例えば、50nm程度である。
続いて、図4に示すように、例えば、フォトリソグラフィー法およびRIE法による異方性エッチングより、TiN51および絶縁膜35−2を貫通し、上部電極38上に達するコンタクトホール53−1を形成する。同様の工程により、TiN51および絶縁膜35−2を貫通し、絶縁膜35−1中のコンタクト39上に達するコンタクトホール53−2を形成する。この工程の際における、コンタクトホール53−1、53−2の直径は、例えば、180nm程度である。上記コンタクトホール53−1を形成する異方性エッチング工程の際には、始めにTiN51をエッチングし、次にSiO2等からなる絶縁膜35−1エッチングするように2段階に分けて行ことも可能である。さらに、全面上に、例えば、CVD法によりアルミナ等を堆積し、全面のRIE法等の異方性エッチングを行うことにより、コンタクト53−1、53−2の底部を露出し、コンタクト53−1、53−2の側壁に接するサイドウォール41を形成する。
さらに、TiN51上、サイドウォール41上、および露出されたコンタクトホール53−1、53−2の底部上に沿って、例えば、CVD法によりTiN54(第2バリアメタル)を形成する。この工程の際におけるTiN54の膜厚は、例えば、20nm程度である。
続いて、図5に示すように、TiN54上およびコンタクトホール53−1、53−2内に、例えば、CVD法によりタングステン(W)43を堆積形成する。
続いて、図6に示すように、例えば、CMP法により絶縁膜35−2の表面上まで平坦化することにより、TiN54およびTiN51を順次除去する。この平坦化工程により、コンタクトホール53−1、53−2内にタングステン43を埋め込み形成し、バリアメタル42を形成する。この後、周知の工程により、絶縁膜47、ビット線BL、およびプレート線PLを形成することにより、図1に示す半導体装置を製造できる。
上記のような製造方法によれば、チップ表面側を覆っているTiN51、54の膜厚を十分に厚く形成できる。そのため、いくつかある水素の拡散経路のうち、チップ表面側から強誘電体キャパシタCに向かって拡散して行く経路がTiN51、54によって十分に遮断でき、強誘電体キャパシタCの劣化を防止できる。また、TiN51の膜厚は、例えば温度等の製膜条件を選択することにより、TiN54とは独立にかつ容易に形成することができる。そのため、表面側からの水素アタックを遮断するのに十分なTiN51の膜厚を容易に形成することができる。
しかも、コンタクトホール53−1、53−2内壁に沿って、TiN54およびサイドウォール41が形成されるため、コンタクトホール内側からの水素の拡散を遮断できる。また、TiN54の膜厚は、例えば温度等の製膜条件を選択することにより、TiN54およびサイドウォール41とは独立にかつ容易に形成することができる。そのため、コンタクトホール53−1、53−2内側からの水素アタックを遮断するのに必要な膜厚を確保しつつ、コンタクトホール53−1、53−2の上部にひさしが生じることがないように膜厚を形成することができる。そのため、コンタクトホール53−1、53−2内からの水素アタックに対する遮断効果を保持しつつ、コンタクトホール内に埋め込まれるタングステン54の埋め込み不全を生じることがなくコンタクト抵抗の上昇を防止することができる。
以上のように、水素アタックに対して十分な遮断効果を備え、かつコンタクト抵抗の低減を満足することができる。その結果、信頼性を向上する半導体装置の製造方法を提供できる。
さらに、図6に示すように、上記TiN51およびTiN54は、平坦化工程により除去される。そのため、その後の半導体装置を製造する工程は、従来の工程を用いることができ、従来のCMOS LSIの製造工程との親和性を保つことができる。
また、図4に示すように、まずTiN51を形成し、その後少なくともTiN51および絶縁膜35−2を貫通するコンタクトホール53−1、53−2を形成するため、コンタクトホール53−1、53−2を形成するための異方性エッチングは、まずTiN51から開始する。そのため、コンタクトホール53−1、53−2が形成される絶縁膜35−2は、ほぼ垂直な断面形状となり、図10乃至図13で示す絶縁膜15−2のような、欠落して角が落ちた断面形状とはならない。
[第2の実施形態]
次に、この発明の第2の実施形態に係る半導体装置およびその製造方法について、図7乃至図9を用いて説明する。以下の説明において、上記第1の実施形態と重複する部分の説明は省略する。
次に、この発明の第2の実施形態に係る半導体装置およびその製造方法について、図7乃至図9を用いて説明する。以下の説明において、上記第1の実施形態と重複する部分の説明は省略する。
図7は、第2の実施形態に係る半導体装置として、セルアレイ部と周辺回路部とを有する半導体チップを模式的に示す平面図である。図8は、図7中のA−A´線に沿って矢印の方向に見た半導体装置を模式的に示す断面構造図である。
図7および図8に示すように、半導体基板31の主表面上にセルアレイ部および周辺回路部を備えている。セルアレイ部は、セルトランジスタTrと強誘電体キャパシタCとを備えている。周辺回路部は、トランジスタTrを備えている。
セルアレイ部における絶縁膜35−2(第1絶縁膜)中には、セルアレイ部コンタクト60−1が設けられている。絶縁膜35−1および絶縁膜35−2中には、セルアレイ部コンタクト60−2が設けられている。セルアレイ部コンタクト60−1、60−2は、コンタクトホール内壁に沿って設けられたバリアメタル61と、バリアメタル61上に設けられコンタクトホール内に埋め込まれた配線層62とを備えている。上記配線層62は、例えば、Al(アルミニウム)等のタングステン以外の導体により形成されている。
周辺回路部における絶縁膜65(第2絶縁膜)中には、周辺回路部コンタクト66が設けられている。周辺回路部コンタクト66は、コンタクトホール上に沿って設けられたTiN42と、TiN42上に設けられコンタクトホールに埋め込まれたタングステン43とを備えている。
また、セルアレイ部における絶縁膜47中に、ビット線BL、プレート線PLが設けられている。周辺回路部における絶縁層47中に、配線70が設けられている。
上記のような構成によれば、上記第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、セルアレイ部コンタクト60−1、60−2内に埋め込まれている配線層62は、すべてアルミニウム等のタングステン以外の導体により形成されている。一方、周辺回路部コンタクト66内には、タングステン43よって埋め込み形成されている。
この場合には、タングステン43で埋め込む周辺回路部コンタクト66から、強誘電体キャパシタCまでの距離が十分に遠い。そのため、タングステン43に起因する強誘電体キャパシタCの特性の劣化の影響は、無視するほど十分に小さくできる。その結果、強誘電体キャパシタCの特性の劣化を防止し、信頼性を向上する半導体装置を提供できる。
次に、第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法について、図8で示した半導体装置を例に挙げて説明する。
まず、図9に示すように、上記第1の実施形態と同様の工程を用いて、セルアレイ部にセルトランジスタTrおよび強誘電体キャパシタCを形成し、周辺回路部にトランジスタTrを形成する。
続いて、全面上にフォトレジストを塗布し、このフォトレジストに露光および現像を行って、セルアレイ部のフォトレジストのみにセルアレイ部コンタクト60−1、60−2を形成するためのパターンを形成する(図示せず)。上記パターニングされたフォトレジストをマスクとして、例えば、RIE法等の異方性エッチングを行うことにより、絶縁膜35−2、35−1中にコンタクトホールを形成する。その後、周知の工程により、上記コンタクトホール内にバリアメタル61を形成し、アルミニウム等のタングステン以外の導体により配線層62を形成する。以上の工程により、絶縁膜35−2(第1絶縁膜)中にセルアレイ部コンタクト60−1を形成し、絶縁膜35−1、35−2中に、セルアレイ部コンタクト60−2を形成する。
続いて、セルアレイ部および周辺回路部の全面上に、例えば、CVD法を用いてTiN51(第1バリアメタル)を堆積する。さらに、TiN51上にフォトレジストを塗布し、このフォトレジストに露光および現像を行って、周辺回路部のフォトレジストのみに周辺回路部コンタクト66を形成するためのパターンを形成する(図示せず)。上記パターニングされたフォトレジストをマスクとして、例えば、RIE法等の異方性エッチングを行うことにより、絶縁膜65(第2絶縁膜)中に、TiN51を貫通しコンタクト39の上面に達する深さのコンタクトホール71を形成する。
続いて、上記と同様の工程により、TiN51上、およびコンタクトホール71内壁に沿ってTiN54を形成する。さらに、同様の工程により、TiN54上およびコンタクトホール内部にタングステン43を埋め込み形成する。その後全面上を、例えば、CMP法等により絶縁膜65および絶縁膜35−1の表面上まで平坦化し、タングステン43をコンタクトホール内に埋め込み、TiN54およびTiN51を除去する。以上の工程により、絶縁膜65(第2絶縁膜)中に周辺回路部コンタクト65を形成する。以下、周知の工程により、図8で示す半導体装置を製造できる。
上述したように、まずセルアレイ部コンタクト60−1、60−2における配線層62を、例えば、アルミニウム等のタングステン以外の導体により形成する。その後、第1の実施形態と同様の工程により、タングステン43が埋め込まれる周辺回路部コンタクト66を形成する。
上記タングステン43を形成する工程の際には、セルアレイ部の表面側には、十分な水素アタックに対する遮断効果を備えたTiN51およびTiN54が形成されている。そのため、セルアレイ部の表面側における水素アタックを十分に遮断できる。また、このタングステン43を形成する工程の際には、セルアレイ部コンタクト60−1、60−2はタングステン以外の導体によりすでに埋め込み形成されている。そのため、セルアレイ部コンタクト60−1、60−2内側からの水素アタックを考慮する必要はない。また、タングステン43で埋め込む周辺回路部コンタクト66から、強誘電体キャパシタCまでの距離は十分に遠い。そのため、タングステン43に起因する強誘電体キャパシタCの特性の劣化の影響は、無視するほど十分に小さくできる。その結果、強誘電体キャパシタCの特性の劣化を防止し、信頼性を向上できる。
尚、上記第1および第2の実施形態において、TiN51およびTiN54を用いて説明したが、Ti等の水素アタックを遮断する効果を有する導体であれば、TiNに限らずこの発明を適用できることは勿論である。
以上、第1および第2の実施形態を用いてこの発明の説明を行ったが、この発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。また、上記各実施形態には種々の発明が含まれており、開示される複数の構成要件の適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出され得る。例えば、各実施形態に示される全構成要件からいくつかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題の少なくとも1つが解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果の少なくとも1つが得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
31…半導体基板、Tr…セルトランジスタ、C…強誘電体キャパシタ、32…ゲート絶縁膜、33…ゲート電極、34…不純物拡散領域、39、40、45…コンタクト、36…下部電極、37…強誘電体膜、38…上部電極、41…サイドウォール、42…バリアメタル、43…タングステン、35−1、35−2、47…絶縁膜、PL…プレート線、BL…ビット線。
Claims (5)
- 強誘電体キャパシタを形成する工程と、
前記強誘電体キャパシタ上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上に第1バリアメタルを形成する工程と、
前記第1バリアメタルおよび絶縁膜を貫通し、前記強誘電体キャパシタ上に達するコンタクトホールを形成する工程と、
前記第1バリアメタル上、コンタクトホール側壁上、および前記露出された強誘電体キャパシタ上に第2バリアメタルを形成する工程と、
前記コンタクトホール内にタングステンを埋め込み形成する工程とを具備すること
を特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体基板の主表面上に設けられたセルアレイ部と周辺回路部とを備え、
前記セルアレイ部は、前記半導体基板の主表面上に設けられた強誘電体キャパシタと、
前記強誘電体キャパシタ上の第1絶縁膜中に設けられ、タングステン以外の導体で形成されたセルアレイ部コンタクトとを有し、
前記周辺回路部は、前記半導体基板の主表面上の第2絶縁膜中に設けられ、タングステンを含んで形成された周辺回路部コンタクトを有すること
を特徴とする半導体装置。 - 半導体基板の主表面上に設けられたセルアレイ部と周辺回路部とを備えた半導体装置の製造方法であって、
前記セルアレイ部に強誘電体キャパシタを形成する工程と、
前記強誘電体キャパシタ上に第1絶縁膜を形成する工程と、
前記強誘電体キャパシタ上における前記第1絶縁膜中に、タングステン以外の導体によりセルアレイ部コンタクトを形成する工程と、
前記第1絶縁膜上、前記セルアレイ部コンタクト上、および前記周辺回路部における第2絶縁膜上に、第1バリアメタルを形成する工程と、
前記第1バリアメタルを貫通し、前記第2絶縁膜中にコンタクトホールを形成する工程と、
前記第1バリアメタル上および前記コンタクトホールの内壁に沿って、第2バリアメタルを形成する工程と、
前記コンタクトホール内にタングステンを埋め込み形成する工程とを具備すること
を特徴する半導体装置の製造方法。 - 前記第1バリアメタルおよび第2バリアメタルは、TiNまたはTiにより形成すること
を特徴とする請求項1または3に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1バリアメタルの膜厚は、前記第2バリアメタルの膜厚よりも厚くなるように形成すること
を特徴とする請求項1、請求項3または4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
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JP2005039473A JP2006228898A (ja) | 2005-02-16 | 2005-02-16 | 半導体装置およびその製造方法 |
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JP2005039473A JP2006228898A (ja) | 2005-02-16 | 2005-02-16 | 半導体装置およびその製造方法 |
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2005
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