JP2006224568A5 - - Google Patents
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- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 2
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Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005043529A JP4415385B2 (ja) | 2005-02-21 | 2005-02-21 | 液体噴射ヘッドおよびその製造方法 |
| US11/357,187 US7494206B2 (en) | 2005-02-21 | 2006-02-21 | Liquid ejection head and method of producing same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005043529A JP4415385B2 (ja) | 2005-02-21 | 2005-02-21 | 液体噴射ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006224568A JP2006224568A (ja) | 2006-08-31 |
| JP2006224568A5 true JP2006224568A5 (enExample) | 2007-03-01 |
| JP4415385B2 JP4415385B2 (ja) | 2010-02-17 |
Family
ID=36969719
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005043529A Expired - Fee Related JP4415385B2 (ja) | 2005-02-21 | 2005-02-21 | 液体噴射ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7494206B2 (enExample) |
| JP (1) | JP4415385B2 (enExample) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4968428B2 (ja) * | 2005-10-05 | 2012-07-04 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドの製造方法 |
| JP6333055B2 (ja) * | 2014-05-13 | 2018-05-30 | キヤノン株式会社 | 基板加工方法および液体吐出ヘッド用基板の製造方法 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5455615A (en) * | 1992-06-04 | 1995-10-03 | Tektronix, Inc. | Multiple-orifice drop-on-demand ink jet print head having improved purging and jetting performance |
| US5757400A (en) * | 1996-02-01 | 1998-05-26 | Spectra, Inc. | High resolution matrix ink jet arrangement |
| JP3436299B2 (ja) | 1998-08-21 | 2003-08-11 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット式記録ヘッド |
| JP4570178B2 (ja) * | 1998-11-26 | 2010-10-27 | 富士フイルム株式会社 | インクジェットヘッドとその製造方法、印刷装置 |
| JP2001113701A (ja) * | 1999-08-06 | 2001-04-24 | Ricoh Co Ltd | 静電型インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
| JP4075317B2 (ja) * | 2001-04-11 | 2008-04-16 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 |
| JP4159317B2 (ja) | 2002-07-23 | 2008-10-01 | 株式会社リコー | 液滴吐出ヘッドの製造方法、マイクロデバイス、インクジェットヘッド、インクカートリッジ並びにインクジェット記録装置、画像形成装置、液滴を吐出する装置 |
| JP3772805B2 (ja) * | 2002-03-04 | 2006-05-10 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド、及び、それを備えた液体噴射装置 |
| JP2004216747A (ja) | 2003-01-16 | 2004-08-05 | Hitachi Ltd | インクジェットヘッドおよびその製造方法並びにインクジェット式記録装置 |
| JP4069832B2 (ja) * | 2003-08-14 | 2008-04-02 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド |
-
2005
- 2005-02-21 JP JP2005043529A patent/JP4415385B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-02-21 US US11/357,187 patent/US7494206B2/en active Active
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