JP2006222189A - 部品内蔵基板用コンデンサの形成方法 - Google Patents
部品内蔵基板用コンデンサの形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006222189A JP2006222189A JP2005032676A JP2005032676A JP2006222189A JP 2006222189 A JP2006222189 A JP 2006222189A JP 2005032676 A JP2005032676 A JP 2005032676A JP 2005032676 A JP2005032676 A JP 2005032676A JP 2006222189 A JP2006222189 A JP 2006222189A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- forming
- capacitor
- dielectric layer
- dielectric
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
【解決手段】 絶縁基板に設けた下電極上に、誘電体フィラーと絶縁樹脂が混合されているペースト状あるいはフィルム状の誘電体から構成された誘電体層設け、予めレーザーにより処理した後、上電極を形成することで、従来のコンデンサよりもコンデンサの容量値をアップしたコンデンサを形成することができる。
【選択図】図1
Description
本発明の目的は、前記誘電体層として、誘電体フィラーと樹脂からなる絶縁樹脂を使用した構成であっても、高容量のコンデンサを得ることが可能な形成方法を提供することである。
(1)配線基板の形成工程で、絶縁基板上に形成した銅配線層をフォトリソグラフィ工程とエッチングによって形成する工程で、下電極を形成する工程、
(2)前記下電極上に、誘電体フィラーと絶縁樹脂が混合されているペースト状あるいはフィルム状の誘電体からなる誘電体層を形成する工程、
(3)レーザー加工によって、前記誘電体層をスキャンする工程、
(4)前記誘電体層上にコンデンサの上電極を形成する工程、
以上の工程を有することを特徴とするコンデンサの形成方法である。
また、前記誘電体層の上部に導電性高分子層を設け、さらに、上電極を設け構成としたコンデンサの形成方法である。
ここで、使用するレーザーは、YAGレーザー、UV-YAGレーザー、炭酸ガスレーザー、エキシマレーザーのいずれかを用いることができるが、誘電体フィラーを損失しないように紫外線を用いたUV-YAGレーザーあるいはエキシマレーザーが好ましい。
前記誘電体層に用いる誘電体フィラーは、チタン酸バリウム、酸化チタン、チタン酸ストロンチウム、PZTのいずれかを含む材料からなる。また、前記材料以外でも、誘電率の高い材料であれば使用応用が可能である。
部品内蔵用のコンデンサは、図1の工程によって形成されている。
まず、図1(a)に示すように、配線基板の配線を作る工程と同時に、絶縁基板1にコンデンサの下電極10を形成し、次に、図1(b)に示すように、前記下電極10上に、誘電体ペーストをスクリーン印刷等によりコーティングし、誘電体層20を形成する。
そして、図1(c)に示すように、誘電体層20表面を、レーザービームを照射することにより処理を行う。
そして、図1(d)に示すように、レーザービームを照射することにより処理された誘電体層20上に、電極配線層15と接続するように、導電性ペーストにより上電極30を形成する。
前記レーザー処理するレーザービームのエネルギーは、誘電体層に含まれる樹脂を加工でき、誘電体フィラーを加工しない出力に設定する。
そして、使用するレーザーは、YAGレーザー、UV-YAGレーザー、炭酸ガスレーザー、エキシマレーザーのいずれかを用いることができるが、誘電体フィラーを損失しないように紫外線を用いたUV-YAGレーザーあるいはエキシマレーザーが好ましい。
前記誘電体層表面が、レーザー加工によって凹凸の発生した状態となっているが、前記誘電体表面に、導電性高分子層を設け、上電極を設けたので、コンデンサの電極面積を広くすることができ、より容量の高いコンデンサを形成することができる。
次に、配線層と下電極を形成するため、前記ドライフィルム上に、配線パターンのマスクを載せて、UV露光機で、60mJ/cm2の条件で露光した。そして、露光後、1%炭酸ソーダ溶液でドライフィルムの現像を行い、塩化第二鉄液を用い、露出した銅箔をエッチングし、配線パターンとコンデンサの下電極を形成した。
エッチング後、ドライフィルムは、5%の苛性ソーダ溶液で剥離可能である。下電極を形成後、基板を120℃のオーブンで1時間乾燥し、基板が、室温に戻った段階で、誘電体フィラーとしてチタン酸バリウムを80%含んだエポキシ系絶縁樹脂からなる誘電体ペーストをスクリーン印刷により、前記下電極上に誘電体層を形成した。
印刷後、80℃のオーブンで乾燥し、160℃のオーブンで1時間ベーキングし、完全硬化させた。硬化し、基板が室温に戻った後、エキシマレーザー加工機を用いて、前記誘電体層にレーザー照射を行った。
エキシマレーザーの照射は、スキャニングしながら表面全体に照射する。そして、出力は、トリミングされない低いエネルギーとする。
このレーザー照射により、樹脂部分が除去され、誘電体フィラーが露出した状態となる。前記誘電体層表面に、銅ペーストをスクリーン印刷により、配線パターンと接続するように印刷後、150℃、30分加熱硬化し、上電極を形成することでコンデンサが形成できた。
形成されたコンデンサは、誘電体層の表面に、上電極が入り込んだ状態となり、容量の大きいコンデンサが得られた。
上電極を形成する前に、導電性高分子を塗布した導電性高分子層を形成したので、より高容量のコンデンサが得られた。
10・・・・・・・・・ 下基板
15・・・・・・・・・ 電極配線
20・・・・・・・・・ 誘電体層
30・・・・・・・・・ 上電極
31・・・・・・・・・ 導電性高分子層
Claims (6)
- (1)配線基板の形成工程で、絶縁基板上に形成した銅配線層をフォトリソグラフィ工程とエッチングによって形成する工程で、下電極を形成する工程、
(2)前記下電極上に、誘電体フィラーと絶縁樹脂が混合されているペースト状あるいはフィルム状の誘電体からなる誘電体層を形成する工程、
(3)レーザー加工によって、前記誘電体層をスキャンする工程、
(4)前記誘電体層上にコンデンサの上電極を形成する工程、
以上の工程を有することを特徴とするコンデンサの形成方法。 - 前記誘電体層の上部に導電性高分子層を設け、さらに、上電極を設け構成としたことを特徴とするコンデンサの形成方法。
- 前記レーザーが、YAGレーザー、UV-YAGレーザー、炭酸ガスレーザー、エキシマレーザーのいずれかを用いたことを特徴とする請求項1または2記載のコンデンサの形成方法。
- 前記上電極が、銀ペーストあるいは銅ペーストを用いてスクリーン印刷によって形成したことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のコンデンサの形成方法。
- 前記誘電体層が、チタン酸バリウム、酸化チタン、チタン酸ストロンチウム、PZTのいずれかを含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のコンデンサの形成方法。
- 前記コンデンサが、配線基板の内部に形成されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のコンデンサの形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005032676A JP4661249B2 (ja) | 2005-02-09 | 2005-02-09 | 部品内蔵基板用コンデンサの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005032676A JP4661249B2 (ja) | 2005-02-09 | 2005-02-09 | 部品内蔵基板用コンデンサの形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006222189A true JP2006222189A (ja) | 2006-08-24 |
JP4661249B2 JP4661249B2 (ja) | 2011-03-30 |
Family
ID=36984302
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005032676A Expired - Fee Related JP4661249B2 (ja) | 2005-02-09 | 2005-02-09 | 部品内蔵基板用コンデンサの形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4661249B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160094502A (ko) * | 2015-01-30 | 2016-08-10 | 주식회사 심텍 | 칩 내장형 pcb 및 그 제조 방법과, 그 적층 패키지 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02129906A (ja) * | 1988-11-09 | 1990-05-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フィルムコンデンサの製造方法 |
JPH0917689A (ja) * | 1995-06-28 | 1997-01-17 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | 印刷コンデンサとその製造方法 |
JP2001338836A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-12-07 | Sumitomo Metal Ind Ltd | コンデンサ付き接続部材、その接続構造と製造方法 |
-
2005
- 2005-02-09 JP JP2005032676A patent/JP4661249B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02129906A (ja) * | 1988-11-09 | 1990-05-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フィルムコンデンサの製造方法 |
JPH0917689A (ja) * | 1995-06-28 | 1997-01-17 | Hokuriku Electric Ind Co Ltd | 印刷コンデンサとその製造方法 |
JP2001338836A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-12-07 | Sumitomo Metal Ind Ltd | コンデンサ付き接続部材、その接続構造と製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160094502A (ko) * | 2015-01-30 | 2016-08-10 | 주식회사 심텍 | 칩 내장형 pcb 및 그 제조 방법과, 그 적층 패키지 |
KR101696705B1 (ko) | 2015-01-30 | 2017-01-17 | 주식회사 심텍 | 칩 내장형 pcb 및 그 제조 방법과, 그 적층 패키지 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4661249B2 (ja) | 2011-03-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI305480B (en) | Method of fabricating printed circuit board having embedded multi-layer passive devices | |
US7488428B2 (en) | Method for forming stacked via-holes in printed circuit boards | |
US8756803B2 (en) | Method for manufacturing printed wiring board | |
JP2007096312A (ja) | 高密度プリント回路基板の製造方法 | |
JP4661249B2 (ja) | 部品内蔵基板用コンデンサの形成方法 | |
JPS6199596A (ja) | 基板の穴あけ方法 | |
JP6672895B2 (ja) | 配線基板の製造方法 | |
TW201543541A (zh) | 形成介層孔用之感光性絕緣膜以及使用該絕緣膜形成介層孔的方法 | |
JP5874720B2 (ja) | 配線基板材料のデスミア処理方法、配線基板材料の製造方法および複合絶縁層形成材料 | |
JP5249890B2 (ja) | ソルダーレジストの形成方法 | |
JP2008205070A (ja) | プリント配線基板及びその製造方法 | |
JP2005045000A (ja) | 受動素子内蔵多層プリント配線板の製造方法 | |
JP2000188483A (ja) | 多層プリント配線板の製造方法 | |
JP4082193B2 (ja) | プリント基板の製造方法 | |
JP2013038280A (ja) | 配線板の製造方法 | |
JPH1051151A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
JPH11186739A (ja) | プリント配線板のビアホール形成方法 | |
JP2004349526A (ja) | スパイラル型キャパシタ及びそのスパイラル型キャパシタ内蔵配線回路基板及びその製造方法 | |
JP2005093660A (ja) | 実装基板の製造方法、実装基板および実装基板製造用マスター基板 | |
JP2003324027A (ja) | 積層型電子部品の製造方法 | |
JP4599997B2 (ja) | 固体電解コンデンサを内蔵した配線基板の製造方法 | |
KR20090105704A (ko) | 캐패시터 내장형 인쇄회로기판 및 그 제조방법 | |
JP2014216372A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
JP4337408B2 (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
JP2000315863A (ja) | 多層プリント配線板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100706 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100901 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101207 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101220 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140114 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |