JP2006222133A - 原料ガス供給方法及びその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 原料Sと原料から発生した原料ガスが収容された原料容器1にキャリアガスCGを導入することにより、このキャリアガスCGに原料ガスが混合された混合ガスMGを上記原料容器1から取り出して外部へ供給する原料ガス供給方法において、上記原料容器1から取り出された混合ガスMG中の原料濃度を測定し、この原料濃度に基づくPID制御により、キャリアガスCGの導入量×混合ガスMG中の原料濃度で定義される原料ガス流量が一定となるようにキャリアガスCGの導入量を制御する。キャリアガス流量がPID制御により緩やかに変化するため、原料ガス流量の変動が小さく抑えられる。
【選択図】 図1
Description
…(1)
一般的なフィードバック制御は図9の通りである。本発明の要件を図9の各項目に当てはめると、
目標値:原料流量目標値
(原料流量目標値)=(キャリアガス流量目標値)
×(混合ガス中の原料濃度目標値)
制御入力の決定:従来技術はPID制御なし。本発明はPID制御あり。
出力:原料流量測定値
(原料流量測定値)=(キャリアガス流量測定値)
×(混合ガス中の原料濃度測定値)
検知器:キャリアガス流量制御装置内の流量計、つまりキャリアガス測定値
従来技術と本発明を比較すると、従来技術は(目標値)=(出力)、つまり
(原料流量目標値)=(原料流量測定値)=
(キャリアガス流量測定値)×(混合ガス中の原料濃度測定値)
となるように制御するが、PID制御がないため、制御対象システム(キャリアガス流量制御装置)への制御入力値は、
(原料流量目標値)/(混合ガス中の原料濃度測定値)
となる。
(原料流量目標値)/(混合ガス中の原料濃度測定値)
となるとは限らない。
3 キャリアガス流路
4 混合ガス流路
5 濃度計
6 PID制御部
7 キャリアガス流量制御装置
Claims (3)
- 原料と原料から発生した原料ガスが収容された原料容器にキャリアガスを導入することにより、このキャリアガスに原料ガスが混合された混合ガスを上記原料容器から取り出して外部へ供給する原料ガス供給方法において、上記原料容器から取り出された混合ガス中の原料濃度を測定し、この原料濃度に基づくPID制御により、キャリアガスの導入量×混合ガス中の原料濃度で定義される原料ガス供給量が一定となるようにキャリアガスの導入量を制御することを特徴とする原料ガス供給方法。
- 上記原料容器から取り出された混合ガスに希釈ガスを追加して希釈した混合ガスを外部へ供給するものとし、原料ガス供給量が多くない場合にはキャリアガスの導入量と希釈ガスの追加量との和が一定になるように、原料ガス供給量が多い場合にはキャリアガスの導入量と希釈ガスの追加量と原料ガス供給量との和が一定となるように、希釈ガスの追加量を制御することを特徴とする請求項1記載の原料ガス供給方法。
- 原料と原料から発生した原料ガスを一定温度及び一定圧力で収容する原料容器と、この原料容器へキャリアガスを導入するキャリアガス流路と、上記原料容器からキャリアガスに原料ガスが混合された混合ガスを取り出して外部へ供給する混合ガス流路と、この混合ガス流路における混合ガス中の原料濃度を測定する濃度計と、この濃度計で測定した原料濃度に基づくPID制御により、キャリアガスの導入量×混合ガス中の原料濃度で定義される原料ガス供給量が一定となるようにキャリアガスの導入量を決定するPID制御部と、上記キャリアガス流路におけるキャリアガスの流量を上記決定に従って制御するキャリアガス流量制御装置とを備えたことを特徴とする原料ガス供給装置。
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