JP2006220319A

JP2006220319A - マイクロ熱交換器

Info

Publication number: JP2006220319A
Application number: JP2005031512A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Tobisawa; 猛飛澤; Hitoshi Sekine; 均関根; Fumihiko Ishiyama; 文彦石山
Original assignee: DIC Technology Corp; Dainippon Ink and Chemicals Co Ltd
Current assignee: DIC Corp; DIC Technology Corp
Priority date: 2005-02-08
Filing date: 2005-02-08
Publication date: 2006-08-24

Abstract

【課題】マイクロ流路を流れる流体の温度制御を確実且つ適切に行うことができる。
【解決手段】マイクロ熱交換器１は、幅と高さまたは内径が１〜１０００μｍの断面を有するマイクロ流路を配設した第一及び第二のプレート２、３を交互に積層した。第一のプレート２には主液Ａを流す第一のマイクロ流路４を設ける。第二のプレート３には加熱流体Ｂを流す第二のマイクロ流路５をマイクロ流路４に直交して配列する。第二のマイクロ流路とは別に冷却流体Ｃを流す第三のマイクロ流路６を設ける。第三のマイクロ流路６は第一のマイクロ流路３と同一方向に配列した複数の主流路６ａと、主流路６ａに上下流側端部で連通する供給側流路６ｂ及び排出側流路６ｃとで構成する。主液が熱交換器の第一マイクロ流路４で温度変化しても第二マイクロ流路５の加熱流体Ｂで熱交換して温度調整し、第三マイクロ流路６の冷却流体Ｃで熱交換して急冷する。
【選択図】図２

Description

本発明は、マイクロデバイスを用いて、極微細な寸法を有するマイクロ流路内に複数種類の流体を流して熱交換を行うようにしたマイクロ熱交換器に関する。

近年、幅と高さや内径が１μｍから数百μｍの断面形状を有する微細なマイクロ流路を複数有するマイクロデバイスを用いて、各種流体をマイクロ流路内に導入することによって熱交換等を行う技術が提案されている。このような技術の１つとして例えば特許文献１、２に記載されたマイクロ熱交換器がある。
このマイクロデバイスは、流体を流すためのマイクロ流路を備えたプレートを複数積層してなり、上下に積層された各プレートのマイクロ流路は同一方向または直交する方向に配設されている。そして各プレートのマイクロ流路に異なる温度の熱交換流体を流すことで、相互に熱交換を行うようになっている。
例えば、一方のプレートのマイクロ流路に高温の加熱流体を流すと共に、直接または隔壁を介して隣接する他方のプレートに冷却流体を流すことで熱交換して、加熱流体を急速冷却することで、流体の濃度調整をしたり粘度調整したりすること等が行われている。
特開２０００−２４９４８６号公報特開２００３−２７９２８３号公報

しかしながら、マイクロ熱交換器の一方のプレートのマイクロ流路に加熱流体を流して冷却処理する際に、予め所定温度に加熱した加熱流体をマイクロ流路の入り口に供給すると、マイクロ熱交換器本体の温度やマイクロ熱交換器の入力側に設けたコネクタやジョイント部の温度が加熱流体の温度よりも低いために、コネクタやジョイント部を通過してマイクロ流路内に流入する際に加熱流体が温度低下してしまうことになる。そのため、マイクロ流路内で加熱流体を所望の温度に制御しつつ冷却処理することが困難になるという欠点がある。
このような欠点を改善するために、例えばマイクロ熱交換器の加熱流体のマイクロ流路入り口をヒータ等で加熱しておいて供給される加熱流体の温度低下が生じないようにすることも考えられるが、1つのプレートに複数配列されたマイクロ流路を同一温度に制御することは困難であり、各マイクロ流路間で急冷処理できなかったり反応がばらついてしまう等という不具合が生じる。また、マイクロ熱交換器をヒータ等で加熱すると、他方のプレートのマイクロ流路内を流れる冷却流体の温度が熱伝導の影響を受けて上昇して同様に急速冷却等をできなくなるという不具合も発生する。

本発明は、このような実情に鑑みて、マイクロ流路を流れる流体の温度制御を適切に行うことができるようにしたマイクロ熱交換器を提供することを目的とする。

本発明によるマイクロ熱交換器は、幅と高さまたは内径が１〜１０００μｍの断面を有するマイクロ流路を配設した第一及び第二のプレートを交互に積層してなるマイクロ熱交換器において、第一のプレートには第一の流体を流す第一のマイクロ流路を設け、第二のプレートには別の流体をそれぞれ流すための複数組の他のマイクロ流路を配列して、第一の流体と複数の別の流体とで複数回の熱交換を行うようにしたことを特徴とする。
本発明によれば、マイクロ熱交換器における第一のプレートの第一のマイクロ流路に供給する第一の流体が入り口等で温度変化したり温度調整されていなかったとしても、第二のプレートにおける他のマイクロ流路である第二のマイクロ流路を流れる別の流体と熱交換することで所要の温度に調整することができ、更に他のマイクロ流路である第三のマイクロ流路を流れる別の流体によって所要の熱変換を行うことができるため、急冷等の所期の処理を確実に行うことができる。

本発明によるマイクロ熱交換器によれば、第一のマイクロ流路に供給する第一の流体に対して、複数組のいずれかの組の他のマイク流路を流れる別の流体によって第一の流体の温度調整や再設定を行うと共に他の組の他のマイクロ流路を流れる更に別の流体によって所要の処理や反応を行うことができる。そのため、マイクロ熱交換器に流体を供給する際に温度変化を来したり予め温度調整していなかったとしても、複数組の他のマイクロ流路を流れる複数種類の流体によって第一の流体の温度調整を先ず行って、その後に所望の処理や反応を確実に行うことができる。

本発明によるマイクロ熱交換器では、複数組の他のマイクロ流路は、第一のマイクロ流路と直交する方向に別の流体が流れる流路、第一のマイクロ流路に沿って第一の流体と同一方向または逆方向に別の流体が流れる流路のいずれか１種類または複数種類の流路を組み合わせて構成されている。
複数組の他のマイクロ流路として、例えば第一のマイクロ流路と直交する方向に別の流体が流れるマイクロ流路を設ければ簡単な構成で熱交換でき、二組目以降の他のマイクロ流路として任意の構成の流路を採用できる。また、第一のマイクロ流路に沿って第一の流体と同一方向または逆方向に別の流体が流れるマイクロ流路を設ければ、他のマイクロ流路は第一のマイクロ流路に沿うために熱交換を長時間且つ確実に行うことができる。

また、複数組の他のマイクロ流路のうち、第一のマイクロ流路の上流側に位置する第二のマイクロ流路には加熱流体が流れ、第一のマイクロ流路の下流側に位置する第三のマイクロ流路には冷却流体が流れるようにしてもよい。
第一のマイクロ流路を流れる第一の流体に対して、第二のマイクロ流路に加熱流体を流すことで熱交換して第一の流体を所定の温度に加熱または調整でき、更に第三のマイクロ流路を流れる冷却流体と熱交換することで第一の流体を所定の温度から急冷させることができる。
なお、複数組の他のマイクロ流路のうちの少なくとも１組のマイクロ流路は、第一のマイクロ流路に直交する方向に配設されていてもよい。
また、複数組の第二のマイクロ流路のうちの少なくとも１組のマイクロ流路は、第一のマイクロ流路に沿って同一方向に別の流体が流れるように配設されていてもよく、これによって熱交換を確実に行える。
また、複数組の第二のマイクロ流路のうちの少なくとも１組の第二のマイクロ流路は、第一のマイクロ流路に沿って第一の流体と逆方向に別の流体が流れるように配設されていてもよく、これによっても熱交換を確実に行える。

以下、本発明の各実施例について添付図面により説明する。
図１乃至図４は本発明の第一実施例を示すもので、図１は第一実施例によるマイクロ熱交換器の継手部を含めた概略全体構成を示す水平断面図、図２は第一実施例によるマイクロ熱交換器の斜視図、図３は図２における２種類のプレート構造を示す分解斜視図、図４はマイクロ熱交換器内における主液の温度変化を示す図である。
図１乃至図３に示す第一実施例によるマイクロデバイスからなるマイクロ熱交換器１は、例えば同一の長方形板状からなる第一プレート２と第二プレート３とが複数交互に積層されて構成されている。両プレート２，３に設けた後述する例えば３本のマイクロ流路の入り口側と出口側には主液Ａ、加熱流体Ｂ，冷却流体Ｃを各マイクロ流路内に流すためのコネクタ３０とジョイント部３１とからなる継手部３２がそれぞれ連結されている（図１参照）。
第一プレート２は、図３に示すように一方の面２ａに断面凹溝形状の第一マイクロ流路４（第一のマイクロ流路）をプレートの長手方向に沿って所定間隔で複数本配列形成してなる。本実施例では、第一マイクロ流路４内を処理すべき主液Ａが流れ、図１、２に示すように一方の短面２ｂから供給されて他方の短面２ｃへ向けて流れて排出される。

第二プレート３は、図２及び図３に示すように一方の面３ａに断面凹溝形状の２組のマイクロ流路５、６（他のマイクロ流路）が互いに所定の間隔だけ離れ、独立・分離して別個に配設されている。そのため、２組のマイクロ流路５，６は相互に温度の影響を受けにくい位置関係を有している。第一組をなす第二マイクロ流路５（第二のマイクロ流路）は第一プレート２における第一マイクロ流路４の上流側に配設され、第一マイクロ流路４に略直交する方向、即ち第二プレート３の端面に沿って複数の第二マイクロ流路５が配列されている。
第三マイクロ流路６（第三のマイクロ流路）はプレート３の長手方向に沿って複数本配列された主流路６ａと、主流路６ａの上流側及び下流側端部でそれぞれ第二マイクロ流路５とほぼ平行に配設されて各主流路６ａに連通する供給側流路６ｂ及び排出側流路６ｃとを備えている。供給側流路６ｂと排出側流路６ｃは２回直角に屈曲してプレート３の両側面からそれぞれ外部に開口している。

各複数の第一及び第二プレート２、３は各プレート２，３を同一方向に交互に重ねて積層されて互いに固着されている。各プレート２、３は例えばステンレス製等の金属製からなる。各プレート２，３を積層してなるマイクロ熱交換器１において、各マイクロ流路４、５、６は両端が開口するトンネル形状であり、縦断面が例えば長方形で幅６００μｍ、高さ３００μｍ、長さ２０ｍｍとされ、１枚のプレート３に例えば数本から数十本平行に設けられている。また、第三マイクロ流路６は主流路６ａ部分のみが複数本配列され、供給側流路６ｂ及び排出側流路６ｃはそれぞれ１本で構成されている。
なお、第三マイクロ流路６の各主流路６ａについて第一マイクロ流路５との位置関係は任意であるが、好ましくは隣り合う２本の第一マイクロ流路４、４間に位置するように積層方向に配列し、更に好ましくは各第一マイクロ流路４に積層方向に重なるように配列する。

そして、マイクロ熱交換器１において、第一プレート２の各第一マイクロ流路４には例えば熱交換用流体としてカルナバワックス２０ｗｔ％をＭＥＫ（メチルエチルケトン）８０ｗｔ％に溶解したものを主液Ａとし、例えば７０℃に加熱した状態で流すものとする。第２プレート３における各第二マイクロ流路５には例えば主液Ａを初期の所要の加熱温度、例えば７０℃に維持または調整するための加熱流体Ｂ（第二の流体；別の流体）を流し、第三マイクロ流路５には例えば主液Ａを所要の温度に急冷するための、例えば０℃の冷却流体Ｃ（第三の流体；別の流体）を流すようにしている。
ここで、マイクロ熱交換器を用いた一の処理方法として、主液Ａと冷媒（冷却流体Ｃ）を積層方向にずらした各マイクロ流路に流すことで主液Ａは急冷され、溶解前よりも微細な結晶として析出するようにしている。例えばＭＥＫに溶解する前の原料段階のカルナバワックスの粒子は平均粒径４０〜５０μｍであり、これを急冷して晶析することでカルナバワックスの粒子を平均粒径１０μｍ以下、例えば４〜５μｍ程度に小さくできる。

次に本実施例によるマイクロ熱交換器１を用いた処理方法について図１及び図４により説明する。
図１及び図２において、例えばカルナバワックス２０ｗｔ％をＭＥＫ（メチルエチルケトン）８０ｗｔ％に溶解した主液Ａを予め７０℃に加熱した状態で、コネクタ３０及びジョイント部３１からなる継手部３２を経てマイクロ熱交換器１の各第一プレート２の供給口２ｂへ供給する。このとき、継手部３２を正確に加熱制御するのは困難なため、供給された主液Ａの温度を第一プレート２の各マイクロ流路５への供給口２ｂで７０℃に均一に保持することができず、温度低下を来すことになる。
そして、第一マイクロ流路４を流れる主液Ａが第二プレート３の第二マイクロ流路５の領域に到達すると、その上下の第二マイクロ流路５では７０℃以上に加熱した加熱流体Ｂが第一マイクロ流路４に直交する方向に流れているため、温度低下した主液Ａは加熱流体Ｂとの熱交換によって再び７０℃に加熱され、その温度を維持できる（図４参照）。

更に第一マイクロ流路４を主液Ａが流れて第二プレート３の第三マイクロ流路６の領域に到達する。第三マイクロ流路６では、供給側流路６ｂから０℃の冷却流体Ｃが流路６内に供給されて複数の主流路６ａでそれぞれ分岐され、第一マイクロ流路４内の主液Ａと並行して同一方向に流れる。そのため、主液Ａは冷却流体Ｃとの熱交換が少なくとも主流路６ａの長さに亘って行われるから、急速に冷却されて温度低下を引き起こし、４℃程度にまで低下する（図４参照）。
このようにして、当初、平均粒径が４０〜５０μｍにばらついていたカルナバワックスの粒子が、７０℃の主液Ａ中でＭＥＫ中に溶解した後、急速冷却されることで平均粒径１０μｍ以下、例えば４〜５μｍ程度に小さい粒子として析出することになる。そしてＭＥＫと分離することで平均粒径が４〜５μｍと小さい粒子のカルナバワックスを得ることができ、これを例えば平均粒径１０μｍ以下のコピー用トナー粉末の周囲に付着させることで滑り性のよいトナーを得られることになる。
なお、第一実施例のマイクロ熱交換器１に代えて、従来の技術に示す１種類のマイクロ流路を有するプレートを各マイクロ流路が互いに直交する方向に向けて積層したマイクロ熱交換器を複数設け、これらをコネクタ３０やジョイント部３１からなる継手部３２を介して直列に接続しても同様な流路を構成できるが、この場合では主液Ａが継手部３２を通過する際に、温度低下や温度変化等を引き起こしてしまうため主液Ａの温度制御は困難である。

上述のように本実施例によるマイク熱交換器１によって、第一マイクロ流路４内に供給される主液Ａが仮に温度変化しても第二マイクロ流路の加熱流体Ｂによって一旦所定温度に昇温させた後で第三マイクロ流体の冷却流体Ｃで急冷させることで、主液Ａの温度を精度良くコントロールして精度のよい析出処理を行うことができる。
なお、上述の実施例では、主液Ａを第一マイクロ流路４内に供給するに先立って予め温度調整するようにしたが、予め温度調整しない主液Ａを供給してもよい。

次に本発明の他の実施例を説明するが、上述の実施例と同一または同様の部分、部材には同一の符号を用いてその説明を省略する。
図５及び図６に示す第二実施例によるマイクロ熱交換器１０は、第一プレート２と第三プレート８（第二のプレート）とが交互に積層されて一体に固着されている。第一プレート２は第一実施例に示すものと同じ構成を有していて、長さ方向に複数の第一マイクロ流路４が配列されている。
第三プレート８は第一プレート２と同一寸法の長方形板状に形成されており、その一方の面８ａには、第二プレート３と同様に第一マイクロ流路４の流体供給側から第一マイクロ流路４の流路方向に沿って第二マイクロ流路５の組と、第三マイクロ流路６の組とが間隔を開けて順次配設されている。そして、第三マイクロ流路６の組に対して第一マイクロ流路４の出口側に、間隔を開けて第四マイクロ流路９が配設されている。
第四マイクロ流路９は第二マイクロ流路５の組と略同一構成を有しており、第一マイクロ流路４に直交する方向に複数の第四マイクロ流路９が平行に配列されて他のマイクロ流路５、６の組とは別個の組を構成している。

そして、本実施例によるマイクロ熱交換器１０では、第一プレート２の各第一マイクロ流路４に例えば熱交換用流体としてカルナバワックス２０ｗｔ％とポリエステル樹脂２０ｗｔ％をＭＥＫ（メチルエチルケトン）６０ｗｔ％に溶解した主液Ａを予め７５℃に加熱した状態で供給する。第三プレート８における各第二マイクロ流路５には例えば主液Ａを初期の所要の加熱温度、例えば７５℃に維持または調整するための加熱流体Ｂを流し、第三マイクロ流路６には例えば主液Ａを所要の温度に急冷するための、例えば０℃の冷却流体Ｃを流す。そして、更に第四マイクロ流路９には一旦冷却して粘度が上昇した主液Ａを例えば２０℃の加温流体Ｄで加温して所要の粘度を得るようにしている。

次に本実施例によるマイクロ熱交換器１０を用いた処理方法について図５により説明する。
図５において、上述したカルナバワックスとポリエステル樹脂とＭＥＫの溶液を主液Ａとして、これを予め７５℃に加熱した状態で、マイクロ熱交換器１の各第一プレート２のマイクロ流路４内に供給する。マイクロ熱交換器１の各マイクロ流路４自体と継手部３２の温度は７５℃より低いため、主液Ａは継手部３２やマイクロ流路３内面に接触して例えば６５℃程度近くにまで低下してしまう。そして、第一マイクロ流路４を流れる主液Ａが第三プレート８の第二マイクロ流路５の領域に到達すると、第二マイクロ流路５内を７５℃以上に加熱された加熱流体Ｂが第一マイクロ流路４に直交する方向に流れているため、温度低下した主液Ａは再び７５℃に加熱または維持される。

更に第一マイクロ流路４を主液Ａが流れて第三プレート８の第三マイクロ流路６の領域に到達する。第三マイクロ流路６では、０℃の冷却流体Ｃが流路６内に供給されて複数の主流路６ａでそれぞれ分岐され、第一マイクロ流路４内の主液Ａと並行に同一方向に流れる。これにより、主液Ａは冷却流体Ｃとの熱交換が主流路６ａの長さに亘って行われ、急速に冷却されて温度低下を引き起こし、４℃程度にまで低下する（図４参照）。
このとき、主液Ａは７５℃の状態から４℃まで急冷却されることにより粘度が上昇するため、第四マイクロ流路９を流れる２０℃の加温流体Ｄによって加温して粘度を下げて流動性を上げた状態で外部に取り出すことができる。このようにして主液Ａについて所要の粘度または濃度に調整して取り出すことができるので、次工程に適した状態で主液Ａを処理することが可能になる。

上述のように本第二実施例によるマイク熱交換器１０によれば、第一マイクロ流路４内に流す主液Ａについて、加熱流体Ｂで加熱して所要の温度に設定した後、冷却流体Ｃで急冷し、更に加温流体Ｄで適宜加温することで、主液Ａについて所望の粘度または濃度が得られるよう調整することができる。

図７は第三実施例によるマイクロ熱交換器２０を示す斜視図である。
図７において、第一プレート２に設けた第一マイクロ流路４は上述した第一実施例によるものと同一である。更に第一プレート２と同一形状の第四プレート２１（第二のプレート）を設ける。この第四プレート２１の一方の面２１ａには、第一マイクロ流路４の上流側に複数配列された第二マイクロ流路５の組が設けられている。第二マイクロ流路５は第一マイクロ流路１に直交する方向に延びている。
そして、第四プレート２１において第二マイクロ流路５の組と間隔を開けて同様な構成の第五マイクロ流路２２（第二のマイクロ流路；別のマイクロ流路）の組が配設されている。第五マイクロ流路２２は第二マイクロ流路５と同一の断面凹溝形状を有している。
そのため、第一実施例と同様に、カルナバワックス２０ｗｔ％をＭＥＫ（メチルエチルケトン）８０ｗｔ％に溶解した主液Ａを第一マイクロ流路４に流すと、第四プレート２１の第二マイクロ流路５を流れる７０℃以上の加熱流体Ｂが第一マイクロ流路４に直交する方向に流れて、マイクロ熱交換器２０で温度低下した主液Ａを熱交換によって再び７０℃に加熱または維持する。
更に第一マイクロ流路４内の主液Ａが第五マイクロ流路２２の領域に到達すると、第五マイクロ流路２２では０℃の冷却流体Ｃが第一マイクロ流路４の主液Ａに直交する方向に流れる。そのため、主液Ａは冷却流体Ｃと熱交換して急速に冷却されて温度低下を引き起こし、所望の平均粒径の粒子を析出できる。
この場合、第一実施例よりも若干急速冷却の効果は落ちるが、同様にカルナバワックスの平均粒径を小さくした粒子を得るという効果を奏する。

また、第一変形例として、図２、図５に示す第一、第二実施例によるマイクロ熱交換器１、１０において、第三マイクロ流路６における冷却流体Ｃの流れる方向を逆に設定してもよい。この場合、一方の流路６ｃから冷却流体Ｃが流入して主流路６ａを介して他方の流路６ｂから排出されることになる。第三マイクロ流路６中の主流路６ａでは、第一マイクロ流路４内を流れる主液Ａと平行で逆方向に冷却流体Ｃが流れて主液Ａを冷却することになる。

また、第一プレート２に設けた第一マイクロ流路４内の主液Ａ等の熱交換流体と熱交換する他のマイクロ流路を有する他のプレート（第二のプレート）については、２または３組のマイクロ流路に限定されることなく、４組以上のマイクロ流路を順次配設してもよい。例えば、最初のマイクロ流路には例えば７０℃の加熱流体、二番目のマイクロ流路には６８℃の加熱流体、三番目のマイクロ流路には例えば６５℃の加熱流体、四番目のマイクロ流路には６３℃の加熱流体、五番目のマイクロ流路には例えば６０℃の加熱流体、そして七番目のマイクロ流路には０℃の加熱流体を流すことで、最初は主液Ａの温度勾配を緩く低下するようにコントロールし、その後急速冷却するようにして、カルナバワックス等の粒子の平均粒径を均一に調整する等してもよい。
或いは上述した他のプレートに設けた複数の独立したマイクロ流路に関して、加熱流体と冷却流体を交互に流して主液Ａの加熱と冷却を繰り返して、主液Ａ中の粒子の平均粒径や主液Ａの粘度や濃度等を制御・調整するようにしてもよい。
また、第一プレート２に設けた第一マイクロ流路４の主液Ａと熱交換するための他のプレートの他のマイクロ流路の配列構成については、第一マイクロ流路４と直交する方向、平行で同一方向または逆方向に他の熱交換流体を流す方向、第一マイクロ流路４に対して傾斜した方向等、適宜の方向に、また任意の順序で配列して構成してもよく、相互に熱交換できればよい。

本発明の第一実施例によるマイクロ熱交換器の継手部を含めた概略全体構成を示す水平断面図である。図１に示すマイクロ熱交換器の斜視図である。図２に示すマイクロ熱交換器で第一プレートと第二プレートを分離して示す分解斜視図である。マイクロ熱交換器の第一マイクロ流路内の主液の温度変化を示す図である。本発明の第二実施例によるマイクロ熱交換器の斜視図である。図５に示すマイクロ熱交換器で第一プレートと第三プレートを分離して示す分解斜視図である。第三実施例によるマイクロ熱交換器の斜視図である。

符号の説明

１、１０、２０マイクロ熱交換器
２第一プレート（第一のプレート）
３第二プレート（第二のプレート）
４第一マイクロ流路
５第二マイクロ流路（第二のマイクロ流路；別のマイクロ流路）
６第三マイクロ流路（第三のマイクロ流路；別のマイクロ流路）
８第三プレート（第二のプレート）
９第四マイクロ流路（第四のマイクロ流路；別のマイクロ流路）
２１第四プレート（第二のプレート）
２２第五マイクロ流路（第三のマイクロ流路；別のマイクロ流路）
Ａ主液（第一の流体），
Ｂ加熱流体（第二の流体；別の流体）
Ｃ冷却流体（第三の流体；別の流体）
Ｄ加温流体（第四の流体；別の流体）

Claims

幅と高さまたは内径が１〜１０００μｍの断面を有するマイクロ流路を配設した第一及び第二のプレートを交互に積層してなるマイクロ熱交換器において、
第一のプレートには第一の流体を流す第一のマイクロ流路を設け、第二のプレートには別の流体をそれぞれ流すための複数組の他のマイクロ流路を配列して、前記第一の流体と複数の別の流体とで複数回の熱交換を行うようにしたことを特徴とするマイクロ熱交換器。
前記複数組の他のマイクロ流路は、前記第一のマイクロ流路と直交する方向に別の流体が流れるマイクロ流路、前記第一のマイクロ流路に沿って第一の流体と同一方向または逆方向に別の流体が流れるマイクロ流路の少なくともいずれか１種類または複数種類のマイクロ流路を組み合わせて構成されている請求項１に記載のマイクロ熱交換器。
前記複数組の他のマイクロ流路のうち、第一のマイクロ流路の上流側に位置する第二のマイクロ流路には加熱流体が流れ、第一のマイクロ流路の下流側に位置する第三のマイクロ流路には冷却流体が流れるようにした請求項１または２に記載のマイクロ熱交換器。