JP2006227853A - マイクロ流量分配コントロール装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、入力側流路を流れる流体を、複数のマイクロ流路に分配するマイクロ流量分配コントロール装置に改良を加えたものである。本装置は、マイクロ流路に設けられ、流量を測定する流量センサと、この流量センサの上流側または下流側のマイクロ流路に設けられるバルブと、流量センサの測定結果によってバルブの調整を行う調整手段とを設けたことを特徴とするものである。
【選択図】 図1
Description
入力側流路を流れる流体を、複数のマイクロ流路に分配するマイクロ流量分配コントロール装置において、
前記マイクロ流路に設けられ、流量を測定する流量センサと、
この流量センサの上流側または下流側の前記マイクロ流路に設けられるバルブと、
前記流量センサの測定結果によって前記バルブの調整を行う調整手段と
を設けたことを特徴とするものである。
前記入力側流路および前記マイクロ流路となる溝が形成される第1の基板と、
前記溝が形成された側の前記第1の基板に貼り合わされて流路を形成する第2の基板と
を設け、前記第1または第2の基板の少なくとも一方が、透明部材であることを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、請求項2記載の発明において、
透明部材は、ガラスまたはプラスチックであることを特徴とするものである。
請求項4記載の発明は、請求項1〜3のいずれかに記載の発明において、
流量センサは、
前記マイクロ流路に設けられる伝熱手段と、
前記マイクロ流路上であって前記伝熱手段から等間隔の位置に設けられた上流側および下流側の温度検出手段と
を設け、前記温度検出手段で検出された温度の温度差に基づいて流量を求める熱式流量センサであることを特徴とするものである。
請求項1〜4によれば、流量センサが、分配後の流量を測定し、調整手段が、流量センサの測定結果にしたがって、バルブの開閉状態を調整して圧力損失を調整するので、各マイクロ流路に流入する流体の流量を制御することができる。これにより、オンラインで所望の比率の流量で流体を分配することができる。従って、流体の種類、流体の粘性、性状等が変化しても、設定した比率で流体を分配することができる。
図1は、本発明の第1の実施例を示した構成図であり、図1(a)は平面図であり、図1(b)はA−A’の断面図である。図1において、ガラスチップ10は、ガラス基板10a、10bが貼り合わされ、流体の流入口11、入力側流路12、分岐部13、マイクロ流路14(1)〜14(5)、流出口15(1)〜15(5)を有する。
まず流体が流れる動作から説明する。
流体(液体、気体)が流入口11から供給され、入力側流路12を流れて分岐部13で各マイクロ流路14(1)〜14(5)に流体が分配される。このさい、各マイクロ流路14(1)〜14(5)に流入する流量の分配比率が、マイクロ流路14(1)〜14(5)に設けられたバルブ16(1)〜16(5)で調整された圧力損失に依存する。そして、マイクロ流路14(1)〜14(5)を流れてきた流体が、流出口15(1)〜15(5)から吐出され、後段の図示しないマイクロリアクタ等に供給される。
流量センサ17(1)〜17(5)のそれぞれが、マイクロ流路14(1)〜14(5)を流れる流体の流量を測定する。そして、調整手段20が、図示しないメモリからマイクロ流路14(1)〜14(5)の流量比率の設定を読み出す。さらに、流量センサ17(1)〜17(5)からの測定結果より、設定された流量比率となるように、バルブ16(1)〜16(5)の開閉状態を調整し、圧力損失を調整する。この圧力損失の比率により、マイクロ流路14(1)〜14(5)の流量比率を設定された値にする。
演算制御手段17dが、予め測定された流体の温度に対して、流体が数度程度高い一定温度になるように伝熱手段17aを制御する。
入力側流路12を5本のマイクロ流路14(1)〜14(5)に分岐する構成を示したが、何本に分岐してもよい。
12 入力側流路
14(1)〜14(5) マイクロ流路
16(1)〜16(5) バルブ
17(1)〜17(5) 流量センサ
17a 伝熱手段
17b、17c 温度検出手段
17d 演算制御手段
20 調整手段
Claims (4)
- 入力側流路を流れる流体を、複数のマイクロ流路に分配するマイクロ流量分配コントロール装置において、
前記マイクロ流路に設けられ、流量を測定する流量センサと、
この流量センサの上流側または下流側の前記マイクロ流路に設けられるバルブと、
前記流量センサの測定結果によって前記バルブの調整を行う調整手段と
を設けたことを特徴とするマイクロ流量分配コントロール装置。 - 前記入力側流路および前記マイクロ流路となる溝が形成される第1の基板と、
前記溝が形成された側の前記第1の基板に貼り合わされて流路を形成する第2の基板と
を設け、前記第1または第2の基板の少なくとも一方が、透明部材であることを特徴とする請求項1記載のマイクロ流量分配コントロール装置。 - 透明部材は、ガラスまたはプラスチックであることを特徴とする請求項2記載のマイクロ流量分配コントロール装置。
- 流量センサは、
前記マイクロ流路に設けられる伝熱手段と、
前記マイクロ流路上であって前記伝熱手段から等間隔の位置に設けられた上流側および下流側の温度検出手段と
を設け、前記温度検出手段で検出された温度の温度差に基づいて流量を求める熱式流量センサであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のマイクロ流量分配コントロール装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005040011A JP2006227853A (ja) | 2005-02-17 | 2005-02-17 | マイクロ流量分配コントロール装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005040011A JP2006227853A (ja) | 2005-02-17 | 2005-02-17 | マイクロ流量分配コントロール装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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ID=36989197
Family Applications (1)
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JP2005040011A Pending JP2006227853A (ja) | 2005-02-17 | 2005-02-17 | マイクロ流量分配コントロール装置 |
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JP (1) | JP2006227853A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009123009A1 (ja) | 2008-03-31 | 2009-10-08 | 国立大学法人京都大学 | 流体分配装置、マイクロプラント、流体分配装置の設計方法及び流路閉塞検知方法 |
JP2011067789A (ja) * | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 化学装置 |
CN106151880A (zh) * | 2016-08-29 | 2016-11-23 | 安徽伏斯特智能科技股份有限公司 | 一种小流量调节系统及其调节方法 |
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2005
- 2005-02-17 JP JP2005040011A patent/JP2006227853A/ja active Pending
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