JP2006216971A - 半導体装置の作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に下地膜を成膜し、下地膜上にマトリクス状に配置された半導体薄膜を形成し、マトリクス状に配置された半導体薄膜の行方向および列方向に対し、0°または90°以外の角度を有した第1の方向に長手方向を有する線状のレーザー光を走査しながら半導体薄膜に対して照射した後、第1の方向とは異なり、マトリクス状に配置された行方向および列方向に対し、0°または90°以外の角度を有した第2の方向に長手方向を有する線状のレーザー光を走査しながら半導体薄膜に対して照射する。
【選択図】図1
Description
マトリクス状に配置されたアクティブマトリクス回路を有する半導体装置の作製方法であって、
アクティブマトリクス回路を構成する半導体薄膜に対して、
マトリクスを構成する行または列から10°〜80°または−10°〜−80°の角度を有した方向に長手方向を有する線状のレーザー光を走査しながら照射することを特徴とする。
マトリクス状に配置されたアクティブマトリクス回路を有する半導体装置の作製方法であって、
アクティブマトリクス回路を構成する半導体薄膜に対して、
マトリクスを構成する行または列から10°〜80°または−10°〜−80°の角度を有した方向に長手方向を有する線状のレーザー光を走査しながら照射する工程を有し、
前記工程は角度を変化させて複数回行われることを特徴とする。
102 アクティブマトリクス領域
103 線状のレーザービーム
104 薄膜トランジスタが配置される領域
105〜108 線状のレーザーが照射される領域の一部分
109 基板とレーザー光の相対的な移動方向
201 ガラス基板
202 下地膜(酸化珪素膜)
203 非晶質珪素膜
204 結晶性珪素膜でなる活性層
205 ゲイト絶縁膜(酸化珪素膜)
206 ゲイト電極の基となるアルミニウム膜のパターン
207 ゲイト電極
208 多孔質状の陽極酸化膜
209 緻密な膜質を有する陽極酸化膜
210 ソース領域
211 低濃度不純物領域
212 チャネル形成領域
213 低濃度不純物領域(LDD領域)
214 ドレイン領域
215 第1の層間絶縁膜(酸化珪素膜)
216 ソース電極(ソース配線)
217 第2の層間絶縁膜(酸化珪素膜)
218 画素電極(ITO電極)
Claims (8)
- 基板上に下地膜を成膜し、
前記下地膜上にマトリクス状に配置された半導体薄膜を形成し、
前記マトリクス状に配置された半導体薄膜の行方向および列方向に対し、0°または90°以外の角度を有した第1の方向に長手方向を有する線状のレーザー光を走査しながら前記半導体薄膜に対して照射した後、
前記第1の方向とは異なり、前記マトリクス状に配置された行方向および列方向に対し、0°または90°以外の角度を有した第2の方向に長手方向を有する線状のレーザー光を走査しながら前記半導体薄膜に対して照射することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 基板上に下地膜を成膜し、
前記下地膜上にマトリクス状に配置された半導体薄膜を形成し、
前記マトリクス状に配置された半導体薄膜の行方向および列方向に対し、0°または90°以外の角度を有した方向に長手方向を有する線状のレーザー光を走査しながら前記半導体薄膜に対して照射する工程を複数回行い、前記工程を行う度に、前記線状のレーザー光の長手方向の角度を変更することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1または請求項2において、
前記角度は10°〜80°または−10°〜−80であることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項において、
前記基板は、ガラス基板であることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一項において、
前記下地膜は、酸化珪素膜であることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一項において、
前記レーザー光の走査は、前記基板を移動して行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一項において、
前記レーザー光はエキシマレーザーであることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか一項において、
前記レーザー光の照射により、前記半導体薄膜の結晶化または活性化を行うことを特徴とする半導体装置の作製方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022163783A1 (ja) * | 2021-01-29 | 2022-08-04 | Jswアクティナシステム株式会社 | 搬送装置、搬送方法、及び半導体装置の製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH07249592A (ja) * | 1994-03-09 | 1995-09-26 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体デバイスのレーザー処理方法 |
JPH07307304A (ja) * | 1994-05-13 | 1995-11-21 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体デバイスのレーザー処理方法 |
JPH088179A (ja) * | 1994-06-20 | 1996-01-12 | Sharp Corp | 半導体素子の製造方法 |
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2006
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