JP2006216157A - 磁気ディスク装置 - Google Patents

Abstract

【課題】
高湿度環境下におかれた場合でも、内部の湿度上昇を効果的に抑止し、磁性材料腐食による障害を防止して、長期信頼性の高い磁気ディスク装置を得る。
【解決手段】
電気分解除湿のための膜電極接合体を用い、磁気ディスク装置の内部における水分子の流通を抑制してある流路又は透湿体を通して除湿する機構を備えた磁気ディスク装置である。
【選択図】 図１

Description

本発明は、磁気ディスク装置に関する。特に車載用等、厳しい環境で使用される磁気ディスク装置の信頼性向上に関するものである。

磁気ディスク装置は筐体内部に、磁気ディスク、磁気記録／再生用のヘッド及びそれらを駆動するスピンドルモータ、ボイスコイルモータ等の高精密な部品を有する。磁気ヘッドは高速回転する磁気ディスク上をｎｍオーダの高さで浮上し、データの記録、再生を行う。極微小な塵埃、あるいは微量の化学物質が磁気ヘッドによるデータ記録／再生に悪影響を及ぼすので、磁気ディスク装置筐体は外気の流入をある程度制限するよう設計されている。

一方、筐体を完全に密閉外気と遮断すると、磁気ディスク装置内の温度変化、あるいは外気圧変化により筐体内外で圧力差が生じ、筐体の変形等の不具合が起こる。そこで、通常は筐体に微小な呼吸孔をあけ、内外の通気を確保することにより圧力差が生じるのを防ぐ。しかし、孔を設けたことにより、外気の影響を受けやすくなる。

この場合、特に問題となるのが湿度の変動である。湿度が上昇すると、内部で結露等が起こりやすくなり、磁気ヘッド、磁気ディスクの磁性材料の腐食ポテンシャルが上がり、結果的に製品信頼性低下を招く。一方、装置内の湿度が低くなりすぎると、静電気が溜まりやすくなり、その結果、磁気ヘッドに使用されているＧＭＲ素子等の静電破壊のポテンシャルがあがり、障害にいたる。

特に、今後、車載用等多様な環境で磁気ディスク装置が使用されることが予想され、以上のことはますます重要な課題となる。このことから磁気ディスク装置は、内部に活性炭、シリカゲル等の吸湿剤を設置し、外部環境の影響を受けにくくすることが多い。例えば特開２００３−２６３８８２号公報（特許文献１）には、吸湿等温線において、湿度８０％と湿度９５％における吸湿量の差が、該吸湿剤乾燥重量に対して、吸湿時は３０％以上、排湿時は２０％以上である吸湿剤を磁気ディスク装置内部に設置し、湿度変化を効果的に抑止し、結露による誤動作を防止することが記載されている。

しかしながら吸湿剤等による湿度制御は、外部に水分を放出する機構がないため、長期高湿度環境にさらされると飽和して、吸湿能力を失い、結局、内部も外気湿度と同じとなってしまうという課題がある。

一方、特開平２−１００４号公報（特許文献２）には、膜電極接合体を用いた水電気分解により水分を除去する方法が提案されている。該提案方法は外部に水分を方出することができ、上記課題を根本的に解決するポテンシャルをもつが、以下にあげる問題点があり、実用化されていなかった。
（１）通電していない状態では、膜電極接合体を通して外部の水分が内部に拡散し、湿度の急激な上昇を招く。
（２）膜電極接合体に使用するカーボンペーストからのコンタミによって磁気ディスク装置内部が汚染される。
（３）電気分解中に発生する酸素により、磁気ディスク装置内の酸素濃度上昇を招く。

上記（１）を防止するために、上記特許文献２の第４図において、膜電極接合体はベースのほぼ中央に形成された上下２段構成の凹部に取り付けられ、膜電極接合体の第１の電極は直接容器の内部に接するように配置され、膜電極接合体の第２の電極は緩衝空間を介し更にベースに設けられた除湿口を経て容器の外部と連通することを提案している。

特開２００３−２６３８８２号公報 特開平２−１００４号公報（第４図）

しかしながら、特許文献２に提案されているように膜電極接合体の第２の電極を緩衝空間を介しベースに設けられた除湿口を経て容器の外部と連通させた場合、通電ｏｆｆが発生した時において水分流入を効果的に抑制できるように上記除湿口を小さくすると、膜電極接合体の水分放出面で結露が生じてしまうことになる。このように、結露が生じると、膜電極接合体の性能劣化、最悪の場合は破壊を招くことになる。

本発明の目的は、上記課題の一部又はすべてを解決するためになされたものであり、磁気ディスク装置内部の湿度を制御し、信頼性の高い磁気ディスク装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は、膜電極接合体の除湿面と筐体の内部との間に水分子の流入を制限する除湿路を設け、膜電極接合体への通電停止時の急激な湿度の流入を防ぎつつ、磁気ディスク装置内の湿度を最適の３０％〜６０％程度にする磁気ディスク装置を提供する。
また、本発明は、前記除湿路として、板状部材にチューブ状の流路を形成して構成したことを特徴とする。
また、本発明は、前記除湿路の流入速度係数は、４０×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ以下に制限されていることを特徴とする。
また、本発明は、前記除湿路の流入速度係数は、１０×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ以下に制限されていることを特徴とする。
前記流入速度係数は、例えば０．５×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ以上とすると良い。

また、本発明は、膜電極接合体の除湿面と筐体の内部との間に水分子の流入を制限する透湿性部材を設け、膜電極接合体への通電停止時の急激な湿度の流入を防ぎつつ、磁気ディスク装置内の湿度を最適の３０％〜６０％程度にし、さらに膜電極接合体からの塵埃やハイドロカーボンコンタミの筐体の内部への進入を防ぐことができる磁気ディスク装置を提供する。
また、本発明は、前記透湿性部材として、高分子フィルムで構成したことを特徴とする。
また、本発明は、前記透湿性部材の流入速度係数が、１０×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ以下に制限されていることを特徴とする。前記流入速度係数は、例えば０．５×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ以上とするとよい。
また、本発明は、前記高分子フィルムが、ポリビニルアルコールのフィルムであることを特徴とする。

また、本発明は、前記筐体を構成する蓋部分と基台部分との間を非透湿性の材料によりシールし、前記膜電極接合体による電気分解により発生する酸素による磁気ディスク装置内の酸素濃度の極端な上昇を防ぐことのできるようにしたことを特徴とする。
また、本発明は、前記非透湿性の材料は、金属箔片面に粘着物質を塗布したものであることを特徴とする。

本発明によれば、磁気ディスク装置内の湿度上昇が抑えられ、磁気ディスク装置内のヘッド／ディスクの磁性材料の腐食が抑制でき、長期信頼性の高い磁気ディスク装置を得ることができる。

本発明に係る磁気ディスク装置の実施例について図面を用いて説明する。

本発明に係る磁気ディスク装置は今後車載用等多様な環境で使用されることになる。このように今後車載用等多様な環境で使用される磁気ディスク装置の第１の実施例は、図１に示すように、データを書き込む（情報を記録する）磁気ディスク１と、磁気ディスク１を回転させる磁気ディスク駆動機構５と、上記磁気ディスク１上のデータを記録又は再生あるいは両方を行う磁気ヘッド６、該磁気ヘッド６を支持する磁気ヘッド支持部材８及び磁気ヘッド６について上記磁気ヘッド支持部材８を介して磁気ディスク１上を駆動走行させるための磁気ヘッド駆動機構９を有する磁気ヘッド機構とを内部に設置した筐体２を備えて構成される。

３は、筐体２に開けられた微小な呼吸孔（呼吸口）であり、筐体２の内外の通気を確保して圧力差が生じるのを防止するためのものである。このように筐体２に呼吸孔３を設けることによって、磁気ディスク装置内の温度変化あるいは外気圧変化により筐体内外で圧力差が生じるのを防止し、筐体の変形等の不具合が起こることを防止することが可能となる。

さらに、図１に示すよう水電気分解により筐体２の内部の水分を除去して筐体２の内部の湿度を調整する膜電極接合体（ＭＥＡ：Membrane Electrode Assembly）１を筐体２の外側に設置し、筐体内部との間に、水分子の流通を制限する除湿通路１１０を形成した板状部材１０１を設ける。本発明の特徴とするポイントは、水分子の流通を制限する除湿通路１１０を膜電極接合体１と筐体内部との間に設けることにある。

ところで、筐体２の外側に設置した膜電極接合体１は、図２に示すように、固体高分子電解質、イオン交換樹脂等の固体重合体電解質などからなる水素イオン伝導体１０と、該水素イオン伝導体１０を挟むようにその界面に圧着や蒸着等により接合された多孔質薄膜（例えば多孔質薄膜状白金やプロトン電子混合導電性固体）からなる第１のガス拡散電極（陽極）１１及び第２のガス拡散電極（陰極）１２と、水素イオン伝導体１０、上記電極１１、及び上記陰極１２を筐体２から電気的に絶縁し且つ第1のガス拡散電極１１の表面と筐体２の外側との間を仕切る（第１のガス拡散電極１１の表面を囲む）絶縁体１４と、両電極１１、１２の間に接続された直流電源１３とによって構成される。そして、第１のガス拡散電極１１（水分分解側）は、板状部材１０１に形成された除湿通路１１０を通して筐体内部と接続される。第２のガス拡散電極（水分放出側）は、筐体２の外側である大気に直接触れる開放状態である。

上記膜電極接合体１に備えられた直流電源１３が停止されたとき（例えば、磁気ディスク装置がターンオフされたとき）に、水分子が上記除湿通路１１０を介して筐体２に流入することを抑えるため、この除湿通路１１０の流入速度係数は低く抑えることが望ましい。除湿流路１１０による水分子の流通は、例えば、４０×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ以下に制限するとよく、１０×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ以下に制限してもよい。一方、筐体２に残留する水分子を膜電極接合体１から筐体２の外へ排出するに際し、除湿通路１１０の流入速度係数をある程度確保しておくと良い。除湿通路１１０による水分子の流通は、例えば、０．５×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ以上にするとよい。

以上説明したように、本第１の実施例では、筐体２の内部と膜電極接合体１の水分分解側（除湿面）（第１のガス拡散電極１１）との間を、例えば図３に示す如く、板状部材１０１に埋め込んだ1本又は複数本の１乃至２ｍｍ程度の径の細長いチューブで形成された水分子の流通を制限する除湿通路１１０で筐体２の壁に形成された孔２１２を介して接続して構成した。即ち、板状部材１０１は、水分子の流通を制限するチューブ状の流路（除湿通路）１１０を内包（埋設）した板状フィルムで形成される。このように、除湿通路１１０を細長いチューブで形成する場合、該細長いチューブを埃等で詰まらせないようにする工夫が必要となる。

これにより、何らかの原因で、直流電源１３からの膜電極接合体１に対する通電がｏｆｆとなった場合でも、除湿通路１１０で水の流入が制限されているので、筐体内部への急激な湿度流入を抑止することができる。また、膜電極接合体１の水分放出側（水分放出面）（第２のガス拡散電極１２）は、開放となっているため、磁気ディスク装置内からの放出した水分子による結露現象は起こらない。

図４には、水分放出面側の流通を制限した比較例１の場合における実験結果を示す。この実験結果は車載用磁気ディスク装置一般に広く使用される２．５インチ型磁気ディスク装置を対象として実験したものである。図４からわかるように、流入係数を低くしていくと膜電極接合体の背面部（水分放出面部）の湿度が急激に上昇、流入係数４×１０^−５ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ付近で結露が発生してしまう。このことから、水分放出面側の流通を制限した比較例の構成では、流入係数４×１０^−５ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ以下にすることができないことがわかる。

しかしながら、本発明の第１の実施例によれば、筐体２の内部と膜電極接合体１の水分分解側（除湿面）（第１のガス拡散電極１１）との間において除湿通路１１０により水分子の流通が制限されているので、何らかの原因で、直流電源１３からの膜電極接合体１に対する通電がｏｆｆとなった場合でも、筐体内部への急激な湿度流入を抑止することができ、しかも膜電極接合体１の水分放出側（水分放出面）（第２のガス拡散電極１２）は、開放となっているため、磁気ディスク装置内からの放出した水分子による結露現象を防止することが可能となる。

ただし、除湿通路１１０により水分子の流通を制限するため、除湿能力が低下することが予想される。そこで、本第１の実施例の構成で、磁気ディスク装置の信頼性を維持するに充分な除湿能力があるかを実験により検討した。本第１の実施例において、除湿通路の水分子流入係数を変化させ、到達湿度レベルをプロットした実験結果を図５に示す。なお、磁気ディスク装置外側の相対湿度は９５％とした。図５に示す実験結果から、除湿通路１１０を設けて流入係数小さくすることにより、除湿による到達湿度レベルも上がるが、水分流入速度を０．５×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ程度まで低くしても筐体内相対湿度６５％程度確保できることがわかった。後述するように、極端に湿度を低くする必要のない磁気ディスク装置には充分適用可能であることがわかった。

図６は、最近の磁気ディスク装置一般に使用されるＧＭＲ（Giant Magneto Resistive）素子の腐食確率を湿度に対してプロットした実験結果を示したものである。通常ＧＭＲ素子の上にカーボン保護膜がついているが、本実験は湿度のＧＭＲ素子腐食に対する影響をダイレクトに評価するため、カーボン保護膜がついていないＧＭＲ素子を評価したものである。評価方法は一定時間、一定湿度環境に曝露し、ＧＭＲ素子の抵抗変化を測定し、抵抗が１％以上増加したものを腐食したと判定した。図６に示す実験の結果から、６０％〜７５％以上になると腐食確率が急激に上昇するこことが明らかになった。このように、腐食防止の観点からは、湿度は６０％程度以下に抑えることができれば充分であることが明らかになった。

一方、ＥＳＤ（Electro-Static Discharge）によるＧＭＲ素子の破壊に関しては帯電防止の観点から湿度を低くしすぎることは好ましくない。現状ＥＳＤ破壊に関しては定量的なデータはないが、表面電荷密度等からの推定では、ＧＭＲ素子に対し帯電防止策を施しても相対湿度３０％以下にすることは好ましくないと考えられている。

以上纏めると、上記第１の実施例において、筐体２の内部と膜電極接合体１の水分分解側（除湿面）との間に設けられた除湿通路１１０による水分子の流通を、水分子流入速度として評価すると、この水分子流入速度は、例えば４０×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ以下、更に１０×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ以下に制限するとよい。また、この水分子流入速度は０．５×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ以上にしてもよい。斯様な条件は、本発明の実施態様の一つに過ぎないが、これにより、磁気ディスク装置（筐体２）内の相対湿度は３０％〜６５％の範囲内に収めることが望ましい。

次に、上記第１の実施例において、直流電源ｏｆｆ時の挙動について図７を用いて説明する。外部、内部湿度９５％の状態で、水分分解側における水分流入速度を５×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ程度に制限した膜電極接合体１を用いて除湿を開始、５０％まで除湿したあと、直流電源１３をｏｆｆにして湿度の変化をプロットしたものである。図７からわかるように湿度の急激な上昇が抑えられる。

比較例２として、膜電極接合体を水分子の流通を制限する除湿通路なしで単純に筐体につけた場合の結果を図８に示す。

図７に示す第１の実施例は、図８に示す比較例２に比べて、何らかの原因で、直流電源１３からの膜電極接合体１に対する通電がｏｆｆとなった場合でも、８０％迄湿度が上昇する時間が２０倍となり、筐体内部への急激な湿度流入を抑止することができる大きな効果があることが判明した。

次に、本発明に係る今後車載用等多様な環境で使用される磁気ディスク装置の第２の実施例について図９を用いて説明する。第２の実施例において、第１の実施例と相違する点は、水分子の流通を制限する除湿通路１１０を埋設（配設）した板状部材１０１の代わりに、水分子の流通を制限する透湿性を有する高分子フィルム２０１を筐体２の壁に設けられた大きな開口２１５を塞ぐように設けたことにある。即ち、第２の実施例は、筐体２の内部と膜電極接合体１の水分分解側（除湿面）との間において水分子の流通（水分流入）を制限（抑制）する透湿性部材である高分子フィルム２０１を設けたことにある。高分子フィルム２０１としては、例えば厚さ約１ｍｍのポリビニルアルコールのフィルムを使用した。このフィルムを通した水分子流入係数は約２×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃであった。これにより第２の実施例は第１の実施例と同様の効果を得ることができる。さらに、高分子フィルム２０１は、膜電極接合体１に使用されるガス拡散電極のカーボンペーストからの塵埃の筐体２の内部への進入を防ぐ効果が得られる。

図１０及び図１１は磁気ディスク装置を４０時間稼動し、その後光学式異物検査装置で磁気ディスク表面を観察したものである。図１１は本第２の実施例の高分子フィルム２０１を使用した場合を示し、図１２は使用しない比較例３を示す。高分子フィルムを使用した第２の実施例は、使用しない比較例３に比べてディスク付着パーティクル量が約８０分の１と大幅に低減できることが確認できた。

さらに、第２の実施例によれば、高分子フィルム２０１の膜厚を変えることにより簡単に所望の流入係数速度を得ることができ、コスト、量産性共にすぐれている。さらに、第２の実施例によれば、高分子フィルム２０１として大きな面積にすることが可能で、目詰まりが生じる可能性を少なくすることが可能である。

次に、本発明に係る今後車載用等多様な環境で使用される磁気ディスク装置の第３の実施例について図１２を用いて説明する。筐体部２は、第１の実施例において説明したとおり、データを書き込む磁気ディスク１、磁気ディスク１を回転させる駆動機構５、及び磁気ヘッド機構を内部に収納して組み立てる関係で、基台部分２２と蓋部分２１とで構成されてシールされることになる。そして、基台部分２２には磁気ディスク装置の主要な部品が取り付けされることになる。ところで、図２のように膜電極接合体１による電気分解除湿では筐体内側に酸素が生成し、酸素濃度が上昇することが予想される。過剰に生成した酸素は、磁気ヘッド／ディスク腐食反応の促進や磁気ディスク表面に塗布してある潤滑剤の劣化を招く等、長期信頼性に深刻な影響を及ぼす可能性がある。そこで、第３の実施例では、図１２に示すように、過剰酸素生成対策として第１又は第２の実施例の構成に加え、筐体部２の蓋部分２１と基台部分２２のシールをアルミ箔テープ３０１で行った。

図１３には、本第３の実施例のようにアルミ箔テープ３０１でシールしたものと、最近の磁気ディスク装置において通常使用している比較例３としてのＥＰＤＭパッキン等、樹脂パッキンでシールしたものとを比較して、一定時間経過した後の定常状態において測定した酸素濃度の実験結果を示す。比較例４としての通常のＥＰＤＭ（Ethylene-Propylene-Diene Methylene linkage：エチレンプロピレンジエン三元共重合体）パッキンでシールしたものは、酸素濃度が３０％以上になるが、本第３の実施例であるアルミ箔テープ３０１でシールしたものは２３％程度に留まっており、酸素濃度上昇抑止に効果があることがわかった。

これは、比較例４のようにＥＰＤＭのような樹脂パッキンでは、酸素透過速度にくらべ水分透過速度がかなり大きいためと考えられる。そのため樹脂パッキン部分から透過してきた水分が膜電極接合体により分解され、酸素が生成される。このように樹脂パッキン部分からの水分流入が水分流入のメインパスならば、酸素の生成速度は樹脂パッキンの水分透過係数に近い値となる。一方、樹脂パッキンは酸素透過係数が低いので、生成した酸素量に見合うだけの量を外部に排出できず、結果として図１３にＥＰＤＭパッキンシールで示すように、酸素濃度の大幅の上昇を招くことになる。

本発明に係る第３の実施例のように、アルミ箔テープ３０１でシールすると、シール部からの水分透過、酸素透過が抑えられ、水分流入、酸素流出のメインパスが磁気ディスク装置の呼吸孔３となる。その場合、酸素と水分の流入、流出速度に大きな違いがないので、図１３にアルミ箔テープシールで示すように酸素濃度は極端に上昇しないためと考えられる。

以上説明したように、本発明の第１乃至第３の実施例によれば、磁気ディスク装置内の湿度上昇が抑えられ、磁気ディスク装置内のヘッド／ディスクの磁性材料の腐食が抑制でき、長期信頼性の高い磁気ディスク装置を得ることができる。

本発明に係る車載用等多様な環境で使用される磁気ディスク装置の第１の実施例を示す概略構成図である。 本発明に係る膜電極接合体における電気分解除湿の関係を示す図である。 本発明に係る筐体の内部と膜電極接合体の水分分解側との間を、水分子の流通を制限するチューブ状除湿通路で接続して構成した第１の実施例を示す部分拡大断面図である。 ２．５インチ型磁気ディスク装置を対象として、膜電極接合体の水分放出面側の流通を制限した比較例１の場合における、水分子流入係数（μｇ/torr/sec）と膜電極接合体の背面相対湿度（％）の関係との実験結果を示す図である。 本発明の第１の実施例において、水分子流入係数（μｇ/torr/sec）と磁気ディスク装置内定常状態湿度（％）との間の実験結果を示す図である。 本発明に係る相対湿度（％）とＧＭＲ素子腐食確率（％）との関係を示す図である。 本発明の第１の実施例における電源ｏｆｆ時の相対湿度（％）の時間推移を示した図である。 膜電極接合体を水分子の流通を制限する除湿通路なしで単純に筐体につけた比較例２の場合における電源ｏｆｆ時の相対湿度（％）の時間推移を示した図である。 本発明に係る車載用等多様な環境で使用される磁気ディスク装置の第２の実施例を示す概略構成図である。 本発明の第２の実施例を適用した場合の異物付着度合いを示す図である。 第２の実施例の高分子フィルムを使用しない比較例３の場合の異物付着度合いを示す図である。 本発明に係る車載用等多様な環境で使用される磁気ディスク装置の第３の実施例を示す概略構成図である。 本発明の第３の実施例であるアルミ箔テープシールの場合とＥＰＤＭパッキンシールの比較例４の場合との酸素濃度時間推移を示す図である。

符号の説明

１…膜電極接合体、 ２…筐体、 ３…呼吸孔（呼吸口）、 ４…磁気ディスク、 ５…磁気ディスク駆動機構、 ６…磁気ヘッド、 ８…磁気ヘッド支持部材、 ９…磁気ヘッド駆動機構、 １０…水素イオン伝導体、 １１…膜電極接合体の水分分解側（除湿面）（第１のガス拡散電極）、 １２…膜電極接合体の水分放出側（水分放出面）（第２のガス拡散電極）、 １３…直流電源、 １４…絶縁体、 ２１…筐体の蓋部分、 ２２…筐体の基台部分、 １０１…板状部材（板状フィルム）、 １１０…除湿通路（チューブ状除湿路）、 ２０１…高分子フィルム、 ２１２…孔、 ２１５…開口、 ３０１…アルミ箔テープ。

Claims (12)

1. 情報を記録する磁気ディスクと、該磁気ディスクを回転させる磁気ディスク駆動機構と、前記磁気ディスク上の情報を記録及び／又は再生する磁気ヘッド及び該磁気ヘッドを前記磁気ディスクに対して走行駆動させる磁気ヘッド駆動機構を有する磁気ヘッド機構とを、外部からの空気の流通を制限する筐体の内部に備えた磁気ディスク装置であって、
   前記筐体の内部の湿度を調整するための膜電極接合体を備え、該膜電極接合体の除湿面と前記筐体の内部との間に水分子の流入を制限する除湿路を設けたことを特徴とする磁気ディスク装置。
2. 前記除湿路として、板状部材にチューブ状の流路を形成して構成したことを特徴とする請求項１記載の磁気ディスク装置。
3. 前記除湿路の流入速度係数は、４０×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ以下に制限されていることを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ディスク装置。
4. 前記除湿路の流入速度係数は、１０×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ以下に制限されていることを特徴とする請求項１又は２記載の磁気ディスク装置。
5. 前記除湿路の流入速度係数は、０．５×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ以上であることを特徴とする請求項３又は４記載の磁気ディスク装置。
6. 情報を記録する磁気ディスクと、該磁気ディスクを回転させる磁気ディスク駆動機構と、前記磁気ディスク上の情報を記録及び／又は再生する磁気ヘッド及び該磁気ヘッドを前記磁気ディスクに対して走行駆動させる磁気ヘッド駆動機構を有する磁気ヘッド機構とを、外部からの空気の流通を制限する筐体の内部に備えた磁気ディスク装置であって、
   前記筐体の内部の湿度を調整するための膜電極接合体を備え、該膜電極接合体の除湿面と前記筐体の内部との間に水分子の流入を制限する透湿性部材を設けたことを特徴とする磁気ディスク装置。
7. 前記透湿性部材として、高分子フィルムで構成したことを特徴とする請求項５記載の磁気ディスク装置。
8. 前記透湿性部材の流入速度係数は、１０×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ以下に制限されていることを特徴とする請求項６又は７記載の磁気ディスク装置。
9. 前記透湿性部材の流入速度係数は、０．５×１０^−６ｇ／ｔｏｒｒ／ｓｅｃ以上であることを特徴とする請求項８記載の磁気ディスク装置。
10. 前記高分子フィルムが、ポリビニルアルコールのフィルムであることを特徴とする請求項７記載の磁気ディスク装置。
11. 前記筐体を構成する蓋部分と基台部分との間を非透湿性の材料によりシールしたことを特徴とする請求項１又は２又は６又は７記載の磁気ディスク装置。
12. 前記非透湿性の材料は、金属箔片面に粘着物質を塗布したものであることを特徴とする請求項１１記載の磁気ディスク装置。
    

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