JP2006208547A - ミラー基板及びその形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】より安価に容易に入手できるバルクのシリコン基板を用いてミラー基板が形成できるようにする。
【解決手段】シリコン基板101の露出している全面に、炭化シリコンからなるシリコン化合物層102が形成された状態とし、シリコン基板101の主表面側のシリコン化合物層102の上に、溝部104a,溝部104bを備えるレジストパターン104が形成された状態とする。ついで、レジストパターン104をマスクとしてシリコン化合物層102を選択的にエッチングし、溝部104a,溝部104bに対応する箇所のシリコン化合物層102に溝が形成された状態とし、シリコン基板101の主表面側のシリコン化合物層102に、基部131,可動枠132,ミラー133,及び図示していない連結部,ミラー連結部が形成された状態とする。
【選択図】 図1
【解決手段】シリコン基板101の露出している全面に、炭化シリコンからなるシリコン化合物層102が形成された状態とし、シリコン基板101の主表面側のシリコン化合物層102の上に、溝部104a,溝部104bを備えるレジストパターン104が形成された状態とする。ついで、レジストパターン104をマスクとしてシリコン化合物層102を選択的にエッチングし、溝部104a,溝部104bに対応する箇所のシリコン化合物層102に溝が形成された状態とし、シリコン基板101の主表面側のシリコン化合物層102に、基部131,可動枠132,ミラー133,及び図示していない連結部,ミラー連結部が形成された状態とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、通信用の光スイッチング素子などに適用可能なミラー素子を構成するミラー基板及びその形成方法に関する。
インターネット通信網などにおける基盤となる光ネットワークの分野では、多チャンネル化、波長分割多重(WDM)化、及び低コスト化を実現する技術として、光MEMS(Micro Electro Mechanical System)技術が脚光を浴びており、この技術を用いて光スイッチが開発されている(例えば、特許文献1参照。)。MEMS技術による光スイッチの構成部品として最も特徴的なものが、複数のミラー素子が配列されたミラーアレイである。
ミラーアレイは、ミラー基板と、これに対向配置された電極基板とから構成されている。ミラー基板は、ミラーとして作用する複数の可動構造体と、この可動構造体をトーションバネなどのバネ部材によって回動可能に支持する支持部材とを有する。また、電極基板は、ミラーとして作用する可動構造体に対応した複数の電極部が、土台となる基板の上に形成されたものである。
特許文献1に示された従来のミラーアレイについて図3,図4を用いて説明する。図3は、ミラー基板及び電極基板の構成を示す概略斜視図、図4は、ミラー素子の構成を示す概略斜視図である。なお、図3,図4は、主にミラーアレイの1構成単位であるミラー素子を部分的に示している。ミラーアレイは、図3,図4に示すミラー素子が、2次元的に正方配列されたものである。ミラー素子は、ミラーが形成されたミラー基板200と、電極が形成された電極基板300とを備え、これらが平行に配設されている。
ミラー基板200は、板状の基部210とリング状の可動枠220と円板状のミラー230とを備える。基部210は、平面視略円形の開口を備える。可動枠220は、基部210の開口内に配置され、一対の連結部211a,211bにより基部210に連結している。また、可動枠220も、平面視略円形の開口を備えている。ミラー230は、可動枠220の開口内に配置され、一対のミラー連結部221a,221bにより可動枠220に連結されている。また、基部210の周辺部には、可動枠220及びミラー230を取り囲むような枠部240が形成されている。枠部240は、絶縁層250を介して基部210に固定されている。
連結部211a,211bは、可動枠220の切り欠き内に設けられており、つづら折りの形状を有するトーションバネから構成され、基部210と可動枠220とを連結している。このように基部210に連結された可動枠220は、連結部211a,211bを通る回動軸(可動枠回動軸)を中心に、回動可能とされている。また、ミラー連結部221a,221bは、可動枠220の切り欠き内に設けられており、つづら折りの形状を有するトーションバネから構成され、可動枠220とミラー230とを連結している。このように可動枠220に連結されたミラー230は、ミラー連結部221a,221bを通る回動軸(ミラー回動軸)を中心に回動可能とされている。なお、可動枠回動軸とミラー回動軸とは、互いに直交している。
一方、電極基板300は、突出部320と、突出部320の周辺部に設けられたリブ構造体310とを備える。突出部320は、角錐台の形状を有する第3テラス323と、第3テラス323の上面に形成された角錐台の形状を有する第2テラス322と、第2テラス322の上面に形成された角錐台の形状を有する第1テラス321と、第1テラス321の上面に形成された角錐台の形状を有するピボット330とから構成される。
また、突出部320の外面を含む電極基板300の上面には、対向するミラー基板200のミラー230と同心の円内に、扇形の電極340a,電極340b,電極340c,電極340dが形成されている。さらに、電極基板300の突出部320周囲には、配線370が形成され、配線370には、引き出し線341a〜341dを介して電極340a〜340dが接続されている。
上述した構成とされたミラー基板200と電極基板300とは、各々対応するミラー230と電極340a〜340dとが対向配置され、基部210の下面とリブ構造体310の上面とが接合され、図4に示すようなミラー素子が形成される。
次に、製造方法について簡単に説明する。まず、ミラー基板200は、SOI(Silicon On Insulator)基板から形成できる。SOI基板は、シリコンからなる厚い基体部の上に埋め込み絶縁層を介して薄いシリコン層(SOI層)を備えたものであり、SOI層を加工することで、前述した基部210,可動枠220,ミラー230などの板状の構造体が形成できる。また、SOI基板の厚い基体部を枠状に残すように除去することで、枠部240が形成できる。なお、図3,図4に示す絶縁層250が、SOI基板の埋め込み絶縁層に対応している。
また、電極基板300は、主表面の結晶方位が(100)面の単結晶シリコン基板を、水酸化カリウムなどのアルカリ溶液でエッチング加工することで形成できる。よく知られているように、単結晶シリコンは、(111)面が、(100)面や(110)面に比べてアルカリによるエッチング速度が著しく小さい。この現象を利用することで、角錐台の突出部320や、リブ構造体310が形成可能である。
以上のように、ミラー基板200及び電極基板300が形成された後、これらを貼り合わせることで、図4に示すように、電極340a〜340dに対する電界印加によってミラー230が可動(回動)するミラー素子が形成できる。また、ミラー230における光の反射率を向上させるために、ミラー230の表面(図3及び図4に示されている面)に金などの金属膜を形成する。
なお、出願人は、本明細書に記載した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を出願時までに発見するには至らなかった。
特開2003−57575号公報
上述したように、MEMS素子であるミラー素子を構成するミラーの部分(ミラー基板)は、一般にSOI基板を用いて形成され、単結晶シリコンから構成されている。単結晶シリコンは、ポリシリコンなどに比較して機械的強度が高く、平坦性もよく、また、加工技術も発達しており、マイクロマシーンを構成する構造体の材料として好適である。ただし、上述したミラー基板の構造は、バルクのシリコン基板から加工して形成することは容易ではない。このため、前述したように、SOI基板を利用することで、ミラーの構造を形成するようにしている。しかしながら、バルクのシリコン基板(ウエハ)に比較し、SOI基板は高価であり、厚い活性層(SOI層)を持つSOI基板は入手性も低い。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、より安価に容易に入手できるバルクのシリコン基板を用いてミラー基板が形成できるようにすることを目的とする。
本発明に係るミラー基板の形成方法は、シリコン基板の主表面にシリコン化合物から構成された第1シリコン化合物層が形成され、かつ主表面の反対側の裏面にシリコン化合物から構成された第2シリコン化合物層が形成された状態とする工程と、第1シリコン化合物層の上に形成した第1マスクパターンをマスクとして第1シリコン化合物層を選択的にエッチングし、第1シリコン化合物層のミラー形成領域に、開口部を備えた基部及びこの基部の開口部内側に一対の連結部を介して連結する板状のミラー構造体が形成された状態とする工程と、第2シリコン化合物層の上に形成した第2マスクパターンをマスクとして第2シリコン化合物層を選択的にエッチングし、ミラー形成領域に対応する第1開口部が第2シリコン化合物層に形成された状態とする工程と、第1開口部に露出するシリコン基板の裏面からシリコン基板を選択的にエッチングし、第1シリコン化合物層のシリコン基板側が露出する第2開口部がシリコン基板に形成された状態とする工程とを少なくとも備え、第1シリコン化合物層に、基部に連結部を介して回動可能に連結する板状のミラー構造体が形成された状態とするようにしたものである。ただし、シリコン化合物は、炭化シリコン,窒化シリコン,酸窒化シリコン,及び酸化シリコンの少なくとも1つである。従って、ミラー構造体は、上述したシリコン化合物から構成されたものとなる。
また、本発明に係るミラー基板は、シリコン基板の上に形成されたシリコン化合物からなるシリコン化合物層と、シリコン化合物層のミラー形成領域に形成された開口部を備えた基部及びこの基部の開口部内側に一対の連結部を介して回動可能に連結されたミラー構造体と、シリコン基板のミラー形成領域に形成された開口部とを少なくとも備えるものである。ただし、シリコン化合物は、炭化シリコン,窒化シリコン,酸窒化シリコン,及び酸化シリコンの少なくとも1つである。
以上説明したように、本発明によれば、シリコン基板の主表面にシリコン化合物から構成された第1シリコン化合物層を形成し、第1シリコン化合物層をパターニングすることでミラー構造体を形成するようにしたので、より安価に容易に入手できるバルクのシリコン基板を用いてミラー基板が形成できるようになるという優れた効果が得られる。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。図1は、本発明の実施の形態におけるミラー基板の形成方法について説明する工程図である。まず、図1(a)に示すように、例えば単結晶シリコンから構成されたシリコン基板101を用意し、次に、図1(b)に示すように、シリコン基板101の露出している全面に、炭化シリコンからなるシリコン化合物層102が形成された状態とする。例えば、スパッタ法やCVD法などにより炭化シリコンを堆積することで、シリコン基板101の主表面及び裏面を含む露出面に、シリコン化合物層102が形成された状態とすることができる。また、プラズマアシストCVD法などを用いることで、主表面及び裏面に同時にシリコン化合物層102が形成された状態とすることが可能である。シリコン化合物層102は、シリコン基板101に接して形成されていることになる。なお、図1において、紙面上方を向く面が、シリコン基板101の主表面である。
次に、図1(c)に示すように、シリコン基板101の主表面側のシリコン化合物層(第1シリコン化合物層)102の上に、フォトレジスト層103が形成された状態とする。フォトレジスト層103は、例えば、波長365nmの紫外線に感光するポジ型のフォトレジスト材料を、回転塗布法により塗布することで形成すればよい。なお、他の波長の光に感光するフォトレジストを用いるようにしてもよく、また、ネガ型のフォトレジストを用いるようにしてもよいことは、いうまでもない。
次に、所定の露光装置により所定の光像をフォトレジスト層103に露光して潜像が形成された状態とし、この後、フォトレジスト層103を現像することにより、図1(d)に示すように、溝部104a,溝部104bを備えるレジストパターン104が、シリコン化合物層102の上に形成された状態とする。ついで、レジストパターン104をマスクとしてシリコン化合物層102を選択的にエッチングすることで、図1(e)に示すように、溝部104a,溝部104bに対応する箇所のシリコン化合物層102に溝が形成された状態とする。
このことにより、シリコン基板101の主表面側のシリコン化合物層102に、基部131,可動枠132,ミラー(ミラー構造体)133,及び図示していない連結部,ミラー連結部が形成され、ミラー基板の基本的な構成が形成された状態が得られる。基部131は、図3に示す基部210に対応し、可動枠132は、図3に示す可動枠220に対応し、ミラー133は、図3に示すミラー230に対応する。なお、可動枠は必ず必要なものではなく、ミラーのみが形成されるようにしてもよい。
次に、図1(f)に示すように、シリコン基板101の裏面側のシリコン化合物層(第2シリコン化合物層)102の上に、レジストパターン105が形成された状態とする。レジストパターン105は、前述したレジストパターン104と同様に、公知のフォトリソグラフィ技術により形成すればよい。レジストパターン105は、ミラーアレイを構成する1つのミラー部分(ミラー領域)に対応するパターンであり、ミラー133毎に各々1つの正方形の領域に開口部105aを備えるパターンである。なお、図1は、シリコン基板101上の一部領域を部分的に示し、図1では、切り出すことで1つのミラー基板となる正方形の領域が示されている。
次に、レジストパターン105の開口部105aに露出しているシリコン化合物層102を選択的にエッチング除去し、図1(g)に示すように、シリコン基板101の裏面側のシリコン化合物層102に開口部102bが形成された状態とする。ついで、シリコン化合物層102の開口部102b(レジストパターン105の開口部105a)に露出しているシリコン基板101の裏面をエッチングする。また、このエッチング処理により、図1(h)に示すように、シリコン化合物層102のミラー133などが形成されているミラー領域が露出するように、シリコン基板101に開口部101bが形成された状態とする。
このエッチングでは、シリコン化合物に対してシリコンが選択的にエッチングされる状態とする。例えば、アルカリ溶液を用いたウエットエッチングが適用可能である。また、CCl4などの塩素系のガスやSF6などのフッ素系のガスを用いた反応性イオンエッチングを用い、ガス圧などを所定の条件とすることで、シリコン化合物に対してシリコを選択的にエッチングすることができる。
前述したように、シリコン化合物に対してシリコンが選択的にエッチングされる状態としているので、上記エッチング処理では、シリコン基板101の主表面側のシリコン化合物層102がエッチングストップ層となる。従って、上記工程によれば、エッチング時間を高い精度で制御するなどのことなく、容易にミラー領域を露出させた状態が得られる。最後に、レジストパターン104及びレジストパターン105を、例えば、酸素のプラズマを用いた灰化処理により除去し、図1(i)に示すように、ミラー基板が形成された状態とする。
このようにミラー基板が形成された後、図3に示した電極基板300に貼り合わせることで、図4に示すミラー素子と同様に、電極基板に設けられた電極に対する電界印加によって、ミラー133や可動枠132が可動(回動)するミラー素子が形成できる。また、図1(i)に示すミラー基板においても、ミラー133における光の反射率を向上させるために、表面に金などの金属膜を形成する場合もある。
なお、可動枠133は、基部131の開口内に配置され、図示していない一対の連結部により基部131に連結している。また、ミラー135は、可動枠133の開口内に配置され、図示していない一対のミラー連結部により可動枠133に連結されている。また、開口部101bが形成されたことにより、基部131の周辺部には、可動枠133及びミラー135を取り囲むように、シリコン基板101の一部から構成された枠部が形成された状態となる。基部131に連結された可動枠133は、上述した連結部を通る回動軸(可動枠回動軸)を中心に、回動可能とされている。また、ミラー135は、上述したミラー連結部を通るミラー回動軸を中心に回動可能とされている。以上の構成は、図3に示したミラー基板200と同様である。
上述した図1に示す形成方法によれば、図3に示した従来のミラー基板とは異なり、炭化シリコンからなるシリコン化合物層102にミラー構造体が形成された状態となる。言い換えると、図1(i)に示すミラー基板は、ミラー構造体がシリコン化合物から構成されていることになる。このように、図1に示す形成方法によれば、SOI基板を用いることなく、バルクのシリコン基板を用いることで、ミラー基板が形成できるようになる。また、ミラー構造体が形成されるシリコン化合物層102は、シリコンに対して密着性よく形成でき、また、よく知られている半導体装置の製造技術により容易に形成できる。
なお、シリコン化合物としては、炭化シリコンに限るものではなく、窒化シリコン,酸窒化シリコン,酸化シリコンなど他のシリコン化合物を用いるようにしてもよい。窒化シリコンや酸化シリコンからシリコン化合物層102を構成する場合、シリコン基板101の露出している面を、窒化や酸化することによりシリコン化合物層102を形成することができる。
次に、本発明の実施の形態における他の形成方法例について、図2を用いて説明する。まず、図2(a)に示すように、単結晶シリコンから構成されたシリコン基板101の露出している全面に、炭化シリコンからなるシリコン化合物層102が形成された状態とする。これは、図1に示した形成方法と同様である。なお、図2においても、紙面上方を向く面をシリコン基板101の主表面とする。
次に、図2(b)に示すように、シリコン基板101の裏面側のシリコン化合物層102の上にレジストパターン113が形成された状態とする。レジストパターン113は、前述したレジストパターン105と同様に、公知のフォトリソグラフィ技術により形成すればよい。レジストパターン113は、ミラーアレイを構成する1つのミラー部分(ミラー領域)に対応するパターンであり、ミラー133毎に各々1つの正方形の領域に開口部113aを備えるパターンである。なお、図2も、シリコン基板101上の一部領域を部分的に示し、切り出すことで1つのミラー基板となる正方形の領域が示されている。
次に、レジストパターン113の開口部113aに露出しているシリコン化合物層102を選択的にエッチング除去し、図2(c)に示すように、シリコン基板101の裏面側のシリコン化合物層102に開口部102bが形成された状態とする。ついで、シリコン化合物層102の開口部102b(レジストパターン113の開口部113a)に露出しているシリコン基板101の裏面をエッチングする。このエッチングでは、シリコン化合物に対してシリコンが選択的にエッチングされる状態とする。このエッチング処理により、図2(d)に示すように、シリコン化合物層102のミラー領域が露出するように、シリコン基板101に開口部101bが形成された状態とする。
前述したように、シリコン化合物に対してシリコンが選択的にエッチングされる状態としているので、上記エッチング処理では、シリコン基板101の主表面側のシリコン化合物層102がエッチングストップ層となる。従って、上記工程によれば、エッチング時間を高い精度で制御するなどのことなく、容易にミラー領域を露出させた状態が得られる。
次に、図2(e)に示すように、シリコン基板101の主表面側のシリコン化合物層102の上に、溝部114a,溝部114bを備えるレジストパターン114が、シリコン化合物層102の上に形成された状態とする。ついで、レジストパターン114をマスクとしてシリコン化合物層102を選択的にエッチングし、溝部114a,溝部114bに対応する箇所のシリコン化合物層102に溝が形成された状態とする。
このことにより、シリコン基板101の主表面側のシリコン化合物層102に、基部131,可動枠132,ミラー(ミラー構造体)133,及び図示していない連結部,ミラー連結部が形成され、ミラー基板の基本的な構成が形成された状態が得られる。基部131は、図3に示す基部210に対応し、可動枠132は、図3に示す可動枠220に対応し、ミラー133は、図3に示すミラー230に対応する。
最後に、レジストパターン113及びレジストパターン114を、例えば、酸素のプラズマを用いた灰化処理により除去し、図2(f)に示すように、ミラー基板が形成された状態とする。図2に示す形成方法によれば、図3に示した従来のミラー基板とは異なり、炭化シリコンからなるシリコン化合物層102にミラー構造体が形成された状態となる。言い換えると、図2(f)に示すミラー基板も、図1(i)に示すミラー基板と同様に、ミラー構造体がシリコン化合物から構成されている。
101…シリコン基板、101b…開口部、102…シリコン化合物層、102b…開口部、103…フォトレジスト層、104…レジストパターン、104a,104b…溝部、105…レジストパターン、105a…レジストパターン、131…基部、132…可動枠、133…ミラー(ミラー構造体)。
Claims (4)
- シリコン基板の主表面にシリコン化合物から構成された第1シリコン化合物層が形成され、かつ前記主表面の反対側の裏面にシリコン化合物から構成された第2シリコン化合物層が形成された状態とする工程と、
前記第1シリコン化合物層の上に形成した第1マスクパターンをマスクとして前記第1シリコン化合物層を選択的にエッチングし、前記第1シリコン化合物層のミラー形成領域に、開口部を備えた基部及びこの基部の開口部内側に一対の連結部を介して連結する板状のミラー構造体が形成された状態とする工程と、
前記第2シリコン化合物層の上に形成した第2マスクパターンをマスクとして前記第2シリコン化合物層を選択的にエッチングし、前記ミラー形成領域に対応する第1開口部が前記第2シリコン化合物層に形成された状態とする工程と、
前記第1開口部に露出する前記シリコン基板の裏面から前記シリコン基板を選択的にエッチングし、前記第1シリコン化合物層の前記シリコン基板側が露出する第2開口部が前記シリコン基板に形成された状態とする工程と
を少なくとも備え、
前記第1シリコン化合物層に、前記基部に前記連結部を介して回動可能に連結する板状のミラー構造体が形成された状態とする
ことを特徴とするミラー基板の形成方法。 - 請求項1記載のミラー基板の形成方法において、
前記シリコン化合物は、炭化シリコン,窒化シリコン,酸窒化シリコン,及び酸化シリコンの少なくとも1つである
ことを特徴とするミラー基板の形成方法。 - シリコン基板の上に形成されたシリコン化合物からなるシリコン化合物層と、
前記シリコン化合物層のミラー形成領域に形成された開口部を備えた基部及びこの基部の開口部内側に一対の連結部を介して回動可能に連結されたミラー構造体と、
前記シリコン基板の前記ミラー形成領域に形成された開口部と
を少なくとも備えることを特徴とするミラー基板。 - 請求項3記載のミラー基板において、
前記シリコン化合物は、炭化シリコン,窒化シリコン,酸窒化シリコン,及び酸化シリコンの少なくとも1つである
ことを特徴とするミラー基板。
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