JP2006201541A - ミラー基板の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】枠部101aの側にステンシルマスク107を配置し、開口部171を通して、蒸着源より飛来した蒸着原子110をミラー135に到達させ、ミラー135にのみ、金属膜108が形成された状態とする。ステンシルマスク107は、板状の基板部172の上に、枠部101aの開口部に嵌合する嵌合部173を備え、嵌合部173の先端面174に開口部171が形成されている。嵌合部173は、ミラーアレイを構成する1つのミラー135の部分に対応し、各々のミラー毎に各々1つの円形の開口部171を備え、開口部171が形成されている先端面174は、基板部172の平面に略平行に形成されている。
【選択図】 図1
Description
Claims (1)
- 基板の第1面にミラー形成領域が開口した第1マスクパターンを形成し、この第1マスクパターンをマスクとしたエッチングにより、前記ミラー形成領域における前記基板を所定の厚さにまで薄くし、前記ミラー形成領域の外側に枠部が形成された状態とする工程と、
前記基板の第2面に第2マスクパターンを形成し、この第2マスクパターンをマスクとしたエッチングにより前記基板を加工し、前記ミラー形成領域に開口部を備えた基部及びこの基部の開口部内側に一対の連結部を介して回動可能に連結する板状のミラー構造体が形成された状態とする工程と、
基板部,前記基板部の上に形成されて前記ミラー形成領域に対応する前記枠部の内側に嵌合する嵌合部,この嵌合部の先端部に配置されたて前記基板部の平面に平行な先端面、この先端面に形成されて前記ミラー構造体の平面形状に一致した開口部を備えたステンシルマスクを用意する工程と、
前記嵌合部を前記前記ミラー形成領域に対応する前記枠部の内側に嵌入させて前記ステンシルマスクを前記基板の前記第1面の側に配置し、前記嵌合部が前記枠部の内側に嵌合された状態とし、前記第1面の側より前記基板に対して金属粒子を飛散させ、前記ミラー構造体の前記第1面の側に前記金属粒子を堆積させて金属膜が形成された状態とする工程と
を少なくとも備えることを特徴とするミラー基板の形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005013740A JP2006201541A (ja) | 2005-01-21 | 2005-01-21 | ミラー基板の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2006201541A true JP2006201541A (ja) | 2006-08-03 |
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JP2005013740A Pending JP2006201541A (ja) | 2005-01-21 | 2005-01-21 | ミラー基板の形成方法 |
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- 2005-01-21 JP JP2005013740A patent/JP2006201541A/ja active Pending
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