JP2006203372A - 圧電振動子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 振動用の圧電体基板2と、圧電体基板2を支持する支持用基板3とを有し、圧電体基板2と支持用基板3とを直接接合している。このため基板の接合に接着剤などを使用する必要がなくなり、基板の厚みを精度よく所望の厚みにすることができる。また基板の平面度、平行度を向上させ、電気的特性を改善させることができる。さらに、支持用基板3を備えたことで、圧電体基板2の加工や取り扱いが容易になり、圧電体基板2の厚みを精度よく薄くすることができる。従って、振動周波数の高周波化が可能となる。
【選択図】 図1
Description
2 圧電体基板
3 シリコン基板
4 開口部
5a,5b 励起電極
6a,6b 外部接続電極
7a,7b 引出電極
8a,8b 圧電体原板
9a、9b シリコン原板
10a,10b 熱酸化膜
11 下部電極
12 集合体
13 パッケージ
14 蓋
15 導電性樹脂
16 導電性ワイヤ
17a、17b 外部接続電極
20 パッケージ
21a、21b コンデンサ
22a、22b、22c 外部接続電極
Claims (8)
- 振動用の圧電体基板と、該圧電体基板を支持する支持用基板とを有し、前記圧電体基板と前記支持用基板とを直接接合したことを特徴とする圧電振動子。
- 前記支持用基板を、前記圧電体基板の振動領域を除く領域に設けたことを特徴とする請求項1記載の圧電振動子。
- 前記圧電体基板の振動領域の両面に、励起電極を設けたことを特徴とする請求項1又は2記載の圧電振動子。
- 前記支持用基板の前記圧電体基板との接合面とは反対側の面と、前記圧電体基板の振動領域を取り囲む前記支持用基板の側面と、前記支持用基板に取り囲まれた前記圧電体基板の前記接合面側の振動領域とに連続する電極を設けたことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載の圧電振動子。
- 前記圧電振動子は、パッケージ内に搭載されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項記載の圧電振動子。
- 前記圧電体基板の材質が、タンタル酸リチウムまたはニオブ酸リチウムであることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項記載の圧電振動子。
- 前記支持用基板の材質が、シリコンであることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項記載の圧電振動子。
- 圧電体基板と、該圧電体基板を支持する支持用基板とを直接接合する工程と、
前記支持用基板に接合された前記圧電体基板を薄膜化する工程と、
前記支持用基板の一部を取り除き、振動領域を形成する工程と、
前記圧電体基板の前記支持用基板との接合面とは反対側の、前記振動領域に上部電極を形成する工程と、
前記圧電体基板の前記支持用基板との接合面側の前記振動領域全面と、前記支持用基板の前記圧電体基板との接合面とは反対側の面と、前記支持用基板の前記振動領域を取り囲む側面全面とに下部電極を形成する工程と、を有することを特徴とする圧電振動子の製造方法。
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2005
- 2005-01-18 JP JP2005010959A patent/JP2006203372A/ja active Pending
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