JP2006203092A - Cis系薄膜太陽電池の製造方法及び該太陽電池用半製品保管装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 前記半製品と雰囲気中の湿分との反応は、製膜工程間での半製品の保管及び搬送中に発生することが判明した。そこで、CIS系薄膜太陽電池用半製品を、保管工程a〜f又は搬送工程において、ドライエア等のガス供給手段及びファン等の循環手段を設け、相対湿度30%以下に均一に湿度管理された環境下で保管することにより、前記半製品と雰囲気中の湿分との反応を防止する。
【選択図】 図2
Description
1A ガラス基板
1B 金属裏面電極層
1C CIS系光吸収層
1D バッファ層
1E 窓層(透明導電膜)
2 保管装置
2A スリット
21 箱状筐体
21A 側壁
21B 側壁
21C 上壁
21D 下壁
22 ガス供給部
23 循環ファン
24 スライド板
25 湿度計
26 圧力計
27 テープヒーター
3 CIS系薄膜太陽電池用半製品
A 金属裏面電極層製膜工程
B パターン形成工程
C 光吸収層製膜工程
D バッファ層製膜工程
E パターン形成工程
F 透明導電膜製膜工程
G パターン形成工程
H 仕上げ工程
a 保管工程
b 保管工程
c 保管工程
d 保管工程
e 保管工程
f 保管工程
Claims (3)
- ガラス基板、金属裏面電極層、p形CIS系光吸収層、高抵抗バッファ層、n形窓層の順に積層されたサブストレート構造のpnヘテロ接合デバイスであるCIS系薄膜太陽電池の製造工程において、各工程間における半製品の搬送及び保管を、湿度制御された環境下にて行うことを特徴とするCIS系薄膜太陽電池の製造方法。
- ガラス基板、金属裏面電極層、p形CIS系光吸収層、高抵抗バッファ層、n形窓層の順に積層されたサブストレート構造のpnヘテロ接合デバイスであるCIS系薄膜太陽電池の製造工程において、各工程間における半製品の搬送及び保管を、相対湿度30%以下に制御された環境下にて行うことを特徴とするCIS系薄膜太陽電池の製造方法。
- 搬入時にその装置内の所定の保管位置に複数の前記CIS系薄膜太陽電池用半製品を順次搬入する搬入手段と、搬出時にその装置の所定の保管位置から前記CIS系薄膜太陽電池用半製品を外部に1枚づつ搬出する搬出手段と、保管装置内を相対湿度30%以下に維持するために、ドライエア又はドライ窒素等を供給するガス供給手段と、保管装置内の相対湿度を均一にするための循環手段とからなることを特徴とするCIS系薄膜太陽電池用半製品保管装置。
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JP2005015010A JP2006203092A (ja) | 2005-01-24 | 2005-01-24 | Cis系薄膜太陽電池の製造方法及び該太陽電池用半製品保管装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH10135495A (ja) * | 1996-10-25 | 1998-05-22 | Showa Shell Sekiyu Kk | 薄膜太陽電池の製造方法及び製造装置 |
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2005
- 2005-01-24 JP JP2005015010A patent/JP2006203092A/ja active Pending
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JPH10135495A (ja) * | 1996-10-25 | 1998-05-22 | Showa Shell Sekiyu Kk | 薄膜太陽電池の製造方法及び製造装置 |
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