JP2006201061A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 基板と前記基板の上に配置された被膜とを含み、前記被膜に加えられた力を検出する触覚センサであって、
   前記基板の上に前記基板側から順に配置された第１および第２の層を含む積層部と、前記第１および第２の層を前記第２の層側に曲げることによって形成された起立部と、前記起立部の変形を検出するための検出手段とを含み、
   前記積層部および前記起立部は、それぞれ、互いに格子定数が異なる複数の層を含み、
   前記第１および第２の層は、前記複数の層における格子定数の差によって生じた力によって曲げられており、
   前記起立部と前記被膜とが接触しており、
   前記被膜に力が加えられることによって前記起立部が変形する触覚センサ。
2. 前記検出手段は、前記起立部に形成されたピエゾ抵抗素子を含む請求項１に記載の触覚センサ。
3. 前記積層部と前記起立部との境界に位置する第１の折り曲げ部において、前記第１および第２の層が前記第２の層側に折り曲げられており、
   前記検出手段は、前記第１の折り曲げ部に形成されたピエゾ抵抗素子を含む請求項１に記載の触覚センサ。
4. 前記積層部と前記起立部との境界に位置する第１の折り曲げ部と、前記起立部中の第２の折り曲げ部とにおいて、前記第１および第２の層が前記第２の層側に折り曲げられており、
   前記起立部は、前記第２の折り曲げ部によって前記基板の表面と対向するように配置された対向部を含み、
   前記検出手段は、互いに対向するように前記基板上と前記対向部上とに配置された第１および第２の電極を含み、
   前記第１の電極と前記第２の電極との間の静電容量の変化に基づいて前記起立部の変形が検出される請求項１に記載の触覚センサ。
5. 前記起立部は、第３の折り曲げ部において前記第１および第２の層を前記第１の層側に折り曲げることによって形成された先端部を含み、
   前記先端部が前記被膜と接触している請求項４に記載の触覚センサ。
6. 前記起立部は、前記起立部に接触する前記被膜の移動に応じて前記基板上をスライドするスライド部を含み、
   前記検出手段は、互いに対向するように前記基板上と前記スライド部上とに配置された第１および第２の電極を含み、
   前記第１の電極と前記第２の電極との間の静電容量の変化に基づいて前記起立部の変形が検出される請求項１に記載の触覚センサ。
7. 前記被膜がエラストマーからなる請求項１〜６のいずれか１項に記載の触覚センサ。
8. 基板と前記基板の上に配置された被膜とを含み、前記被膜に加えられた力を検出する触覚センサであって、
   前記基板上に形成された起立部と、前記起立部の変形を検出するための検出手段とを含み、
   前記起立部と前記被膜とが接触しており、
   前記被膜に力が加えられることによって前記起立部が変形する触覚センサ。
9. 前記基板上に形成された積層部を含み、
   前記起立部は、前記積層部を構成する層の少なくとも一部を折り曲げることによって形成されている請求項８に記載の触覚センサ。
10. 前記検出手段は、前記積層部と前記起立部との境界に位置する折り曲げ部に形成されたピエゾ抵抗素子である請求項９に記載の触覚センサ。
11. 前記検出手段は、互いに対向するように前記基板上と前記起立部上とに配置された第１および第２の電極を含み、
    前記第１の電極と前記第２の電極との間の静電容量の変化に基づいて前記起立部の変形が検出される請求項８に記載の触覚センサ。
12. 複数の触覚センサを含む触覚センサユニットであって、
    前記触覚センサが請求項１〜１１のいずれか１項に記載の触覚センサである触覚センサユニット。