JP2006192393A - 回転塗布装置および回転塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 基板上の液膜の触媒濃度の均一化を図るとともに、未乾燥部分をなくし、基板全体を確実に乾燥させることができる回転塗布装置及び回転塗布方法を提供する。
【解決手段】
回転塗布装置は、被処理基板1を支持する保持テーブル6と、これを回転するモータ8と、被処理基板1を回転している状態で、被処理基板1中央上方に移動してその表面中央に結晶化促進液である触媒溶液を所定量滴下する液体用ノズル2と、この滴下後に液体用ノズル2に代わって被処理基板1中央上方に移動し、被処理基板1に対し気体11を吹き付ける気体吹き付け手段4とを備えている。気体吹き付け手段4から、被処理基板1に対し気体11を吹き付けることにより、被処理基板1上の液膜を中央部分から周辺に向けて強制乾燥させる。
【選択図】 図1
【解決手段】
回転塗布装置は、被処理基板1を支持する保持テーブル6と、これを回転するモータ8と、被処理基板1を回転している状態で、被処理基板1中央上方に移動してその表面中央に結晶化促進液である触媒溶液を所定量滴下する液体用ノズル2と、この滴下後に液体用ノズル2に代わって被処理基板1中央上方に移動し、被処理基板1に対し気体11を吹き付ける気体吹き付け手段4とを備えている。気体吹き付け手段4から、被処理基板1に対し気体11を吹き付けることにより、被処理基板1上の液膜を中央部分から周辺に向けて強制乾燥させる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、被処理基板を回転させながら被処理基板表面中央上方に触媒溶液を滴下し、これを被処理基板上に一様に分布させるための回転塗布装置及び回転塗布方法に関する。
例えば、被処理基板上に、非晶質半導体である被処理層が、プラズマCVD( Chemical Vapor Deposition) 法またはLPCVD( Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 法によって1000〜1500Å程度の膜厚で形成される半導体装置では、前記被処理層上に酸化液の働きによる酸化膜を形成し、さらに結晶化促進液を酸化膜上に滴下し、これを乾燥させる事によって前記酸化膜上に触媒元素の注入または添加された層を形成する。また、上記のようにして処理された被処理基板を加熱炉に搬送し結晶化が始まる温度、例えば550℃以上で加熱して被処理層である非晶質シリコンの結晶化を行い、この非晶質シリコン層を多結晶シリコン層にする。このような多結晶シリコン層を有する被処理基板は、薄膜トランジスタを有するアクティブマトリクス型液晶表示装置の基板として利用される。
以上の構成において、結晶化促進液を酸化膜上に滴下し、これを乾燥させる工程では、従来、被処理基板上に触媒溶液を滴下して回転させるスピンコート法を採用している。このスピンコート法により、被処理基板の中央に滴下された溶液は、遠心力によって回転半径の外側方向に向かって広がり、被処理基板全面に液膜が形成される。その後、この液膜は被処理基板上で乾燥されることにより被処理基板全面に触媒を滞留させることになる。スピンコートにより被処理基板の周縁部に達した余剰分の溶液は、被処理基板から離脱する。
しかし、被処理基板が角形であって、溶液を被処理基板の回転状態で供給して塗布した場合、内接円の領域内では遠心力によって均一に溶液が伸ばされて広がるが、各角部では周囲の空気と相対速度が大きく、液膜の乾燥が前記内接円の領域内に比べて早くなるので、基板上に乾燥領域の面内分布が生じ、結果的に各角部近傍の析出濃度が前記内接円の領域内に比べて高くなるという問題がある。
このような問題を解決する先行技術として、真空吸着により被処理基板を吸着テーブルに保持し、その上方を蓋で覆って、これらを一緒に同方向に回転する所謂カップ方式の構造が提案されている。このカップ方式では、被処理基板の周囲の空気も同方向に回転するために、回転時において被処理基板表面の空気抵抗が小さくなり、被処理基板上に塗布された余分な溶液が飛散し易くなるとともに、被処理基板上の液膜の乾燥時間が均一化し、基板上に乾燥領域の内面分布が生じにくくなる利点がある。
実開昭64−48171号公報
上記に示される従来技術では、被処理基板上の触媒の濃度の均一化を図ることは可能であるが、構造が大型化することを避けられず、回転負荷が大きくなるためにモータを含む回転駆動源への負担が大きくなり、消費電力も大きいという問題がある。この問題は、処理基板の大型化が進めば致命的な問題点となり得る。
また、回転時において被処理基板表面の空気抵抗が小さくなることから、基板上に塗布された溶液の乾燥が遅くなり、そのため、処理時間が長く、生産性が悪いという問題がある。
本発明の目的は、基板上の液膜の触媒濃度の均一化を図るとともに、未乾燥部分をなくし、基板全体を確実に乾燥させることができる回転塗布装置及び回転塗布方法を提供することにある。
本発明は、上述の課題を解決するため、
被処理基板表面中央上方に触媒溶液を滴下する滴下手段と、
前記滴下手段により前記被処理基板表面中央上方に触媒溶液を滴下した後に、前記被処理基板表面中央上方に気体を吹き付ける気体ノズルと、
前記触媒溶液の滴下時及び前記気体の吹き付け時において前記被処理基板を回転させる回転手段と、を備え、
前記気体ノズルは、そのノズル開口部に、上下動することにより気体吹き付け方向を被処理基板表面中央部分から周辺に変化させる物体を備えたことを特徴とする。
被処理基板表面中央上方に触媒溶液を滴下する滴下手段と、
前記滴下手段により前記被処理基板表面中央上方に触媒溶液を滴下した後に、前記被処理基板表面中央上方に気体を吹き付ける気体ノズルと、
前記触媒溶液の滴下時及び前記気体の吹き付け時において前記被処理基板を回転させる回転手段と、を備え、
前記気体ノズルは、そのノズル開口部に、上下動することにより気体吹き付け方向を被処理基板表面中央部分から周辺に変化させる物体を備えたことを特徴とする。
上記構成により、基板表面中央から気体を吹き付ける強制乾燥により乾燥時間の短縮が可能であり、また、吹き付け方向を中央から周辺に変化させていくことで、乾燥を中央部分から周辺に進行させることが可能となり、基板全体を一方向に乾燥させることができ、全体として基板上の液膜の乾燥時間の差を小さくできることで、触媒濃度の均一化に寄与する。
他の実施態様では、被処理基板表面中央上方に触媒溶液を滴下した後に、前記被処理基板表面に長手方向に設けられた複数個の気体ノズルから気体を吹き付ける細長い形状の気体吹き付け部と、
前記触媒溶液の滴下時に前記被処理基板を回転させ、前記気体の吹き付け時においてその回転を停止する被処理基板回転手段と、
前記気体の吹き付け時において前記気体吹き付け部を回転させる気体吹き付け部回転手段と、を備えたことを特徴とする。
前記触媒溶液の滴下時に前記被処理基板を回転させ、前記気体の吹き付け時においてその回転を停止する被処理基板回転手段と、
前記気体の吹き付け時において前記気体吹き付け部を回転させる気体吹き付け部回転手段と、を備えたことを特徴とする。
この構成で、液膜状態にした基板に対し、基板の回転を停止させ、基板上部に位置する前記気体吹き付け部を回転させながら気体を吹き付けることで、基板周辺部は単位領域当たりに吹き付けられる空気の量が中央部に比べて少なくなる。したがってこの構成においても、乾燥を中央部分から周辺に進行させることが可能となり、未乾燥部分をなくすことができる。また、気体を吹き付ける強制乾燥により乾燥時間の短縮が可能であり、全体として基板上の液膜の乾燥時間の差を小さくできる。
また、さらに他の実施態様では、
被処理基板表面中央上方に触媒溶液を滴下した後に、前記被処理基板表面に均一に設けられた複数個の気体ノズルから気体を吹き付ける平面形状の気体吹き付け部と、
前記触媒溶液の滴下時及び前記気体の吹き付け時において前記被処理基板を回転させる回転手段と、を備えたことを特徴とする。
被処理基板表面中央上方に触媒溶液を滴下した後に、前記被処理基板表面に均一に設けられた複数個の気体ノズルから気体を吹き付ける平面形状の気体吹き付け部と、
前記触媒溶液の滴下時及び前記気体の吹き付け時において前記被処理基板を回転させる回転手段と、を備えたことを特徴とする。
この構成において、被処理基板が回転している状態では、滴下された触媒溶液に作用する遠心力のため、中央部分が最も液膜が薄くなっている。そこで、平面形状の気体吹き付け部により回転している被処理基板表面に対して気体を吹き付けることで、乾燥が中央部分から周辺に進行させることが可能になり、未乾燥部分をなくすことができる。また、気体を吹き付ける強制乾燥により乾燥時間の短縮が可能であり、全体として基板上の液膜の乾燥時間の差を小さくできる。
本発明の回転塗布装置によれば、基板表面に吹き付けられる気体により触媒溶液の液膜を強制乾燥させるため、乾燥時間を短くすることができ、全体として基板上の液膜の乾燥時間の差を小さくできる。これにより、成膜の触媒濃度の均一化に寄与する。また、乾燥を中央部分から周辺に進行させることができるため、未乾燥部分をなくし、基板全体を確実に乾燥させることができる。
本発明に係る回転塗布装置の概略構造を図1と図2を用いて説明する。
図1は、回転塗布装置の斜視図である。図2は、基板を保持した状態の断面図である。
図1において、回転塗布装置は、液体用ノズル2と、結晶化促進液供給源3と、気体吹き付け手段4と、気体供給源5と、保持テーブル6と、回転軸7と、モータ8と、基板位置決めピン11と、基板支持ピン11とから構成されている。
液体用ノズル2は、結晶化促進液である触媒溶液を被処理基板1の表面中央に所定量滴下するためのノズルであり、滴下時には、被処理基板1中央上方に移動する。結晶化促進液供給源3は、液体用ノズル2に触媒溶液を供給するための液体供給源である。気体吹き付け手段4は、被処理基板1に対し気体11を吹き付けるための手段であり、気体吹き付けの際には、被処理基板1中央上方に移動する。気体供給源5は、気体吹き付け手段4に気体11を供給するための供給源である。保持テーブル6は、被処理基板1を保持するためのテーブルであり、被処理基板1を水平に保持する。回転軸7は、保持テーブル6を回転させる軸であり、保持テーブル6下側中央部に設けられている。モータ8は、回転軸7を回転させる。基板位置決めピン12は、保持テーブル上に被処理基板1の位置決めを行うためのピンであり、保持テーブル6上に固定されている。基板支持ピン13は、被処理基板1底部を支持するためのピンであり、保持テーブル6上に固定されている。
なお、本発明の実施形態で用いられる被処理基板1は、多角形状の基板であり、例えば、正方形、長方形でもよく三角形以上の多角形とする。本実施の形態では、一例として暑さ0.7〜1.0mmの矩形状の被処理基板1を用いる。また、被処理基板1は、例えば、アクティブマトリクス型液晶表示装置基板である。
結晶化促進液体供給源3には滴下される触媒溶液の流量または、滴下速度を調整できる様に可変絞り弁などの流量制御弁が備えられている。
液体用ノズル2と、気体吹き付け手段4の各駆動部には、図示しない制御部により、液体用ノズル2および気体吹き付け手段4を移動させる旨の指示が出され、その指示にした従って、液体用ノズル2と、気体吹き付け手段4が、被処理基板1中心部上方または側部へ移動する。すなわち、触媒溶液の滴下時には、液体用ノズル2が被処理基板1中央上方に移動するように駆動部に制御信号が出力され、気体吹き付け時には、液体用ノズル2が側部へ移動し(退避し)、代わって気体吹き付け手段4が被処理基板1中央上方に移動するように駆動部に制御信号が出力される。
被処理基板1の回転は、回転軸10を中心に保持テーブル6を図1中の9の方向に回転させる。
上記構成の回転塗布装置は、例えば、連続粒界結晶シリコン(Continuous
Grain Silicon;略称CGS)の結晶化工程における触媒析出によって膜を生成するために用いられる。
Grain Silicon;略称CGS)の結晶化工程における触媒析出によって膜を生成するために用いられる。
図2に示すように、被処理基板1は、底部が基板支持ピン13により支持され、被処理基板1の周囲に配置されている基板位置決めピン12により位置決めされている。
以下に、異なる気体吹き付け手段を用いた場合のそれぞれの具体的な塗布方法について説明する。
図3、図4は、気体吹き付け手段4の実施例1を示す。
この実施例1は、気体吹き付け手段4としてノズルAを用いたものであり、ノズル開口部に上下動可能なノズル中心部材24を備えている。
図3は、ノズル中心部材24が下方に位置する状態の断面図である。
図4は、ノズル中心部材24が上方に位置する状態の断面図である。
図3に示すように、ノズルAは、ノズル本体20と、吹き付け用気体を導入する気体導入部21と、ノズル中心部材24と、ノズル中心部材24を昇降させるためのノズル中心部材昇降機構22と、ノズル本体内部と外部を仕切るためのシール部23とによって構成される。ノズル開口部は略円錐状に形成されており、ノズル中心部材24は略球状に形成されている。
被処理基板1を保持テーブル6上に置き、被処理基板1を所定の回転数で回転させ、液体用ノズル2を被処理基板1表面中央上方に移動させてから、同ノズル2により、触媒溶液を所定量、被処理基板1表面中央に滴下する。液体用ノズル2を側部に移動させた後、ノズルAを被処理基板1中央上方に移動させる。この段階で被処理基板1上の溶液は液膜の状態になっていることが望ましい。次に、図3に示すようにノズル中心部材24が下方に位置した状態で、ノズルAから被処理基板1に対し気体を吹き付ける。このとき、気体は図3中の符号25のように流れるため、被処理基板1表面の中心付近に吹き付けられる気体の方が被処理基板1表面の外周部付近に吹き付けられる気体よりも勢いがあり、且つ、その量も多い。このため、液膜の乾燥は中央部分から始まる。中央部分が乾燥したら、図4に示すように、ノズル中心部材昇降機構22を駆動させ、ノズル中心部材24を上方に移動させる。これにより、気体は図4中の符号25のように流れるために、被処理基板1表面で気体が吹き付けられる領域は、被処理基板1の周辺方向に移動する。この方法により、乾燥領域は、内から外側一方向に進行し基板表面全体が確実に乾燥する。このため、各領域での触媒濃度の均一性にも優れる。また、気体の吹き付けにより液膜が強制乾燥するため乾燥時間が短くなる。なお、本実施例では、液膜を外周方向へ押しのける効果があるため乾燥時間の短縮効果が大きい利点がある。
図5〜6は、気体吹き付け手段4の実施例2を示す。
この実施例2は、気体吹き付け手段4として細長い形状の気体吹き付け部Bを用いたものであり、気体吹き付け部Bには、多数の気体ノズル(以下、ノズル)が形成されている。
図5は、気体吹き付け部Bを示す側面図である。
図6は、気体吹き付け部Bの底面図であり、図7は、気体吹き付け部Bの別の例(底面図)を示す。
気体吹き付け部Bは、細長い形状の気体吹き付け部本体30と、吹き付け用気体が流れる気体用配管部31と、気体吹き付け部本体30を回転するためのモータ32と、気体吹き付け部本体30の回転を受けるための回転継手33と、モータ30の回転力を気体吹き付け部本体30に伝達する回転軸34とから構成される。
被処理基板1を保持テーブル6上に置き、被処理基板1を所定の回転数で回転させ、液体用ノズル2を被処理基板1表面中央上方に移動させてから、同ノズル2により、触媒溶液を所定量、被処理基板1表面中央に滴下する。液体用ノズル2を側部に移動させた後、気体吹き付け部Bを被処理基板1中央上方に移動させる。この段階では被処理基板1上の溶液は液膜状態になっていることが望ましい。
被処理基板1の回転を止め、次に気体用配管部31を通じて気体を被処理基板1に吹き付けながら、モータ32を駆動させる。このとき、回転軸34を中心に気体吹き付け部本体30を符号35の回転方向に回転させる。気体吹き付け部本体30には、図5、6又は7のように多数の気体ノズル(以下、ノズル)36が設けられているため、各ノズル36から一斉に気体が被処理基板1上に吹き付けられる。このとき、気体吹き付け部本体30が回転しつつ気体が吹き付けられることで、被処理基板1上の回転中心は常に気体が吹き付けられる場所となり、外周に向かうにつれて、吹き付けられる気体の量が減る。
このため、乾燥領域は、内から外側に進行し、液膜が一方向に乾燥する。また、気体の吹き付けにより液膜が強制乾燥するため乾燥時間が短くなる。このため、各領域での触媒濃度の均一性にも優れる。
なお、本実施例において、被処理基板1の回転方向は、図5のように反時計回りに回転させても、時計回りに回転させても構わない。
また、気体吹き付け部本体30の長さは、被処理基板1の対角線の長さ以上に設定するのが望ましい。また、気体吹き付け部本体30底面に形成されているノズル36は、図6のように均等ピッチで配置しても良いし、図7のように不均等ピッチ(ピッチ間隔が、外周部付近よりも中心部付近の方が大きい)で配置しても良い。図7のような不均等ピッチにすることで、周辺領域の気体吹き付け量と中央部付近の気体吹き付け量が近似してくるので、各領域の乾燥時間差がより小さくなり触媒濃度の均一化に効果がある。
図8、9は、気体吹き付け手段4の実施例3を示す。
この実施例3は、気体吹き付け手段4として円平面形状の気体吹き付け部Cを用いたものであり、気体吹き付け部Cには、その表面に多数の気体ノズル(以下、ノズル)が均一に形成されている。
図8は、気体吹き付け部Cを示す斜視図である。
図9は、気体吹き付け部Cの底面図である。
図8に示すように、気体吹き付け部Cは、底面に多数のノズル37が均一に形成されている気体吹き付け部C本体40と、吹き付け用気体が流れる気体用配管41と、気体吹き付け部Cを上昇させる気体吹き付け部上昇機構42と、から構成されている。
被処理基板1を保持テーブル6上に置き、被処理基板1を所定の回転数で回転させ、液体用ノズル2を被処理基板1表面中央上方に移動させてから、同ノズル2により、触媒溶液を所定量、被処理基板1表面中央に滴下する。液体用ノズル2を側部に移動させた後、気体吹き付け部Cを被処理基板1中央上方に移動させる。この段階では被処理基板1上の溶液は液膜状態になっていることが望ましい。
気体吹き付け部Cで、被処理基板1を覆った状態で、被処理基板1を回転させながら、気体用配管部41を通じて気体を被処理基板1に吹き付ける。被処理基板1は、回転しているため、被処理基板1上の液膜には厚さの分布が存在し、中心部が最も液膜の厚さが薄い領域となる。このとき、気体吹き付け部C本体40が被処理基板1を覆っているため、被処理基板1表面には多数のノズル37から同時に気体が吹き付けられ、乾燥は中心から始まり、外周方向に進行する。
本実施例においても、乾燥領域は、内から外側一方向に進行し、液膜のまま残留する箇所がなくなって基板表面全体が確実に乾燥する。また、気体の吹き付けにより液膜が強制乾燥するため乾燥時間が短くなる。このため、各領域での触媒濃度の均一性にも優れる。
なお、気体吹き付け部Cは、被処理基板表面1と平行な平面形状であり、本実施例では、気体吹き付け部Cの面積として、被処理基板1の外接円の大きさのものを用いている。しかし、それ以上の大きさのものでも構わない。
また、ノズル37は、図9に示す同心円状のパターンのものを用いたが、これ以外の均一なパターンを採用しても良い。
また、気体吹き付け部Cとして、被処理基板1表面と平行な円平面形状のものを用いたが、被処理基板1表面と平行な矩形平面形状のものを用いてもよい。
1−被処理基板
2−液体用ノズル
3−結晶化促進液体供給源
4−気体吹き付け手段
5−気体供給源
6−保持テーブル
20−気体吹き付け部A本体
24−ノズル中心部材
2−液体用ノズル
3−結晶化促進液体供給源
4−気体吹き付け手段
5−気体供給源
6−保持テーブル
20−気体吹き付け部A本体
24−ノズル中心部材
Claims (11)
- 被処理基板表面中央に触媒溶液を滴下する滴下手段と、
前記滴下手段により前記被処理基板表面中央に触媒溶液を滴下した後に、前記被処理基板表面中央上方に気体を吹き付ける気体ノズルと、
前記触媒溶液の滴下時及び前記気体の吹き付け時において前記被処理基板を回転させる回転手段と、を備え、
前記気体ノズルは、そのノズル開口部に、上下動することにより気体吹き付け方向を被処理基板表面中央部分から周辺に変化させる物体を備えたことを特徴とする回転塗布装置。 - 被処理基板表面中央に触媒溶液を滴下する滴下手段と、
前記滴下手段により前記被処理基板表面中央に触媒溶液を滴下した後に、前記被処理基板表面に長手方向に設けられた複数個の気体ノズルから気体を吹き付ける細長い形状の気体吹き付け部と、
前記触媒溶液の滴下時に前記被処理基板を回転させ、前記気体の吹き付け時においてその回転を停止する被処理基板回転手段と、
前記気体の吹き付け時において前記気体吹き付け部を回転させる気体吹き付け部回転手段と、を備えたことを特徴とする回転塗布装置。 - 前記複数個の気体ノズルの配置ピッチが均等である請求項2記載の回転塗布装置。
- 前記複数個の気体ノズルの配置ピッチが不均等である請求項2記載の回転塗布装置。
- 前記被処理基板回転手段は、滴下された触媒溶液の余剰分を振り切ってから前記被処理基板の回転を停止する、請求項2〜4のいずれかに記載の回転塗布装置。
- 被処理基板表面中央に触媒溶液を滴下する滴下手段と、
前記滴下手段により前記被処理基板表面中央に触媒溶液を滴下した後に、前記被処理基板表面に均一に設けられた複数個の気体ノズルから気体を吹き付ける平面形状の気体吹き付け部と、
前記触媒溶液の滴下時及び前記気体の吹き付け時において前記被処理基板を回転させる回転手段と、を備えたことを特徴とする回転塗布装置。 - 前記気体吹き付け部は、円平面形状である請求項6記載の回転塗布装置。
- 前記気体吹き付け部は、矩形平面形状である請求項6記載の回転塗布装置。
- 被処理基板表面中央上方に滴下手段を移動して被処理基板を回転させながら触媒溶液を滴下し、
前記滴下手段により前記被処理基板表面中央に触媒溶液を滴下した後に、該滴下手段を退避させ、さらに、前記被処理基板表面中央上方に気体ノズルを移動させ、
次いで、前記気体ノズルから気体を吹き付けるとともに、そのノズル開口部に設けられている物体を上下動させて気体吹き付け方向を被処理基板表面中央部分から外周方向に同心円状に変化させていくことを特徴とする回転塗布方法。 - 被処理基板表面中央上方に滴下手段を移動して被処理基板を回転させながら触媒溶液を滴下し、
前記滴下手段により前記被処理基板表面中央上方に触媒溶液を滴下した後に、該滴下手段を退避させ、さらに、前記被処理基板表面中央上方に複数個の気体ノズルが長手方向に設けられた細長い形状の気体吹き付け部を移動させ、
次いで、前記被処理基板の回転を停止させるとともに前記気体吹き付け部を回転させ、
前記気体吹き付け部の各気体ノズルから前記被処理基板表面に気体を吹き付けることを特徴とする回転塗布方法。 - 被処理基板表面中央上方に滴下手段を移動して被処理基板を回転させながら触媒溶液を滴下し、
前記滴下手段により前記被処理基板表面中央上方に触媒溶液を滴下した後に、該滴下手段を退避させ、さらに、前記被処理基板表面中央上方に複数個の気体ノズルが均一に設けられた平面形状の気体吹き付け部を移動させ、
次いで、前記気体吹き付け部の各気体ノズルから前記被処理基板表面に気体を吹き付けることを特徴とする回転塗布方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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JP (1) | JP2006192393A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012030160A (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-16 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 塗布装置 |
KR101766866B1 (ko) | 2015-06-17 | 2017-08-14 | 한국에너지기술연구원 | 분말이 코팅된 원통형 또는 튜브형 지지체의 제조방법 및 이를 위한 장치 |
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2005
- 2005-01-14 JP JP2005008267A patent/JP2006192393A/ja active Pending
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KR101766866B1 (ko) | 2015-06-17 | 2017-08-14 | 한국에너지기술연구원 | 분말이 코팅된 원통형 또는 튜브형 지지체의 제조방법 및 이를 위한 장치 |
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