JP2006189596A - 光学多層膜フィルタの製造方法及び光学多層膜フィルタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に樹脂層を形成する工程と、前記樹脂層上に多層膜を形成する工程と、前記多層膜を樹脂層との界面から剥離する剥離工程とを有する光学多層膜フィルタの製造方法。多層膜を形成する工程と剥離工程との間に、多層膜及び樹脂層を所望の大きさに切断する工程を含むことも出来る。
【選択図】 なし
Description
基板として、4mm厚、100mmφの通常のソーダライムシリケートガラスを用意した。この基板にスピンコート法によりポリイミド膜の原料となるポリイミドワニスを塗布し、窒素雰囲気化380℃、60分焼成し、6FDA/TFDBの厚さ10μmのポリイミド膜を得た。なお、ポリイミド膜の厚さは、同条件で成膜した膜を一部剥がし、触針法で測定した値である。
基板として、4mm厚、100mmφの通常のソーダライムシリケートガラスを用意した。この基板にスピンコート法によりポリイミド膜の原料となるポリイミドワニスを塗布し、窒素雰囲気化380℃、60分焼成し、6FDA/TFDB−PMDA/TFDB 2成分系の6FDA/TFDB含有量60mol%の共重合体の厚さ10μmのポリイミド膜を得た。なお、ポリイミド膜の厚さは、同条件で成膜した膜を一部剥がし、触針法で測定した値である。
平面平滑な基板として、3mm厚、100mmφのAl基板を用意した。
Claims (5)
- 基板上に樹脂層を形成する工程と、前記樹脂層上に多層膜を形成する工程と、前記多層膜を樹脂層との界面から剥離する剥離工程とを有する光学多層膜フィルタの製造方法。
- 前記多層膜を形成する工程と剥離工程との間に、前記多層膜及び樹脂層を所望の大きさに切断する工程を有することを特徴とする請求項1に記載の光学多層膜フィルタの製造方法。
- 前記樹脂がフッ素化ポリイミドであることを特徴とする請求項1または2に記載の光学多層膜フィルタの製造方法。
- 光学多層膜をフッ素化ポリイミド膜から剥離する方法が、光学多層膜側からフッ素化ポリイミド膜の上部、もしくは基板に至る深さの分離溝(切り込み)を形成後、水、あるいは塩酸水溶液に浸漬することで光学多層膜をフッ素化ポリイミド膜から剥離させ、所定サイズのフィルタを得ることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の光学多層膜フィルタの製造方法。
- 前記請求項1乃至4のいずれかに記載された方法によって製
造された多層膜フィルタ。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2016010003A1 (ja) * | 2014-07-17 | 2017-04-27 | 旭化成株式会社 | 樹脂前駆体及びそれを含有する樹脂組成物、ポリイミド樹脂膜、樹脂フィルム及びその製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04211203A (ja) * | 1990-02-13 | 1992-08-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 誘電体多層膜フィルタおよびその製造方法並びにこれを用いた光学要素 |
JP2004157364A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Central Glass Co Ltd | 誘電体多層膜フィルタの製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5241417A (en) * | 1990-02-09 | 1993-08-31 | Copal Company Limited | Multi-layered optical filter film and production method thereof |
US5234772A (en) * | 1990-02-13 | 1993-08-10 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Dielectric multilayer, filter, manufacturing method therefor, and optical element incorporating the same |
JP3415049B2 (ja) * | 1998-12-16 | 2003-06-09 | 日本電信電話株式会社 | ポリイミドフィルム基板光学薄膜フィルタ素子の製造方法 |
JP2002243936A (ja) * | 2001-02-20 | 2002-08-28 | Nidec Copal Electronics Corp | 光学フィルタ及び光学フィルタの製造方法 |
US7067841B2 (en) * | 2004-04-22 | 2006-06-27 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Organic electronic devices |
US20080138637A1 (en) * | 2004-12-17 | 2008-06-12 | Masami Yanagida | Polyimide Multilayer Adhesive Film And Method For Producing The Same |
US7268006B2 (en) * | 2004-12-30 | 2007-09-11 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Electronic device including a guest material within a layer and a process for forming the same |
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04211203A (ja) * | 1990-02-13 | 1992-08-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 誘電体多層膜フィルタおよびその製造方法並びにこれを用いた光学要素 |
JP2004157364A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Central Glass Co Ltd | 誘電体多層膜フィルタの製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2016010003A1 (ja) * | 2014-07-17 | 2017-04-27 | 旭化成株式会社 | 樹脂前駆体及びそれを含有する樹脂組成物、ポリイミド樹脂膜、樹脂フィルム及びその製造方法 |
JP2018145440A (ja) * | 2014-07-17 | 2018-09-20 | 旭化成株式会社 | 樹脂前駆体及びそれを含有する樹脂組成物、ポリイミド樹脂膜、樹脂フィルム及びその製造方法 |
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