JP2006188416A - ガラス光学素子用成形型の製造方法 - Google Patents
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Abstract
高い精度で容易に直接母材に回折パターンを形成することにより、精度及び耐久性に優れたガラス光学素子用成形型を製造する方法を提供する。
【解決手段】
ガラス光学素子に転写する微細な回折パターンを成形面に有し、前記ガラス光学素子をモールド成形する型を製造する方法であって、前記成形型の母材1を成形型1に近似し、かつ前記回折パターンを有しない形状にし、形成した近似形状体の前記成形面に相当する面12を樹脂により被覆し、得られた樹脂層2に凹凸パターンを形成した後、樹脂層2及び前記近似形状体をエッチングし、前記近似形状体に樹脂層2の凹凸高さに比例した高さの凹凸からなる回折パターンを形成する方法。
【選択図】 図4
Description
本発明のガラス光学素子成形型は高温環境下で長期にわたって使用されるため、その母材が高温環境下でも必要な強度及び形状を維持し得るように高硬度材料からなるのが好ましい。高硬度材料としては、例えば超硬合金、セラミックス又はサーメットが好ましい。
樹脂としては切削時に形成される面が鏡面となるものであれば特に制限はない。そのような樹脂として、ポリイミド(PI)、ポリアミド及びアクリル樹脂からなる群から選ばれた少なくとも一種が好ましい。中でも切削時に良好な鏡面が得られ、耐熱性が高いPIがより好ましい。
本発明の光学素子成形型の製造方法を、図面を参照して以下に説明する。
(1) アモルファス相形成工程
図1は本発明の成形型を作製するための母材の一例を示す。この例では、母材1は焼結した結晶性の高硬度材料からなる基材10と、その上に形成された高硬度材料のアモルファス相の層11からなる。基材10とアモルファス層11を構成する高硬度材料は同じであるのが好ましいが、必ずしも同じである必要はない。アモルファス層11は、例えば化学気相成長法(CVD法)、スパッタリング法等により、基材10に高硬度材料成分を蒸着させることにより形成できる。中でもアモルファス層11の形成方法としてはCVD法が好ましい。CVD法としては、プラズマCVD法、熱CVD法、高周波プラズマCVD法等から適宜選択することができる。
図2に示すように、母材1のアモルファス層11の上面を、回折パターン13を有しない以外目的とする最終形状とほぼ同じ形状(近似形状)に加工する。この例では、近似形状体の成形面に相当する面(以下、単に近似形状成形面という)12は、凸面レンズ用の凹型であるが、勿論適宜凹面レンズ用、非球面レンズ用等の近似形状成形面12を形成すればよい。
図3に示すように、得られた近似形状成形面12を樹脂で被覆する。樹脂層2の厚さは均一であるのが好ましい。樹脂層2は、例えばスピンコート法を用いて塗布することにより均一に形成することができる。スピンコート法を用いる場合、樹脂2に適宜溶媒を添加し、塗布液の粘度を調整するのが好ましい。溶媒としては、ジメチルアセトアミド(DMAc)、N-メチル-2-ピロリドン(NMP)等が挙げられる。樹脂層2の厚さは、目的とする回折パターン、後段のエッチング方法/条件等に応じて、適宜設定すればよいが、一般的に乾燥膜厚で1〜30μmとするのが好ましい。後段の樹脂層2の切削時に良好な鏡面が形成されるように、塗布液に使用した溶媒は十分に除去する。
図4に示すように、樹脂層2に凹凸パターン20を形成する。この例では凹凸パターン20を鋸歯状としているが、勿論目的とする回折パターン13に応じて凹凸パターン20の形状を適宜設定する。
図5に示すように、アモルファス層11に輪帯加工を施す場合、樹脂層2に形成する凹凸パターン20は次のように設計するのが好ましい。先ず図6(a) に示すように、最終形状の回折頂点Vとその隣の頂点V’の間V−V’を任意の数で等分する。設計値に近い最終形状を得られるよう樹脂層2を精密に設計するために、V−V’を30以上に等分するのが好ましい。V−V’を細分化するほど樹脂層2の設計を精密にし得るが、何等分にするかは、実用的にはV−V’の長さに応じて決定すればよい。
凹凸パターン20は切削することにより形成できる。切削手段として、例えばダイヤモンドバイト、ミクロトームが挙げられる。但し凹凸パターン20の形成方法は切削に限定されず、プレス加工、ブラスト加工等、切削以外の方法を用いて形成してもよい。
図7に示すように、樹脂層2及び近似形状成形面12をエッチングする。エッチング方法としては異方性ドライエッチング法が好ましい。異方性ドライエッチング法としては、高速原子線エッチング(Fast Atom Beam,FAB)法、反応性イオンエッチング(Reactive Ion Etching,RIE)法、反応性イオンビームエッチング(Reactive Ion Beam Etching,RIBE)等が挙げられる。異方性ドライエッチング法としては、中でも方向選択性(異方性)に優れたFAB法及びRIE法が好ましく、FAB法がより好ましい。高速原子線は、中性のエネルギー粒子ビームであり、イオンビームのように電荷が蓄積したり、イオン同志が反発したりし難いので、指向性に非常に優れている。そのためFABを用いて異方性ドライエッチングを施すと、回折パターン13を一層高い精度で形成できる。
必要に応じて、回折パターン13を形成した成形面に保護膜を形成してもよい。保護膜としては、ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜及び/又は貴金属膜が好ましい。
図1〜4、7及び9に示す手順により成形型を作製した。
(1) アモルファス相形成工程
焼結したSiCからなる基材10上に、CVD法(ソースガス:TMSガス)によりアモルファスSiC層11(厚さ:300μm、密度:3.2 g/cm3)を形成し、図1に示す母材1を作製した。
母材1のアモルファスSiC層11の表面をダイヤモンド砥石により切削加工し、図2に示す球面12(半径:50 mm)からなる近似形状成形面(レンズ有効径:4.6 mm)を形成した。以下図2、3、7及び9では球面12の曲率を実際より高く記載しており、各ピッチd1,d3及び各段差d2,d4は実際より大きく記載しており、段数は実際より少なく記載している。
得られた球面12にポリイミド樹脂のDMAc溶液をスピンコート法により塗布し、乾燥することにより、図3に示すポリイミド樹脂層2を形成した(乾燥膜厚:2.5μm)。
得られたポリイミド樹脂層2をダイヤモンドバイトにより切削加工し、エッチング後にフレネルレンズ形成用の回折パターン13が得られるように、図4に示す凹凸パターン20を形成した。得られた凹凸パターン20のピッチ及び段差をAFMにより調べたところ、各ピッチd1は40±0.02μmであり、各段差d2は2.1±0.02μmであった。
FAB法(加速電圧:1.5 kV〜6.0 kV、エッチングガス:SF6、母材の保持温度:80℃〜140℃)により、図7に示すように樹脂層2及び球面12をエッチングし、図9に示すフレネルレンズ形成用の回折パターン13を形成した。上記条件でのFAB法におけるエッチング速度比(PI)/(アモルファスSiC)は3である。得られた回折パターン13の凹凸のピッチ及び段差をAFMにより調べたところ、各ピッチd3は40±0.02μmであり、各段差d4は0.7±0.02μmであった。
作製した成形型により、硼珪クラウン(BK)からなるBK7ガラス(商品名「S-BSL 7」、OHARA株式会社製)を用いてフレネルレンズをモールド成形した。まず成形型上にガラスを設置し、650℃になった時点でレンズを成形し、得られたレンズを300℃で成形型から取り出した。得られたフレネルレンズの回折パターンのピッチ及び段差をAFMにより調べたところ、各ピッチは40±0.02μmであり、各段差は0.7±0.02μmであった。上記の成形サイクルを繰り返すことにより成形型の耐久性を調べた。その結果、5,000〜10,000回の繰り返し試験後において、成形型の損傷は見られなかった。
10・・・基材
11・・・アモルファス層
12・・・近似形状体の成形面
13・・・回折パターン
2・・・樹脂層
20・・・凹凸パターン
Claims (12)
- ガラス光学素子に転写する微細な回折パターンを成形面に有し、前記ガラス光学素子をモールド成形する型を製造する方法であって、前記成形型の母材を成形型に近似し、かつ前記回折パターンを有しない形状にし、形成した近似形状体の前記成形面に相当する面を樹脂により被覆し、得られた樹脂層に凹凸パターンを形成した後、前記樹脂層及び前記近似形状体をエッチングし、前記近似形状体に前記樹脂層の凹凸高さに比例した高さの凹凸からなる回折パターンを形成することを特徴とする方法。
- 請求項1に記載のガラス光学素子用成形型の製造方法において、前記エッチング後に前記母材に形成される凹凸パターンが目的とする回折パターンとなるように、前記樹脂層に形成する凹凸パターンの前記成形面方向の形状を前記回折パターンと同じにし、前記樹脂層の凹凸高さを前記回折パターンの凹凸高さと、前記樹脂と前記母材の材質とのエッチング速度比の積にすることを特徴とする方法。
- 請求項1又は2に記載のガラス光学素子用成形型の製造方法において、前記回折パターンの各回折頂点を滑らかな曲線で結んだ形状を前記近似形状とすることを特徴とする方法。
- 請求項3に記載のガラス光学素子用成形型の製造方法において、前記滑らかな曲線をスプライン曲線とすることを特徴とする方法。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のガラス光学素子用成形型の製造方法において、各回折頂点間距離を等分し、各等分点における前記近似形状体と前記ガラス光学素子用成形型との距離と、前記エッチング速度比の積を各回折頂点間の中点で反転させ、各等分点において得られた値を前記樹脂層の厚さとすることを特徴とする方法。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のガラス光学素子用成形型の製造方法において、前記母材は、タングステンカーバイドを主成分とする超硬合金、セラミックス又はサーメットから選択される高硬度材料からなることを特徴とする方法。
- 請求項6に記載のガラス光学素子用成形型の製造方法において、前記母材は少なくとも前記回折パターンを形成する面が、前記高硬度材料のアモルファス相からなることを特徴とする方法。
- 請求項7に記載のガラス光学素子用成形型の製造方法において、前記アモルファス相を化学気相成長法により形成することを特徴とする方法。
- 請求項1〜8のいずれかに記載のガラス光学素子用成形型の製造方法において、前記樹脂をポリイミド、ポリアミド及びアクリル樹脂からなる群より選ばれた少なくとも一種とすることを特徴とする方法。
- 請求項1〜9に記載のガラス光学素子用成形型の製造方法において、前記エッチングの方法として異方性ドライエッチング法を用いることを特徴とする方法。
- 請求項10に記載のガラス光学素子用成形型の製造方法において、前記異方性ドライエッチング法として高速原子線エッチング法又は反応性イオンエッチング法を用いることを特徴とする方法。
- 請求項1〜11のいずれかに記載のガラス光学素子用成形型の製造方法において、前記成形型の母材の表面に前記回折パターンを形成した後、ダイヤモンドライクカーボン及び/又は貴金属からなる保護膜を形成することを特徴とする方法。
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