JP2006186082A - 投影露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源からの露光用の光を集光する集光系と、この集光系からの入射光をウエハ上に結像するホトマスクと、このホトマスクからの透過光をウエハ上に投影する投影光学系と、ウエハを支持する支持部と、少なくとも投影光学系からウエハ支持部までを媒体で密閉した密閉系を有する投影露光装置であって、投影レンズの表面に、投影レンズのNA(開口数)を大きくする前記投影レンズと屈折率の異なる材料でコーティングする。
【選択図】図1
Description
本発明の投影露光装置に用いられる露光用の光は、g線(456nm)、i線(365nm)、KrF(248nm)、ArF(193nm)、F2(156nm)、Ar2、Kr2エキシマレーザー、電子ビームのどれかである。
本発明の投影露光装置の一例として、図1に示した装置について説明する。この装置では、光源1を出た光は、第1反射鏡2、インテグレータ3及び第2反射鏡4を経て、光源からの露光用の光を集光する集光レンズ5に照射される。光源1として使用できる露光光には、g線(456nm4)、i線(365nm)、KrF(248nm)、ArF(193nm)、F2(156nm)、Ar2、Kr2エキシマレーザー、電子ビームなどがあり、どれかを選択して使用する。集光系及び投影光学系に使用できるレンズとしては、公知のものが用いられ、例えば数種の光学ガラスからなる複数枚のレンズで構成されたものを用いることができる。
密閉系12に封入される媒体11としては、投影レンズからの光の入射角をどこまで使用するかによるため、特に規定されないが、屈折率が1.5以上の媒体を使用することが望ましい。例えば、桂皮油、キノリン、 フェノール、 ベンジルアルコール、 テトラリン、ジヨードメタン、また、ヨウ化メチレンや砒素化合物が主成分の液体などの大きい屈折率の媒体のどれかを選択して使用する。本発明はこれら媒体を単独で用いるが、混合が可能で、屈折率が1.5以上に大きくできるのであれば、複数を混合して用いてもよい。例えば、ヨウ化メチレンが主成分の液体と砒素化合物が主成分の液体の成分を調整することにより、屈折率が1.7より大きい媒体が得られる。
このコーティングされる屈折材料9aについては、屈折率nの好適な範囲は1.5〜3.0であり、媒体11により自由に変えられることが望ましい。屈折率材料9aは、水晶以外にも、使用する光源の波長領域に強い吸収のある材料以外であれば可能で、屈折率nが1.5よりも大きい材料としてサファイア、ダイヤモンド、または電気石のスパッタリング膜または蒸着膜を使用することができる。本発明は密閉系の媒体の屈折率に対応して、投影レンズ上の屈折材料を変えることにより、NA(開口数)を制御することができる。
これらの手段を用いることにより、本実施例ではNA(開口数)を、約1.43から1.54と大きくすることが可能になる。開口数NAは、NA=n・sinθ(nは屈折率、θは最大入射角)で表され、理論的にθは90°未満で、sin(90°)=1とすると、NAは、屈折率nの大きさで何倍になるか見積もることが可能で、特許文献1の実屈折率nは1.43であるのに対して、本発明の上記実施例では水晶の屈折率が1.54であるので、1.54/1.43=1.0769倍になる。
その結果としてレジストの解像力を7%向上することができる。
5 集光レンズ
6 マスク
7 ウエハ
8 投影レンズ系
9 投影レンズ
9a 屈折材料
10 ウエハ支持台
11 媒体
12 密閉系
Claims (5)
- 光源からの露光用の光を集光する集光系と、この集光系からの入射光をウエハ上に結像するホトマスクと、このホトマスクからの透過光をウエハ上に投影する投影光学系と、ウエハを支持する支持部と、少なくとも投影光学系からウエハ支持部までを単体、あるいは、2成分以上からなる媒体で密閉した密閉系を有する投影露光装置であって、
投影レンズの表面に、投影レンズのNA(開口数)を大きくするために前記投影レンズと屈折率の異なる材料でコーティングすることを特徴とする投影露光装置。 - 投影レンズの表面にコーティングされる材料の屈折率が、前記投影レンズの屈折率よりも大きい材料である請求項1記載の投影露光装置。
- 投影レンズの表面にコーティングされる材料の屈折率が1.5〜3.0である請求項1または2に記載の投影露光装置。
- 投影レンズの表面にコーティングされる材料は、水晶、サファイア、ダイヤモンド、または電気石である請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の投影露光装置。
- 前記露光用の光は、g線(456nm)、i線(365nm)、KrF(248nm)、ArF(193nm)、F2(156nm)、Ar2、Kr2エキシマレーザー、電子ビームのどれかである請求項1乃至4のいずれか1項に記載の投影露光装置。
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