JP2006179732A - 半導体パワーモジュール - Google Patents
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Abstract
樹脂封止半導体パワーモジュールのハンダ接続部の熱疲労寿命と耐湿性とを、同時に向上させる。
【解決手段】
本発明の半導体パワーモジュールは、セラミックス基板に高純度AlもしくはAl合金を直接接触させて接合させた絶縁基板にハンダを介してSiチップを搭載し、このSiチップと絶縁基板とを、線膨張係数が10×10-6〜40×10-6/℃、ヤング率が3〜20GPa、ガラス転移温度Tgが150℃以上であるのエポキシ系樹脂で封止した。
【選択図】図1
Description
(2)ヤング率:3GPa〜20GPa、望ましくは5GPa〜10GPa。
(3)先に塗布されるポリイミド系樹脂9に対して密着性に優れること。
(4)ガラス転移温度Tgが150℃以上、望ましくは170℃以上であること。
(5)シリコーンゲル等の高温で安定な微粒子ゴムを可撓化剤としてエポキシ系樹脂に分散させて衝撃を緩和。
(6)不純物濃度:Na+,K+≦1ppm、Cl-≦5ppm
さらに、以下の新たな機能が追加されることになる。
(7)エポキシ系樹脂で封止する前に、実装したSi基板表面を、予め耐熱性のある柔らかいポリアミドイミド系、あるいはポリイミド系樹脂を、薄くスプレー等で塗布する。耐熱性に優れる柔らかいポリイミド系樹脂を薄く塗布することでエポキシ系樹脂にはない新たな変形機能付加により、応力を逃がす役割を果たす。この結果、半導体パワーモジュールで、高信頼実装を実現することが可能になった。
Claims (7)
- セラミックス絶縁基板と、該セラミックス絶縁基板の一方の面に配置した第1の電極と、該電極にハンダを介して接合したSi半導体チップと、前記セラミックス絶縁基板の一方の面に配置した第2の電極と、該第2の電極にハンダを介して接合したリードとを備えた半導体パワーモジュールにおいて、
前記セラミックス絶縁基板が、溶融したAlあるいは溶融したAl合金をセラミックス絶縁基板の一方の面と該一方の面対向する他方の面に直接に接触させて凝固させて接合したAl−セラミックス複合絶縁基板であり、
前記Si半導体チップと第1の電極とを接合するハンダが、Sn−Ag−Cu系、Sn−Cu系、Sn−Sb系ハンダ、もしくはこれらにNi,Cu,Ag,Ge,In,Bi,Zn等のいずれか一つ以上の元素を含む鉛フリーハンダであって、
前記第1の電極と第2の電極とが、ワイヤボンデイング接続、もしくはテープ、リードフレームを介して接続され、
前記セラミックス絶縁基板と、Si半導体チップと、第1の電極と、Si半導体チップと第1の電極とを接合するハンダとが、エポキシ系樹脂でポッテイングもしくはトランスファモールドで封止され、
該エポキシ系樹脂の線膨張係数が10×10-6〜40×10-6/℃であり、該エポキシ系樹脂のヤング率が3〜20GPaであることを特徴とする半導体パワーモジュール。 - 請求項1において、前記エポキシ系樹脂の線膨張係数が14×10-6〜24×10-6/℃であることを特徴とする半導体パワーモジュール。
- 請求項1あるいは請求項2の何れかにおいて、前記エポキシ系樹脂が、シリコーン系の可撓化剤を1重量%〜15重量%含むことを特徴とする半導体パワーモジュール。
- 請求項1から請求項3の何れかにおいて、前記エポキシ系樹脂のガラス転移温度Tgが150℃〜250℃であることを特徴とするパワーモジュール。
- 請求項1から請求項4の何れかにおいて、前記Si半導体チップの上面に前記エポキシ系樹脂を介してフェライト層を配置したことを特徴とする半導体パワーモジュール。
- 請求項1において、前記Al−セラミックス複合絶縁基板のセラミックス基板が、Al2O3、AlN、Si3N4の何れかであることを特徴とする半導体パワーモジュール。
- 請求項6において、前記Si半導体チップが、IGBTあるいはパワーMOSFETあるいはダイオードの何れかであることを特徴とする半導体パワーモジュール。
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