JP2006173362A - チップ搭載装置およびチップ搭載方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】紫外線照射により窒素ガスを発生する性質を有する粘着層5aによってチップ6を貼着保持したシート5からチップ6をピックアップして基板に搭載するチップ搭載装置において、UV光源部8bとシート5との間に2枚の遮光板37,38を重ね合わせた構成のシャッター部を設け、それぞれの透光部37b、38bが重複した透光範囲Tを変更自在とする。そして光照射に先立って、チップ6の形状・サイズに応じてシート5に照射される光が透過する透光範囲Tを変更する。これにより、ピックアップ対象のチップに応じた範囲のみに光を照射して、サイズが異なる多品種のチップを安定してピックアップして基板に搭載することができる。
【選択図】図13
Description
記チップをピックアップして基板に搭載するチップ搭載方法であって、前記シートに下方から光を照射することにより前記粘着剤によるチップの貼着保持力を低下させる光照射工程と、前記チップを前記シートからピックアップするピックアップ工程と、ピックアップされた前記チップを基板に搭載する搭載工程とを含み、前記光照射工程に先立って、前記チップの形状・サイズに応じて前記光が透過する透光範囲の形状・大きさを変更する透光範囲変更工程を実行する。
5からチップ6を取り出すピックアップ位置Pとなっている。光照射部8は、シート5の下面に当接する筒状の導光部8aおよび導光部8aの下方に内蔵されたUV光源部8b(図2(b)参照)を備えており、UV光源部8bから上方に投射された紫外線を導光部8aの内部を介してシート5の下面に照射する。
遮光部137aとし、遮光板37では切除されていた透光部37bに相当する範囲を透明なまま残して透光部137bとしている。透明ガラス板の周囲の側面137cにも同様に遮光膜が蒸着により形成されている。これにより周囲への漏光を防止して光照射効率を改善することができる。なお、図4(b)では、遮光部材137のみをガラス板で製作しているが、同様に遮光板38を同様構成の透明ガラス板で製作してもよい。
。
から発生したガスによりチップ6が移動してしまい、保持ツール20がチップ6を保持する直前にチップ6が位置ずれしてしまう可能性が高い。
5 シート
5a 粘着層
6 チップ
7 部品供給ステージ移動機構
8 光照射部
9 シャッター機構
10 基板保持ステージ
12 基板
16 部品保持ヘッド移動機構
19 部品保持ヘッド
20 保持ツール
37、38 遮光板
37a、38a 遮光部
37b、38b 透光部
T 透光範囲
Claims (6)
- 粘着剤によって上面にチップを貼着保持したシートから前記チップをピックアップして基板に搭載するチップ搭載装置であって、
前記基板を保持する基板保持部と、前記シートを保持するシート保持部と、前記チップを前記シートからピックアップするピックアップ手段と、前記ピックアップされたチップを前記基板に搭載する搭載手段と、前記シート保持部の下方に設けられ前記シートに下方から光を照射することにより前記粘着剤によるチップの貼着保持力を低下させる光照射手段と、前記光照射手段と前記シートの下面との間に設けられ前記光が透過する透光範囲の形状・大きさを変更する透光範囲変更手段とを備えたことを特徴とするチップ搭載装置。 - 前記透光範囲変更手段は、光を遮断する遮光部と光を透過する透光部とがそれぞれ設けられた複数の遮光板を重ね合わせて前記透光部が重複した透光範囲を形成するシャッター部を備え、前記遮光板を重ね合わせ面方向に相互に移動させることにより前記透光範囲の形状・大きさを変更することを特徴とする請求項1記載のチップ搭載装置。
- 前記透光範囲の形状が矩形状であることを特徴とする請求項1記載のチップ搭載装置。
- 粘着剤によって上面にチップを貼着保持したシートから前記チップをピックアップして基板に搭載するチップ搭載方法であって、
前記シートに下方から光を照射することにより前記粘着剤によるチップの貼着保持力を低下させる光照射工程と、前記チップを前記シートからピックアップするピックアップ工程と、ピックアップされた前記チップを基板に搭載する搭載工程とを含み、前記光照射工程に先立って、前記チップの形状・サイズに応じて前記シートに照射される光が透過する透光範囲の形状・大きさを変更する透光範囲変更工程を実行することを特徴とするチップ搭載方法。 - 前記透光範囲変更工程において、光を遮断する遮光部と光を透過する透光部とがそれぞれ設けられた複数の遮光板を重ね合わせて前記透光部が重複した透光範囲を形成し、前記遮光板を重ね合わせ面方向に相互に移動させることにより前記透光範囲の形状・大きさを変更することを特徴とする請求項4記載のチップ搭載方法。
- 前記透光範囲の形状を矩形状に形成することを特徴とする請求項4記載のチップ搭載方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004363888A JP2006173362A (ja) | 2004-12-16 | 2004-12-16 | チップ搭載装置およびチップ搭載方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004363888A JP2006173362A (ja) | 2004-12-16 | 2004-12-16 | チップ搭載装置およびチップ搭載方法 |
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JP2006173362A true JP2006173362A (ja) | 2006-06-29 |
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JP2004363888A Pending JP2006173362A (ja) | 2004-12-16 | 2004-12-16 | チップ搭載装置およびチップ搭載方法 |
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JP (1) | JP2006173362A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010219219A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Alpha- Design Kk | 電子部品剥離装置及び電子部品剥離方法 |
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2004
- 2004-12-16 JP JP2004363888A patent/JP2006173362A/ja active Pending
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JP2010219219A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Alpha- Design Kk | 電子部品剥離装置及び電子部品剥離方法 |
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