JP2006173220A - イメージセンサーチップパッケージ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体基板の表面のイメージセンサー形成面に、それを構成する回路素子を形成する。また、その上に形成した多層配線部内の所定の配線層が、貫通電極に接続される。多層配線部のさらに上面には、透明絶縁膜が形成される。この透明絶縁膜を通して外部からの光線が、イメージセンサー形成領域の受光素子領域に入射できるように構成されている。半導体基板の裏面では、裏面配線が形成され、かつ、この裏面外表面には、外部接続用のバンプが形成されて、貫通電極に直接接続されるだけでなく、裏面配線上の所望位置に接続される。
【選択図】 図1
Description
Claims (6)
- 半導体基板の第1の主面に受光素子を含む回路素子を形成したイメージセンサー形成面と、
該イメージセンサー形成面の受光素子領域外に形成された多層配線部と、該配線層内の所定の配線層に接続するために前記受光素子領域外の半導体基板周辺に設けられ、かつ、半導体基板を貫通して第2の主面側にまで到達する貫通電極と、
前記イメージセンサー形成面の上面に設けられて、外部からの光線が前記イメージセンサー形成面の受光素子領域に入射できるように構成される透明絶縁膜と、
半導体基板の前記第1の主面とは反対側の第2の主面の上に形成された裏面配線と、
半導体基板の第2の主面上で前記貫通電極に直接接続されるだけでなく、裏面配線上の所望位置に接続される外部接続用のバンプと、
から成るイメージセンサーチップパッケージ。 - 前記イメージセンサー形成面に、画像センサーLSI、赤外線センサーLSI、温度センサーLSIが形成される請求項1に記載のイメージセンサーチップパッケージ。
- 画像処理プロセッサーを構成する両面電極パッケージの上面に積層固定される請求項1に記載のイメージセンサーチップパッケージ。
- 半導体基板の第1の主面に受光素子を含む回路素子を形成したイメージセンサー形成面を形成し、
該イメージセンサー形成面の受光素子領域外に形成された多層配線部と、該配線層内の所定の配線層に接続するために前記受光素子領域外の半導体基板周辺に設けられ、かつ、半導体基板を貫通して第2の主面側にまで到達する貫通電極を設け、
前記イメージセンサー形成面の上面に透明絶縁膜を設けて、外部からの光線が前記イメージセンサー形成面の受光素子領域に入射できるように構成し、
半導体基板の前記第1の主面とは反対側の第2の主面の上に裏面配線を形成し、
半導体基板の第2の主面上で前記貫通電極に直接接続されるだけでなく、裏面配線上の所望位置に接続される外部接続用のバンプを形成した、
ことから成るイメージセンサーチップパッケージの製造方法。 - 前記貫通電極は、ナノ金属粒子により形成されている請求項4に記載のイメージセンサーチップパッケージの製造方法。
- 前記裏面配線は、ナノ金属粒子を用いたインクジェット方式によって行われる請求項4に記載のイメージセンサーチップパッケージの製造方法。
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2004
- 2004-12-14 JP JP2004360764A patent/JP2006173220A/ja active Pending
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