JP2006170437A - 流体動圧軸受装置 - Google Patents

Abstract

【課題】製造寸法のバラツキに起因する規定方向へのポンプ作用に対する悪影響を抑えて流体動圧を発生させることができる表面溝パターン構造の流体動圧軸受装置を提供する。
【解決手段】少なくとも２個の軸受構成部材１、２を備え、対向する軸受面の間に軸受流体が満たされる軸受間隙３が形成され、軸受面の少なくとも一方に形成されて流体動圧を発生させる表面溝パターン構造１１を備え、軸受構成部材１、２が相対的に回転することにより、軸受間隙３内に流体動圧を発生させる流体動圧軸受装置であって、表面溝パターン構造１１は、少なくとも３つのパターン構成部分１１ａ，１１ｂ，１１ｃを含み、各パターン構成部分１１ａ，１１ｂ，１１ｃは、各々隣り合うパターン構成部分毎に本質的に逆方向である規定された方向にポンプ作用を発生させる。
【選択図】図５Ａ

Description

本発明は、対向して相対的に回転可能な少なくとも２個の軸受構成部材を備え、対向する軸受面の間に軸受流体が満たされている軸受間隙が形成され、軸受面の少なくとも一方に流体動圧を発生させる表面溝パターン構造が形成され、軸受構成部材が相対的に回転することにより軸受間隙の範囲内に流体動圧を発生させる流体動圧軸受装置、特に、ラジアル動圧軸受装置に関する。

流体動圧軸受装置は、一般的に相対的に回転する少なくとも２個の軸受構成部材により構成される。それらの軸受構成部材における対向する２つの軸受面の間には、例えば空気又は軸受油等の軸受流体が満たされる軸受間隙が形成される。その場合の軸受面には、軸受流体に作用する表面溝パターン構造を設けることが従来から知られている。

流体動圧軸受装置の表面溝パターン構造は、一般的に、軸受面の一方又は両方に、凹形状又は凸形状に形成される。対向する軸受面に配置されたそれらの構造は、軸受構成部材が相対的に回転する際に、軸受間隙の中に流体動圧を発生させる軸受の表面溝パターン構造、及び／又は、ポンプ用表面溝パターン構造として機能する。ラジアル動圧軸受装置の場合には、例えば、少なくとも一方の軸受構成部材の周囲表面上に割り当てられて配置され、その軸受構成部材の回転軸と垂直方向に、放物線形状又はヘリングボーン形状の表面溝パターン構造が形成される。

理想的な流体動圧軸受装置では、軸受流体が満たされた２個の軸受構成部材の間に配置される軸受間隙は、軸受の全長に渡って同一の幅である。しかし、実際の流体動圧軸受装置では、軸受間隙の幅が理想とは異なってしまう。軸受相手となる軸受構成部材は、多くの場合円錐形であり、そのため軸受間隙の幅は軸受の長さ方向に拡大又は縮小される。

流体動圧軸受装置の一方の表面溝パターン構造によるポンプ作用は、軸受間隙の幅に依存しており、軸受間隙の幅の違いに加えて全く対称な表面溝パターン構造に基づいて、異なった方向と強さでポンプ作用が発生される。

図１は、円錐形状の軸受孔に対向するシャフト表面に対称の表面溝パターン構造が形成された従来のラジアル流体動圧軸受装置の概略構成を示した側面図である。
図１には、上述した状態の例として、円錐形状（誇張描写されている）の軸受孔を有する軸受スリーブ１と、シャフト２の外周に図示された対称の表面溝パターン構造４により構成されるラジアル流体動圧軸受装置が示されている。対称に形成された表面溝パターン構造４は、シャフト２の回転に伴い、軸受間隙３における軸方向の何れの方向に対しても同一の強度でポンプ作用を発生させることが期待されるものである。

しかし、実際には、表面溝パターン構造４のうちでも、軸受間隙３の幅が狭いところに位置するパターン構成部分は、軸受間隙３の幅が広いところに位置するパターン構成部分よりも強力なポンプ作用を発生させる。従って、図示されている例では、矢印５の方向へのポンプ作用がより強くなり、それによって軸受流体は、回転軸６と平行に矢印５に沿って、図中の上方向に付勢される。

又、実際のポンプ作用は、規定された方向及び強さのポンプ作用であることがしばしば望まれる。そのような場合に用いられるのが、図２に図示されている非対称である放物線形状の従来の表面溝パターン構造（又はポンプ用表面溝パターン構造）７である。例えば、放物線形状の表面溝パターン構造（ポンプ用表面溝パターン構造）７の場合、パターン構成部分７ａは、これと逆向きに作用するパターン構成部分７ｂよりも長く、より長いパターン構成部分である７ａにより発生されるポンプ作用は、より短いパターン構成部分７ｂにより発生されるポンプ作用よりも強い。従ってポンプ作用としては、主により短いパターン構成部分７ｂの方向に発生されることになり、軸受流体は、より長いパターン構成部分７ａから発してより短いパターン構成部分７ｂに向かう矢印８に沿って、図中の下方向に付勢される。

しかしながら、実際の流体動圧軸受装置では、上記の図２に示された表面溝パターン構造が非対称であることにより発生されるポンプ作用と、上記の図１に示された軸受構成部材同士の形状の相違により発生されるポンプ作用とが重なり合って動圧が発生される。又、軸受構成部材の製造寸法公差が大きくばらつくことによって、あるパターン構成部分から別のパターン構成部分へのポンプ作用に大きな差が発生する場合があり、状況次第では、規定方向に対する負方向への圧力が軸受領域内に発生される場合がある。このことを避けるには、表面溝パターン構造を非常に非対称に形成させて規定された必要不可欠なポンプ作用を確保できるようにすれば可能であるが、その場合には、結果的に流体動圧軸受装置の性能を悪化させるという問題がある。

本発明は上述したような課題を解決するためになされたもので、上述した軸受構成部材の製造寸法公差のバラツキに起因する規定方向へのポンプ作用に対する悪影響（規定方向に対する負方向への圧力と性能の悪化）を抑えられるように改善された流体動圧を発生させることができる表面溝パターン構造の流体動圧軸受装置を提供することを目的とする。

この課題を解決するために、この発明に係る流体動圧軸受装置は、流体動圧を発生させる表面溝パターン構造と、
対向して相対的に回転可能な少なくとも２個の軸受構成部材を備え、
対向する軸受面の間に軸受流体が満たされている軸受間隙が形成され、
軸受面の少なくとも一方に表面溝パターン構造が形成され、
軸受構成部材が相対的に回転することにより、軸受間隙の範囲内に流体動圧を発生させる流体動圧軸受装置であって、
表面溝パターン構造は、少なくとも３つのパターン構成部分を含み、
各パターン構成部分は各々規定された方向にポンプ作用を発生させ、
そのポンプ作用は、隣り合うパターン構成部分毎に、本質的に逆方向である。

本発明によれば、軸受構成部材の製造寸法公差のバラツキに起因する規定方向へのポンプ作用に対する悪影響を抑えられるよう改善された流体動圧を発生させることができる表面溝パターン構造の流体動圧軸受装置を提供することができる。

以下に、本発明を図面を参照して詳細に説明する。本発明の図面及びその説明により、本発明の更なる特徴、有利性及び用途を得ることができる。

（実施の形態）
本発明による表面溝パターン構造の例を図３Ａ、図３Ｂ、図３Ｃ、図４Ａ、図４Ｂ、図６Ａ、及び、図６Ｂに示す。表面溝パターン構造では、幾何学的に分離させる（幾何学的分離部分を設ける）ことにより、相手の軸受構成部材が円錐形状であることにより発生される影響を部分的に補償することができる。

以下、方向についての記載では、当該図が直視されている場合を前提として「左方向」、「右方向」、「上方向」及び「下方向」という表現を用いる。

図３Ａは、本発明の実施形態である非対称の（ポンプ用）表面溝パターン構造の第１の例を示す図である。
図３Ａの表面溝パターン構造９は、放物線形状に湾曲されつつ互いに接続されたパターン構成部分９ａと９ｂ、及び、鋭角を介して接続されるパターン構成部分９ｃにより構成される。図３Ａに示したような表面溝パターン構造９を、例えば、シャフト２（図１参照）に設けた上、シャフト２を右方向に回転させると、パターン構成部分９ａと９ｃは、各々下方向にポンプ作用を発生させる。

一方、パターン構成部分９ｂは、上方向にポンプ作用を発生させる。この表面溝パターン構造９におけるポンプ作用は、軸受間隙３が均一である場合には、主に下方向に発生される。それは、パターン構成部分９ｂの長さが、パターン構成部分９ａと９ｃを合わせた長さより短いからである。

図３Ｂは、本発明の実施形態である非対称の（ポンプ用）表面溝パターン構造の第２の例を示す図である。
図３Ｂの表面溝パターン構造１０は、放物線形状に湾曲されつつ互いに接続されたパターン構成部分１０ａと１０ｂ、及び、その接続された表面溝パターン構造１０ａ−１０ｂに接続される湾曲パターン構成部分１０ｃにより構成される。パターン構成部分１０ａ及び１０ｃは、各々下方向にポンプ作用を発生させる。

一方、パターン構成部分１０ｂは、上方向にポンプ作用を発生させる。この表面溝パターン構造１０の場合のポンプ作用は、軸受間隙３が均一であるという条件の下では、主として下方向に発生される。

図３Ｃは、本発明の実施形態である非対称の（ポンプ用）表面溝パターン構造の第３の例を示す図である。
図３Ｃの表面溝パターン構造１１は、各々鋭角に接続されたパターン構成部分１１ａ、１１ｂ及び１１ｃにより構成される。パターン構成部分１１ａ及び１１ｃは、各々下方向にポンプ作用を発生させる。

一方、パターン構成部分１１ｂは、上方向にポンプ作用を発生させる。この表面溝パターン構造１１の場合のポンプ作用は、軸受間隙３が均一である場合には主に下方向に発生される。

図４Ａ及び図４Ｂは、本発明の実施形態である非対称で分離されたパターン構成部分により構成される（ポンプ用）表面溝パターン構造の第１の例及び第２の例を各々示す図である。
図４Ａには、表面溝パターン構造を構成する各パターン構成部分のうちの一部が分離されている表面溝パターン構造１２が示されており、図４Ｂには、表面溝パターン構造を構成する各パターン構成部分が全て分離されている表面溝パターン構造１３が示されている。それらの表面溝パターン構造１２、１３により発生されるポンプ作用は、図３Ａ及び図３Ｃに示された表面溝パターン構造９及び１１が発生させるポンプ作用に相当する。

図５Ａ及び図５Ｂは、円錐形状に形状が逸脱した円筒形状部（軸受スリーブ１）と、非対称の分離された（ポンプ用）表面溝パターン構造１１を備えるラジアル流体動圧軸受装置の第１の例及び第２の例の概略構成を各々示した側面図である。
表面溝パターン構造１１の作用について、図５Ａ及び図５Ｂを参照しながら説明する。軸受スリーブ１の軸受孔が理想的円筒形状から円錐形状に形状が逸脱した軸受としては、実際には２通りの円錐形状が考えられる。（ここで、当然ながら理想的円筒形状から形状が逸脱したシャフト２の場合も同様と考えてよい。）軸受間隙３は、上側方向又は下側方向の何れかの一方向へ行くほど拡大される。このことが図５Ａ及び図５Ｂに示される。

図５Ａ及び図５Ｂには、軸受スリーブ１とシャフト２により構成されるラジアル流体動圧軸受装置が示されている。図示された流体動圧軸受装置の場合には、軸受間隙３に介在する軸受流体が主として下方向（規定方向）に付勢されるよう構成される必要がある。

図５Ａに示されている表面溝パターン構造１１は、通常は下方向（規定方向）にポンプ作用を発生させる。しかし、図１に示されたように上方向に拡大された一般的な軸受間隙３は、それとは逆の上方向にポンプ作用を発生させる。又、図５Ａに示されている実施形態による表面溝パターン構造１１の上側のパターン構成部分１１ａは、下方向にポンプ作用を発生させる。ところが、軸受間隙３の幅が上に向かって拡大されているため、表面溝パターン構造１１の上側のパターン構成部分１１ａにおけるポンプ作用は期待されるほど大きくはない。

それに対して、表面溝パターン構造１１の下側のパターン構成部分１１ｃは、軸受間隙３の幅が縮小される部位に位置しているので、下方向に期待を上回るポンプ作用を発生させる。そのポンプ作用は、上側のパターン構成部分１１ａにおけるポンプ作用と合わせると、軸受間隙３の幅が縮小された場所に位置して上方向にポンプ作用を発生させる表面溝パターン構造１１のパターン構成部分１１ｂによるポンプ作用を補償できるほど強くなる。従って、例え軸受間隙３の幅が均一でない場合であっても、期待通りに主として下方向（規定方向）のポンプ作用を発生させることができる。

図５Ｂに示されている軸受間隙３は、上方向に向かって狭くなるので、図５Ａに示されている軸受間隙３の場合のちょうど逆になる。図５Ｂに示されている実施形態による表面溝パターン構造１１の上側のパターン構成部分１１ａは、下方向にポンプ作用を発生させる。ところが、軸受間隙３の幅は上方向に向かって縮小されているため、表面溝パターン構造１１の上側のパターン構成部分１１ａにおけるポンプ作用は期待を上回って発生される。

それに対して、表面溝パターン構造１１の下側のパターン構成部分１１ｃは、軸受間隙３の幅が拡大される部位に位置しているので、下方向に、ポンプ作用を殆ど発生させない。表面溝パターン構造１１のパターン構成部分１１ｂは、軸受間隙３の幅が縮小される部位に位置し、上方向に比較的大きなポンプ作用を発生させる。以上から、図５Ｂの場合も、期待通りに主として下方向（規定方向）のポンプ作用を発生させることができる。

図６Ａは、本発明の実施形態である対称の（ポンプ用）表面溝パターン構造１４の第１の例を示す図であり、図６Ｂは、本発明の実施形態である対称の（ポンプ用）表面溝パターン構造１５の第２の例を示す図である。
表面溝パターン構造１４、１５は、流体動圧軸受装置に上記したような規定された方向へのポンプ作用が求められていない場合を想定している。表面溝パターン構造１４、１５は、好適には、軸受間隙３中の圧力が大気圧を上回る場合に用いられる。

図６Ａは、各々が鋭角に接続されている４つの直線形状のパターン構成部分１４ａ〜１４ｄにより構成される対称の表面溝パターン構造１４を示している。より長い２つのパターン構成部分１４ｂ及び１４ｃは、同一の長さを有することから、互いに逆の方向に同一に強さのポンプ作用を発生させる。

又、互いに離間しているより短いパターン構成部分１４ａ及び１４ｄも、同様に、互いに逆の方向に同一に強さのポンプ作用を発生させる。但し、より短いパターン構成部分１４ａ及び１４ｄが発生させるポンプ作用は、先に説明したより長いパターン構成部分１４ｂ及び１４ｃが発生させるポンプ作用よりも弱い。尚、パターン構成部分１４ａと１４ｃのポンプ作用の方向と、パターン構成部分１４ｂと１４ｄのポンプ作用の方向は、各々同一方向であって、全体として互いに均衡を保つ強さになっている。

図６Ｂは、放物線形状に湾曲されて接続されている２つのパターン構成部分１５ｂと１５ｃ、及び、そのパターン構成部分１５ｂと１５ｃの各自由端部に接続された、湾曲パターン構成部分１５ａと１５ｄにより構成される表面溝パターン構造１５を示している。湾曲パターン構成部分１５ａと１５ｄの湾曲方向は、より長いパターン構成部分１５ｂと１５ｃが接続される自由端部側の湾曲方向と逆である。

パターン構成部分１５ｂと１５ｄは、各々下方向にポンプ作用を発生させる。一方、パターン構成部分１５ａと１５ｃは、各々上方向にポンプ作用を発生させる。軸受間隙３が均一である場合には、全体としてのポンプ作用は、軸方向は互いに相殺される。

本実施形態の流体動圧を発生させる表面溝パターン構造９〜１５を備える流体動圧軸受装置は、対向し、相対的に回転する軸受面の間に軸受流体が満たされる軸受間隙３を形成させる少なくとも２個の軸受構成部材（軸受スリーブ１とシャフト２）を含んでいる。表面溝パターン構造９〜１５は、上記した軸受面の少なくとも一方に形成されているので、上記した軸受構成部材１、２の相対的回転運動に伴って上記した軸受間隙３の範囲内に流体動圧を発生させる。

本実施形態によれば、表面溝パターン構造９〜１５の各々は、少なくとも３つのパターン構成部分（９ａ、９ｂ、９ｃ）〜（１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄ）を含んで構成され、各パターン構成部分は、各々規定された方向にポンプ作用を発生させる。その場合、互いに隣り合うパターン構成部分毎に、本質的に互いに逆の方向にポンプ作用を発生させる。

本実施形態の一部の実施例によれば、表面溝パターン構造１１；１４は、好適には、互いに隣り合う直線形状のパターン構成部分１１ａ，１１ｂ，１１ｃ；１４ａ，１４ｂ，１４ｃ；１４ｄが鋭角で互いに重なり合うように変形されつつ接続されて一緒に設置される構成である。

本実施形態の別の実施例によれば、表面溝パターン構造１０；１５は、互いに接続される湾曲形状の各パターン構成部分１０ａ，１０ｂ，１０ｃ；１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄが一緒に設置される構成である。その際に、それらの各パターン構成部分は接続されて略Ｓ字形状又は波状線形状の構造を形成する。

本実施形態の更に別な実施例によれば、表面溝パターン構造９は、湾曲形状の各パターン構成部分９ａ，９ｂ及び直線形状の各パターン構成部分９ｃが組み合わされて一緒に設置されていてもよい。その際に、接続されて互いに隣り合わされる湾曲形状の各パターン構成部分９ａ，９ｂが放物線の形状で形成され、一方で直線形状のパターン構成部分９ｃは、鋭角で湾曲形状のパターン構成部分に接続される。

一般的には、表面溝パターン構造９；１０；１１；１２；１３；１４；１５における個々の各パターン構成部分の構造は、異なる長さに形成される。表面溝パターン構造９；１０；１１；１２；１３における個々の各パターン構成部分の各々が、異なる２方向に、異なる強さでポンプ作用を発生させる。特に、互いに直接に接続されて隣り合わさない２つのパターン構成部分９ａ，９ｃ；１０ａ，１０ｃ；１１ａ，１１ｃ；１４ａ，１４ｂ，１４ｃ；１４ｄ；１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄにおけるポンプ作用は、同じ方向に設定される。

上述した表面溝パターン構造は対称であっても非対称であってもよいが、対称の場合の表面溝パターン構造は少なくとも４つのパターン構成部分を有する。

表面溝パターン構造１４，１５における個々の各パターン構成部分は、特定方向に規定されたポンプ作用を発生させず、流体動圧軸受装置は、スラスト動圧軸受装置又はラジアル動圧軸受装置であってもよい。

このように本実施形態の表面溝パターン構造は、上記したような各パターン構成部分により形成されるので、軸受間隙３における製造寸法の幾何学的なバラツキ（製造寸法公差に基づく）による、予め規定された方向へのポンプ作用に及ぼす影響を僅かにすることができる。

軸受スリーブが円錐形状であって、シャフトには対称である表面溝パターン構造が形成されたラジアル流体動圧軸受装置の概略図である（従来技術）。 非対称である放物線形状の（ポンプ用）表面溝パターン構造を示す（従来技術）。 本発明の実施形態である非対称の（ポンプ用）表面溝パターン構造の第１の例を示す図である。 本発明の実施形態である非対称の（ポンプ用）表面溝パターン構造の第２の例を示す図である。 本発明の実施形態である非対称の（ポンプ用）表面溝パターン構造の第３の例を示す図である。 本発明の実施形態である非対称で分離されたパターン構成部分により構成される（ポンプ用）表面溝パターン構造の第１の例を示す図である。 本発明の実施形態である非対称で分離されたパターン構成部分により構成される（ポンプ用）表面溝パターン構造の第２の例を示す図である。 軸受スリーブが円錐形状で分離されたパターン構成部分により構成される（ポンプ用）表面溝パターン構造を備えるラジアル流体動圧軸受装置の第１の例の概略構成図である。 軸受スリーブが円錐形状で分離されたパターン構成部分により構成される（ポンプ用）表面溝パターン構造を備えるラジアル流体動圧軸受装置の第１の例及び第２の例の概略構成図である。 本発明の実施形態である対称の（ポンプ用）表面溝パターン構造の第１の例を示す図である。 本発明の実施形態である対称の（ポンプ用）表面溝パターン構造の第２の例を示す図である。

符号の説明

１ 軸受スリーブ、
２ シャフト、
３ 軸受間隙、
４ 表面溝パターン構造（対称）、
５ 矢印、
６ 回転軸、
７ 表面溝パターン構造（非対称）、
７ａ パターン構成部分、
７ｂ パターン構成部分、
８ 矢印、
９ 表面溝パターン構造（分離型 非対称）、
９ａ パターン構成部分、
９ｂ パターン構成部分、
９ｃ パターン構成部分、
１０ 表面溝パターン構造（分離型 非対称）、
１０ａ パターン構成部分、
１０ｂ パターン構成部分、
１０ｃ パターン構成部分、
１１ 表面溝パターン構造（分離型 非対称）、
１１ａ パターン構成部分、
１１ｂ パターン構成部分、
１１ｃ パターン構成部分、
１２ 表面溝パターン構造（分離型 非対称）、
１３ 表面溝パターン構造（分離型 非対称）、
１４ 表面溝パターン構造（分離型 対称）、
１４ａ パターン構成部分、
１４ｂ パターン構成部分、
１４ｃ パターン構成部分、
１４ｄ パターン構成部分、
１５ 表面溝パターン構造（分離型 対称）、
１５ａ パターン構成部分、
１５ｂ パターン構成部分、
１５ｃ パターン構成部分、
１５ｄ パターン構成部分。

Claims (11)

1. 流体動圧を発生させる表面溝パターン構造と、
   対向して相対的に回転可能な少なくとも２個の軸受構成部材を備え、
   対向する軸受面の間に軸受流体が満たされている軸受間隙が形成され、
   前記軸受面の少なくとも一方に前記表面溝パターン構造が形成され、
   前記軸受構成部材が相対的に回転することにより、前記軸受間隙の範囲内に流体動圧を発生させる流体動圧軸受装置であって、
   前記表面溝パターン構造は、少なくとも３つのパターン構成部分を含み、
   前記各パターン構成部分は各々規定された方向にポンプ作用を発生させ、
   そのポンプ作用は、隣り合うパターン構成部分毎に、本質的に逆方向である
   ことを特徴とする流体動圧軸受装置。
2. 前記表面溝パターン構造の前記各パターン構成部分は、
   互いに重なり合うように接続される
   ことを特徴とする請求項１に記載の流体動圧軸受装置。
3. 前記表面溝パターン構造の前記各パターン構成部分は、
   その全て或いは一部が、僅かな間隔で分離されつつ互いに隣接している
   ことを特徴とする請求項１に記載の流体動圧軸受装置。
4. 前記表面溝パターン構造は、
   直線形状の前記各パターン構成部分が１８０°より小さな角で互いに重なり合うように設置される
   ことを特徴とする、請求項１から３の何れか１項に記載の流体動圧軸受装置。
5. 前記表面溝パターン構造は、
   湾曲形状の前記各パターン構成部分が一緒に設置され、
   前記各パターン構成部分が接続されて略Ｓ字形状又は波状線形状の構造を形成する
   ことを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の流体動圧軸受装置。
6. 前記表面溝パターン構造は、
   湾曲形状の前記各パターン構成部分及び直線形状の前記各パターン構成部分が一緒に設置され、
   接続されて隣り合わされる前記湾曲形状の各パターン構成部分が放物線の形状で形成され、前記直線形状のパターン構成部分が１８０°より小さな角で前記湾曲形状のパターン構成部分に接続される
   ことを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の流体動圧軸受装置。
7. 前記表面溝パターン構造における個々の前記各パターン構成部分の構造は、異なる長さに形成される
   ことを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載の流体動圧軸受装置。
8. 前記表面溝パターン構造における個々の前記各パターン構成部分は、異なる２方向に、異なる強さでポンプ作用を発生させる
   ことを特徴とする請求項１から７の何れか１項に記載の流体動圧軸受装置。
9. 前記表面溝パターン構造における個々の前記各パターン構成部分は、前記特定方向に規定されたポンプ作用を発生させない
   ことを特徴とする請求項１から７の何れか１項に記載の流体動圧軸受装置。
10. 直接に接続されて隣り合わない２つの前記各パターン構成部分におけるポンプ作用は、同じ方向に設定される
    ことを特徴とする請求項１から９の何れか１項に記載の流体動圧軸受装置。
11. 前記流体動圧軸受装置は、スラスト動圧軸受装置又はラジアル動圧軸受装置である
    ことを特徴とする請求項１から１０の何れか１項に記載の流体動圧軸受装置。

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