JP2006168029A

JP2006168029A - セラミックグリーンシートの製造方法および製造装置

Info

Publication number: JP2006168029A
Application number: JP2004361165A
Authority: JP
Inventors: Toru Okauchi; 亨岡内
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2004-12-14
Filing date: 2004-12-14
Publication date: 2006-06-29

Abstract

【課題】従来のセラミックグリーンシートを製造する際、支持体に大きなロスコストをかかってしまうという課題があったが、本発明はこのような従来の課題を解決するものであり、前記支持体にかかるロスコストを最小限にすることを目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、少なくとも無機粉体と有機バインダと分散媒を含むセラミックスラリー１０９を用いて形成されるセラミックグリーンシート１１１の製造方法において、少なくとも前記無機粉体に対して５重量％から３０重量％の分子量６００００から３０００００のバインダを用いて形成したセラミックスラリー１０９を循環式の支持体１０５の表面に塗布、乾燥して得られるセラミックグリーンシート１１１を前記循環式の支持体１０５から剥離して回収することを特徴とするセラミックグリーンシート１１１の製造方法である。
【選択図】図１

Description

本発明はセラミック電子部品など製造する際に用いられるセラミックグリーンシートの製造方法および製造装置に関するものである。

積層セラミックコンデンサ、積層セラミック基板や積層セラミックフィルターなどのセラミック電子部品は、内層電極を配したセラミックグリーンシートを積層・焼成して製造される。

従来のセラミックグリーンシートの形成については、次の様に行われている。即ち長尺状の支持体を走行させ、例えばドクターブレード法によって、その表面に対してセラミックスラリーを所定厚さに塗布した後、これを乾燥し、前記支持体と共にリールに巻き取る。（例えば特許文献１参照）

そして、積層セラミック電子部品を製造には、前記支持体に支持される前記セラミックグリーンシート上に内層電極を印刷した後、前記支持体を剥離・除去し、前記セラミックグリーンシートのみを必要数積層した後、プレスされる。得られた積層体は裁断機で個片裁断した後、焼成され緻密な積層セラミック電子部品素体となる。その後、積層セラミック電子部品素体に表面電極をつけて、メッキなどを施し、セラミック電子部品として完成する。
特開２００３−２０９０２５号公報

しかしながら、上記従来のセラミック電子部品に用いられるセラミックグリーンシートは支持体の上に形成され、前記支持体に支持されるまま内層電極を印刷された後、前記支持体を剥離・除去するというプロセスで作られていた。前記剥離・除去された支持体は廃棄される。そのため、従来のセラミック電子部品に使われるセラミックグリーンシートを製造する際、前記セラミック電子部品を構成しない前記支持体が大量に必要とされる。すなわち、従来のセラミックグリーンシート、ひいてはセラミック電子部品を製造するのに前記支持体に大きなロスコストをかかってしまうという課題があった。

さらに、セラミック電子部品の小型化、セラミックグリーンシートの薄膜化および積層の多層化傾向が進んでいく。そのため、従来のセラミック電子部品の製造方法では、前記支持体の需要がますます高まり、それによって、前記ロスコストはますます増大する傾向にあるという課題があった。

本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、部品の一部を構成しない支持体にかかるロスコストを最小限にするセラミックグリーンシートの製造方法および製造装置を提供することを目的とするものである。

上記目的を達成するために、本発明は、少なくとも無機粉体と有機バインダと分散媒を含むセラミックスラリーを用いて形成されるセラミックグリーンシートの製造方法において、少なくとも前記無機粉体に対して５重量％から３０重量％の分子量６００００から３０００００のバインダを用いて形成したセラミックスラリーを循環式の支持体の表面に塗布、乾燥して得られるセラミックグリーンシートを前記循環式の支持体から剥離して回収することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法に関するものである。

以上のように、セラミックグリーンシート製造をする際、循環式の支持体を使用するため、従来の支持体にかかったロスコストを削減できるという効果がある。さらに、産業廃棄物としての支持体の排出が大きく抑えられるため、環境負荷が大きく低減され、産業廃棄物処理も最小限に制限することができるという効果を奏する。

本発明における第１の発明は、少なくとも無機粉体と有機バインダと分散媒を含むセラミックスラリーを用いて形成されるセラミックグリーンシートの製造方法において、少なくとも前記無機粉体に対して５重量％から３０重量％の分子量６００００から３０００００のバインダを用いて形成したセラミックスラリーを循環式の支持体の表面に塗布、乾燥して得られるセラミックグリーンシートを前記循環式の支持体から剥離して回収することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法である。本発明は前記循環式の支持体を用いることにより、支持体にかかるロスコストを発生させないことができる。

本発明における第２の発明は、少なくとも無機粉体と分散媒と有機バインダを含むセラミックスラリーを用いて形成されるセラミックグリーンシートの製造方法において、少なくとも前記無機粉体に対して５重量％から３０重量％の分子量６００００から３０００００のバインダを用いて形成したセラミックスラリー帯状の支持体の表面に塗布、乾燥して得られるセラミックグリーンシートを前記帯状の支持体から剥離し、前記セラミックグリーンシートを回収するとともに前記帯状の支持体は切断せず巻き取り回収することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法である。本発明において前記帯状の支持体は前記セラミックグリーンシートが剥離された後も巻き取り回収されて再利用されるため、本発明は前記帯状の支持体にかかるロスコストを発生させないことができる。

本発明における第３の発明は、少なくとも無機粉体と分散媒と有機バインダを含むセラミックスラリーを用いて形成されるセラミックグリーンシートの製造方法において、少なくとも前記無機粉体に対して５重量％から３０重量％の分子量６００００から３０００００のバインダを用いて形成したセラミックスラリーを回転自在な円筒状の支持体の外周表面に塗布、乾燥して得られるセラミックグリーンシートを前記円筒状の支持体から剥離して回収することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法である。本発明は円筒状の支持体を用いることにより、支持体にかかるロスコストを発生させないことができる。さらに、セラミックグリーンシートの製造に当たって、必要とする製造作業利用空間の利用効率性も図れる。

本発明における第４の発明は、回転自在な前記円筒状の支持体を用い、少なくともこの円筒状の支持体の外周表面をセラミックスラリーをセラミックグリーンシートにするための温度に保つようにするセラミックグリーンシートの製造方法である。前記円筒状の支持体の外周表面の温度を所要な温度に保つようにすることによって、前記セラミックスラリーを乾燥させる際、前記セラミックスラリーに含まれる溶媒の蒸発を効率よく進行することができる。前記セラミックスラリーの乾燥がスムースにでき、表面に割れのない前記セラミックグリーンシートを形成することができる。

本発明における第５の発明は、前記セラミックスラリーを回転自在な前記円筒状の支持体に塗布してから、前記円筒状の支持体の回転に伴って少なくとも前記円筒状の支持体の外周表面の温度を前記セラミックスラリーをセラミックグリーンシートにするための温度に上昇させた後、少なくとも前記円筒状の支持体の外周表面の温度を降下させるセラミックグリーンシートの製造方法である。本発明は前記円筒状の支持体の外周表面温度を精密に調整できるため、前記セラミックスラリーの乾燥を細かく制御するでき、前記セラミックスラリーに含まれる溶媒の蒸発を効率よく進行させられ、揮発性の高い前記溶媒を用いた場合でも前記溶媒の急激な気化に伴う肌荒れやボイドを防止でき、平滑性が高く、均質なセラミックグリーンシートを製造することができる。

本発明における第６の発明は、前記セラミックスラリーが前記支持体に塗布されて塗布膜を形成する際、前記塗布膜の厚さを均一に制御するセラミックグリーンシートの製造方法である。本発明は前記セラミックスラリーの塗布量、あるいは前記支持体の送り速度などを状況に応じて精密に制御し、信頼性の高い前記セラミックグリーンシートを製造することができる。

本発明における第７の発明は、前記セラミックスラリーを前記支持体に塗布する際、前記セラミックスラリーを塗布する塗布手段と前記支持体との距離を測定し、前記セラミックスラリーの塗布中に前記距離を所定の値に制御することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法である。本発明は前記支持体の熱膨張による外形の変化が発生しても、前記塗布手段と前記支持体の距離を所定の値に制御することができ、厚さ均一な精度の高いセラミックグリーンシートをも精度良く製造することができる。

本発明における第８の発明は、前記セラミックグリーンシートのガラス転移温度が室温以上であり、前記セラミックグリーンシートの乾燥後、前記セラミックグリーンシートを前記ガラス移転温度以下に冷却することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法である。本発明は前記セラミックスラリーを乾燥してから、さらに前記セラミックグリーンシートをそのガラス移転温度以下まで冷却させることにより、前記セラミックグリーンシートの接着性を低下させ、前記支持体から剥離し易くさせるだけではなく、前記セラミックグリーンシートへのダメージを低減させることもできる。

本発明における第９の発明は、前記支持体の表面に形成する前記セラミックグリーンシートを前記支持体から剥離しやすくするための樹脂を塗布した後、前記セラミックスラリーを前記支持体の表面に塗布し、前記セラミックスラリーがセラミックグリーンシートとなった後、前記セラミックグリーンシートと前記樹脂層を一緒に前記支持体から剥離することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法である。前記樹脂層は前記セラミックスラリーが塗布される前に予め塗布されることによって、前記セラミックスラリーが塗布される際前記樹脂層が下敷きとなり、前記セラミックスラリーの弾きを防止でき、より平滑なセラミックグリーンシートを形成することができる。さらに、前記セラミックスラリーが塗布される時点では前記樹脂層は乾燥していないため、容易にセラミックスラリーとの界面で拡散が起こり、セラミックグリーシートと樹脂層は一体となる。この状態で巻き取られた前記セラミックグリーンシートは、片面がバインダリッチな傾斜材料的な特性を有する。そのため、積層セラミック電子部品の製造における後工程である積層工程において、樹脂層が接着剤効果を揮発でき、層間剥離が発生せず緻密で信頼性の高いセラミック電子部品を製造できる効果を奏する。

本発明における第１０の発明は、少なくとも無機粉体と分散媒と有機バインダを含むセラミックスラリーを用いて形成されるセラミックグリーンシートの製造工程に用いる製造装置において、少なくとも前記無機粉体に対して５重量％から３０重量％の分子量６００００から３０００００のバインダを用いて形成したセラミックスラリーが塗布される支持体と、前記セラミックスラリーを乾燥する乾燥部と、前記セラミックスラリーが乾燥されることにより形成されるセラミックグリーンシートを前記支持体から剥離する剥離部とを有し、前記支持体を循環式の支持体としたセラミックグリーンシートの製造装置である。本発明は循環式の支持体を用いているため、循環使用されることによって前記循環式の支持体にかかるロスコストを発生させないことができる。

本発明における第１１の発明は、少なくとも無機粉体と分散媒と有機バインダを含むセラミックスラリーを用いて形成されるセラミックグリーンシートの製造工程に用いる製造装置において、少なくとも前記無機粉体に対して５重量％から３０重量％の分子量６００００から３０００００のバインダを用いて形成したセラミックスラリーが塗布される支持体と、前記セラミックスラリーを乾燥する乾燥部と、前記セラミックスラリーが乾燥されることにより形成されるセラミックグリーンシートを前記支持体から剥離する剥離部とを有し、前記支持体を帯状の支持体としたセラミックグリーンシートの製造装置である。本発明は前記帯状の支持体を用いているため、前記セラミックグリーンシートが剥離された後も巻き取り回収されて再利用されるため、前記帯状式支持体にかかるロスコストを発生させないことができる。また、前記セラミックグリーンシートがスリットされる際、前記帯状の支持体が切られることないため、前記帯状の支持体はセラミックグリーンシートの製造に再利用ができるし、他の用途に使用することもできる。

本発明における第１２の発明は、少なくとも無機粉体と分散媒と有機バインダを含むセラミックスラリーを用いて形成されるセラミックグリーンシートの製造工程に用いる製造装置において、少なくとも前記無機粉体に対して５重量％から３０重量％の分子量６００００から３０００００のバインダを用いて形成したセラミックスラリーが塗布される支持体と、前記セラミックスラリーを乾燥する乾燥部と、前記セラミックスラリーが乾燥されることにより形成されるセラミックグリーンシートを前記支持体から剥離する剥離部とを有し、前記支持体を回転自在な円筒状の支持体としたセラミックグリーンシートの製造装置である。本発明は円筒状の支持体を用いることにより支持体にかかるロスコストを発生させず、また前記セラミックグリーンシートの製造装置の小型化が図れる。

本発明における第１３の発明は、回転自在な前記円筒状の支持体を用い、少なくとも前記円筒状の支持体の外周表面の温度を前記セラミックスラリーを前記セラミックグリーンシートにするための温度に保つ温度調節手段を有するセラミックグリーンシートの製造装置である。本発明は前記温度調節手段を設けることによって、前記円筒状の支持体の外周表面温度を一定に保つようにし、前記セラミックスラリーの乾燥を効率良く進行することができる。そのため前記セラミックスラリーの乾燥がスムースにでき、表面に割れのない前記セラミックグリーンシートを形成することができる。

本発明における第１４の発明は、前記セラミックスラリーを回転自在な前記円筒状の支持体に塗布してから、前記円筒状の支持体の回転に伴って少なくとも前記円筒状の支持体の外周表面の温度を前記セラミックスラリーをセラミックグリーンシートにするための温度に上昇させ、少なくとも前記円筒状の支持体の外周表面の温度を降下させる温度調節手段を有するセラミックグリーンシートの製造装置である。本発明は前記円筒状の支持体の外周表面温度を精密に調整でき、前記セラミックスラリーに含まれる溶媒の蒸発が効率よく進行できる。そのため、前記セラミックスラリーの乾燥を細かく制御できるので、揮発性の高い前記溶媒を用いた場合でも前記溶媒の急激な気化に伴う肌荒れやボイドを防止でき、平滑性が高く、均質で信頼性の高いセラミックグリーンシートを製造することができる。

本発明における第１５の発明は、前記セラミックスラリーを前記支持体に塗布するための塗布手段と、この塗布手段と前記支持体の距離を測定し前記セラミックスラリーの塗布中に前記塗布手段と前記支持体との距離を所定の値に制御する距離制御手段とを有するセラミックグリーンシートの製造装置である。本発明は前記距離測定手段を設けることにより、前記支持体の熱膨張による外形の微小変化に応じて前記塗布手段と前記支持体の距離を所定の値に制御することができ、厚さが均一で精度の高い前記セラミックグリーンシートを製造することができる。さらに前記セラミックスラリーの塗布量、前記支持体の送り速度などを状況に応じて精密に制御し、精度良く信頼性の高い極薄のセラミックグリーンシートをも製造することができる。

本発明における第１６の発明は、前記セラミックグリーンシートのガラス転移温度が室温以上であり、前記セラミックグリーンシート乾燥後、前記セラミックグリーンシートを前記ガラス転移温度以下に制御する冷却部を有することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造装置である。本発明は前記冷却部を設けたことにより、前記セラミックスラリーを乾燥してから、さらに前記セラミックグリーンシートをそのガラス移転温度以下まで冷却させるができ、そのため、前記セラミックグリーンシートの接着性を低下させ、前記支持体から剥離し易くさせるだけではなく、前記セラミックグリーンシートへのダメージを低減させることもできる。

本発明における第１７の発明は、前記セラミックスラリーを前記支持体の表面に塗布する前に前記支持体の表面にセラミックグリーンシートを前記支持体から剥離しやすくするための樹脂を塗布する樹脂塗布手段を有し、前記セラミックスラリーがセラミックグリーンシートとなった後前記セラミックグリーンシートと前記樹脂層を一緒に剥離する剥離部を備えたセラミックグリーンシートの製造装置である。本発明は樹脂塗布手段を有することによって、前記樹脂層を前記セラミックスラリーが塗布される前に予め塗布するようにしたため、前記セラミックスラリーが塗布される際、前記樹脂層が下敷きとなり、前記セラミックスラリーの弾きを防止でき、より平滑なセラミックグリーンシートを形成することができる。さらに、前記セラミックスラリーが塗布される時点では前記樹脂層は乾燥していないため、容易にセラミックスラリーとの界面で拡散が起こり、セラミックグリーシートと樹脂層は一体化となる。この状態で巻き取られた前記セラミックグリーンシートは、片面がバインダリッチな傾斜材料的な特性を有する。そのため、セラミック電子部品製造における後工程である積層工程において、樹脂層が接着剤効果を揮発し、層間剥離が発生せず緻密で信頼性の高いセラミック電子部品を製造できる効果を奏する。

以下本発明の実施例について図面を用いて説明する。

（実施例１）
図１は循環式の支持体を用いたセラミックグリーンシートの製造装置の概略正面図である。

セラミックグリーンシートの製造装置に関して説明する。

無機粉体、バインダなどを含むセラミック粉、溶媒、分散剤の役割を果たす可塑剤などの混合物であるセラミックスラリー１０９は供給タンク１０１に投入される。前記供給タンク１０１は配管１１０によりポンプ１０２を経てダイノズル１０３に接続される。

前記ダイノズル１０３の先端に対向してコーティングロール１０４が配置され、前記コーティングロール１０４と一定の距離をおいて、サポートロール１０８が配置されている。循環式の支持体１０５は前記コーティングロール１０４と前記サポートロール１０８によって支持され、かつ前記コーティングロール１０４と前記サポートロール１０８の回転によって動かされ、それらの間を循環する。乾燥部となる乾燥装置１０７は前記コーティングロール１０４と前記サポートロール１０８の間に配置される。前記セラミックスラリー１０９は前記循環式の支持体１０５に塗布されて塗布膜１０６を形成し、前記塗布膜１０６が乾燥することにより、セラミックグリーンシート１１１が形成される。前記サポートロール１０８と対向して剥離部となる巻き取り芯１１２が配置されて、前記セラミックグリーンシート１１１を巻き取る。

次にセラミックグリーンシートの製造方法について説明する。

前記供給タンク１０１内のセラミックスラリー１０９は前記配管１１０を通り、前記ポンプ１０２により前記ダイノズル１０３に送られる。前記ダイノズル１０３に流入した前記セラミックスラリー１０９は前記ダイノズル１０３の先端からその幅方向に均一に吐出され、前記コーティングロール１０４および前記サポートロール１０８の間に一定速度で動いている前記循環式の支持体１０５上に塗布されて塗布膜１０６を形成する。

前記塗布膜１０６は前記循環式の支持体１０５の動きによって前記サポートロール１０８方向に送られ、前記乾燥装置１０７中の８０℃程度の環境で乾燥され、セラミックグリーンシート１１１を形成する。

表面に粘着処理が施された前記巻き取り芯１１２は前記セラミックグリーンシート１１１の表面に押しつけられ、前記セラミックグリーンシート１１１の走行速度に合わせて回転する。そのため、前記セラミックグリーンシート１１１は前記巻き取り芯１１２の回転によって、前記循環式の支持体１０５から剥離され、巻き取られる。

前記セラミック粉は主にＴｉＯ２、ＢａＴｉＯ３などを主たる成分とする無機粉体と、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）、アクリル樹脂、アクリル酸エステル共重合体、メタクリル樹脂、メタクリル酸エステル共重合体などの分子量６００００〜３０００００のバインダによって構成される。前記セラミックスラリー１０９は前記無機粉体、前記バインダおよび有機剤などの分散媒の役割を果たす可塑剤によって構成される。

上記バインダの量は前記無機粉体の５重量％〜３０重量％とし、１０重量％〜２０重量％が望ましい。また、上記各種バインダはグレート（重合度や分子量）の違う物を混合して使用することも可能である。また、上記有機バインダの分子量は６００００〜３０００００のものとしたが、分子量１０００００〜２０００００のものが望ましい。

前記バインダを上記のグレートおよび配合比をもって前記セラミックスラリー１０９を構成するため、前記セラミックスラリー１０９は従来のセラミックスラリー１０９より強度の高い前記セラミックグリーンシート１１１を形成することができる。

また、前記セラミックスラリー１０９の中に、分散媒としてフタル酸ベンジルブチル（ＢＢＰ）、フタル酸ジブチル（ＤＢＰ）などのフタル酸系などの可塑剤を用いることも可能で、上記のフタル酸系の可塑剤の量は無機粉体の３重量％〜２０重量％とし、５重量％〜１３重量％が望ましい。さらに、前記セラミックスラリー１０９の中に可塑剤以外の添加剤を添加する場合もあり、分散媒として前記複数の可塑剤の混合体を用いる場合もある。

上記構成によって、本発明により得られるセラミックグリーンシート１１１は従来のセラミックグリーンシート１１１と違って、前記循環式の支持体１０５の支持なしで後工程である内部電極層印刷工程や積層工程、さらに焼成工程などのハンドリング工程に耐え、高精度、高品質なセラミック電子部品を形成することができる。

また、本発明の前記循環式の支持体１０５は次のようなものである。

本発明に使われる前記循環式の支持体１０５の材質は金属薄板（特にステンレス、ニッケル、鋼などの金属薄板）、あるいは金属細径線を樹脂・ゴムで固めたもの（樹脂としてはフッ素樹脂（４フッ化エチレン樹脂）が最適であり、ＰＥＴ、ポリイミド、ＰＰ、ＨＤＰＥなども使用できる。ゴムとしてはパープルオロカーボンが最適であり、ブチルゴム、ＥＰＤＭなども使用できる）、あるいは繊維（カーボンなど）を樹脂・ゴムで固めたもの（樹脂としてはフッ素樹脂（４フッ化エチレン樹脂）が最適であり、ＰＥＴ、ポリイミド、ＰＰ、ＨＤＰＥなども使用できる。ゴムとしてはパープルオロカーボンが最適であり、ブチルゴム、ＥＰＤＭなども使用できる）、あるいはフッ素樹脂（４フッ化エチレン樹脂）を代表とするフッ素樹脂である。

上記循環式の支持体１０５の表面は表面形状処理を施され、前記表面形状処理とは凹凸処理方法であり、エッチングで前記循環式の支持体１０５と前記塗布膜１０６との接触面を荒らす処理である。前記表面形状処理された接触面の表面粗さＲａは１０ｎｍ〜１００ｎｍで、３０ｎｍ〜６０ｎｍが望ましい。

さらに、表面形状処理された前記循環式の支持体１０５の表面をシリコンコート、フッ素コートあるいはＴｉＯ２コート（有機溶剤系）によってコーティングされる。それは前記セラミックグリーンシート１１１が前記巻き取り芯１１２に巻き取られ、前記循環式の支持体１０５から剥離されやすくすることができるし、前記セラミックスラリー１０９を乾燥する際における前記循環式の支持体１０５の延びを低減できるし、前記循環式の支持体１０５自体の厚さの変化を防止できるためである。さらに、金属薄板を表面形状処理およびコーティングされることによって、金属材質が保護されることも兼ねる。但し、上記表面形状処理およびコーティングはフッ素樹脂の循環式の支持体１０５には不要である。

また、前記セラミックスラリー１０９を前記循環式の支持体１０５に均一に塗布する方法として、ドクターブレード方式、ロール間ギャップ規制により塗布厚さを制御するリバースロール方式、ノズルから一定流量で吐出された前記セラミックスラリー１０９を前記循環式の支持体１０５に塗布するダイコート方式などがある。本実施例ではダイコート方式を用いて説明したが、ドクターブレード方式やリバースロール方式も使用することができる。

（実施例２）
図２は帯状の支持体を用いるセラミックグリーンシートの製造装置の概略正面図である。

次に、セラミックグリーンシートの製造装置を説明する。なお、実施例１と同じ物には同一番号を用いて説明する。

セラミックスラリー１０９は供給タンク１０１に投入される。前記供給タンク１０１は配管１１０によりポンプ１０２を経てダイノズル１０３に接続される。

前記ダイノズル１０３の先端に対してコーティングロール１０４が配置され、このコーティングロール１０４と一定距離をおいてサポートロール１０８が配置されている。

帯状の支持体２０５は巻き出しロール２０１から巻き出され、前記コーティングロール１０４の円周上に沿い、さらに前記サポートロール１０８の円周上に沿って配置され、巻き取りロール２０２に巻き取られる。

前記帯状の支持体２０５は前記コーティングロール１０４と前記サポートロール１０８によって支持され、かつ前記コーティングロール１０４と前記サポートロール１０８の回転によって動かされる。乾燥部となる乾燥装置１０７は前記コーティングロール１０４と前記サポートロール１０８の間に配置される。

前記セラミックスラリー１０９は前記帯状の支持体２０５に塗布され、塗布膜１０６を形成し、前記塗布膜１０６を乾燥してセラミックグリーンシート１１１が形成される。前記サポートロール１０８と対向して、剥離部となる巻き取り芯１１２が配置されて、前記セラミックグリーンシート１１１を巻き取る。

前記供給タンク１０１内のセラミックスラリー１０９は前記配管１１０を通り、前記ポンプ１０２により前記ダイノズル１０３に送られる。前記ダイノズル１０３に流入した前記セラミックスラリー１０９は前記ダイノズル１０３の先端からその幅方向に均一に吐出され、前記コーティングロール１０４上を一定速度で動いている前記帯状の支持体２０５に塗布し、塗布膜１０６を形成する。

前記塗布膜１０６は前記帯状の支持体２０５の動きによって前記サポートロール１０８方向に送られ、前記乾燥装置１０７中の８０℃程度の環境で乾燥され、セラミックグリーンシート１１１を形成する。

表面に粘着処理が施された前記巻き取り芯１１２は前記セラミックグリーンシート１１１が形成された後、前記セラミックグリーンシート１１１がその表面に押しつけられる。前記巻き取り芯１１２は前記セラミックグリーンシート１１１の走行速度の走行速度に合わせて回転するため、前記セラミックグリーンシート１１１は前記巻き取り芯１１２の回転によって前記帯状の支持体２０５から剥離され、巻き取られる。

なお、実施例２を実施する際に使う無機粉体、分散媒および有機バインダを含むセラミックスラリー１０９の組成、グレートおよび配合比率、また前記帯状の支持体２０５の材質、前記帯状の支持体２０５に施される表面形状処理、コーティングなどの処理、またセラミックスラリー１０９の塗布手段などは実施例１と同じである。

実施例２で使用される帯状の支持体２０５はセラミックグリーンシート１１１が剥離された後再び巻き取られる。そのため、前記帯状の支持体２０５は一度使用された後でも、使用される前とほぼ同じ状態を保つことができ、再び使用されることができる。

（実施例３）
図３は回転自在な円筒状の支持体を用いて、セラミックグリーンシートを製造する製造装置の概略正面断面図である。

セラミックスラリー１０９を供する供給タンク１０１からポンプ１０２を経て、ダイノズル１０３に至る経路は実施例１および実施例２と同じである。

前記ダイノズル１０３に対向して回転自在な円筒状の支持体３０１が設けられる。

前記円筒状の支持体３０１の内部が中空であり、空間３０２が設けられている。また、前記円筒状の支持体３０５の端面には軸受けサポート３０３が取りつけられ、前記軸受けサポート３０３は中空であり、前記空間３０２と繋がっている。流体が前記軸受けサポート３０３を通り、前記空間３０２に流入することができる。前記空間３０２に高温な流体を流入させたら、前記円筒状の支持体３０１が加熱されることになる。そのため、前記円筒状の支持体３０１は乾燥部となるのである。前記円筒状の支持体３０１は前記軸受けサポート３０３により支持され、前記軸受けサポート３０３の軸受け３０４を軸に回転することができる。

前記供給タンク１０１内のセラミックスラリー１０９は前記配管１１０を通し、前記ポンプ１０２により、前記ダイノズル１０３に送られる。前記セラミックスラリー１０９が前記円筒状の支持体３０１に塗布され、塗布膜３０５が形成される。前記塗布膜３０５が乾燥されることによりセラミックグリーンシート３０６が形成される。前記セラミックグリーンシート３０６を剥離するために、剥離部となる巻き取り芯３０７が配置されている。

前記円筒状の支持体３０１を使用することによって、前記セラミックグリーンシートの製造装置の小型化が図れ、その必要とした製造作業利用空間の利用効率性も図れる。

供給タンク１０１内のセラミックスラリー１０９はポンプ１０２によってダイノズル１０３へ供給され、前記ダイノズル１０３の先端から吐出される。

前記ダイノズル１０３から吐出される前記セラミックスラリー１０９は前記円筒状の支持体３０１の外周表面に前記ダイノズル１０３の幅方向に均一に塗布される（図示しない）。前記円筒状の支持体３０１の回転によって、塗布膜３０５が形成される。

前記円筒状の支持体３０１は金属性で良好な熱伝導特性を示す。また前記円筒状の支持体３０１の外周表面には表面形状処理およびコーティングが施されている。

前記円筒状の支持体３０１の端面に配置されている前記軸受けサポート３０３を通じ、前記円筒状の支持体３０１の前記空間３０２に高温蒸気、または高温水などの高温流体を送り、前記円筒状の支持体３０１を前記空間３０２より加熱する。前記円筒状の支持体３０１は熱伝導良好な金属によって構成されているため、前記円筒状の支持体３０１の全体が加熱されることとなる。

前記円筒状の支持体３０１を加熱する際、前記円筒状の支持体３０１の外周表面の温度を８０℃程度まで加熱されることが望ましい。前記高温流体は８０℃程度に制御させることで前記円筒状の支持体３０１の外周表面の温度を８０℃程度に保つことができる。つまり、前記円筒状の支持体３０１の外周表面の温度が８０℃に達しなければ、前記高温流体を流入させ、前記円筒状の支持体３０１の外周表面の温度を８０℃に加熱したり、前記高温流体は８０℃を超えれば、前記高温流体を停止させ、前記円筒状の支持体３０１の外周表面の温度を冷したりすることによって、前記円筒状の支持体３０１の外周表面の温度を正確に制御でき、前記円筒状の支持体３０１の外周表面の温度を所望の８０℃程度に保つことができる。

前記セラミックスラリー１０９を均一に前記円筒状の支持体３０１に塗布するために、前記ダイノズル１０３の前記セラミックスラリー１０９を吐出する口部の形を保つことが必要である。

しかし、前記円筒状の支持体３０１は前記空間３０２によって加熱されるため、前記円筒状の支持体と対向する前記ダイノズル１０３が前記円筒状の支持体３０１の熱に影響され、前記ダイノズル１０３の前記セラミックスラリー１０９を吐出する口部の形が精密に保たれない可能性がある。前記円筒状の支持体３０１の影響を最小限に抑え、前記ダイノズル１０３の口部の形を精密に保つために、前記セラミックスラリー１０９を吐出する前記ダイノズル１０３と前記円筒状の支持体３０１の間の距離を一定に制御したり、前記ダイノズル１０３あるいは前記ダイノズル１０３の口部を冷却する手段を設けたりすることが望ましい。

上記の構成によって、前記円筒状の支持体３０１の外周表面の温度が上昇し、前記円筒状の支持体３０１の外周表面に塗布された前記塗布膜３０５は前記円筒状の支持体３０１と接触する面から加熱され、乾燥されることとなる。そのため、前記セラミックスラリー１０９に含まれる溶媒の蒸発が効率よく進行し、表面に乾燥によっても割れにくい前記セラミックグリーンシート３０６が形成される。

表面に粘着処理が施された巻き取り芯３０７は前記セラミックグリーンシート３０６が形成された後、前記セラミックグリーンシート３０６の表面に押しつけられ、前記セラミックグリーンシート３０６の走行速度に合わせて回転する。そのため、前記セラミックグリーンシート３０６は前記巻き取り芯３０７の回転によって前記円筒状の支持体３０１から剥離され、巻き取られる。

なお、実施例３に使われる軸受けサポート３０３が中空であり、前記軸受けサポート３０３を通して高温流体が前記円筒状の支持体３０１の空間３０２に入り、前記円筒状の支持体３０１を加熱することができるとしたが、前記円筒状の支持体３０１が中空なものではなく、前記円筒状の支持体３０１を外部から前記円筒状の支持体３０１を一定温度に加熱させて、前記セラミックスラリー１０９の塗布膜３０５を加熱・乾燥する乾燥装置を設ければ、実施例３と同じ効果が得られる。さらに、実施例３は前記円筒状の支持体３０１が中空であるとしたが、前記軸受けサポート３０３は中空ではないものを用いる場合、前記円筒状の支持体３０１に前記軸受けサポート３０３と別に、前記円筒状の支持体３０１にパイプあるいは配管のような高温流体を導入させる流体導入手段を設ければ、実施例３と同じ効果が得られる。

実施例３に使用される前記円筒状の支持体３０１は金属とし、特にステンレス、ニッケル、鋼などの金属が望ましい。また、実施例３を実施する際に使う無機粉体、分散媒および有機バインダを含むセラミックスラリー１０９の組成、グレートおよび配合比率、セラミックスラリー１０９の塗布手段、円筒状の支持体３０５の外周表面に施される表面形状処理およびコーティングなどが実施例１と実施例２と同じである。

また、前記円筒状の支持体３０１の材質は実施例１および実施例２に挙げられた金属性材料以外のものである場合、前記円筒状の支持体３０１の表面を加熱せず、前記支持体３０１に塗布される前記セラミックスラリー１０９の塗布膜３０５を乾燥できれば、前記セラミックグリーンシート３０６を製造することが可能である。

（実施例４）
図４は温度調節手段を有する回転自在な円筒状の支持体を用いるセラミックグリーンシートの製造装置の概略正面断面図である。

次にセラミックグリーンシートの製造装置を説明する。なお、実施例１と同じ物には同一番号を用いて説明する。

セラミックスラリー１０９を供する供給タンク１０１から配管１１０およびポンプ１０２を経て、ダイノズル１０３に至る経路は実施例１から実施例３のいずれか１例と同じである。

前記ダイノズル１０３に対向して回転自在な円筒状の支持体４０１が設けられる。

前記円筒状の支持体４０１の内部が中空であり、空間４０２が設けられている。なお、前記空間４０２は極力大きい方が望ましい。

また、前記円筒状の支持体４０１は軸受け４０４を設けており、前記円筒状の支持体４０１は前記軸受け４０４を軸に回転することができる。

さらに、前記円筒状の支持体４０１の外周表面から比較的浅い位置に加熱及び／または冷却の制御が可能な温度調節手段であるペリチェ式温度調節素子４０３を数個設けて、前記ペリチェ式温度調節素子４０３は前記円筒状の支持体４０１の円周を沿って、全周にわたって均等に配置する。前記セラミックスラリー１０９が前記円筒状の支持体４０１に塗布され、塗布膜４０５が形成される。前記塗布膜４０５が乾燥することによってセラミックグリーンシート４０６が形成される。前記セラミックグリーンシート４０６を剥離するために、剥離部となる巻き取り芯４０７が配置されている。

供給タンク１０１内のセラミックスラリー１０９はポンプ１０２によってダイノズル１０３へ供給され、前記ダイノズル１０３の先端から吐出される。前記ダイノズル１０３から吐出される前記セラミックスラリー１０９は前記円筒状の支持体４０１の外周面に前記ダイノズル１０３の幅方向に均一に塗布される（図示しない）。前記円筒状の支持体４０１の回転によって塗布膜４０５が形成される。

前記円筒状の支持体４０１の外周表面から比較的浅い位置に加熱及び／または冷却の制御が可能なペリチェ式温度調節素子４０３が前記円筒状の支持体４０１の円周を沿って、全周にわたって均等に配置されている。前記円筒状の支持体４０１の外周表面の温度制御が前記ペリチェ式温度調節素子４０３によって行われる。

また、前記円筒状の支持体４０１は薄肉に作られているため熱容量が小さい。そのため、前記円筒状の支持体４０１の外周表面の温度制御が前記ペリチェ式温度調節素子４０３によって精密に精度よく行うことが可能である。

前記円筒状の支持体４０１の外周表面の温度は次のように制御される。

前記ダイノズル１０３による前記セラミックスラリー１０９の塗布点では室温（２０℃〜３０℃とし、２２℃〜２６℃が望ましい）に設定する。前記セラミックスラリー１０９塗布後、前記ペリチェ式温度調節素子４０３によって前記円筒状の支持体４０１の外周表面の温度を８０℃程度に上昇させ、その後８０℃程度に一定期間保持する。前記セラミックスラリーの溶媒は前記温度環境の中で揮発し、前記塗布膜４０５が乾燥されることとなる。

前記塗布膜４０５が乾燥されることによって、セラミックグリーンシート４０６が形成される。その後、前記ペリチェ式温度調節素子４０３によって前記円筒状の支持体４０１の外周表面の温度を室温付近まで下降させる。

前記温度の制御は前記塗布膜４０５に含まれる溶媒を揮発し、前記セラミックグリーンシート４０６を製造する。そのため、前記塗布膜４０５の表面が割れなく、前記溶媒を揮発させれば、実施例４と同じ効果が得られる。

表面に粘着処理が施された前記巻き取り芯４０７は前記セラミックグリーンシート４０６が形成された後、前記セラミックグリーンシート４０６の表面に押しけられる。前記巻き取り芯４０７は前記セラミックグリーンシート４０６の走行速度に合わせて回転する。そのため、前記セラミックグリーンシート４０６は前記巻き取り芯４０７の回転によって前記円筒状の支持体４０１から剥離され、巻き取られる。

なお、実施例４に使用される前記円筒状の支持体４０１は金属とし、特にステンレス、ニッケル、鋼などの金属が望ましい。前記円筒状の支持体４０１の外周面が表面形状処理およびコーティングが施されている。

また、実施例４を実施する際に使う無機粉体、分散媒および有機バインダを含むセラミックスラリー１０９の組成、グレートおよび配合比率、セラミックスラリー１０９の塗布手段、円筒状の支持体４０１表面に施される表面形状処理およびコーディングなどが実施例１から実施例３のいずれか１例と同じである。

そして、実施例４では、ペリチェ式温度調節素子４０３を用いて前記円筒状の支持体４０１の外周表面に前記円筒状の支持体４０１の回転方向に沿って温度分布を発生させるとしたが、図５のように、温度上昇体５０３ａおよび温度降下体５０３ｂを設け、前記温度上昇体５０３ａと前記温度降下体５０３ｂがペアとなって温度調節手段とし、前記円筒状の支持体４０１の外周表面の温度を制御でき、実施例４と同じ効果が得られる。前記温度上昇体５０３ａは温水路や電気ヒータなど、温度降下体５０３ｂは冷却水路や冷却媒路などを用いることが可能である。

上記の構成によって、前記円筒状の支持体４０１の外周表面に塗布された塗布膜４０５は前記円筒状の支持体４０１と接触する面から加熱され、乾燥されることとなる。そのため、表面に乾燥割れにくいセラミックグリーンシート４０６が形成される。さらに、前記塗布膜４０５を乾燥する際、乾燥熱風が未乾燥の前記塗布膜４０５に直接あたらないため、前記塗布膜４０５の皮貼りがなく、溶媒の蒸発が効率よく進行することもできる。

さらに、前記円筒状の支持体４０１の外周表面に塗布される前記塗布膜４０５を前記円筒状の支持体４０１の外部から加熱または冷却されれば、実施例４と同じ効果が得られる。

（実施例５）
図６はレーザ距離測定器を有する円筒状の支持体を用いるセラミックグリーンシートの製造装置の主要構成部の立体斜視図である。

次に、セラミックグリーンシートの製造装置を説明する。

実施例５で使用される支持体６０１は実施例３あるいは実施例４で使われている円筒状の支持体である。そして、セラミックスラリーの塗布手段、塗布膜６０５の乾燥、セラミックグリーンシート６０６および塗布膜６０５の乾燥手段、前記円筒状の支持体６０１の表面形状処理およびコーティング、さらに、前記セラミックグリーンシート６０６を円筒状の支持体６０１より剥離・巻き取り手段（一部図示しない）も実施例３あるいは実施例４と同様である。

実施例５では、ダイノズル６０３の側面にレーザ距離測定器６０２を設けている。

セラミックスラリー（図示しない）を前記支持体６０１に塗布し前記塗布膜６０５を形成する際、前記塗布膜６０５の厚さは基本的にポンプ（図示しない）の吐出量によって決定されるが、前記セラミックスラリーは前記ダイノズル６０３の内部の前記セラミックスラリー圧力と、塗布点での前記セラミックスラリー圧力の差圧によって最終的に決定される。

通常のセラミックグリーンシートのように前記塗布膜６０５の厚さが２０μｍ以上有する場合、前記ダイノズル６０３の先端と前記支持体６０１の距離は７０μｍ以上有するため、前記円筒状の支持体６０１の僅かな芯振れや熱膨張などによる前記ダイノズル６０３と前記円筒状の支持体間６０１の距離の僅かな変動は大きな誤差とならない。

しかし、厚さ数μｍの極薄前記セラミックグリーンシートを作成する際は、前記ダイノズル６０３と前記円筒状の支持体６０１間の距離が１０μｍ前後まで狭まるため、前記ダイノズル６０３と前記円筒状の支持体６０１間の距離変動による塗布点の前記セラミックスラリー圧力が無視できない。

そこで、前記ダイノズル６０３の側面にレーザ距離測定器６０２を取りつけ、それによって、前記ダイノズル６０３と前記支持体６０１間の距離を精密に測定でき、所定の距離とを保つように前記ダイノズル６０３の位置を制御することができる。

前記ダイノズル６０３と前記支持体６０１間の距離を測定する際、前記レーザ距離測定器６０２からのレーザ光線６０４は前記塗布膜６０５の塗布されない部分に当たるように設定する。

また、前記ダイノズル６０３の位置制御の微調整用のアクチュエータ（図示しない）には、圧電セラミックを積層して構成された圧電アクチュエータが望ましい。

圧電アクチュエータの利点として、ストロークは小さいが発生する推力が大きく、電圧により位置を微小に強固に制御することができる。前記ダイノズル６０３の位置を高精度に制御することにより、極薄のセラミックグリーンシートを作る際でも、前記セラミックグリーンシート６０６の厚さを精度良く形成でき、信頼性の高い前記セラミックグリーンシートを製造することができる。

なお、前記ダイノズル６０３から前記塗布膜６０５を均一な厚さに形成するために、前記ダイノズル６０３と前記支持体６０１の距離を図る一方、前記測定された距離を用い、前記ダイノズル６０３の前記セラミックスラリーの塗布量を調整したり、あるいは前記円筒状の支持体６０１の回転速度を制御したりすることによって、実現することが可能である。

また、実施例５では、前記円筒状の支持体６０１を用いて前記セラミックグリーンシート６０６を形成する際に、前記ダイノズル６０３の側面に前記レーザ距離測定器６０２をつけることを例にして説明したが、実施例１または実施例２で実施しても同様な効果が得られる。

そして、実施例５で使われる無機粉体、分散媒および有機バインダを含むセラミックスラリーの組成、グレートおよび配合比率、セラミックスラリーの塗布手段、前記円筒状の支持体６０１の表面に施される表面形状処理およびコーティングなどが実施例１から実施例４いずれか１例と同じである。また、前記セラミックスラリーの塗布手段、前記セラミックグリーンシート６０６を前記円筒状の支持体６０１より剥離・巻き取り手段も実施例１から実施例４のいずれか１例と同じである。

さらに前記塗布膜６０５の乾燥、前記セラミックグリーンシート６０６および前記塗布膜６０５の乾燥手段は、前記円筒状の支持体６０１を用いてセラミックグリーンシートを製造する場合、実施例３又は実施例４と同じであるが、循環式の支持体１０５を用いてセラミックグリーンシート１１１を製造する場合、実施例１と同じで、帯状の支持体２０５を用いてセラミックグリーンシート１１１を製造する場合、実施例２と同じである。

（実施例６）
図７は冷却装置を有する循環式の支持体を用いるセラミックグリーンシートの製造装置の概略正面図である。

無機粉体、バインダなどを含むセラミック粉、溶媒、分散媒の役割を果たす可塑剤などの混合物であるセラミックスラリー１０９は供給タンク１０１に投入される。前記供給タンク１０１は配管１１０によりポンプ１０２を経てダイノズル１０３に接続される。

前記ダイノズル１０３の先端に対向して、コーティングロール１０４が配置され、前記コーティングロール１０４と一定の距離をおいて、サポートロール１０８が配置されている。循環式の支持体１０５は前記コーティングロール１０４と前記サポートロール１０８によって支持され、かつ前記コーティングロール１０４と前記サポートロール１０８の回転によって動かされ、それらの間を循環する。乾燥部となる乾燥装置１０７は前記コーティングロール１０４と前記サポートロール１０８の間に配置される。前記セラミックスラリー１０９は前記循環式の支持体１０５に塗布されて塗布膜１０６を形成し、前記塗布膜１０６が乾燥することにより、セラミックグリーンシート１１１が形成される。乾燥部となる乾燥装置１０７の後に、冷却部となる冷却装置７１３を設けて、前記セラミックグリーンシート１１１をそのガラス移転温度以下に冷却する。前記サポートロール１０８と対向して、剥離部となる巻き取り芯１１２が配置されて、前記セラミックグリーンシート１１１を巻き取る。

なお、実施例６で使用される循環式の支持体１０５、セラミックスラリー１０９の組成、グレートおよび配合比率、前記セラミックスラリー１０９による塗布膜１０６の形成、および前記塗布膜１０６を乾燥する乾燥装置１０７、前記塗布膜が乾燥した後に形成されたセラミックグリーンシート１１１、前記循環式の支持体１０５の表面形状処理およびコーティング、さらに、前記セラミックグリーンシート１１１を支持体１０５より剥離・巻き取り剥離部となる巻き取り芯１１２は実施例１で使われているものと同じである。

前記供給タンク１０１内のセラミックスラリー１０９は前記配管１１０を通り、前記ポンプ１０２により前記ダイノズル１０３に送られる。前記ダイノズル１０３に流入された前記セラミックスラリー１０９は前記ダイノズル１０３の先端からその幅方向に均一に吐出され、前記コーティングロール１０４上を一定速度で動かされる前記循環式の支持体１０５に塗布され、塗布膜１０６を形成する。

前記塗布膜１０６は前記循環型の支持体１０５の動きによって前記サポートロール１０８方向に送られ、前記乾燥装置１０７中の８０℃程度の環境で乾燥され、セラミックグリーンシート１１１が形成される。

しかし、前記乾燥装置１０７内の温度が８０℃以上であるため、前記セラミックグリーンシート１１１のガラス転移温度より高温である。この状態で前記冷却装置７１３に前記セラミックグリーンシート１１１を送入し、前記セラミックグリーンシートのガラス移転温度より低い温度である１０〜１５℃程度まで冷却する。

前記セラミックグリーンシート１１１の温度がガラス転移温度より低温化され、前記セラミックグリーンシート１１１の接着性が低下し、前記循環式の支持体１０５から剥離されやすくなる。

さらに、前記冷却装置７１３の冷却によって、前記循環式の支持体１０５と前記セラミックグリーンシート１１１の温度差による熱膨張差が生じ、前記セラミックグリーンシート１１１は前記循環式の支持体１０５からより剥離されやすくなり、前記セラミックグリーンシート１１１へのダメージも低減される。

前記冷却されたセラミックグリーンシート１１１が形成された後、前記循環式の支持体１０５から剥離され、巻き取られる。

なお、実施例６において、冷却装置７１３が実施例１のセラミックグリーンシートの製造装置に設けられたことを例にして説明したが、実施例２から実施例５のいずれか１例の製造装置において、前記冷却装置７１３を設けば同じ効果が得られる。なお、実施例４において、溶媒を完全除去された後、前記温度調節手段４０３によって前記円筒状の支持体４０１の外周の表面の温度を前記セラミックグリーンシート４０５のガラス転移温度以下に調整すれば、実施例６と同じ効果が得られる。

また、前記セラミックグリーンシート１１１のガラス転移温度とはセラミックグリーンシート樹脂分子同士の相対位置が外力に対して、変化し始める温度のことである。このガラス転移温度の測定方法はＴＭＡ法、ＤＳＣ法及びＤＭＡ法がある。

（実施例７）
図８は樹脂層が塗布される循環式の支持体を用いるセラミックグリーンシートの製造装置の概略正面図である。

無機粉体であるセラミック粉、バインダ、溶媒、分散媒の役割を果たす可塑剤などの混合物であるセラミックスラリー１０９は供給タンク１０１に投入される。前記供給タンク１０１は配管１１０によりポンプ１０２を経てダイノズル１０３に接続される。

前記ダイノズル１０３の先端に対向してコーティングロール１０４が配置され、このコーティングロール１０４と一定距離をおいてサポートロール１０８が配置されている。循環式の支持体１０５は前記コーティングロール１０４と前記サポートロール１０８によって支持され、かつ前記コーティングロール１０４と前記サポートロール１０８の回転によって動かされそれらの間を循環する。前記循環式の支持体１０５が前記コーティングロール１０４から前記サポートロール１０８へ移動する際乾燥部となる乾燥装置１０７を通るように、前記乾燥装置１０７が前記コーティングロール１０４から前記サポートロール１０８の間に配置される。

前記セラミックスラリー１０９を前記循環式の支持体１０５に向けて塗布し、塗布膜１０６を形成する。前記塗布膜１０６が前記乾燥装置１０７中の８０℃程度の環境で乾燥され、セラミックグリーンシート１１１が形成される。前記サポートロール１０８と対向して、前記セラミックグリーンシート１１１を前記循環式の支持体１０５から剥離するための剥離部となる巻き取り芯１１２が配置される。

さらに、前記循環式の支持体１０５はサポートロール１０８から前記コーティングロール１０４に移動する際、前記コーティングロール１０４から前記サポートロール１０８の間に前記循環式の支持体１０５に樹脂を塗布するための転写ロール８１３とサポートロール８１４が配置される。即ち、前記転写ロール８１３とサポートロール８１４は前記循環式の支持体１０５をそれらの間に挟むよう配置する。

前記循環式の支持体１０５は前記サポートロール１０８から前記コーティングロール１０４の方向に移動する際、前記転写ロール８１３と前記サポートロール８１４に挟まれ、前記転写ロール８１３に向ける面は前記転写ロール８１３によって樹脂を塗布される。そのため、前記支持体１０５の上に樹脂層８１５が形成される。前記樹脂層８１５が塗布されてから、前記循環式の支持体１０５は前記コーティングロール１０４の方向に移動する。

前記供給タンク１０１に投入されたセラミックスラリー１０９は前記ダイノズル１０３によって前記樹脂層８１５が塗布される前記循環式の支持体１０５に向けて塗布される。即ち、前記セラミックスラリー１０９は前記循環式の支持体１０５に塗布された前記樹脂層８１５の上に塗布後塗布膜１０６を形成する。前記塗布膜１０６と前記樹脂層８１５は前記サポートロール１０８方向に送られ、前記乾燥装置１０７によって８０℃程度の環境の中で一緒に乾燥される。その際、前記塗布膜１０６はセラミックグリーンシート１１１を形成し、前記セラミックグリーンシート１１１は乾燥された前記樹脂層８１５と一体となる。

表面に粘着処理が施された前記巻き取り芯１１２は前記セラミックグリーンシート１１１の表面に押しつけられ、前記セラミックグリーンシート１１１の走行速度に合わせて回転する。その際、前記樹脂層８１５は前記セラミックグリーンシート１１１と一体となったため、前記セラミックグリーンシート１１１と共に前記巻き取り芯１１２によって前記循環式の支持体１０５から剥離・巻き取られ、回収される。

前記樹脂層８１５を形成する樹脂は、前記セラミックスラリー１０９に含まれているバインダーと同系統のもので分子量の小さいものを用いる。こうすることによって、前記樹脂層８１５の上に塗布される前記セラミックスラリー１０９の弾きを防止でき、より平滑な前記セラミックグリーンシート１１１を形成できる。

また、前記セラミックスラリー１０９が塗布される時点では前記樹脂層８１５が乾燥していないため、容易に前記セラミックスラリー１０９との界面で拡散が起こり、前記セラミックグリーンシート１１１と前記樹脂層８１５は一体化する。

この状態で巻き取られた前記セラミックグリーンシート１１１は、片面がバインダーリッチな傾斜材料的な特性を有する。このため、セラミック電子部品の製造における後工程である積層工程において、前記樹脂層８１５が接着剤的効果を揮発するため、層間剥離が発生せず緻密で信頼性の高いセラミック電子部品を製造できる。

なお、実施例７において、実施例１のセラミックグリーンシート１１１の製造装置に設けられたことを例にして説明したが、実施例６の製造装置において、前記転写ロール８１３と前記サポートロール８１４を設ければ実施例７と同じ効果が得られる。

実施例２のセラミックグリーンシート１１１の製造装置において、帯状の支持体２０５が取り出され、セラミックスラリー１０９が塗布される前に、前記転写ロール８１３と前記サポートロール８１４を設ければ実施例７と同じ効果が得られる。

また、実施例３、実施例４および実施例５のセラミックグリーンシートの製造装置において、前記セラミックグリーンシート（３０５、４０５あるいは６０５）が前記円筒状の支持体（３０１、４０１あるいは６０１）から剥離されたあと、前記セラミックスラリー１０９が前記円筒状の支持体（３０１、４０１あるいは６０１）に塗布される前の位置に、前記転写ロール８１３を設け、前記樹脂層８１５を前記円筒状の支持体（３０１、４０１あるいは６０１）に塗布するようにすれば、実施例７と同じ効果が得られる。

本発明はセラミック電子部品、およびセラミック基板などのセラミック電子部品を製造する際に用いられるセラミックグリーンシートの製造方法および前記製造方法を実施する際に用いられる製造装置に関するものとして利用することが可能である。

循環式の支持体を用いる本発明の実施例１におけるセラミックグリーンシートの製造装置の概略正面図帯状の支持体を用いる本発明の実施例２におけるセラミックグリーンシートの製造装置の概略正面図円筒状の支持体を用いる本発明の実施例３におけるセラミックグリーンシートの製造装置の概略正面断面図温度調節手段を有する円筒状の支持体を用いる本発明の実施例４におけるセラミックグリーンシートの製造装置の概略正面断面図温度上昇手段および温度降下手段を有する円筒状の支持体を用いる本発明の実施例４の応用例を示すセラミックグリーンシートの製造装置の概略正面断面図レーザ距離測定器を有する円筒状の支持体を用いる本発明の実施例５におけるセラミックグリーンシートの製造装置主要構成部の立体斜視図冷却装置を有する循環式の支持体を用いる本発明の実施例６におけるセラミックグリーンシートの製造装置の概略正面図樹脂層と塗布される循環式の支持体を用いる本発明の実施例７におけるセラミックグリーンシートの製造装置の概略正面図

符号の説明

１０１供給タンク
１０２ポンプ
１０３ダイノズル
１０４コーティングロール
１０５循環式の支持体
１０６塗布膜
１０７乾燥装置
１０８サポートロール
１０９セラミックスラリー
１１０配管
１１１セラミックグリーンシート
１１２巻き取り芯
２０１巻き出しロール
２０２巻き取りロール
２０５帯状の支持体
３０１円筒状の支持体
３０２空間
３０３軸受けサポート
３０４軸受け
３０５塗布膜
３０６セラミックグリーンシート
３０７巻き取り芯
４０１円筒状の支持体
４０２空間
４０３温度調節手段
４０４軸受け
４０５塗布膜
４０６セラミックグリーンシート
４０７巻き取り芯
５０３ａ温度上昇体
５０３ｂ温度降下体
６０１円筒状の支持体
６０２レーザ距離測定器
６０３ダイノズル
６０４レーザ光線
６０５塗布膜
６０６セラミックグリーンシート
７１３冷却装置
８１３転写ロール
８１４サポートロール
８１５樹脂層

Claims

少なくとも無機粉体と有機バインダと分散媒を含むセラミックスラリーを用いて形成されるセラミックグリーンシートの製造方法において、少なくとも前記無機粉体に対して５重量％から３０重量％の分子量６００００から３０００００のバインダを用いて形成したセラミックスラリーを循環式の支持体の表面に塗布、乾燥して得られるセラミックグリーンシートを前記循環式の支持体から剥離して回収することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。
少なくとも無機粉体と分散媒と有機バインダを含むセラミックスラリーを用いて形成されるセラミックグリーンシートの製造方法において、少なくとも前記無機粉体に対して５重量％から３０重量％の分子量６００００から３０００００のバインダを用いて形成したセラミックスラリーを帯状の支持体の表面に塗布、乾燥して得られるセラミックグリーンシートを前記帯状の支持体から剥離し、前記セラミックグリーンシートを回収するとともに前記帯状の支持体は切断せず巻き取り回収することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。
少なくとも無機粉体と分散媒と有機バインダを含むセラミックスラリーを用いて形成されるセラミックグリーンシートの製造方法において、少なくとも前記無機粉体に対して５重量％から３０重量％の分子量６００００から３０００００のバインダを用いて形成したセラミックスラリーを回転自在な円筒状の支持体の外周表面に塗布、乾燥して得られるセラミックグリーンシートを前記円筒状の支持体から剥離して回収することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。
回転自在な前記円筒状の支持体を用い、少なくともこの円筒状の支持体の外周表面をセラミックスラリーをセラミックグリーンシートにするための温度に保つようにする請求項３に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
前記セラミックスラリーを回転自在な前記円筒状の支持体に塗布してから、前記円筒状の支持体の回転に伴って少なくとも前記円筒状の支持体の外周表面の温度を前記セラミックスラリーをセラミックグリーンシートにするための温度に上昇させた後、少なくとも前記円筒状の支持体の外周表面の温度を降下させる請求項３に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
前記セラミックスラリーが前記支持体に塗布されて塗布膜を形成する際、前記塗布膜の厚さを均一に制御する請求項１から５のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
前記セラミックスラリーを前記支持体に塗布する際、前記セラミックスラリーを塗布する塗布手段と前記支持体との距離を測定し、前記セラミックスラリーの塗布中に前記距離を所定の値に制御することを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
前記セラミックグリーンシートのガラス転移温度が室温以上であり、前記セラミックグリーンシートの乾燥後、前記セラミックグリーンシートを前記ガラス移転温度以下に冷却することを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
前記支持体の表面に形成する前記セラミックグリーンシートを前記支持体から剥離しやすくするための樹脂を塗布した後、前記セラミックスラリーを前記支持体の表面に塗布し、前記セラミックスラリーがセラミックグリーンシートとなった後、前記セラミックグリーンシートと前記樹脂層を一緒に前記支持体から剥離することを特徴とする請求項１から８のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
少なくとも無機粉体と分散媒と有機バインダを含むセラミックスラリーを用いて形成されるセラミックグリーンシートの製造工程に用いる製造装置において、少なくとも前記無機粉体に対して５重量％から３０重量％の分子量６００００から３０００００のバインダを用いて形成したセラミックスラリーが塗布される支持体と、前記セラミックスラリーを乾燥する乾燥部と、前記セラミックスラリーが乾燥されることにより形成されるセラミックグリーンシートを前記支持体から剥離する剥離部とを有し、前記支持体を循環式の支持体としたセラミックグリーンシートの製造装置。
少なくとも無機粉体と分散媒と有機バインダを含むセラミックスラリーを用いて形成されるセラミックグリーンシートの製造工程に用いる製造装置において、少なくとも前記無機粉体に対して５重量％から３０重量％の分子量６００００から３０００００のバインダを用いて形成したセラミックスラリーが塗布される支持体と、前記セラミックスラリーを乾燥する乾燥部と、前記セラミックスラリーが乾燥されることにより形成されるセラミックグリーンシートを前記支持体から剥離する剥離部とを有し、前記支持体を帯状の支持体としたセラミックグリーンシートの製造装置。
少なくとも無機粉体と分散媒と有機バインダを含むセラミックスラリーを用いて形成されるセラミックグリーンシートの製造工程に用いる製造装置において、少なくとも前記無機粉体に対して５重量％から３０重量％の分子量６００００から３０００００のバインダを用いて形成したセラミックスラリーが塗布される支持体と、前記セラミックスラリーを乾燥する乾燥部と、前記セラミックスラリーが乾燥されることにより形成されるセラミックグリーンシートを前記支持体から剥離する剥離部とを有し、前記支持体を回転自在な円筒状の支持体としたセラミックグリーンシートの製造装置。
回転自在な前記円筒状の支持体を用い、少なくとも前記円筒状の支持体の外周表面の温度を前記セラミックスラリーを前記セラミックグリーンシートにするための温度に保つ温度調節手段を有する請求項１２に記載のセラミックグリーンシートの製造装置。
前記セラミックスラリーを回転自在な前記円筒状の支持体に塗布してから、前記円筒状の支持体の回転に伴って少なくとも前記円筒状の支持体の外周表面の温度を前記セラミックスラリーをセラミックグリーンシートにするための温度に上昇させ、少なくとも前記円筒状の支持体の外周表面の温度を降下させる温度調節手段を有する請求項１２に記載のセラミックグリーンシートの製造装置。
前記セラミックスラリーを前記支持体に塗布するための塗布手段と、この塗布手段と前記支持体の距離を測定し前記セラミックスラリーの塗布中に前記塗布手段と前記支持体との距離を所定の値に制御する距離制御手段とを有する請求項１０から１４のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートの製造装置。
前記セラミックグリーンシートのガラス転移温度が室温以上であり、前記セラミックスグリーンシート乾燥後、前記セラミックグリーンシートを前記ガラス転移温度以下に制御する冷却部を有することを特徴とする請求項１０から１５のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートの製造装置。
前記セラミックスラリーを前記支持体の表面に塗布する前に前記支持体の表面にセラミックグリーンシートを前記支持体から剥離しやすくするための樹脂を塗布する樹脂塗布手段を有し、前記セラミックスラリーがセラミックグリーンシートとなった後前記セラミックグリーンシートと前記樹脂層を一緒に剥離する剥離部を備えた請求項１０から１６のいずれか１項に記載のセラミックグリーンシートの製造装置。