JP2006167777A - 固液界面検出装置、鋳造装置及び鋳造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 溶解ルツボ11の周縁を取り巻くコイル22に生じる磁束線Mは、導電率の低い固化シリコン41の領域はそのまま透過するが、固液界面Sを境にして導電率の高い溶融シリコン42の領域を避けるように歪む(図3中の磁束線Ma部分)。こうして、コイル22に生じる磁束線Mが特定の領域で導電率の高い物質に接して乱れを生じると、コイル22のインダクタンスが変化する。
【選択図】 図3
Description
f=1/2π√LC ・・・(1)
(但し、f=共振周波数,L=インダクタンス,C=共振用コンデンサ)
3 溶解炉
11 溶融ルツボ
14 リフト
21 固液界面検出装置
22 コイル
24 電流回路
35 界面検出回路(検出回路)
56 ヒータユニット
Claims (7)
- 物質を加熱融解する溶解炉の周縁を取り巻くように設置されるコイルと、前記コイルに磁場を発生させる電流回路と、前記コイルに生じる磁場の変化を検出する検出回路とを備えたことを特徴とする固液界面検出装置。
- 物質を収容する溶解ルツボと、前記溶解ルツボを加熱するヒータと、前記ヒータと前記溶解ルツボとの相対位置を変化させるリフトと、前記溶解ルツボの周縁を取り巻くように設置されるコイルと、前記コイルに磁場を発生させる電流回路と、前記コイルに生じる磁場の変化を検出する検出回路とを備え、前記検出回路で検出された前記コイルの磁場変化に基づいて、前記リフトを制御することを特徴とする鋳造装置。
- 物質を収容する溶解ルツボと、前記溶解ルツボを加熱する複数のヒータからなるヒータユニットと、前記溶解ルツボの周縁を取り巻くように設置されるコイルと、前記コイルに磁場を発生させる電流回路と、前記コイルに生じる磁場の変化を検出する検出回路とを備え、前記検出回路で検出された前記コイルの磁場変化に基づいて、前記ヒータユニットの発熱分布を制御することを特徴とする鋳造装置。
- 前記コイルは独立した2つ以上のコイルからなり、前記溶解ルツボに形成される融液の少なくとも上面と下面に対応する位置に形成されることを特徴とする請求項2または3に記載の鋳造装置。
- 前記電流回路は、直列共振または並列共振の電源であることを特徴とする請求項2ないし4のいずれか1項に記載の鋳造装置。
- 溶解ルツボに収容された物質をヒータで溶融して融液を形成する工程と、前記溶解ルツボの周縁を取り巻くように設置されたコイルに磁場を発生させる工程と、前記コイルの磁場変化を検出する工程と、前記磁場変化の検出結果に基づいて前記溶解ルツボと前記ヒータとの相対位置を制御する工程とを備えたことを特徴とする鋳造方法。
- 溶解ルツボに収容された物質を複数のヒータからなるヒータユニットで溶融して融液を形成する工程と、前記溶解ルツボの周縁を取り巻くように設置されたコイルに磁場を発生させる工程と、前記コイルの磁場変化を検出する工程と、前記磁場変化の検出結果に基づいて前記ヒータユニットを構成するそれぞれのヒータの動作を制御する工程とを備えたことを特徴とする鋳造方法。
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5270111U (ja) * | 1975-11-20 | 1977-05-25 | ||
JPS5835054A (ja) * | 1981-08-26 | 1983-03-01 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 連続鋳造設備の溶鋼レベル検出方法 |
JPS60158952A (ja) * | 1983-12-20 | 1985-08-20 | スイス・アルミニウム・リミテツド | 溶融金属の液面を決定制御する方法並びに装置 |
JPH01197614A (ja) * | 1988-02-02 | 1989-08-09 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 溶融金属液面レベルを測定するための装置及び方法 |
JPH03194425A (ja) * | 1989-12-22 | 1991-08-26 | Yamaha Motor Co Ltd | 低圧鋳造方法 |
JPH0810923A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-16 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 溶湯レベル測定装置 |
JP2005324207A (ja) * | 2004-05-12 | 2005-11-24 | Daido Steel Co Ltd | コールドクルーシブル炉を用いた金属インゴットの製造方法およびコールドクルーシブル炉 |
JP2006147715A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Sharp Corp | 薄板生成装置および薄板生成方法 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5270111U (ja) * | 1975-11-20 | 1977-05-25 | ||
JPS5835054A (ja) * | 1981-08-26 | 1983-03-01 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 連続鋳造設備の溶鋼レベル検出方法 |
JPS60158952A (ja) * | 1983-12-20 | 1985-08-20 | スイス・アルミニウム・リミテツド | 溶融金属の液面を決定制御する方法並びに装置 |
JPH01197614A (ja) * | 1988-02-02 | 1989-08-09 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 溶融金属液面レベルを測定するための装置及び方法 |
JPH03194425A (ja) * | 1989-12-22 | 1991-08-26 | Yamaha Motor Co Ltd | 低圧鋳造方法 |
JPH0810923A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-16 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 溶湯レベル測定装置 |
JP2005324207A (ja) * | 2004-05-12 | 2005-11-24 | Daido Steel Co Ltd | コールドクルーシブル炉を用いた金属インゴットの製造方法およびコールドクルーシブル炉 |
JP2006147715A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Sharp Corp | 薄板生成装置および薄板生成方法 |
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