JP2006156155A - 荷電粒子ビーム装置の高電圧発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電力伝送回路7のトランスとシールド間との容量結合電流によるノイズの影響を避けるために、二次電池16等の充放電を行う電気素子を用いた直流電源を設ける。接地電位に配置した伝送ON/OFFスイッチ15により切替スイッチ17を動作させ、トランスを用いた従来の直流高電圧発生回路との切替えを行う。高分解能を必要とするデータの取得は二次電池16を用いた直流電源を使用して行い、従来の直流高電圧発生回路を使用している間は、充電回路19により二次電池16を充電しておく。
【選択図】図4
Description
(1)高圧電源自体の持つ揺らぎ、整流に起因するリップル。
(2)高電圧上で動作する回路への、電力伝送用トランスが発生するノイズ。
の2点である。
加速電圧発生回路と、フィルタ抵抗及びコンデンサ及び高耐圧トランスを介して電力を伝送する電力伝送回路と、整流/平滑直流電源回路と、電子銃制御回路と、シールド板とから構成されている電子銃の電源であって、
充放電を行う電気素子と、前記充放電を行う電気素子の充電回路と、前記直流電源回路と前記充放電を行う電気素子との切替用リレーを高電圧上に備え、さらに伝送ON/OFFスイッチを接地電位の回路上に備え、
前記伝送ON/OFFスイッチをONにしている時は、前記切替用リレーは前記電子銃制御回路と前記整流/平滑直流電源回路とが接続されるようになされ、前記整流/平滑直流電源回路から電子銃に電力が伝送され、前記充放電を行う電気素子が充電され、
前記伝送ON/OFFスイッチをOFFにした時、前記切替用リレーは、前記電子銃制御回路と前記充放電を行う電気素子とが接続されるように切り替えられ、前記整流/平滑直流電源回路からの伝送を停止し、前記充放電を行う電気素子から前記電子銃に電力が供給されるように構成されている、ことを特徴とする。
また本発明は、前記充放電を行う電気素子は電気二重層キャパシタであることを特徴とする。
図4において、従来から有るトランスを使用した高電圧上の直流電源回路の他に、二次電池16、充電回路19、切替スイッチ17、切替用リレー18が追加されている。さらに接地電位の回路上に、伝送ON/OFFスイッチ15が追加されている。図4の例では二次電池を用いているが、替わりに例えば電気二重層キャパシタ等の充放電を行う電気素子を用いることができる。
S:シールドポイント
C1〜C3:フィルタコンデンサ
T1〜T5:高耐圧伝送用トランス
1:加速電圧発生回路 11:電子銃
2:コッククロフトウォルトン回路 12:フィラメント
3:昇圧トランス 13:引出電極
4:交流電源 14:加速電極
5:フィルタ抵抗 15:伝送ON/OFFスイッチ
6:シールド板 16:二次電池
7:電力伝送回路 17:切替スイッチ
8:電子銃制御用回路 18:切替用リレー
9:整流/平滑直流電源回路 19:充電回路
10:シールドケース
Claims (3)
- 加速電圧発生回路と、フィルタ抵抗及びコンデンサ及び高耐圧トランスを介して電力を伝送する電力伝送回路と、整流/平滑直流電源回路と、電子銃制御回路と、シールド板とから構成されている電子銃の電源であって、
充放電を行う電気素子と、前記充放電を行う電気素子の充電回路と、前記直流電源回路と前記充放電を行う電気素子との切替用リレーを高電圧上に備え、さらに伝送ON/OFFスイッチを接地電位の回路上に備え、
前記伝送ON/OFFスイッチをONにしている時は、前記切替用リレーは前記電子銃制御回路と前記整流/平滑直流電源回路とが接続されるようになされ、前記整流/平滑直流電源回路から電子銃に電力が伝送され、前記充放電を行う電気素子が充電され、
前記伝送ON/OFFスイッチをOFFにした時、前記切替用リレーは、前記電子銃制御回路と前記充放電を行う電気素子とが接続されるように切り替えられ、前記整流/平滑直流電源回路からの伝送を停止し、前記充放電を行う電気素子から前記電子銃に電力が供給されるように構成されている、ことを特徴とする高電圧発生装置。 - 前記充放電を行う電気素子は二次電池であることを特徴とする請求項1に記載の高電圧発生装置。
- 前記充放電を行う電気素子は電気二重層キャパシタであることを特徴とする請求項1に記載の高電圧発生装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010135103A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Jeol Ltd | 荷電粒子発生装置 |
WO2015040906A1 (ja) * | 2013-09-20 | 2015-03-26 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
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JPS518499A (ja) * | 1974-07-10 | 1976-01-23 | Nissin High Voltage Co Ltd | Denshisenshoshasochi |
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-
2004
- 2004-11-30 JP JP2004345651A patent/JP4553701B2/ja active Active
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