JPH05159734A - 高電圧電源 - Google Patents
高電圧電源Info
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- JPH05159734A JPH05159734A JP32450691A JP32450691A JPH05159734A JP H05159734 A JPH05159734 A JP H05159734A JP 32450691 A JP32450691 A JP 32450691A JP 32450691 A JP32450691 A JP 32450691A JP H05159734 A JPH05159734 A JP H05159734A
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- JP
- Japan
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- circuit
- high voltage
- power transmission
- cockcroft
- power supply
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 安定した高電圧を発生させる。
【構成】 直流部４は、基準抵抗Ｒ0 とフィルタ回路を
構成するコンデンサＣ0 で構成され、シールドケース１
の一方の空間Ｓ2 に組み込まれている。シールドケース
１の他方の空間Ｓ1 内には交流部３とパワー伝送回路５
とが組み込まれている。交流部３はＣＷＣで構成され、
各コンデンサにはコロナシールド７が施されている。パ
ワー伝送回路５は３個の高電圧絶縁トランスＴ1 ，Ｔ
2 ，Ｔ3及び整流器６を備えており、高電圧絶縁トラン
スＴ2 及びＴ3 はコロナシールドの箱８0 ，８1 に収容
されている。そして、高電圧絶縁トランスＴ2 及びＴ3
のコアにはそれぞれメインポール側のコンデンサのコロ
ナシールド７0 ，７1 の電位が与えられている。高電圧
絶縁トランスＴ1 ，Ｔ2 ，Ｔ3 により伝送されたパワー
は整流器６で整流され、専用のラインを介してシールド
板２を隔てた直流部に伝送され、そこから電子銃部等に
供給される。
構成するコンデンサＣ0 で構成され、シールドケース１
の一方の空間Ｓ2 に組み込まれている。シールドケース
１の他方の空間Ｓ1 内には交流部３とパワー伝送回路５
とが組み込まれている。交流部３はＣＷＣで構成され、
各コンデンサにはコロナシールド７が施されている。パ
ワー伝送回路５は３個の高電圧絶縁トランスＴ1 ，Ｔ
2 ，Ｔ3及び整流器６を備えており、高電圧絶縁トラン
スＴ2 及びＴ3 はコロナシールドの箱８0 ，８1 に収容
されている。そして、高電圧絶縁トランスＴ2 及びＴ3
のコアにはそれぞれメインポール側のコンデンサのコロ
ナシールド７0 ，７1 の電位が与えられている。高電圧
絶縁トランスＴ1 ，Ｔ2 ，Ｔ3 により伝送されたパワー
は整流器６で整流され、専用のラインを介してシールド
板２を隔てた直流部に伝送され、そこから電子銃部等に
供給される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高電圧電源の構成に係
り、特に電子顕微鏡等に用いて好適な高電圧電源に関す
る。
り、特に電子顕微鏡等に用いて好適な高電圧電源に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】電子顕微鏡等の荷電粒子を加速させる装
置においては、非常に高い加速電圧を得るために高電圧
電源が用いられている。高電圧電源は、交流を直流の高
電圧に変換する整流回路と、この整流回路の出力である
直流高電圧に残留しているリップル成分を除去して高電
圧を安定化させるためのフィルタ回路及び帰還回路を構
成する基準抵抗を備えている。そして、整流回路は一般
に交流部と称され、フィルタ回路と基準抵抗はこれらを
纏めて直流部と称されている。
置においては、非常に高い加速電圧を得るために高電圧
電源が用いられている。高電圧電源は、交流を直流の高
電圧に変換する整流回路と、この整流回路の出力である
直流高電圧に残留しているリップル成分を除去して高電
圧を安定化させるためのフィルタ回路及び帰還回路を構
成する基準抵抗を備えている。そして、整流回路は一般
に交流部と称され、フィルタ回路と基準抵抗はこれらを
纏めて直流部と称されている。
【０００３】また、電子顕微鏡においては、熱電子放出
型電子銃を搭載しているものにあってはフィラメントを
点灯させるために、また電界放出型電子銃（ＦＥＧ）を
搭載しているものにあってはＦＥＧにパワーを伝送する
ために、パワー伝送回路が設けられる。
型電子銃を搭載しているものにあってはフィラメントを
点灯させるために、また電界放出型電子銃（ＦＥＧ）を
搭載しているものにあってはＦＥＧにパワーを伝送する
ために、パワー伝送回路が設けられる。
【０００４】その構成例を図４、図５に示す。図４にお
いては、接地電位になされたシールドケース１の内部空
間はシールド板２によって二つの空間Ｓ1，Ｓ2 に仕切
られており、一方の空間Ｓ1 には交流部３が収容され、
他方の空間Ｓ2 には直流部４及びパワー伝送回路５が収
容されている。交流部３はコッククロフト・ウォルトン
回路（Cockcroft-Walton circuit：以下、ＣＷＣと称
す）で構成されいる。ＣＷＣは出力電圧を取り出すため
のメインポールと、これをチャージアップさせるための
サブポールを備えている。図の点Ｐで示す側がメインポ
ールであり、いま、入力トランスＴ0 の２次側に得られ
る電圧をＥとすると、メインポールには８Ｅの直流電圧
が得られる。メインポールに得られる電位はシールド板
２を隔ててフィルタ用の抵抗Ｒ1 により直流部４に電位
が伝送され、出力端子OUT1からウェネルト電極に印加さ
れる。またバランス型ＣＷＣの各コンデンサはコロナシ
ールド７により囲まれ放電対策が施されている。
いては、接地電位になされたシールドケース１の内部空
間はシールド板２によって二つの空間Ｓ1，Ｓ2 に仕切
られており、一方の空間Ｓ1 には交流部３が収容され、
他方の空間Ｓ2 には直流部４及びパワー伝送回路５が収
容されている。交流部３はコッククロフト・ウォルトン
回路（Cockcroft-Walton circuit：以下、ＣＷＣと称
す）で構成されいる。ＣＷＣは出力電圧を取り出すため
のメインポールと、これをチャージアップさせるための
サブポールを備えている。図の点Ｐで示す側がメインポ
ールであり、いま、入力トランスＴ0 の２次側に得られ
る電圧をＥとすると、メインポールには８Ｅの直流電圧
が得られる。メインポールに得られる電位はシールド板
２を隔ててフィルタ用の抵抗Ｒ1 により直流部４に電位
が伝送され、出力端子OUT1からウェネルト電極に印加さ
れる。またバランス型ＣＷＣの各コンデンサはコロナシ
ールド７により囲まれ放電対策が施されている。
【０００５】直流部４は基準抵抗Ｒ0 と、フィルタ回路
を構成するコンデンサＣ1 ，Ｃ2 の直列回路とで構成さ
れている。フィルタ回路の一方の端部は出力端子OUT
1に、他端部はシールドケース１に接続されている。ま
た、基準抵抗Ｒ0 の一方の端部は出力端子OUT1に、他端
部は図示しない帰還回路に接続されている。
を構成するコンデンサＣ1 ，Ｃ2 の直列回路とで構成さ
れている。フィルタ回路の一方の端部は出力端子OUT
1に、他端部はシールドケース１に接続されている。ま
た、基準抵抗Ｒ0 の一方の端部は出力端子OUT1に、他端
部は図示しない帰還回路に接続されている。
【０００６】パワー伝送回路５は、複数個、図では３個
の高電圧絶縁トランスＴ1 ，Ｔ2 ，Ｔ3 を縦続接続した
回路と、最終段の高電圧絶縁トランス、図ではＴ3 の２
次側コイルに接続された整流器６とで構成されている。
整流器６の出力である直流電圧は、例えば電子銃のフィ
ラメント（図示せず）の両端に出力端子OUT2から印加さ
れる。また、各高電圧絶縁トランスＴ1 ，Ｔ2 ，Ｔ3 の
コアにはそれぞれ所定の電位が与えられる。図において
は高電圧絶縁トランスＴ1 のコアは接地され、高電圧絶
縁トランスＴ2 のコアはコンデンサＣ1 ，Ｃ2 の接続中
点の電位が与えられ、高電圧絶縁トランスＴ3 のコアは
交流部３の出力電圧の電位が与えられている。
の高電圧絶縁トランスＴ1 ，Ｔ2 ，Ｔ3 を縦続接続した
回路と、最終段の高電圧絶縁トランス、図ではＴ3 の２
次側コイルに接続された整流器６とで構成されている。
整流器６の出力である直流電圧は、例えば電子銃のフィ
ラメント（図示せず）の両端に出力端子OUT2から印加さ
れる。また、各高電圧絶縁トランスＴ1 ，Ｔ2 ，Ｔ3 の
コアにはそれぞれ所定の電位が与えられる。図において
は高電圧絶縁トランスＴ1 のコアは接地され、高電圧絶
縁トランスＴ2 のコアはコンデンサＣ1 ，Ｃ2 の接続中
点の電位が与えられ、高電圧絶縁トランスＴ3 のコアは
交流部３の出力電圧の電位が与えられている。
【０００７】図５は従来使用されている高電圧電源の他
の構成例を示す図である。なお、以下図４と同一のも
の、同等なものに対しては図４と同一の符号を付す。図
５は、交流部３としてバランス型ＣＷＣを用いる以外は
図４と同じである。バランス型ＣＷＣは、電圧を取り出
すためのメインポールは存在せず、充放電を繰り返すＣ
ＷＣでいうサブポールしか存在しない。このため頂部に
は各ポールから発生した高電圧電位の中点を取り出すた
めのバランス抵抗ＲB1，ＲB2が設けられており、このバ
ランス抵抗ＲB1，ＲB2の接続中点からシールド板２を隔
ててフィルタ用の抵抗Ｒ1 により直流部４に電位が伝送
される。また、バランス型ＣＷＣの各コンデンサはコロ
ナシールド７により囲まれ放電対策が施されている。
の構成例を示す図である。なお、以下図４と同一のも
の、同等なものに対しては図４と同一の符号を付す。図
５は、交流部３としてバランス型ＣＷＣを用いる以外は
図４と同じである。バランス型ＣＷＣは、電圧を取り出
すためのメインポールは存在せず、充放電を繰り返すＣ
ＷＣでいうサブポールしか存在しない。このため頂部に
は各ポールから発生した高電圧電位の中点を取り出すた
めのバランス抵抗ＲB1，ＲB2が設けられており、このバ
ランス抵抗ＲB1，ＲB2の接続中点からシールド板２を隔
ててフィルタ用の抵抗Ｒ1 により直流部４に電位が伝送
される。また、バランス型ＣＷＣの各コンデンサはコロ
ナシールド７により囲まれ放電対策が施されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
高電圧電源においては、パワー伝送回路５は直流部４が
収容される空間と同じ空間Ｓ2 内に収容されているの
で、パワー伝送回路５で生じる交流磁場によって直流部
４が影響され、安定した高電圧が得られないという問題
があった。即ち、パワー伝送回路５は交流を伝送するも
のであるから、その伝送路の近傍には交流磁場が生じ
る。そして、直流部４の基準抵抗Ｒ0 はパワー伝送回路
５の近傍に配置されるから、基準抵抗Ｒ0 には当該交流
磁場によって電流が誘導されることになり、その結果出
力端子OUT1から出力される高電圧が変動して装置として
の性能が劣化してしまうのである。本発明は、上記の課
題を解決するものであって、安定した高電圧を発生する
ことができる高電圧電源を提供することを目的とするも
のである。
高電圧電源においては、パワー伝送回路５は直流部４が
収容される空間と同じ空間Ｓ2 内に収容されているの
で、パワー伝送回路５で生じる交流磁場によって直流部
４が影響され、安定した高電圧が得られないという問題
があった。即ち、パワー伝送回路５は交流を伝送するも
のであるから、その伝送路の近傍には交流磁場が生じ
る。そして、直流部４の基準抵抗Ｒ0 はパワー伝送回路
５の近傍に配置されるから、基準抵抗Ｒ0 には当該交流
磁場によって電流が誘導されることになり、その結果出
力端子OUT1から出力される高電圧が変動して装置として
の性能が劣化してしまうのである。本発明は、上記の課
題を解決するものであって、安定した高電圧を発生する
ことができる高電圧電源を提供することを目的とするも
のである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の高電圧電源は、コッククロフト・ウォル
トン回路またはバランス型コッククロフト・ウォルトン
回路からなる交流部と、前記交流部で発生された高電圧
を安定させるためのフィルタ回路及び基準抵抗を含む直
流部と、交流を伝送する複数の絶縁トランスと、前記絶
縁トランスの最終段絶縁トランスの所定の出力タップに
得られる交流を整流する整流器とを含むパワー伝送回路
とを備える高電圧電源において、前記交流部と直流部と
はシールド部材で隔離されてなり、且つ前記パワー伝送
回路は前記交流部側に配置されてなることを特徴とす
る。
めに、本発明の高電圧電源は、コッククロフト・ウォル
トン回路またはバランス型コッククロフト・ウォルトン
回路からなる交流部と、前記交流部で発生された高電圧
を安定させるためのフィルタ回路及び基準抵抗を含む直
流部と、交流を伝送する複数の絶縁トランスと、前記絶
縁トランスの最終段絶縁トランスの所定の出力タップに
得られる交流を整流する整流器とを含むパワー伝送回路
とを備える高電圧電源において、前記交流部と直流部と
はシールド部材で隔離されてなり、且つ前記パワー伝送
回路は前記交流部側に配置されてなることを特徴とす
る。
【００１０】
【作用】本発明においてはパワー伝送回路は交流部側に
組み込まれる。そして、非常に高い電圧が要求される場
合には高電圧絶縁トランス１段のみで高電圧絶縁を持た
せることは不可能であるため、パワー伝送回路には複数
の高電圧絶縁トランスを用いることになるが、このと
き、これらの絶縁トランスのコアにはある電位を与えな
ければならず、パワー伝送回路を交流部と共に組み込む
際には、その電位の与え方が問題となる。そこで、交流
部としてバランス型ＣＷＣを用いる場合には、パワー伝
送回路に用いる絶縁トランスのコアをバランス型ＣＷＣ
の適当な位置における二つのポールの中点電位にした
り、あるいは絶縁トランスのコアをバランス型ＣＷＣの
コンデンサに施されているシールド部材に接続し、所定
の電位を与えることによって解決している。また、交流
部としてＣＷＣを用いる場合には、パワー伝送回路に用
いる絶縁トランスのコアをＣＷＣのメインポール側の所
定の位置のコンデンサに施されているシールド部材に接
続し、所定の電位を与えることによって解決している。
組み込まれる。そして、非常に高い電圧が要求される場
合には高電圧絶縁トランス１段のみで高電圧絶縁を持た
せることは不可能であるため、パワー伝送回路には複数
の高電圧絶縁トランスを用いることになるが、このと
き、これらの絶縁トランスのコアにはある電位を与えな
ければならず、パワー伝送回路を交流部と共に組み込む
際には、その電位の与え方が問題となる。そこで、交流
部としてバランス型ＣＷＣを用いる場合には、パワー伝
送回路に用いる絶縁トランスのコアをバランス型ＣＷＣ
の適当な位置における二つのポールの中点電位にした
り、あるいは絶縁トランスのコアをバランス型ＣＷＣの
コンデンサに施されているシールド部材に接続し、所定
の電位を与えることによって解決している。また、交流
部としてＣＷＣを用いる場合には、パワー伝送回路に用
いる絶縁トランスのコアをＣＷＣのメインポール側の所
定の位置のコンデンサに施されているシールド部材に接
続し、所定の電位を与えることによって解決している。
【００１１】
【実施例】以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。
図１は本発明に係る高電圧電源の一実施例の構成を示す
図である。図１において、直流部４は、基準抵抗Ｒ0 と
フィルタ回路を構成するコンデンサＣ0 で構成され、シ
ールドケース１の一方の空間Ｓ2 に組み込まれている。
シールドケース１の他方の空間Ｓ1 内には交流部３とパ
ワー伝送回路５とが組み込まれている。交流部３はバラ
ンス型ＣＷＣで構成され、各コンデンサにはコロナシー
ルド７が施されている。パワー伝送回路５は３個の高電
圧絶縁トランスＴ1，Ｔ2 ，Ｔ3 及び整流器６を備えて
おり、高電圧絶縁トランスＴ2 及びＴ3 はコロナシール
ドの箱８に収容されている。パワー伝送回路５の伝送線
路はバランス型ＣＷＣの２本のポールに沿って配置さ
れ、各高電圧絶縁トランスのところで巻線としてつなが
っている。
図１は本発明に係る高電圧電源の一実施例の構成を示す
図である。図１において、直流部４は、基準抵抗Ｒ0 と
フィルタ回路を構成するコンデンサＣ0 で構成され、シ
ールドケース１の一方の空間Ｓ2 に組み込まれている。
シールドケース１の他方の空間Ｓ1 内には交流部３とパ
ワー伝送回路５とが組み込まれている。交流部３はバラ
ンス型ＣＷＣで構成され、各コンデンサにはコロナシー
ルド７が施されている。パワー伝送回路５は３個の高電
圧絶縁トランスＴ1，Ｔ2 ，Ｔ3 及び整流器６を備えて
おり、高電圧絶縁トランスＴ2 及びＴ3 はコロナシール
ドの箱８に収容されている。パワー伝送回路５の伝送線
路はバランス型ＣＷＣの２本のポールに沿って配置さ
れ、各高電圧絶縁トランスのところで巻線としてつなが
っている。
【００１２】そして各高電圧絶縁トランスのコアは、各
ポールの適当な位置のコロナシールド７の電位を昇圧用
ダイオードと同方向のダイオードに接続されており、こ
れにより各高電圧絶縁トランスのコアの電位は二つのポ
ールの中点電位となされている。即ち、高電圧絶縁トラ
ンスＴ2 のコアはコロナシールドの箱８に接続され、当
該箱８はダイオードＤ1 ，Ｄ2 の接続中点に接続されて
いるので、結局高電圧絶縁トランスＴ2 のコアはコロナ
シールド７0 の電位となされている。また、頂部の高電
圧絶縁トランスＴ3 のコアに関しては、既にバランス抵
抗ＲB1，ＲB2により二つのポールの中点電位が存在する
のでこれをコアの電位としている。
ポールの適当な位置のコロナシールド７の電位を昇圧用
ダイオードと同方向のダイオードに接続されており、こ
れにより各高電圧絶縁トランスのコアの電位は二つのポ
ールの中点電位となされている。即ち、高電圧絶縁トラ
ンスＴ2 のコアはコロナシールドの箱８に接続され、当
該箱８はダイオードＤ1 ，Ｄ2 の接続中点に接続されて
いるので、結局高電圧絶縁トランスＴ2 のコアはコロナ
シールド７0 の電位となされている。また、頂部の高電
圧絶縁トランスＴ3 のコアに関しては、既にバランス抵
抗ＲB1，ＲB2により二つのポールの中点電位が存在する
のでこれをコアの電位としている。
【００１３】高電圧絶縁トランスＴ3 の２次側コイルに
は整流器６が配置されており、当該整流器６で整流され
た直流のパワーは専用のラインを介して直流部４側に伝
送され、そこから電子銃部等に供給される。なお、図１
の構成においては図中Ｃ′で示すような浮遊容量が生じ
るが、この浮遊容量Ｃ′はＣＷＣのメインポールに相当
するものである。
は整流器６が配置されており、当該整流器６で整流され
た直流のパワーは専用のラインを介して直流部４側に伝
送され、そこから電子銃部等に供給される。なお、図１
の構成においては図中Ｃ′で示すような浮遊容量が生じ
るが、この浮遊容量Ｃ′はＣＷＣのメインポールに相当
するものである。
【００１４】また、高電圧絶縁トランスＴ2 のコアの電
位の取り方としては図１に示すようにダイオードを介し
てコロナシールド７と接続するのではなく、高抵抗を用
いることも考えられるが、その場合には昇圧時の電流リ
ークによって効率が低下することが考えられるので好ま
しいものではないものである。
位の取り方としては図１に示すようにダイオードを介し
てコロナシールド７と接続するのではなく、高抵抗を用
いることも考えられるが、その場合には昇圧時の電流リ
ークによって効率が低下することが考えられるので好ま
しいものではないものである。
【００１５】次に、本発明の第２の実施例について図２
を参照して説明する。図２においても、図１に示すと同
様にパワー伝送回路は交流部３側に組み込まれている
が、パワー伝送回路が、高電圧絶縁トランスＴ1 ，Ｔ
2 ，Ｔ3 及び整流器６を備える第１の系統と、高電圧絶
縁トランスＴ1′ ，Ｔ2′ ，Ｔ3′ 及び整流器６′を備
える第２の系統の２系統を備える点で図１に示す構成と
異なっている。バランス型ＣＷＣの各コンデンサはコロ
ナシールド７に囲まれており、また高電圧絶縁トランス
Ｔ2 ，Ｔ2′ はそれぞれコロナシールド箱８0 ，８1 に
収容され、高電圧絶縁トランスＴ3 及びＴ3′ は共にコ
ロナシールド箱８2 に収容されている。
を参照して説明する。図２においても、図１に示すと同
様にパワー伝送回路は交流部３側に組み込まれている
が、パワー伝送回路が、高電圧絶縁トランスＴ1 ，Ｔ
2 ，Ｔ3 及び整流器６を備える第１の系統と、高電圧絶
縁トランスＴ1′ ，Ｔ2′ ，Ｔ3′ 及び整流器６′を備
える第２の系統の２系統を備える点で図１に示す構成と
異なっている。バランス型ＣＷＣの各コンデンサはコロ
ナシールド７に囲まれており、また高電圧絶縁トランス
Ｔ2 ，Ｔ2′ はそれぞれコロナシールド箱８0 ，８1 に
収容され、高電圧絶縁トランスＴ3 及びＴ3′ は共にコ
ロナシールド箱８2 に収容されている。
【００１６】そして、高電圧絶縁トランスＴ2 のコアは
コロナシールド箱８0 に接続されており、コロナシール
ド箱８0 はコロナシールド７0 に接続されているので、
高電圧絶縁トランスＴ2 のコアはコロナシールド７0 の
電位になされている。同様に、高電圧絶縁トランス
Ｔ2′ のコアはコロナシールド７1 の電位になされてい
る。頂部の高電圧絶縁トランスＴ3 ，Ｔ3′ のコアは、
バランス抵抗ＲB1，ＲB2により二つのポールの中点電位
が与えられている。
コロナシールド箱８0 に接続されており、コロナシール
ド箱８0 はコロナシールド７0 に接続されているので、
高電圧絶縁トランスＴ2 のコアはコロナシールド７0 の
電位になされている。同様に、高電圧絶縁トランス
Ｔ2′ のコアはコロナシールド７1 の電位になされてい
る。頂部の高電圧絶縁トランスＴ3 ，Ｔ3′ のコアは、
バランス抵抗ＲB1，ＲB2により二つのポールの中点電位
が与えられている。
【００１７】各整流器６，６′の基準点はバランス抵抗
ＲB1，ＲB2によりバランスされた高電圧電位になされ、
これらの整流器６，６′で整流された直流のパワーは専
用のラインを通してシールド板２を隔てた直流部４に伝
送されそこから電子銃部等に供給される。
ＲB1，ＲB2によりバランスされた高電圧電位になされ、
これらの整流器６，６′で整流された直流のパワーは専
用のラインを通してシールド板２を隔てた直流部４に伝
送されそこから電子銃部等に供給される。
【００１８】次に、本発明の第３の実施例について図３
を参照して説明する。図３において、直流部４は、基準
抵抗Ｒ0 とフィルタ回路を構成するコンデンサＣ0 で構
成され、シールドケース１の一方の空間Ｓ2に組み込ま
れている。シールドケース１の他方の空間Ｓ1 内には交
流部３とパワー伝送回路５とが組み込まれている。交流
部３はＣＷＣで構成され、各コンデンサにはコロナシー
ルド７が施されている。パワー伝送回路５は３個の高電
圧絶縁トランスＴ1 ，Ｔ2 ，Ｔ3 及び整流器６を備えて
おり、高電圧絶縁トランスＴ2 及びＴ3 はコロナシール
ドの箱８0 ，８1 に収容されている。そして、コロナシ
ールドの箱８0 ，８1 はそれぞれメインポール側のコン
デンサのコロナシールド７0 ，７1 に接続されおり、高
電圧絶縁トランスＴ2 及びＴ3 のコアはそれぞれコロナ
シールドの箱８0，８1 に接続されているから、結局高
電圧絶縁トランスＴ2 及びＴ3 のコアにはそれぞれメイ
ンポール側のコンデンサのコロナシールド７0 ，７1 の
電位が与えられている。
を参照して説明する。図３において、直流部４は、基準
抵抗Ｒ0 とフィルタ回路を構成するコンデンサＣ0 で構
成され、シールドケース１の一方の空間Ｓ2に組み込ま
れている。シールドケース１の他方の空間Ｓ1 内には交
流部３とパワー伝送回路５とが組み込まれている。交流
部３はＣＷＣで構成され、各コンデンサにはコロナシー
ルド７が施されている。パワー伝送回路５は３個の高電
圧絶縁トランスＴ1 ，Ｔ2 ，Ｔ3 及び整流器６を備えて
おり、高電圧絶縁トランスＴ2 及びＴ3 はコロナシール
ドの箱８0 ，８1 に収容されている。そして、コロナシ
ールドの箱８0 ，８1 はそれぞれメインポール側のコン
デンサのコロナシールド７0 ，７1 に接続されおり、高
電圧絶縁トランスＴ2 及びＴ3 のコアはそれぞれコロナ
シールドの箱８0，８1 に接続されているから、結局高
電圧絶縁トランスＴ2 及びＴ3 のコアにはそれぞれメイ
ンポール側のコンデンサのコロナシールド７0 ，７1 の
電位が与えられている。
【００１９】高電圧絶縁トランスＴ1 ，Ｔ2 ，Ｔ3によ
り伝送されたパワーは整流器６で整流され、専用のライ
ンを介してシールド板２を隔てた直流部に伝送され、そ
こから電子銃部等に供給される。
り伝送されたパワーは整流器６で整流され、専用のライ
ンを介してシールド板２を隔てた直流部に伝送され、そ
こから電子銃部等に供給される。
【００２０】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々
の変形が可能である。例えば、上記実施例ではパワー伝
送回路には３個の高電圧絶縁トランスを用いるものとし
たが、必要に応じて２個で構成してもよく、あるいは４
個以上で構成してもよいものである。
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々
の変形が可能である。例えば、上記実施例ではパワー伝
送回路には３個の高電圧絶縁トランスを用いるものとし
たが、必要に応じて２個で構成してもよく、あるいは４
個以上で構成してもよいものである。
【００２１】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、パワー伝送回路を交流部側に配置したので、
直流部はパワー伝送回路から発生される交流磁場の影響
を受けることがなく、その結果高電圧の変動を抑えるこ
とができるので、装置としての性能の劣化を防止するこ
とができる。
によれば、パワー伝送回路を交流部側に配置したので、
直流部はパワー伝送回路から発生される交流磁場の影響
を受けることがなく、その結果高電圧の変動を抑えるこ
とができるので、装置としての性能の劣化を防止するこ
とができる。
【図１】 本発明の一実施例の構成を示す図である。
【図２】 本発明の第２の実施例の構成を示す図であ
る。
る。
【図３】 本発明の第３の実施例の構成を示す図であ
る。
る。
【図４】 従来の高電圧電源の構成例を示す図である。
【図５】 従来の高電圧電源の他の構成例を示す図であ
る。
る。
１…シールドケース、２…シールド板、３…交流部、４
…直流部、５…パワー伝送回路、６…整流器、７…コロ
ナシールド。
…直流部、５…パワー伝送回路、６…整流器、７…コロ
ナシールド。
Claims (4)
- 【請求項１】 コッククロフト・ウォルトン回路または
バランス型コッククロフト・ウォルトン回路からなる交
流部と、 前記交流部で発生された高電圧を安定させるためのフィ
ルタ回路及び基準抵抗を含む直流部と、 交流を伝送する複数の絶縁トランスと、前記絶縁トラン
スの最終段絶縁トランスの所定の出力タップに得られる
交流を整流する整流器とを含むパワー伝送回路とを備え
る高電圧電源において、 前記交流部と直流部とはシールド部材で隔離されてな
り、且つ前記パワー伝送回路は前記交流部側に配置され
てなることを特徴とする高電圧電源。 - 【請求項２】 前記交流部はバランス型コッククロフト
・ウォルトン回路で構成され、且つ前記パワー伝送回路
に用いられる各絶縁トランスのコアは前記バランス型コ
ッククロフト・ウォルトン回路の所定の位置の二つのポ
ールの中点の電位が与えられることを特徴とする請求項
１記載の高電圧電源。 - 【請求項３】 前記整流回路はバランス型コッククロフ
ト・ウォルトン回路で構成され、 前記パワー伝送回路は、交流を伝送する複数の絶縁トラ
ンスと、前記絶縁トランスの最終段絶縁トランスの所定
の出力タップに得られる交流を整流する整流器とからな
る回路を２系統備えてなり、 一方のパワー伝送回路に用いられる各絶縁トランスのコ
アは前記バランス型コッククロフト・ウォルトン回路の
一方のポールの所定の位置のコンデンサに施されている
シールド部材に接続され、他方のパワー伝送回路に用い
られる各絶縁トランスのコアは前記バランス型コックク
ロフト・ウォルトン回路の他方のポールの所定の位置の
コンデンサに施されているシールド部材に接続されてな
ることを特徴とする請求項１記載の高電圧電源。 - 【請求項４】 前記整流回路はコッククロフト・ウォル
トン回路で構成され、且つ前記パワー伝送回路に用いら
れる各絶縁トランスのコアは前記コッククロフト・ウォ
ルトン回路のメインポール側の所定の位置のコンデンサ
に施されているシールド部材に接続されてなることを特
徴とする請求項１記載の高電圧電源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32450691A JPH05159734A (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | 高電圧電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32450691A JPH05159734A (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | 高電圧電源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05159734A true JPH05159734A (ja) | 1993-06-25 |
Family
ID=18166566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32450691A Withdrawn JPH05159734A (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | 高電圧電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05159734A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010010987A (ko) * | 1999-07-24 | 2001-02-15 | 김영환 | 모니터의 전원 입력 회로 |
| JP2006156155A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビーム装置の高電圧発生装置 |
| JP2007236099A (ja) * | 2006-03-01 | 2007-09-13 | Jeol Ltd | 直流高電圧発生装置 |
-
1991
- 1991-12-09 JP JP32450691A patent/JPH05159734A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010010987A (ko) * | 1999-07-24 | 2001-02-15 | 김영환 | 모니터의 전원 입력 회로 |
| JP2006156155A (ja) * | 2004-11-30 | 2006-06-15 | Jeol Ltd | 荷電粒子ビーム装置の高電圧発生装置 |
| JP2007236099A (ja) * | 2006-03-01 | 2007-09-13 | Jeol Ltd | 直流高電圧発生装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990311 |