JP2006154869A - 感光体の製法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る感光体の製法は、導電性基板上に光導電層4を含む積層構造が形成されてなる感光体の該光導電層4に対して、シリコンカーバイトもしくはカーボンからなるアモルファス層6aをグロー放電法により形成する第1工程と、プラズマ化したフッ素含有ガスにより、アモルファス層6aの一部にエッチング処理を施すとともに該アモルファス層6aの全体にフッ素を侵入させる第2工程と、第1工程および第2工程を繰り返すことにより、全体にフッ素が侵入したフッ素化アモルファス層6eを複数形成する第3工程と、を含んでいる。
【選択図】図3
Description
2 導電性基板
3 電荷注入阻止層
4 光導電層
5 表面保護層
6a アモルファス層
6b フッ素未侵入領域
6c フッ素化領域
6d エッチング領域
6e フッ素化アモルファス層
7 画像形成装置
9 コロナ帯電器
10 露光器
12 現像機
14 転写器
15 クリーニング手段
16 除電手段
17 定着器
Claims (6)
- 導電性基板上に光導電層を含む積層構造が形成されてなる感光体の該光導電層に対して、シリコンカーバイトもしくはカーボンからなるアモルファス層をグロー放電法により形成する第1工程と、
プラズマ化したフッ素含有ガスにより、前記アモルファス層の一部にエッチング処理を施すとともに該アモルファス層の全体にフッ素を侵入させる第2工程と、
前記第1工程および第2工程を繰り返すことにより、全体にフッ素が侵入したフッ素化アモルファス層を複数形成する第3工程と、を含むことを特徴とする、感光体の製法。 - 前記アモルファス層の膜厚は0.05〜0.5μmである、請求項1に記載の感光体の製法。
- 前記アモルファス層がシリコンカーバイドからなる場合において、前記エッチング処理におけるエッチングレートは73〜500Å/分である、請求項1または2に記載の感光体の製法。
- 前記アモルファス層がシリコンカーバイドからなる場合において、前記フッ素化アモルファス層におけるフッ素の含有量は12.0〜30.0原子%である、請求項1から3のいずれか一つに記載の感光体の製法。
- 前記アモルファス層がカーボンからなる場合において、前記エッチング処理におけるエッチングレートは71〜500Å/分である、請求項1または2に記載の感光体の製法。
- 前記アモルファス層がカーボンからなる場合において、前記フッ素化アモルファス層におけるフッ素の含有量は12.1〜34.0原子%である、請求項1から3のいずれか一つに記載の感光体の製法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP18326999A Division JP4160687B2 (ja) | 1999-06-29 | 1999-06-29 | 感光体およびその製法ならびにこの感光体を搭載した画像形成装置 |
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