JP2006153943A - 対物レンズ調整機構 - Google Patents
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Abstract
【課題】 簡易な構成により、対物レンズの光学的光軸と顕微鏡本体の光学的光軸との間の傾きを調整する対物レンズの調整機構を提供する。
【解決手段】 対物レンズ調整機構を、顕微鏡装置2に支持される固定部10と、対物レンズ3を支持する対物レンズ支持部20と、固定部と対物レンズ支持部との間に設けられた可撓部11〜14と、対物レンズ3又は対物レンズ支持部20を押圧することにより、可撓部11〜14を撓ませる押圧部41と、を備えて構成する。
【選択図】 図1
【解決手段】 対物レンズ調整機構を、顕微鏡装置2に支持される固定部10と、対物レンズ3を支持する対物レンズ支持部20と、固定部と対物レンズ支持部との間に設けられた可撓部11〜14と、対物レンズ3又は対物レンズ支持部20を押圧することにより、可撓部11〜14を撓ませる押圧部41と、を備えて構成する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、顕微鏡装置などに使用される対物レンズの光軸の傾きを調整する対物レンズ調整機構に関する。
現在、半導体検査装置等の外観検査では、半導体表面に形成された微細な回路パターンを観察あるいは撮像するために顕微鏡装置が使用されている。近年の回路パターンのさらなる微細化に伴って、顕微鏡装置にはさらに高い解像度で観察対象物を解像することが要求される。
顕微鏡装置では、その倍率が変えられるように様々な倍率の対物レンズユニットが用意され、これら対物レンズユニットを着脱可能に装着して取り替えたり、またはこれら着脱可能な複数の対物レンズユニットをターレットに装着して、ターレットを回転させることにより複数の対物レンズのうち1つを選択して、顕微鏡本体の光軸上に位置させて使用することが通常行なわれている。
なお、本発明に関して記載すべき先行技術文献はない。出願人が知っている先行技術が文献公知発明に係るものではないからである。
しかしながら、従来市販されている対物レンズは、対物レンズ本体を収容するための鏡筒の機械的な光軸と、対物レンズの光学的光軸との間の傾きが、僅かにずれていることが多い。このような対物レンズを顕微鏡装置に取り付けると顕微鏡装置本体の光軸と対物レンズの光軸とがずれ、解像性能に悪影響を与えることとなる。一方で、対物レンズのユニット内部を調整して対物レンズの光学的光軸と鏡筒の機械的な光軸との間の傾きを一致させるのは、専用の治具や測定装置を必要とし実際には困難である。
上記問題点を鑑みて、本発明では、簡易な構成により、対物レンズの光学的光軸と顕微鏡本体の光学的光軸との間の傾きを調整する対物レンズの調整機構を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係る対物レンズ調整機構は、顕微鏡装置に支持される固定部と、対物レンズを支持する対物レンズ支持部と、固定部と対物レンズ支持部との間に設けられた可撓部と、対物レンズ又は対物レンズ支持部を押圧することにより、可撓部を撓ませる押圧部と、を備えて構成される。
そして、上記の固定部と対物レンズ支持部との間に設けられる可撓部は、固定部側に設けられる固定部側部分と、対物レンズ支持部側に設けられる対物レンズ支持部側部分と、固定部側部分と対物レンズ支持部側部分との間に設けられるスリットと、固定部側部分と対物レンズ支持部側部分との間を連結する連結部分と、を有して構成される。
顕微鏡装置に支持される固定部と対物レンズを支持する対物レンズ支持部との間に可撓部を設け、これら対物レンズ又は対物レンズ支持部を押圧して可撓部を撓ませることにより、固定部、可撓部及び対物レンズ支持部を介して顕微鏡装置に取り付けられた対物レンズを傾けることが可能となり、これにより簡易な構成で対物レンズの光学的光軸と顕微鏡本体の光学的光軸との間の傾きを調整することが可能となる。
以下、添付する図面を参照して本発明の実施例を説明する。図1は、本発明の第1実施例に係る対物レンズ調整機構である対物レンズ取付用アダプタ1の斜視図であり、図2は対物レンズ取付用アダプタ1の分解図である。
対物レンズ取付用アダプタ1は、従来の顕微鏡装置2のターレットなどの対物レンズ取り付け位置に取り付けられて使用される。図1において顕微鏡装置2は点線で示されている。また、図2において、対物レンズ取付用アダプタ1の各構成部材は部分断面図で示されている。
対物レンズ取付用アダプタ1は、従来の顕微鏡装置2のターレットなどの対物レンズ取り付け位置に取り付けられて使用される。図1において顕微鏡装置2は点線で示されている。また、図2において、対物レンズ取付用アダプタ1の各構成部材は部分断面図で示されている。
図1に示すように、対物レンズ取付用アダプタ1は、外側筒状部材10と、内部筒状部材20と、レンズ傾き調整ネジ41と、から構成される。そして図2に示すように、対物レンズ3は内部筒状部材20内に収容され、内部筒状部材20は外側筒状部材10内に収容される。
内部筒状部材20の2つの開口23及び24のうち、対物レンズ受入口23と反対側の開口24付近の内側面には、対物レンズ3の鏡筒の外側面に設けられた取り付けネジ31と螺合することにより対物レンズ3を支持する対物レンズ取り付けネジ部22が設けられており、かかるネジ部22に対物レンズ3の取り付けネジ31を螺合することにより、対物レンズ3は、内部筒状部材20の内部に保持される。
内部筒状部材20の2つの開口23及び24のうち、対物レンズ受入口23と反対側の開口24付近の内側面には、対物レンズ3の鏡筒の外側面に設けられた取り付けネジ31と螺合することにより対物レンズ3を支持する対物レンズ取り付けネジ部22が設けられており、かかるネジ部22に対物レンズ3の取り付けネジ31を螺合することにより、対物レンズ3は、内部筒状部材20の内部に保持される。
また、外側筒状部材10の2つの開口18及び19のうち、内部筒状部材20の受入口18と反対側の開口19付近の内側面には、内部筒状部材20の開口24側の外側面に設けられた取り付けネジ部21と螺合することにより、内部筒状部材20を支持する内部筒状部材取り付けネジ部17が設けられている。かかるネジ部17に内部筒状部材20の取り付けネジ21を螺合することにより、内部筒状部材20は外側筒状部材10の内部に保持される。
外側筒状部材10の外側面の何れかの位置には、外側筒状部材10を顕微鏡装置2の対物レンズ取り付け箇所であるターレット等に固定するために、ターレット等の取り付け部分に螺合される取り付けネジ部16が設けられる。
また更に、外側筒状部材10の、上記内部筒状部材取り付けネジ部17と、上記取り付けネジ部16と、の間には、スリット11及び13が設けられ、スリット11及び13内には、これらスリットを挟む両側の部材同士を連結するための連結部12及び14が設けられている。
外側筒状部材10の内部筒状部材受入口18付近には、複数のレンズ傾き調整ネジ41が螺合して挿入されるためのレンズ傾き調整ネジ受け入れ口15が設けられる。
また更に、外側筒状部材10の、上記内部筒状部材取り付けネジ部17と、上記取り付けネジ部16と、の間には、スリット11及び13が設けられ、スリット11及び13内には、これらスリットを挟む両側の部材同士を連結するための連結部12及び14が設けられている。
外側筒状部材10の内部筒状部材受入口18付近には、複数のレンズ傾き調整ネジ41が螺合して挿入されるためのレンズ傾き調整ネジ受け入れ口15が設けられる。
ここに、上記外側筒状部材10のうち、取り付けネジ部16から上記スリット11及び13へ至る部分は、本発明の特許請求の範囲に係る固定部をなし、上記外側筒状部材10のうち内部筒状部材取り付けネジ部17及び上記内部筒状部材20は、本発明の特許請求の範囲に係る対物レンズ支持部をなす。
また、上記外側筒状部材10のスリット11及び13と、外側筒状部材10のうちスリット11及び13を挟む両側部分と、スリット11及び13内に設けられる連結部12とは、本発明の特許請求の範囲に係る可撓部をなし、上記レンズ傾き調整ネジ41は、本発明の特許請求の範囲に係る押圧部をなす。
また、上記外側筒状部材10のスリット11及び13と、外側筒状部材10のうちスリット11及び13を挟む両側部分と、スリット11及び13内に設けられる連結部12とは、本発明の特許請求の範囲に係る可撓部をなし、上記レンズ傾き調整ネジ41は、本発明の特許請求の範囲に係る押圧部をなす。
さらに、スリット11及び13を挟む両側部分のうち上記取り付けネジ部16側の部分は、本発明の特許請求の範囲に係る可撓部の固定部側に設けられる固定部側部分をなし、反対の内部筒状部材取り付けネジ部17側の部分は、本発明の特許請求の範囲に係る可撓部の対物レンズ支持部側に設けられる対物レンズ支持部側部分をなし、上記スリット11及び13は、本発明の特許請求の範囲に係る固定部側部分と対物レンズ支持部側部分との間に設けられるスリットをなし、上記連結部12及び14は、本発明の特許請求の範囲に係る固定部側部分と対物レンズ支持部側部分との間を連結する連結部分をなす。
図3(A)は、図1に示した対物レンズ取付用アダプタ1の側面図であり、図3(B)は、図3(A)の対物レンズ取付用アダプタ1のスリット11の位置におけるA−A’断面図であり、図3(C)は、図3(A)の対物レンズ取付用アダプタ1のスリット13の位置におけるB−B’断面図であり、図4は、図3(A)の対物レンズ取付用アダプタ1のレンズ傾き調整ネジ受け入れ口15の位置におけるC−C’断面図である。
図3(B)及び図3(C)に示すとおり、スリット11及びスリット13は、筒状部材である外側筒状部材10の側壁の一部を除いてほぼ全周に亘って設けられており、かつ各スリットは外側筒状部材10の側壁を貫通して設けられている。
そして、図3(B)に示すとおり外側筒状部材10のA−A’断面のうち、スリット11が設けられていない連結部12は、スリット11によって区分けられる外側筒状部材10のネジ部16側の部分と、内部筒状部材取り付けネジ部17側の部分とを連結するが、かかる連結部12は図のy方向に並べて形成されている。
かかるスリット11及び連結部12を設けることにより、外側筒状部材10のA−A’断面部分における剛性を低下させることが可能となり、図のx方向に外側筒状部材10を撓ませることが可能となる。
そして、図3(B)に示すとおり外側筒状部材10のA−A’断面のうち、スリット11が設けられていない連結部12は、スリット11によって区分けられる外側筒状部材10のネジ部16側の部分と、内部筒状部材取り付けネジ部17側の部分とを連結するが、かかる連結部12は図のy方向に並べて形成されている。
かかるスリット11及び連結部12を設けることにより、外側筒状部材10のA−A’断面部分における剛性を低下させることが可能となり、図のx方向に外側筒状部材10を撓ませることが可能となる。
また、図3(C)に示すとおり外側筒状部材10のB−B’断面のうち、スリット13が設けられていない連結部14は、スリット11によって区分けられる外側筒状部材10のネジ部16側の部分と、内部筒状部材取り付けネジ部17側の部分とを連結するが、かかる連結部14は図のx方向に並べて形成されている。
かかるスリット13及び連結部14を設けることにより、外側筒状部材10のB−B’断面部分における剛性を低下させることが可能となり、図のy方向に外側筒状部材10を撓ませることが可能となる。
したがって、これらスリット11、13及び連結部12、14を設けることにより、外側筒状部材10を、x及びyのいずれの方向にも撓ませることが可能となる。
かかるスリット13及び連結部14を設けることにより、外側筒状部材10のB−B’断面部分における剛性を低下させることが可能となり、図のy方向に外側筒状部材10を撓ませることが可能となる。
したがって、これらスリット11、13及び連結部12、14を設けることにより、外側筒状部材10を、x及びyのいずれの方向にも撓ませることが可能となる。
一方、レンズ傾き調整ネジ受け入れ口15は、図4に示すように外側筒状部材10のC−C’断面において、外側筒状部材10の側壁の3箇所に等間隔に120°の取り付け角度差を持って配置されており、これらのそれぞれにレンズ傾き調整ネジ41が設けられる。
図5は、顕微鏡装置2に取り付けられた状態の対物レンズ取付用アダプタ1の側断面図である。図示するとおり、レンズ傾き調整ネジ41は外側筒状部材10の固定部分に支持されており、これを回転することによって外側筒状部材10への挿入量を変えることが可能である。レンズ傾き調整ネジ41の先端は、内部筒状部材20の対物レンズ受入口23付近の外壁部分に当接しており、外側筒状部材10への挿入量を増加させることにより、内部筒状部材20に押圧力を加え、内部筒状部材20を介して外側筒状部材10をスリット形成部分を撓ませることが可能である。
図5は、顕微鏡装置2に取り付けられた状態の対物レンズ取付用アダプタ1の側断面図である。図示するとおり、レンズ傾き調整ネジ41は外側筒状部材10の固定部分に支持されており、これを回転することによって外側筒状部材10への挿入量を変えることが可能である。レンズ傾き調整ネジ41の先端は、内部筒状部材20の対物レンズ受入口23付近の外壁部分に当接しており、外側筒状部材10への挿入量を増加させることにより、内部筒状部材20に押圧力を加え、内部筒状部材20を介して外側筒状部材10をスリット形成部分を撓ませることが可能である。
ここに上記のように、3本のレンズ傾き調整ネジ41は、対物レンズ3の光軸に垂直な平面に3方向に取り付け角度差を持って配置されているので、これら調整ネジ41の外側筒状部材10への挿入量をそれぞれ調整することにより、外側筒状部材10のx及びy方向へのそれぞれの撓み量を自在に調整し、対物レンズ3の光軸の傾き方向及び傾き量を調整することが可能となる。
なお、レンズ傾き調整ネジ41は、外側筒状部材10のx及びy方向の両方向における撓み量を変更させることができれば十分であり、本実施例のように3本使用することは必ずしも必要とされず、例えば、90°の角度差を持った2本のレンズ傾き調整ネジ41を使用することとしてもよい。
また、上記実施例では、レンズ傾き調整ネジ41の先端が内部筒状部材20に当接することとしたが、図6に示すように対物レンズ3に直接当接して対物レンズ3に押圧力を印加することとしてよい。
また、レンズ傾き調整ネジ41の代わりに、内部筒状部材20の対物レンズ受入口23付近の外壁部分に又は対物レンズ3の略先端部分に異なる複数方向への押圧力を加えるための複数のアクチュエータを備え、このアクチュエータを駆動することにより、内部筒状部材20の対物レンズ受入口23付近の外壁部分に又は対物レンズ3の略先端部分にxy平面の任意方向の押圧力を加えることとしてもよい。
また、レンズ傾き調整ネジ41の代わりに、内部筒状部材20の対物レンズ受入口23付近の外壁部分に又は対物レンズ3の略先端部分に異なる複数方向への押圧力を加えるための複数のアクチュエータを備え、このアクチュエータを駆動することにより、内部筒状部材20の対物レンズ受入口23付近の外壁部分に又は対物レンズ3の略先端部分にxy平面の任意方向の押圧力を加えることとしてもよい。
上記第1実施例では、筒状部材10の側壁に設けられたスリット11及び13、並びにこのスリットに設けられた連結部12及び14により、筒状部材10の剛性を低下させて上記可撓部を実現することとしたが、可撓部の実現方法はこれに限らず、たとえば筒状部材10を上部及び下部の2部分に分けて設け、これらの間に、ゴムや板バネ等の弾性体を介在させることによって実現することとしてもよい。
さらに、下記の第2実施例のように、ドーナツ状の板状部材の外周を顕微鏡側に固定させ、内周によって対物レンズを支持することとし、板状部材にスリットを設けて可撓部を形成することとしてもよい。図7(A)は、本発明の第2実施例に係る対物レンズ調整機構である対物レンズ取付用アダプタ1の斜視図であり、図7(B)は対物レンズ取付用アダプタ1の側断面図である。
さらに、下記の第2実施例のように、ドーナツ状の板状部材の外周を顕微鏡側に固定させ、内周によって対物レンズを支持することとし、板状部材にスリットを設けて可撓部を形成することとしてもよい。図7(A)は、本発明の第2実施例に係る対物レンズ調整機構である対物レンズ取付用アダプタ1の斜視図であり、図7(B)は対物レンズ取付用アダプタ1の側断面図である。
図7(A)及び(B)に示すように、対物レンズ取付用アダプタ1は、外側筒状部材10と、内部板状部材50と、レンズ傾き調整ネジ41と、から構成される。そして、内部板状部材50は、略ドーナツ状の板状部材で構成されている。
内部板状部材50の外周側面には、外側筒状部材10の2つの開口18及び19のうち対物レンズ受入口18と反対側の開口19付近の内側面に設けられた、内部板状部材取り付けネジ部17と螺合して、内部板状部材50を外側筒状部材10に固定支持するための取り付けネジ部51が設けられている。
内部板状部材50の外周側面には、外側筒状部材10の2つの開口18及び19のうち対物レンズ受入口18と反対側の開口19付近の内側面に設けられた、内部板状部材取り付けネジ部17と螺合して、内部板状部材50を外側筒状部材10に固定支持するための取り付けネジ部51が設けられている。
また、内部板状部材50の内周側面には、対物レンズ3の鏡筒の外側面に設けられた取り付けネジ31と螺合することにより対物レンズ3を支持する対物レンズ取り付けネジ部52が設けられている。
さらに、外側筒状部材10の対物レンズ受入口18と反対側の開口19付近の外側面には、顕微鏡装置2に螺合取り付けされるためのネジ部16が設けられており、対物レンズ受入口18付近には、複数のレンズ傾き調整ネジ41が螺合して挿入されるためのレンズ傾き調整ネジ受け入れ口15が設けられる。
さらに、外側筒状部材10の対物レンズ受入口18と反対側の開口19付近の外側面には、顕微鏡装置2に螺合取り付けされるためのネジ部16が設けられており、対物レンズ受入口18付近には、複数のレンズ傾き調整ネジ41が螺合して挿入されるためのレンズ傾き調整ネジ受け入れ口15が設けられる。
また更に、内部板状部材50には同心状のスリット53及び55が設けられ、スリット53及び55内には、これらスリットを挟む内外の板部同士を連結するための連結部54及び56(図8参照)が設けられている。
図8(A)は、内部板状部材50の上面図である。スリット53及びスリット55は、ドーナツ状の内部板状部材の周方向に沿うように同心状に、一部の連結部54及び56を残してほぼ全周に亘って設けられており、かつ各スリットは内部板状部材50を貫通して設けられている。
そして、そして上記連結部54及び56は、スリット53及びスリット55によって区分けられる内部板状部材50の対物レンズ取り付けネジ部52側の部分と、外側筒状部材10へ固定されるネジ部分51側の部分を連結する。
さらに、これら連結部54及び56は、同心状のスリット53及びスリット55が形成される周上の位置のうち、ドーナツ状の内部板状部材50の中心(または内部板状部材50に取り付けられる対物レンズ3の光軸の位置)から見て、同じ方向又は反対方向とならない位置に設けられる。
このように、スリット53及び55、並びに連結部54及び56を設けることにより、内部板状部材50の対物レンズ取り付けネジ部52側の部分と、外側筒状部材へ固定されるネジ部分51側の部分との間の剛性を低下させることが可能となり、対物レンズ取り付けネジ部52側の部分を、内部板状部材50に平行な平面内(上記図3のxy平面と同じ)の方向のいずれの方向にも傾けることができるように撓ませることが可能となる。
さらに、これら連結部54及び56は、同心状のスリット53及びスリット55が形成される周上の位置のうち、ドーナツ状の内部板状部材50の中心(または内部板状部材50に取り付けられる対物レンズ3の光軸の位置)から見て、同じ方向又は反対方向とならない位置に設けられる。
このように、スリット53及び55、並びに連結部54及び56を設けることにより、内部板状部材50の対物レンズ取り付けネジ部52側の部分と、外側筒状部材へ固定されるネジ部分51側の部分との間の剛性を低下させることが可能となり、対物レンズ取り付けネジ部52側の部分を、内部板状部材50に平行な平面内(上記図3のxy平面と同じ)の方向のいずれの方向にも傾けることができるように撓ませることが可能となる。
図7(A)に戻り、対物レンズ取付用アダプタ1のレンズ傾き調整ネジ受け入れ口15は、図3(A)の対物レンズ取付用アダプタ1のレンズ傾き調整ネジ受け入れ口15と同様に設けられており(すなわち、図7(B)のD−D’断面は、図4に示す、図3(A)の対物レンズ取付用アダプタ1のC−C’断面と同様である)、かつレンズ傾き調整ネジ41の先端部は対物レンズ3の略先端部分に当接している。
これによりレンズ傾き調整ネジ41は、外側筒状部材10への挿入量をそれぞれ調整することにより、対物レンズ3の略先端部分にxy平面の任意の方向の押圧力を加えることが可能であり、したがって、対物レンズ取り付けネジ部52に取り付けられた対物レンズ3の光軸の傾き方向及び傾き量を調整することが可能となる。
なお連結部54及び56は、図8(B)に示す連結部54の断面である図8(A)のE−E’断面図のように、その厚みを内部板状部材50自体の厚みより薄く形成することにより、対物レンズ取り付けネジ部52側の部分を撓ませるために対物レンズ3の略先端部分に加えるべき押圧力を低減させることとしてよい。
また、レンズ傾き調整ネジ41の代わりに、対物レンズ3の略先端部分に異なる複数方向への押圧力を加えるための複数のアクチュエータを備え、このアクチュエータを駆動することにより、対物レンズの略先端部分にxy平面の任意方向の押圧力を加えることとしてもよい。
なお連結部54及び56は、図8(B)に示す連結部54の断面である図8(A)のE−E’断面図のように、その厚みを内部板状部材50自体の厚みより薄く形成することにより、対物レンズ取り付けネジ部52側の部分を撓ませるために対物レンズ3の略先端部分に加えるべき押圧力を低減させることとしてよい。
また、レンズ傾き調整ネジ41の代わりに、対物レンズ3の略先端部分に異なる複数方向への押圧力を加えるための複数のアクチュエータを備え、このアクチュエータを駆動することにより、対物レンズの略先端部分にxy平面の任意方向の押圧力を加えることとしてもよい。
なお、上記第2実施例において、上記外側筒状部材10は、本発明の特許請求の範囲に係る固定部をなし、上記内部板状部材50のうち対物レンズ取り付けネジ部52は、本発明の特許請求の範囲に係る対物レンズ支持部をなし、内部板状部材50は本発明の特許請求の範囲に係る可撓部をなし、上記レンズ傾き調整ネジ41は、本発明の特許請求の範囲に係る押圧部をなす。
さらに、内部板状部材50のうちスリット53及び55を挟む両側部分のうち、外側筒状部材へ固定されるネジ部分51側の部分は、本発明の特許請求の範囲に係る可撓部の固定部側に設けられる固定部側部分をなし、反対の対物レンズ取り付けネジ部52側の部分は、本発明の特許請求の範囲に係る可撓部の対物レンズ支持部側に設けられる対物レンズ支持部側部分をなし、上記スリット53及び55は、本発明の特許請求の範囲に係る固定部側部分と対物レンズ支持部側部分との間に設けられるスリットをなし、上記連結部54及び56は、本発明の特許請求の範囲に係る固定部側部分と対物レンズ支持部側部分との間を連結する連結部分をなす。
本発明は、顕微鏡装置などに使用される対物レンズの光軸の傾きを調整する対物レンズ調整機構に適用可能である。
1 対物レンズ取付用アダプタ
2 顕微鏡装置
3 対物レンズ
10 外側筒状部材
11、13、53、55 スリット
12、14、54、56 連結部
20 内部筒状部材
41 レンズ傾き調整ネジ
50 内部板状部材
2 顕微鏡装置
3 対物レンズ
10 外側筒状部材
11、13、53、55 スリット
12、14、54、56 連結部
20 内部筒状部材
41 レンズ傾き調整ネジ
50 内部板状部材
Claims (2)
- 顕微鏡装置の対物レンズの光軸の傾きを調整する対物レンズ調整機構であって、
前記顕微鏡装置に支持される固定部と、
前記対物レンズを支持する対物レンズ支持部と、
前記固定部と前記対物レンズ支持部との間に設けられた可撓部と、
前記対物レンズ又は前記対物レンズ支持部を押圧することにより、前記可撓部を撓ませる押圧部と、
を備えることを特徴とする対物レンズ調整機構。 - 前記可撓部は、
前記固定部側に設けられる固定部側部分と、
前記対物レンズ支持部側に設けられる対物レンズ支持部側部分と、
前記固定部側部分と前記対物レンズ支持部側部分との間に設けられるスリットと、
前記固定部側部分と前記対物レンズ支持部側部分との間を連結する連結部分と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の対物レンズ調整機構。
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