JP2006147982A - 露光装置の自己洗浄方法及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 凸レンズ状のレンズ部12の表面に反射膜12Rがコーティングされた反射板10を、原板ホルダ6にセットし、光源1から露光用の光線を出力する。反射板10で反射された光線は拡散してコンデンサレンズ5の表面に照射され、このコンデンサレンズ5の表面に付着した汚染物質が分解・除去される。更に、コンデンサレンズ5内部に入射した光線により、通常の露光経路以外の箇所に付着した汚染物質が洗浄される。反射板として凹面鏡や透過率50%の反射板等を用いることにより、光線の照射範囲、即ち洗浄する箇所を変えることができる。
【選択図】 図1
Description
即ち、前記特許文献1では、フィルタと露光マスクに代えて紫外線フィルタを光路に位置させているので、光洗浄用の紫外線は、通常の露光時の光路と同じ経路で同じ箇所に照射される。このため、通常の露光経路以外の箇所に付着した汚染物質を洗浄することができず、残留した汚染物質が露光光路に移動して悪影響を与えることがあった。
光源から出力された露光用の光線は、光学系等を通して自己洗浄用の反射板等に導かれる。反射板等に入射された光線は、この反射板によって拡散または集中されて光学系や投影レンズに照射される。このため、光学系や投影レンズの周辺部や内部で、通常の露光時には露光用の光線が通過しない箇所にも光線が照射される。これにより、光学系や投影レンズの表面及び内部に付着されている汚染物質の分子結合が、露光用の光線の持つ強力なエネルギーで切断され、分解及び気化されて除去される。
通常の露光時には、原板ホルダ6に、所定の回路パターンが形成された露光マスクをセットすると共に、ステージ8上に半導体ウエハWを載置し、光源1から紫外線を出力する。これにより、光源1から出力された光線は、ビーム整形光学系2、光源側光学系3、ミラー4及びコンデンサレンズ5によって、均一な平行光線となって露光マスクに照射される。更に、露光マスクを透過した紫外線は、平行光線のまま投影レンズ7に入射される。
また、ミラー30は平面鏡であるが、凹面鏡や凸面鏡を用いることもできる。
(1) 実施例1〜6で用いる反射板の反射膜は、Crの他、Ti,Ta,Co,Hf,W,Al,Cu,Mo等の金属、またはこれらの金属の酸化物、窒化物、フッ化物、シリコン化合物を用い、鍍金、蒸着、スパッタ等によってコーティングして形成することができる。また、反射膜は単層構造に限らず、多層構造にすることもできる。
(2) 実施例5では、反射膜として一部の光線が反射し、残りの光線が透過するものを用いているが、同様の反射膜を実施例2〜4の反射板に用いることができる。
(3) 実施例7〜9では、光源1からコンデンサレンズ5までの間の光路に配置されたハーフミラーによって紫外線の一部を取り出しているが、自己洗浄時にミラーを光路に挿入できるような可動構造にすれば、全反射ミラーを使用することができる。
(4) 実施例7〜9では、光源1から出力される紫外線の一部を洗浄用の紫外線として導くために光ファイバを用いていているが、光ファイバを用いずに、ミラーやレンズによる光路を用いても良い。
(5) 実施例7〜9では、光源1から出力される紫外線の一部を洗浄用の光として、ハーフミラーと光ファイバで取り出しているが、洗浄用の紫外線を出力する別の光源を用意しても良い。
2 ビーム整形光学系
3 光源側光学系
4,30 ミラー
5 コンデンサレンズ
6 原板ホルダ
7 投影レンズ
8,8A ステージ
8h 開口部
8l,23 照射レンズ
10,10A,10B,10C,10D,16 反射板
11 ハンドリング部
12,13 レンズ部
12R,12HR,13R,14R,15R 反射膜
14,15 フレネルレンズ
21 ハーフミラー
22 光ファイバ
40 光射出部
Claims (16)
- 露光用の光線を出力する光源と、前記光源から出力された光線を露光パターンが形成された露光マスクに導く光学系と、前記露光パターンを被処理物に投影する投影レンズとを備えた露光装置の自己洗浄方法であって、
前記露光マスクが配置されるべき位置に、前記光学系で導かれた光線を反射させて該光学系に照射するための反射板を配置し、
前記光源から出力されて前記反射板で反射された光線を前記光学系に照射して、該光学系を洗浄することを特徴とする露光装置の自己洗浄方法。 - 前記反射板は、表面にレンズ状の凸部を有する石英ガラス板、または表面に輪帯状の凸レンズを同心円状に配置した石英ガラス板の表面に反射膜をコーティングして構成したことを特徴とする請求項1記載の露光装置の自己洗浄方法。
- 前記反射板は、表面にレンズ状の凹部を有する石英ガラス板、または表面に輪帯状の凹レンズを同心円状に配置した石英ガラス板の表面に反射膜をコーティングして構成したことを特徴とする請求項1記載の露光装置の自己洗浄方法。
- 前記反射板は、一部の光線が反射し残りの光線が透過するようにコーティングされていることを特徴とする請求項2または3記載の露光装置の自己洗浄方法。
- 露光用の光線を出力する光源と、前記光源から出力された光線を露光パターンが形成された露光マスクに導く光学系と、前記露光パターンを被処理物に投影する投影レンズとを備えた露光装置の自己洗浄方法であって、
前記被処理物が配置されるべき位置に、前記投影レンズから照射される光を反射させるための反射板を配置し、
前記光源から出力されて前記反射板で反射された光線を前記投影レンズに照射して、該投影レンズ及び前記光学系を洗浄することを特徴とする露光装置の自己洗浄方法。 - 前記反射板は、凸面鏡または凹面鏡であることを特徴とする請求項5記載の露光装置の自己洗浄方法。
- 露光用の光線を出力する光源と、前記光源から出力された光線を露光パターンが形成された露光マスクに導く光学系と、前記露光パターンを被処理物に投影する投影レンズとを備えた露光装置の自己洗浄方法であって、
前記被処理物を搭載するステージに照射レンズを設け、
前記光源から出力される露光用の光線の一部を前記照射レンズに導き、
前記照射レンズに導いた露光用の光線を該照射レンズから前記投影レンズに照射して、該投影レンズ及び前記光学系を洗浄することを特徴とする露光装置の自己洗浄方法。 - 露光用の光線を出力する光源と、前記光源から出力された光線を露光パターンが形成された露光マスクに導く光学系と、前記露光パターンを被処理物に投影する投影レンズとを備えた露光装置の自己洗浄方法であって、
前記露光マスクが配置されるべき位置に反射板を配置し、
前記光源から出力される露光用の光線の一部を前記反射板に導き、
前記反射板に導いた露光用の光線を該反射板で反射させて前記光学系または前記投影レンズに照射して、該光学系または該投影レンズを洗浄することを特徴とする露光装置の自己洗浄方法。 - 前記反射板は、平面鏡、凸面鏡または凹面鏡であることを特徴とする請求項8記載の露光装置の自己洗浄方法。
- 露光用の光線を出力する光源と、前記光源から出力された光線を露光パターンが形成された露光マスクに導く光学系と、前記露光パターンを被処理物に投影する投影レンズとを備えた露光装置の自己洗浄方法であって、
前記露光マスクが配置されるべき位置に光射出部を配置し、
前記光源から出力される露光用の光線の一部を前記光射出部に導き、
前記光射出部に導いた露光用の光線を該光射出部から前記光学系または前記投影レンズに照射して、該光学系または該投影レンズを洗浄することを特徴とする露光装置の自己洗浄方法。 - 露光用の光線を出力する光源と、前記光源から出力された光線を露光パターンが形成された露光マスクに導く光学系と、前記露光パターンを被処理物に投影する投影レンズとを備えた露光装置において、
前記露光マスクが配置されるべき位置に配置可能な前記光学系を洗浄するための自己洗浄用反射板であって、該自己洗浄用反射板は前記光源から出力されて前記光学系で導かれた光線を反射させて該光学系に照射することを特徴とする露光装置。 - 前記自己洗浄用反射板は、表面にレンズ状の凸部を有する石英ガラス板、または表面に輪帯状の凸レンズを同心円状に配置した石英ガラス板のレンズ面に反射膜をコーティングして構成したことを特徴とする請求項11記載の露光装置。
- 前記自己洗浄用反射板は、表面にレンズ状の凹部を有する石英ガラス板、または表面に輪帯状の凹レンズを同心円状に配置した石英ガラス板のレンズ面に反射膜をコーティングして構成したことを特徴とする請求項11記載の露光装置。
- 前記自己洗浄用反射板は、一部の光線が反射し残りの光線が透過するようにコーティングされていることを特徴とする請求項12または13記載の露光装置。
- 前記自己洗浄用反射板は、周辺部が平坦に形成されていることを特徴とする請求項12、13または14記載の露光装置。
- 露光用の光線を出力する光源と、前記光源から出力された光線を露光パターンが形成された露光マスクに導く光学系と、前記露光パターンを被処理物に投影する投影レンズとを備えた露光装置において、
前記被処理物が配置されるべき位置に配置可能な前記投影レンズ及び前記光学系を洗浄するための自己洗浄用反射板であって、前記投影レンズから照射される光を反射して該投影レンズに照射させる凸面または凹面を有することを特徴とする露光装置。
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