JP2006147621A - Photosensitive paste and method of manufacturing member for display panel using the same - Google Patents

Photosensitive paste and method of manufacturing member for display panel using the same Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive paste which allows the manufacture of an electromagnetic shield plate having sufficient visibility, that is, having a degree of black and an electromagnetic shielding capability, by a rational process. <P>SOLUTION: The photosensitive paste consists of inorganic powder and a photosensitive organic component. The inorganic powder at least contains nickel-iron alloy powder and glass powder. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、電磁波シールド性を有する感光性ペーストに関する。   The present invention relates to a photosensitive paste having electromagnetic wave shielding properties.

電磁波シールド板は、たとえば、ディスプレイから漏洩する電磁波を遮断するために、ディスプレイに装着される前面フィルターとして広く用いられる。ディスプレイの前面板として用いられる電磁波シールド板には、電磁波を遮断する機能の他に、ディスプレイの表示画面の視認性を低下させないことが求められる。このような電磁波シールド板としては、たとえば、金属箔がメッシュ状にエッチングされたエッチングシートを透明基板に貼りあわせた電磁波シールド板が用いられているが、金属箔のラミネート工程やエッチング工程などの多くの工程が必要になる問題があった。また、視認性を向上するために、格子状の金属表面にクロムメッキ等の黒色化するための表面処理工程が必要になり、複雑な工程が必要になる問題があった。この問題を解決する方法として、凹版オフセット印刷により、黒色顔料と金属粒子を含有するインキを用いた凹版オフセット印刷を行った上で焼成することにより、電磁波シールド板を製造する方法が提案されている(特許文献1)。しかし、黒色顔料は抵抗値が高いため、十分な黒色度を得るための黒色顔料を添加した場合、得られる導電層の抵抗値が高くなり、十分な電磁波シールド機能を確保するためには、湿式メッキにより表面に金属層形成が必要であり、工程が複雑になる課題があった。   The electromagnetic wave shielding plate is widely used as a front filter attached to a display, for example, in order to block electromagnetic waves leaking from the display. In addition to the function of blocking electromagnetic waves, the electromagnetic wave shield plate used as the front plate of the display is required not to lower the visibility of the display screen of the display. As such an electromagnetic wave shielding plate, for example, an electromagnetic wave shielding plate in which an etching sheet obtained by etching a metal foil in a mesh shape is bonded to a transparent substrate is used. There was a problem that required this process. In addition, in order to improve visibility, a surface treatment process for blackening such as chrome plating is required on the lattice-like metal surface, and there is a problem that a complicated process is required. As a method for solving this problem, there has been proposed a method for producing an electromagnetic wave shielding plate by performing intaglio offset printing using an ink containing black pigment and metal particles by intaglio offset printing, followed by firing. (Patent Document 1). However, since the black pigment has a high resistance value, when a black pigment for obtaining sufficient blackness is added, the resistance value of the obtained conductive layer becomes high, and in order to ensure a sufficient electromagnetic wave shielding function, it is wet. There is a problem that a metal layer must be formed on the surface by plating, which complicates the process.

この工程が複雑になる課題を解決するために、ガラス粉末および黒色顔料を含有する感光性ガラスペーストを用いて黒色層を形成し、さらに金属粉末を含有する感光性ペーストを用いて金属層を形成する検討がなされているが、これらの方法では十分な電磁波シールド性が得られなかった。これらに用いる感光性ペーストとしては、導電性金属微粒子、感光性化合物を含む有機成分、ガラスフリットを含有する感光性ペーストが挙げられる(特許文献2)。
特開2002−271086号公報(第1〜14頁) 特開平9−304923号公報(請求項3)
To solve this complicated process, a black layer is formed using a photosensitive glass paste containing glass powder and black pigment, and a metal layer is formed using a photosensitive paste containing metal powder. However, these methods did not provide sufficient electromagnetic shielding properties. Examples of the photosensitive paste used for these include conductive metal fine particles, an organic component containing a photosensitive compound, and a photosensitive paste containing glass frit (Patent Document 2).
JP 2002-271086 A (pages 1 to 14) JP-A-9-304923 (Claim 3)

そこで、本発明は、上記従来技術に鑑みて、より合理的なプロセスで、十分な視認性、つまり、黒色度と電磁波シールド機能を有する電磁波シールド板を製造可能にする感光性ペーストを提供することを目的とする。   Therefore, in view of the above-described conventional technology, the present invention provides a photosensitive paste capable of manufacturing an electromagnetic wave shielding plate having sufficient visibility, that is, blackness and an electromagnetic wave shielding function, by a more rational process. With the goal.

すなわち本発明は、無機粉末と感光性有機成分からなるペーストであって、無機粉末が、少なくともニッケル−鉄系合金粉末およびガラスを含むことを特徴とする感光性ペーストである。また、上記記載の感光性ペーストから製造されるディスプレイパネル用部材の製造方法である。   That is, the present invention is a photosensitive paste characterized in that it is a paste comprising an inorganic powder and a photosensitive organic component, and the inorganic powder includes at least a nickel-iron alloy powder and glass. Moreover, it is a manufacturing method of the member for display panels manufactured from the said photosensitive paste.

本発明によれば、簡略な工程により、視認性に優れる電磁波シールド板を製造できる感光性ペーストを提供できる。   According to the present invention, it is possible to provide a photosensitive paste capable of producing an electromagnetic wave shielding plate with excellent visibility by a simple process.

本発明における感光性ペーストは、無機粉末と感光性有機成分からなる感光性ペーストであって、無機粉末が少なくともニッケル−鉄系合金粉末およびガラス粉末を含むことを特徴とする。   The photosensitive paste in the present invention is a photosensitive paste comprising an inorganic powder and a photosensitive organic component, and the inorganic powder includes at least a nickel-iron alloy powder and a glass powder.

ニッケル−鉄系合金粉末は、公知のガスアトマイズ法、機械的粉砕法、気相還元法等によって得られる粉末が使用できる。
ニッケル−鉄系合金粉末は以下の範囲内の組成であることが、高透磁率を示し、有効な電磁波シールド機能を示すために好ましい。
ニッケル :55〜90質量%
鉄 :10〜45質量%
好ましくは、ニッケル:65〜85質量%、鉄:15〜35質量%の範囲内の組成である。この組成範囲を外れると初透磁率が低下し、電磁波シールド性が低下する。
As the nickel-iron-based alloy powder, a powder obtained by a known gas atomizing method, mechanical pulverization method, vapor phase reduction method or the like can be used.
The nickel-iron-based alloy powder preferably has a composition within the following range in order to exhibit high magnetic permeability and an effective electromagnetic wave shielding function.
Nickel: 55-90% by mass
Iron: 10-45% by mass
Preferably, the composition is in the range of nickel: 65 to 85% by mass and iron: 15 to 35% by mass. If this composition range is exceeded, the initial magnetic permeability is lowered and the electromagnetic shielding properties are lowered.

さらに、より優れた電磁波シールド性を有するニッケル−鉄−モリブデン系合金粉末を用いても良い。ニッケル−鉄−モリブデン系合金粉末の好ましい範囲としては以下の組成である。
ニッケル :55〜90質量%
鉄 :10〜45質量%
モリブデン:0.5〜15質量%
好ましくは、ニッケル:65〜85質量%、鉄:15〜35質量%、モリブデン:1〜10質量%の範囲内の組成である。
Furthermore, nickel-iron-molybdenum-based alloy powder having better electromagnetic shielding properties may be used. The preferred range of the nickel-iron-molybdenum alloy powder is the following composition.
Nickel: 55-90% by mass
Iron: 10-45% by mass
Molybdenum: 0.5 to 15% by mass
Preferably, the composition is in the range of nickel: 65 to 85 mass%, iron: 15 to 35 mass%, and molybdenum: 1 to 10 mass%.

また、ニッケル、鉄およびモリブデン以外の成分については、特に限定されないが、電気特性を改善するためにCo、Cr、CuおよびMn等を含有してもよい。   Components other than nickel, iron and molybdenum are not particularly limited, but may contain Co, Cr, Cu, Mn and the like in order to improve electrical characteristics.

ガラス粉末としては、軟化温度が800℃以下、好ましくは、350〜750℃のガラス粉末を用いることが好ましい。軟化温度350℃以下のガラスは化学的安定性が低く、また、軟化温度750℃以上になると、基板上で十分な軟化を行うことが困難になる。上記軟化温度のガラス粉末であれば、特に制限なく用いることができるが、非結晶性ガラスであることが好ましい。結晶性ガラスを用いる場合、焼成後膜面にクラック等が生じやすく、絶縁性や電気特性を低下させる場合があるため、用いる場合はガラスの組成に注意する必要がある。   As the glass powder, it is preferable to use a glass powder having a softening temperature of 800 ° C. or lower, preferably 350 to 750 ° C. Glass having a softening temperature of 350 ° C. or lower has low chemical stability, and if the softening temperature is 750 ° C. or higher, it is difficult to sufficiently soften the substrate. Any glass powder having the above softening temperature can be used without particular limitation, but is preferably amorphous glass. When crystalline glass is used, cracks and the like are likely to occur on the film surface after firing, and the insulating properties and electrical characteristics may be lowered.

また、ニッケル−鉄系合金粉末との反応を考慮すると、鉛、ビスマス、および亜鉛からなる群から選ばれる少なくとも一種類の元素を含むホウケイ酸系のガラス粉末が好ましく用いられる。また、環境面を考慮すると、酸化ビスマスや酸化亜鉛を主成分とするガラス粉末が好ましい。さらに、アルカリ金属を含むガラス粉末を用いた場合には、焼成時に基板ガラスとのイオン交換反応により、基板の反りを生じることがあるため、アルカリ金属の含有量は10質量%以下とすることが好ましい。   In view of the reaction with the nickel-iron alloy powder, a borosilicate glass powder containing at least one element selected from the group consisting of lead, bismuth and zinc is preferably used. In view of the environment, glass powders containing bismuth oxide or zinc oxide as the main component are preferable. Furthermore, when glass powder containing an alkali metal is used, the substrate may be warped by an ion exchange reaction with the substrate glass during firing, so the alkali metal content may be 10% by mass or less. preferable.

ニッケル−鉄系合金粉末、ガラス粉末の中心粒子径は0.1〜5μmの範囲内、最大粒子径が10μm以下であることが好ましい。中心粒子径が0.1μm未満の粉末は感光性ペースト中に良好に分散することが困難であり、5μmを越える粉末は焼成後膜の平坦性やパターンの形状が悪化するので好ましくない。より好ましくは0.5〜3μmの範囲内、最大粒子径が8μm以下である。   The center particle diameter of the nickel-iron-based alloy powder and glass powder is preferably in the range of 0.1 to 5 μm, and the maximum particle diameter is preferably 10 μm or less. A powder having a center particle diameter of less than 0.1 μm is difficult to disperse well in the photosensitive paste, and a powder having a particle diameter exceeding 5 μm is not preferable because the flatness of the film and the shape of the pattern deteriorate after firing. More preferably, the maximum particle diameter is 8 μm or less within the range of 0.5 to 3 μm.

中心粒子径、最大粒子径は、コールターカウンター法、光子相関法およびレーザー回折法等の体積基準分布より求めることができる。   The central particle size and the maximum particle size can be obtained from a volume reference distribution such as a Coulter counter method, a photon correlation method and a laser diffraction method.

本発明の感光性ペーストにおいては、ニッケル−鉄系合金粉末とガラス粉末との質量比が20:80〜80:20の範囲内であることが好ましい。本来、ニッケル−鉄系合金粉末を焼結させて得られる電気特性を満足させるためには、焼成温度を比較的高温にする必要があるが、用途によっては高温で焼成できない場合がある。例えば、基板にガラスを用いた場合、焼成温度が限定される。そこで、ニッケル−鉄系合金粉末とガラス粉末との質量比が20:80〜80:20の範囲内であることで、焼成温度を比較的低温で焼成可能となり、目的の物性を得ることができる。より好ましくは、30:70〜80:20の範囲内、さらに好ましくは、40:60〜80:20の範囲内である。この範囲を外れ、ニッケル−鉄合金粉末が多くなると、層の緻密性が不良となり、目的の物性が得られにくくなる。一方、ガラス粉末が多くなると、層の緻密性は向上するが、初透磁率が低下し、電磁波シールド性が低下する。   In the photosensitive paste of the present invention, the mass ratio of the nickel-iron alloy powder and the glass powder is preferably in the range of 20:80 to 80:20. Originally, in order to satisfy the electrical characteristics obtained by sintering the nickel-iron-based alloy powder, the firing temperature needs to be relatively high, but depending on the application, firing may not be possible. For example, when glass is used for the substrate, the firing temperature is limited. Therefore, when the mass ratio of the nickel-iron alloy powder and the glass powder is within the range of 20:80 to 80:20, the firing temperature can be fired at a relatively low temperature, and the desired physical properties can be obtained. . More preferably, it exists in the range of 30: 70-80: 20, More preferably, it exists in the range of 40: 60-80: 20. If this range is exceeded and the amount of nickel-iron alloy powder increases, the denseness of the layer becomes poor and the desired physical properties are difficult to obtain. On the other hand, when the glass powder is increased, the denseness of the layer is improved, but the initial permeability is lowered and the electromagnetic wave shielding property is lowered.

また、本発明の感光性ペーストには、上記のニッケル−鉄系合金粉末およびガラス粉末以外の無機粉末が含まれていてもよい。例えば、黒色層を形成する場合は、黒色顔料を添加すると、ディスプレイの前面板として用いた場合のコントラスト向上に寄与することができる。黒色顔料としては、コバルト、ニッケル、銅、鉄、マンガン、クロム、ルテニウム等の酸化物を含む無機酸化物からなる顔料を用いることができる。それぞれの元素単独の酸化物を用いることもできるが、3種以上の元素で構成されるスピネル化合物を用いることも有効である。特に、400〜700℃に加熱する工程を経る際には、Co−Cr−Fe、Co−Mn−Fe、Co−Cu−Mn、Co−Ni−Mn、Co−Ni−Cr−Mn、Co−Ni−Cu−MnなどのCo元素を含むスピネル化合物を用いることにより、高温での退色を防止することが可能である。黒色顔料は、中心粒子径が0.01〜1.5μmの顔料を用いることが好ましい。0.01μm以下になると凝集が発生しやすく、黒色度が不均一になりやすい。また、1.5μmを越えると黒色度が低下しやすくなる課題がある。0.01μm〜1.5μmとすることで、均一かつ十分な黒色度の光遮光層を形成することができる。また、黒色顔料として、カーボン粒子を用いることができる。カーボン粒子としては、中心粒子径が1μm以下のものを用いることで、黒色度に優れた黒色層を形成することができる。400℃以上の加熱工程を経る場合には、耐熱性カーボンを用いることが好ましい。十分な黒色度を得るためには、これら黒色顔料の添加量は、少量で黒色度を向上でき、ディスプレイに用いた場合に十分なコントラストを得ることができる。黒色顔料の添加量は、黒色顔料の種類にもよるが、通常0.1質量%〜10質量%の範囲である。   In addition, the photosensitive paste of the present invention may contain inorganic powder other than the above nickel-iron alloy powder and glass powder. For example, when forming a black layer, the addition of a black pigment can contribute to an improvement in contrast when used as a front plate of a display. As the black pigment, a pigment made of an inorganic oxide containing an oxide such as cobalt, nickel, copper, iron, manganese, chromium, and ruthenium can be used. Although an oxide of each element alone can be used, it is also effective to use a spinel compound composed of three or more elements. In particular, during the process of heating to 400 to 700 ° C., Co—Cr—Fe, Co—Mn—Fe, Co—Cu—Mn, Co—Ni—Mn, Co—Ni—Cr—Mn, Co— By using a spinel compound containing a Co element such as Ni—Cu—Mn, it is possible to prevent discoloration at a high temperature. The black pigment is preferably a pigment having a center particle diameter of 0.01 to 1.5 μm. When the thickness is 0.01 μm or less, aggregation tends to occur and blackness tends to be uneven. Further, when the thickness exceeds 1.5 μm, there is a problem that the blackness tends to be lowered. By setting the thickness to 0.01 μm to 1.5 μm, a light shielding layer with uniform and sufficient blackness can be formed. Carbon particles can be used as the black pigment. By using carbon particles having a center particle diameter of 1 μm or less, a black layer having excellent blackness can be formed. When passing through a heating step of 400 ° C. or higher, it is preferable to use heat resistant carbon. In order to obtain sufficient blackness, the addition amount of these black pigments can improve blackness with a small amount, and sufficient contrast can be obtained when used in a display. The addition amount of the black pigment is usually in the range of 0.1% by mass to 10% by mass although it depends on the type of the black pigment.

本発明の感光性ペーストに含まれる感光性有機成分とは、感光性ペースト中の感光性有機成分(ペーストから無機成分を除いた部分)のことであり、ペースト中の5〜50質量%含有することが好ましい。   The photosensitive organic component contained in the photosensitive paste of the present invention is a photosensitive organic component in the photosensitive paste (a portion obtained by removing inorganic components from the paste), and is contained in an amount of 5 to 50% by mass in the paste. It is preferable.

本発明の感光性ペーストに含まれる感光性有機成分は、通常、反応性モノマー、反応性オリゴマー、反応性ポリマーから選ばれた少なくとも1種、および必要に応じて用いられるバインダポリマー、光重合開始剤、光酸発生剤、光塩基発生剤、増感剤、増感助剤、紫外線吸収剤、有機染料、分散剤、可塑剤、増粘剤、有機溶媒、酸、塩基、沈降防止剤、重合禁止剤等の添加剤成分等から構成される。ここで、反応性モノマー、反応性オリゴマー、反応性ポリマーにおける反応性とは、感光性ペーストが活性光線の照射を受けた場合に、反応性モノマー、反応性オリゴマー、反応性ポリマーが光架橋、光重合、光解重合、光変性等の反応を通して化学構造が変化する性質を意味する。   The photosensitive organic component contained in the photosensitive paste of the present invention is usually at least one selected from a reactive monomer, a reactive oligomer, and a reactive polymer, and a binder polymer and a photopolymerization initiator used as necessary. , Photoacid generator, photobase generator, sensitizer, sensitizer, UV absorber, organic dye, dispersant, plasticizer, thickener, organic solvent, acid, base, antisettling agent, polymerization prohibition It is comprised from additive components, such as an agent. Here, the reactivity in the reactive monomer, reactive oligomer and reactive polymer means that when the photosensitive paste is irradiated with actinic rays, the reactive monomer, reactive oligomer and reactive polymer are photocrosslinked, It means the property that the chemical structure changes through reactions such as polymerization, photodepolymerization, and photo-modification.

本発明の有機成分として用いるポリマーとしては、カルボキシル基を有することが好ましい。カルボキシル基を有することで、アルカリ水溶液での現像性を向上することができる。カルボキシル基を有するポリマーは、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、ビニル酢酸またはこれらの酸無水物等のカルボキシル基含有モノマーおよびメタクリル酸エステル、アクリル酸エステル、スチレン、アクリロニトリル、酢酸ビニル、2−ヒドロキシアクリレート等のモノマーを選択し、アゾビスイソブチロニトリルのような開始剤を用いて共重合することにより得られる。   The polymer used as the organic component of the present invention preferably has a carboxyl group. By having a carboxyl group, the developability in an alkaline aqueous solution can be improved. Polymers having a carboxyl group include, for example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid or their anhydrides and other carboxyl group-containing monomers and methacrylic acid esters, acrylic acid esters, It can be obtained by selecting monomers such as styrene, acrylonitrile, vinyl acetate, 2-hydroxyacrylate and copolymerizing using an initiator such as azobisisobutyronitrile.

カルボキシル基を有するポリマーとしては、焼成時の熱分解温度が低いことから、(メタ)アクリル酸エステルおよび(メタ)アクリル酸を共重合成分とするコポリマーが好ましく用いられる。とりわけ、スチレン/メタクリル酸メチル/メタクリル酸共重合体が好ましく用いられる。   As the polymer having a carboxyl group, a copolymer having (meth) acrylic acid ester and (meth) acrylic acid as a copolymerization component is preferably used since the thermal decomposition temperature during firing is low. In particular, a styrene / methyl methacrylate / methacrylic acid copolymer is preferably used.

カルボキシル基を有するコポリマーの樹脂酸価は50〜150mgKOH/gであることが好ましい。酸価が150mgKOH/gを越えると、現像許容幅が狭くなる。また、酸価が50mgKOH/g未満では未露光部の現像液に対する溶解性が低下する。現像液濃度を高くすると露光部まで剥がれが発生し、高精細なパターンが得られにくくなる。   The resin acid value of the copolymer having a carboxyl group is preferably 50 to 150 mgKOH / g. When the acid value exceeds 150 mgKOH / g, the allowable development width becomes narrow. On the other hand, when the acid value is less than 50 mgKOH / g, the solubility of the unexposed portion in the developer is lowered. When the developer concentration is increased, the exposed portion is peeled off and it becomes difficult to obtain a high-definition pattern.

さらに、ポリマーもしくはオリゴマーに対して、光反応性基を側鎖または分子末端に付加させることによって、感光性ポリマーや感光性オリゴマーとして用いることができ、感光性ペーストの感度向上やパターン精度を向上できる。光反応性基の一例である側鎖にエチレン性不飽和結合を導入する方法として、ポリマー中のメルカプト基、アミノ基、水酸基やカルボキシル基に対して、グリシジル基やイソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライド、メタクリル酸クロライドまたはアリルクロライド、マレイン酸等のカルボン酸を反応させて作る方法がある。   Furthermore, by adding a photoreactive group to the side chain or molecular end of the polymer or oligomer, it can be used as a photosensitive polymer or photosensitive oligomer, and the sensitivity and pattern accuracy of the photosensitive paste can be improved. . As an example of a method for introducing an ethylenically unsaturated bond into a side chain which is an example of a photoreactive group, an ethylenically unsaturated group having a glycidyl group or an isocyanate group with respect to a mercapto group, amino group, hydroxyl group or carboxyl group in the polymer. There is a method in which a compound and a carboxylic acid such as acrylic acid chloride, methacrylic acid chloride or allyl chloride, and maleic acid are reacted.

グリシジル基を有するエチレン性不飽和化合物としては、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、アリルグリシジルエーテル、エチルアクリル酸グリシジル、クロトニルグリシジルエーテル、クロトン酸グリシジルエーテル、イソクロトン酸グリシジルエーテル等が挙げられる。   Examples of the ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, allyl glycidyl ether, glycidyl ethyl acrylate, crotonyl glycidyl ether, crotonic acid glycidyl ether, and isocrotonic acid glycidyl ether.

イソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物としては、(メタ)アクリロイルイソシアナート、(メタ)アクリロイルエチルイソシアネート等がある。また、グリシジル基やイソシアネート基を有するエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライド、メタクリル酸クロライドまたはアリルクロライドは、ポリマー中のメルカプト基、アミノ基、水酸基やカルボキシル基に対して0.05〜1モル当量反応させることが好ましい。   Examples of the ethylenically unsaturated compound having an isocyanate group include (meth) acryloyl isocyanate and (meth) acryloylethyl isocyanate. In addition, the ethylenically unsaturated compound having a glycidyl group or an isocyanate group, acrylic acid chloride, methacrylic acid chloride or allyl chloride is 0.05 to 1 molar equivalent with respect to a mercapto group, amino group, hydroxyl group or carboxyl group in the polymer. It is preferable to react.

エチレン性不飽和結合を有するアミン化合物の調製は、エチレン性不飽和結合を有するグリシジル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸クロリド、(メタ)アクリル酸無水物等をアミノ化合物と反応させればよい。複数のエチレン性不飽和基含有化合物を混合して用いてもよい。   Preparation of an amine compound having an ethylenically unsaturated bond may be carried out by reacting glycidyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid chloride, (meth) acrylic anhydride, etc. having an ethylenically unsaturated bond with an amino compound. . A plurality of ethylenically unsaturated group-containing compounds may be mixed and used.

本発明に用いる光重合開始剤は、ラジカル種を発生するものから選んで用いられる。光重合開始剤としては、ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、1−ヒドロキシシクロヘキシル−フェニルケトン、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、2−メチル−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4,4−ジクロロベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチル−ジフェニルサルファイド、アルキル化ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、4−ベンゾイル−N,N−ジメチル−N−[2−(1−オキソ−2−プロペニルオキシ)エチル]ベンゼンメタナミニウムブロミド、(4−ベンゾイルベンジル)トリメチルアンモニウムクロリド、2−ヒドロキシ−3−(4−ベンゾイルフェノキシ)−N,N,N−トリメチル−1−プロペンアミニウムクロリド一水塩、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、2ーヒドロキシ−3−(3,4−ジメチル−9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イロキシ)−N,N,N−トリメチル−1−プロパナミニウムクロリド、2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルホスフィンオサイド、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,5,4’,5’−テトラフェニル−1,2−ビイミダゾール、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2−エチルアンスラキノン、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、メチルフェニルグリオキシエステル、η5−シクロペンタジエニル−η6−クメニル−アイアン(1+)−ヘキサフルオロフォスフェイト(1−)、ジフェニルスルフィド誘導体、ビス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニル)チタニウム、4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、4−ベンゾイル−4−メチルフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,3−ジエトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニル−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、p−t−ブチルジクロロアセトフェノン、ベンジルメトキシエチルアセタール、アントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、2−アミノアントラキノン、β−クロルアントラキノン、アントロン、ベンズアントロン、ジベンズスベロン、メチレンアントロン、4−アジドベンザルアセトフェノン、2,6−ビス(p−アジドベンジリデン)シクロヘキサン、2,6−ビス(p−アジドベンジリデン)−4−メチルシクロヘキサノン、2−フェニル−1,2−ブタジオン−2−(o−メトキシカルボニル)オキシム、1,3−ジフェニルプロパントリオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、N−フェニルグリシン、テトラブチルアンモニウム(+1)n−ブチルトリフェニルボレート(1−)、ナフタレンスルフォニルクロライド、キノリンスルホニルクロライド、N−フェニルチオアクリドン、4,4−アゾビスイソブチロニトリル、ベンズチアゾールジスルフィド、トリフェニルホスフィン、四臭素化炭素、トリブロモフェニルスルホン、過酸化ベンゾイルおよびエオシン、メチレンブルー等の光還元性の色素とアスコルビン酸、トリエタノールアミン等の還元剤の組み合わせ等が挙げられる。   The photopolymerization initiator used in the present invention is selected from those generating radical species. As photopolymerization initiators, diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyldimethyl ketal, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropane- 1-one, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 1-hydroxycyclohexyl-phenylketone, 1-phenyl-1,2-propanedione-2- (o-ethoxy) Carbonyl) oxime, 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, Benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl Ether, benzoin isobutyl ether, benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, hydroxybenzophenone, 4-benzoyl-4'-methyl-diphenyl sulfide, alkylated benzophenone, 3,3 ' , 4,4′-tetra (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 4-benzoyl-N, N-dimethyl-N- [2- (1-oxo-2-propenyloxy) ethyl] benzenemethananium bromide, (4-Benzoylbenzyl) trimethylammonium chloride, 2-hydroxy-3- (4-benzoylphenoxy) -N, N, N-trimethyl-1-propenaminium chloride monohydrate, 2-isopropylthioxanthone, 2,4- Dimethyl Oxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 2-hydroxy-3- (3,4-dimethyl-9-oxo-9H-thioxanthen-2-yloxy) -N, N, N-trimethyl- 1-propanaminium chloride, 2,4,6-trimethylbenzoylphenylphosphine oxide, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,5,4 ′, 5′-tetraphenyl-1,2-bi Imidazole, 10-butyl-2-chloroacridone, 2-ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, methylphenylglyoxyester, η5-cyclopentadienyl-η6-cumenyl-iron (1 +)-hexafluorophosphate (1-), diphenyl sulfide derivative, bis ( η5-2,4-cyclopentadien-1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrol-1-yl) -phenyl) titanium, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone, 4 , 4-bis (diethylamino) benzophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 4-benzoyl-4-methylphenylketone, dibenzylketone, fluorenone, 2,3-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy 2-phenyl-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, pt-butyldichloroacetophenone, benzylmethoxyethyl acetal, anthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 2-aminoanthraquinone, β- Chloranthraquino , Anthrone, benzanthrone, dibenzsuberone, methyleneanthrone, 4-azidobenzalacetophenone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) cyclohexane, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone, 2- Phenyl-1,2-butadion-2- (o-methoxycarbonyl) oxime, 1,3-diphenylpropanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, N-phenylglycine, tetrabutylammonium (+1) n-butyl Triphenylborate (1-), naphthalenesulfonyl chloride, quinolinesulfonyl chloride, N-phenylthioacridone, 4,4-azobisisobutyronitrile, benzthiazole disulfide, triphenylphosphine, carbon tetrabromide, Examples include combinations of photoreducing dyes such as tribromophenyl sulfone, benzoyl peroxide and eosin, and methylene blue with reducing agents such as ascorbic acid and triethanolamine.

光重合開始剤は、1種または2種以上使用することができる。光重合開始剤は、感光性有機成分に対し、0.05〜10質量%の範囲で添加され、より好ましくは、0.1〜10質量%である。光重合開始剤の量が少なすぎると光感度が不良となり、光重合開始剤の量が多すぎる場合には露光部の残存率が小さくなるおそれがある。   1 type (s) or 2 or more types can be used for a photoinitiator. A photoinitiator is added in 0.05-10 mass% with respect to the photosensitive organic component, More preferably, it is 0.1-10 mass%. If the amount of the photopolymerization initiator is too small, the photosensitivity will be poor, and if the amount of the photopolymerization initiator is too large, the residual ratio of the exposed area may be small.

光重合開始剤と共に増感剤を使用し、感度を向上させたり、反応に有効な波長範囲を拡大することができる。   A sensitizer can be used together with a photopolymerization initiator to improve sensitivity and to expand the effective wavelength range for the reaction.

増感剤の具体例としては、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2,3−ビス(4−ジエチルアミノベンザル)シクロペンタノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)シクロヘキサノン、2,6−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)−4−メチルシクロヘキサノン、ミヒラーケトン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジメチルアミノ)カルコン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)カルコン、p−ジメチルアミノシンナミリデンインダノン、p−ジメチルアミノベンジリデンインダノン、2−(p−ジメチルアミノフェニルビニレン)イソナフトチアゾール、1,3−ビス(4−ジメチルアミノフェニルビニレン)イソナフトチアゾール、1,3−ビス(4−ジメチルアミノベンザル)アセトン、1,3−カルボニルビス(4−ジエチルアミノベンザル)アセトン、3,3−カルボニルビス(7−ジエチルアミノクマリン)、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、N−フェニル−N−エチルエタノールアミン、N−フェニルエタノールアミン、N−トリルジエタノールアミン、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、ジエチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸(2−ジメチルアミノ)エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸(n−ブトキシ)エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、3−フェニル−5−ベンゾイルチオテトラゾール、1−フェニル−5−エトキシカルボニルチオテトラゾール等が挙げられる。   Specific examples of the sensitizer include 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,3-bis (4-diethylaminobenzal) cyclopentanone, 2,6-bis ( 4-dimethylaminobenzal) cyclohexanone, 2,6-bis (4-dimethylaminobenzal) -4-methylcyclohexanone, Michler's ketone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4-bis (dimethylamino) chalcone 4,4-bis (diethylamino) chalcone, p-dimethylaminocinnamylidene indanone, p-dimethylaminobenzylidene indanone, 2- (p-dimethylaminophenylvinylene) isonaphthothiazole, 1,3-bis (4 -Dimethylaminophenylvinylene) Isonaphtho Sol, 1,3-bis (4-dimethylaminobenzal) acetone, 1,3-carbonylbis (4-diethylaminobenzal) acetone, 3,3-carbonylbis (7-diethylaminocoumarin), triethanolamine, methyl Diethanolamine, triisopropanolamine, N-phenyl-N-ethylethanolamine, N-phenylethanolamine, N-tolyldiethanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl dimethylaminobenzoate, diethylamino Isoamyl benzoate, (2-dimethylamino) ethyl benzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate (n-butoxy), 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 3-phenyl-5-benzoylthiotetrazo Le, and a 1-phenyl-5-ethoxycarbonyl-thiotetrazole the like.

増感剤は、1種または2種以上使用することができる。増感剤を本発明の感光性ペーストに添加する場合、その添加量は感光性有機成分に対して通常0.05〜10質量%、より好ましくは0.1〜10質量%である。増感剤の量が少なすぎれば光感度を向上させる効果が発揮されず、増感剤の量が多すぎれば露光部の残存率が小さくなる恐れがある。   One or more sensitizers can be used. When adding a sensitizer to the photosensitive paste of this invention, the addition amount is 0.05-10 mass% normally with respect to the photosensitive organic component, More preferably, it is 0.1-10 mass%. If the amount of the sensitizer is too small, the effect of improving the photosensitivity is not exhibited, and if the amount of the sensitizer is too large, the residual ratio of the exposed portion may be reduced.

また、本発明の感光性ペーストでは、ニッケル−鉄系合金粉末を含有しているため、感光性ペーストが黒色を呈している。したがって、露光の光が吸収され、多くの露光量が必要となり、実用的な感度が得られにくい。また、現像液に対する耐性も弱く、現像時間が長くなると基板から剥離する場合がある。そのため、本発明における光重合開始剤および/または増感剤は、365nmの波長で吸光係数が1,000(1/mol・cm)以上であるものを好ましく用いることができる。より好ましくは、吸光係数が2,000(1/mol・cm)以上である。365nmの波長で吸光係数が1,000(1/mol・cm)以上である光重合開始剤および/または増感剤を用いることで、実用的な感度が得られ、現像液に対する耐性も向上し、プロセスマージンを広げることができる。   Moreover, in the photosensitive paste of this invention, since the nickel-iron type alloy powder is contained, the photosensitive paste is exhibiting black. Therefore, the exposure light is absorbed, a large amount of exposure is required, and practical sensitivity is difficult to obtain. Moreover, the tolerance with respect to a developing solution is also weak, and when a developing time becomes long, it may peel from a board | substrate. Therefore, as the photopolymerization initiator and / or sensitizer in the present invention, those having an absorption coefficient of 1,000 (1 / mol · cm) or more at a wavelength of 365 nm can be preferably used. More preferably, the extinction coefficient is 2,000 (1 / mol · cm) or more. By using a photopolymerization initiator and / or a sensitizer with a wavelength of 365 nm and an extinction coefficient of 1,000 (1 / mol · cm) or more, practical sensitivity can be obtained and resistance to the developer is improved. , Can widen the process margin.

吸光係数は次のように測定され算出できる。
(1)光重合開始剤および/または増感剤を秤量し、γ−ブチロラクトンに完全に溶解させる。
(2)秤量後、10mlのメスフラスコを用いて希釈する。
(3)希釈溶液の265nm〜600nmの領域の吸収強度を島津製作所社製UV−3101PC型自記分光光度計(セル10mm)で0.5nm単位で測定する。
(4)(3)で求めた吸光度が0.7を越えるときは、適当な濃度まで希釈を行い、吸収スペクトルを測定する。
(5)測定した最大の吸光度が0.7以下になるまで希釈と測定を繰り返す。
(6)得られた各濃度のスペクトルをランバート・ベールの式により、365nmでの単位濃度当たりの吸光係数(1/mol・cm)を算出する。
The extinction coefficient can be measured and calculated as follows.
(1) A photopolymerization initiator and / or a sensitizer is weighed and completely dissolved in γ-butyrolactone.
(2) After weighing, dilute using a 10 ml volumetric flask.
(3) The absorption intensity of the diluted solution in the region of 265 nm to 600 nm is measured in units of 0.5 nm with a UV-3101PC type self-recording spectrophotometer (cell 10 mm) manufactured by Shimadzu Corporation.
(4) If the absorbance determined in (3) exceeds 0.7, dilute to an appropriate concentration and measure the absorption spectrum.
(5) Repeat dilution and measurement until the measured maximum absorbance is 0.7 or less.
(6) The extinction coefficient (1 / mol · cm) per unit concentration at 365 nm is calculated from the obtained spectrum of each concentration using the Lambert-Beer equation.

吸光係数=吸光度/(モル濃度×d) (式中dはセル長を示す)
365nmの波長で吸光係数が1,000(1/mol・cm)以上である光重合開始剤および/または増感剤の具体例としては、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、2−メチル−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、2−メチルチオキサントン、2−クロルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2−ラウリルチオキサントン、3−クロルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジプロピルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ピペリジン)ベンゾフェノン、2−フェニル−1,2−ブタジオン−2−(o−メトキシカルボニル)オキシム、1−フェニルプロパンジオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、1,3−ジフェニルプロパントリオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシムなどが挙げられる。
Absorption coefficient = absorbance / (molar concentration × d) (where d represents the cell length)
Specific examples of photopolymerization initiators and / or sensitizers having an absorption coefficient of 1,000 (1 / mol · cm) or more at a wavelength of 365 nm include 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1 -One, 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide, 2-methylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2 -Isopropylthioxanthone, 2-laurylthioxanthone, 3-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxa , 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4-bis (dipropylamino) benzophenone, 4 , 4-bis (piperidine) benzophenone, 2-phenyl-1,2-butadion-2- (o-methoxycarbonyl) oxime, 1-phenylpropanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, 1,3-diphenyl Examples include propanetrione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime.

さらに、感光性有機成分が400nmを越えた波長領域に吸収極大をもつ化合物とビス(アルキルアミノ)ベンゾフェノンもしくはチオキサントン誘導体を含むことで、パターン底部の硬化を進めることができるため、現像時間を長くしてもパターンが基板から剥離しなくなり、プロセスマージンを広げることができる。また、厚膜での加工が可能となり、電磁波シールド性も向上できる。   Furthermore, since the photosensitive organic component contains a compound having an absorption maximum in a wavelength region exceeding 400 nm and a bis (alkylamino) benzophenone or thioxanthone derivative, the curing of the bottom of the pattern can be promoted, thereby increasing the development time. However, the pattern does not peel from the substrate, and the process margin can be widened. Moreover, processing with a thick film is possible, and electromagnetic wave shielding properties can be improved.

400nmを越えた波長領域に吸収極大をもつ化合物の具体例としては、1−クロル−N−メチルアクリドン、2−クロル−N−メチルアクリドン、3−クロル−N−メチルアクリドン、2−クロル−N−ブチルアクリドン、2−クロル−N−メチルアクリドン、3−クロル−N−ベンジルアクリドン、4−クロル−N−メチルアクリドン、2,3−ジクロル−N−メチルアクリドン、2,6−ジクロル−N−ブチルアクリドン、N−ベンジルアクリドン、N−ブチルアクリドン、N−エチルアクリドンなどのアクリドン誘導体が挙げられるがこれらに限定されない。   Specific examples of the compound having an absorption maximum in a wavelength region exceeding 400 nm include 1-chloro-N-methylacridone, 2-chloro-N-methylacridone, 3-chloro-N-methylacridone, 2- Chloro-N-butylacridone, 2-chloro-N-methylacridone, 3-chloro-N-benzylacridone, 4-chloro-N-methylacridone, 2,3-dichloro-N-methylacridone, Examples include, but are not limited to, 2,6-dichloro-N-butylacridone, N-benzylacridone, N-butylacridone, N-ethylacridone, and other acridone derivatives.

特に、本発明のニッケル−鉄系合金粉末とガラス粉末を含む感光性ペーストにおいては、400nmを越えた波長領域に吸収極大をもつ化合物とビス(アルキルアミノ)ベンゾフェノンもしくはチオキサントン誘導体の組み合わせとして、N−ブチルアクリドンと4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、もしくはN−ブチルアクリドンと2,4−ジエチルチオキサントンの組み合わせが好ましい。これらの組み合わせにより、厚膜で微細なパターン形成が可能となるため、電磁波シールド板のメッシュパターンのライン幅を細くすることができる。   In particular, in the photosensitive paste containing the nickel-iron-based alloy powder of the present invention and glass powder, N— is a combination of a compound having an absorption maximum in a wavelength region exceeding 400 nm and a bis (alkylamino) benzophenone or thioxanthone derivative. A combination of butylacridone and 4,4-bis (diethylamino) benzophenone or N-butylacridone and 2,4-diethylthioxanthone is preferred. These combinations enable the formation of a fine pattern with a thick film, so that the line width of the mesh pattern of the electromagnetic wave shielding plate can be reduced.

本発明の感光性ペーストにおいては、紫外線吸収剤を添加することも有効である。本発明の感光性ペーストでは、無機粉末として性質の異なる軟磁性体粉末とガラス粉末を用いているため、感光性ペースト被膜の内部で露光光の散乱が大きく、パターンが広がりやすい傾向にある。紫外線吸収剤を添加することで、露光光による感光性ペースト内部の散乱光を吸収し、散乱光を弱め、シャープなパターンが得られる。紫外線吸収剤としては、ベンゾフェノン系化合物、シアノアクリレート系化合物、サリチル酸系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、インドール系化合物、無機系の微粒子酸化金属等が挙げられる。これらの中でもベンゾフェノン系化合物、シアノアクリレート系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、インドール系化合物が特に有効である。これらの具体例としては、2,4−ジヒドロキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2,2’−ジヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2,2’−ジヒドロキシ−4,4’−ジメトキシベンゾフェノン、2,2’−ジヒドロキシ−4,4’−ジメトキシ−5−スルホベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシ−2’−カルボキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシ−5−スルホベンゾフェノントリヒドレート、2−ヒドロキシ−4−n−オクトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−オクタデシロキシベンゾフェノン、2,2’,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、4−ドデシロキシ−2−ヒドロキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−(2−ヒドロキシ−3−メタクリロキシ)プロポキシベンゾフェノン、2−(2’−ヒドロキシ−5’−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’,5’−ジ−t−ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’−t−ブチル−5’−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’,5’−ジ−t−ブチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−4’−n−オクトキシフェニル)ベンゾトリアゾール、2−エチルヘキシル−2−シアノ−3,3−ジフェニルアクリレート、2−エチル−2−シアノ−3,3−ジフェニルアクリレート、インドール系の吸収剤であるBONASORB UA−3901(オリエント化学社製)、BONASORB UA−3902(オリエント化学社製)SOM−2−0008(オリエント化学社製)等が挙げられるがこれらに限定されない。さらに、これら紫外線吸収剤の骨格にメタクリル基等を導入し反応型として用いてもよい。本発明では、これらを1種以上使用することができる。   In the photosensitive paste of the present invention, it is also effective to add an ultraviolet absorber. In the photosensitive paste of the present invention, soft magnetic powders and glass powders having different properties are used as inorganic powders. Therefore, the exposure light is largely scattered inside the photosensitive paste film, and the pattern tends to easily spread. By adding the ultraviolet absorber, the scattered light inside the photosensitive paste due to the exposure light is absorbed, the scattered light is weakened, and a sharp pattern can be obtained. Examples of the ultraviolet absorber include benzophenone compounds, cyanoacrylate compounds, salicylic acid compounds, benzotriazole compounds, indole compounds, inorganic fine-particle metal oxides, and the like. Among these, benzophenone compounds, cyanoacrylate compounds, benzotriazole compounds, and indole compounds are particularly effective. Specific examples thereof include 2,4-dihydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxybenzophenone, 2,2′-dihydroxy-4-methoxybenzophenone, 2,2′-dihydroxy-4,4′-dimethoxybenzophenone, 2,2′-dihydroxy-4,4′-dimethoxy-5-sulfobenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxy-2′-carboxybenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxy-5-sulfobenzophenone trihydrate, 2 -Hydroxy-4-n-octoxybenzophenone, 2-hydroxy-4-octadecyloxybenzophenone, 2,2 ', 4,4'-tetrahydroxybenzophenone, 4-dodecyloxy-2-hydroxybenzophenone, 2-hydroxy-4 -(2-hydroxy-3-methyl (Chryloxy) propoxybenzophenone, 2- (2′-hydroxy-5′-methylphenyl) benzotriazole, 2- (2′-hydroxy-3 ′, 5′-di-t-butylphenyl) benzotriazole, 2- (2 '-Hydroxy-3'-t-butyl-5'-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, 2- (2'-hydroxy-3', 5'-di-t-butylphenyl) -5-chlorobenzo Triazole, 2- (2′-hydroxy-4′-n-octoxyphenyl) benzotriazole, 2-ethylhexyl-2-cyano-3,3-diphenyl acrylate, 2-ethyl-2-cyano-3,3-diphenyl BONASORB UA-3901 (made by Orient Chemical Co., Ltd.) and BONASORB are acrylate and indole-based absorbents A-3902 (manufactured by Orient Chemical Industries, Ltd.), but such SOM-2-0008 (manufactured by Orient Chemical Co., Ltd.) without limitation. Furthermore, a methacryl group or the like may be introduced into the skeleton of these ultraviolet absorbers and used as a reaction type. In the present invention, one or more of these can be used.

紫外線吸収剤の添加量は、感光性ペースト中に0.001〜10質量%、より好ましくは、0.005〜5質量%の範囲である。これらの範囲を外れると、透過限界波長および波長傾斜幅が変化し、散乱光の吸収能力が不足したり、露光光の透過率が下がり、感光性ペーストの感度が低下するので注意を要する。   The addition amount of a ultraviolet absorber is 0.001-10 mass% in a photosensitive paste, More preferably, it is the range of 0.005-5 mass%. Beyond these ranges, the transmission limit wavelength and the wavelength gradient width change, so that the ability to absorb scattered light is insufficient, the transmittance of exposure light is lowered, and the sensitivity of the photosensitive paste is lowered.

また、有機染料を紫外線吸収剤として用いることも有効である。有機染料を用いる場合、上記感光性ペースト内部の散乱光を吸収し、散乱光を弱める効果の他に染料を添加して着色することにより視認性が良くなり、現像時にペーストが残存している部分と除去された部分との区別が容易になる。有機染料としては、特に限定はされないが、焼成後の絶縁膜中に残存しないものが好ましい。具体的には、アントラキノン系染料、インジゴイド系染料、フタロシアニン系染料、カルボニウム系染料、キノンイミン系染料、メチン系染料、キノリン系染料、ニトロ系染料、ニトロソ系染料、ベンゾキノン系染料、ナフトキノン系染料、フタルイミド系染料、ペリノン系染料等が使用できる。特に、h線とi線付近の波長の光を吸収するもの、例えばベーシックブルー等のカルボニウム系染料を選択すると、本発明の効果がより出やすくなり好ましい。有機染料の添加量は0.001〜1質量%であることが好ましい。   It is also effective to use organic dyes as ultraviolet absorbers. When using an organic dye, in addition to the effect of absorbing scattered light inside the photosensitive paste and weakening the scattered light, the dye is added and colored to improve visibility, and the part where the paste remains during development And the removed part can be easily distinguished. Although it does not specifically limit as organic dye, The thing which does not remain in the insulating film after baking is preferable. Specifically, anthraquinone dyes, indigoid dyes, phthalocyanine dyes, carbonium dyes, quinoneimine dyes, methine dyes, quinoline dyes, nitro dyes, nitroso dyes, benzoquinone dyes, naphthoquinone dyes, phthalimides A dye, perinone dye or the like can be used. In particular, it is preferable to select a carbonium-based dye such as basic blue that absorbs light having wavelengths in the vicinity of the h-line and i-line, for example, because the effects of the present invention are more easily exhibited. The amount of the organic dye added is preferably 0.001 to 1% by mass.

さらに、本発明の感光性ペーストでは、重合禁止剤を添加することも有効である。重合禁止剤を添加することで、重合禁止剤がラジカルを捕獲し、重合禁止剤で抑制できなくなる露光量で急激に光反応が起こることにより、現像液への溶解、不溶のコントラストを高くすることができる。   Furthermore, it is also effective to add a polymerization inhibitor in the photosensitive paste of the present invention. By adding a polymerization inhibitor, the polymerization inhibitor captures radicals and a photoreaction occurs suddenly at an exposure amount that cannot be suppressed by the polymerization inhibitor, thereby increasing the solubility and insoluble contrast in the developer. Can do.

具体的には、ヒドロキノン、フェノチアジン、p−t−ブチルカテコール、2,5−ジブチルヒドロキノン、モノ−t−ブチルヒドロキノン、2,5−ジ−t−アミルヒドロキノン、N−フェニルナフチルアミン、2,6−ジ−t−ブチル−p−メチルフェノール、クロラニール、ヒドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール等が挙げられるがこれらに限定されない。本発明では、これらを1種以上使用することができる。   Specifically, hydroquinone, phenothiazine, pt-butylcatechol, 2,5-dibutylhydroquinone, mono-t-butylhydroquinone, 2,5-di-t-amylhydroquinone, N-phenylnaphthylamine, 2,6- Examples thereof include, but are not limited to, di-t-butyl-p-methylphenol, chloranil, hydroquinone monomethyl ether, and pyrogallol. In the present invention, one or more of these can be used.

重合禁止剤の添加量は、感光性ペースト中に0.1〜30質量%、より好ましくは、0.5〜20質量%の範囲である。これらの範囲より少ない場合、現像液への溶解、不溶のコントラストが小さく、またこの範囲を越えると感光性ペーストの感度が低下し、多くの露光量を必要としたり、重合度が上がらずパターン形状が維持できなくなる。   The addition amount of a polymerization inhibitor is 0.1-30 mass% in a photosensitive paste, More preferably, it is the range of 0.5-20 mass%. If it is less than these ranges, the contrast of dissolution and insolubility in the developer is small, and if this range is exceeded, the sensitivity of the photosensitive paste decreases, requiring a large amount of exposure, and the degree of polymerization does not increase and the pattern shape Cannot be maintained.

本発明では、紫外線吸収剤と重合禁止剤をコントロールすることで、パターン形状のコントロールが可能となる。   In the present invention, the pattern shape can be controlled by controlling the ultraviolet absorber and the polymerization inhibitor.

感光性ペーストを基板に塗布する時の粘度を塗布方法に応じて調整するために有機溶媒が使用される。このとき使用される有機溶媒としては、メチルエチルケトン、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブチロラクトン、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、ジブロモベンゼン、ジクロロベンゼン、ブロモ安息香酸、クロロ安息香酸等、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、2−メチル−2,4−ペンタンジオール、3−メチル−1,5−ペンタンジオール、2−エチル−1,3−ヘキサンジオール、テルピネオール、3−メチル−3−メトキシブタノール、テキサノール、ベンジルアルコール、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートやこれらのうちの1種以上を含有する有機溶媒混合物が用いられる。   An organic solvent is used to adjust the viscosity at the time of applying the photosensitive paste to the substrate according to the application method. Examples of the organic solvent used at this time include methyl ethyl ketone, dioxane, acetone, cyclohexanone, cyclopentanone, isobutyl alcohol, isopropyl alcohol, tetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, γ-butyrolactone, bromobenzene, chlorobenzene, dibromobenzene, dichlorobenzene, Bromobenzoic acid, chlorobenzoic acid, etc., diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monobutyl ether acetate, 2-methyl-2,4-pentanediol, 3-methyl-1,5-pentanediol, 2-ethyl- 1,3-hexanediol, terpineol, 3-methyl-3-methoxybutanol, texanol, benzyl alcohol, Propylene glycol monoethyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, the organic solvent mixture containing one or more of propylene glycol monomethyl ether acetate and they can be used.

本発明の感光性ペーストは、各種成分を所定の組成となるように調合した後、プラネタリーミキサー等のミキサーによって予備分散した後、3本ローラーなどの分散機で分散・混練手段によって均質に作製する。   The photosensitive paste of the present invention is prepared by preparing various components so as to have a predetermined composition, and then pre-dispersing with a mixer such as a planetary mixer, and then uniformly preparing with a dispersing and kneading means using a disperser such as a three-roller. To do.

次に、本発明の感光性ペーストを用いたディスプレイパネル用部材の製造方法について説明する。   Next, the manufacturing method of the member for display panels using the photosensitive paste of this invention is demonstrated.

(基板)
ディスプレイパネル用電磁波シールド板に用いる基板は、ディスプレイの前面に配置され得る透明なものであれば、特に制限なく用いることができる。ガラス基板、樹脂基板、フィルムなどを用いることができる。樹脂基板としては厚み0.5〜3mmのアクリル板もしくはポリカーボネート基板等の公知の透明樹脂基板を用いることができる。また、フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルムやポリカーボネートフィルムを用いることができる。
(substrate)
If the board | substrate used for the electromagnetic wave shielding board for display panels is a transparent thing which can be arrange | positioned in the front surface of a display, it can be especially used without a restriction | limiting. A glass substrate, a resin substrate, a film, or the like can be used. As the resin substrate, a known transparent resin substrate such as an acrylic plate or a polycarbonate substrate having a thickness of 0.5 to 3 mm can be used. As the film, a polyethylene terephthalate film or a polycarbonate film can be used.

中でもコスト面・加工の自由度が高い点から、ガラス基板を用いるのが最も好ましい。用いるガラス基板の厚みとしては、通常0.7〜5mm程度、好ましくは1.0〜3.5mm程度の範囲である。厚みが0.7mmより薄いと、取り扱い時及び使用時に破損しやすくなり、厚みが5mmを超えると重くなりすぎて、取り扱い時及びディスプレイ装着時の総重量が大きくなるので、好ましくない。また、取り扱い時及び使用時の破損防止の観点から、ガラス基板は強化処理されているのが好ましく、強化処理の観点からは1.5mm以上の厚みを有するものが好ましい。   Among these, it is most preferable to use a glass substrate from the viewpoint of cost and high degree of freedom of processing. As thickness of the glass substrate to be used, it is about 0.7-5 mm normally, Preferably it is the range of about 1.0-3.5 mm. If the thickness is less than 0.7 mm, it tends to break during handling and use, and if the thickness exceeds 5 mm, it becomes too heavy and the total weight during handling and when the display is mounted is unfavorable. In addition, the glass substrate is preferably tempered from the viewpoint of preventing breakage during handling and use, and from the viewpoint of the tempering process, a glass substrate having a thickness of 1.5 mm or more is preferable.

ガラス基板の強化処理は、パターン形成の前に行っても、後に行ってもよい。すなわち、ガラス基板を強化処理した後、その強化ガラス上にパターンを形成してもよいし、普通ガラスにパターンを形成した後、パターン付きガラスを強化処理してもよい。ガラスの強化処理は、ガラスの表面に圧縮歪みをもたせることによって強度を増す処理であり、表面に圧縮歪みをもたせる方法によって、熱強化処理と化学強化処理に分けられる。ガラスは引張り力により表面から破壊するため、予め表面に圧縮歪みをもたせると、強度を増すことができる。熱強化処理は、板状ガラスをその軟化点付近まで加熱した後、空気ジェットによりガラス表面を急冷し、ガラス表面に圧縮応力層を形成することにより行われる。パターンの形成後に強化処理を行う場合は、連続的又は段階的な加熱室をもった加熱炉で軟化点近くまで加熱した後、一群の空気ノズルからガラス基板の両面に垂直に空気ジェットを吹き付けて急冷することにより行われる。   The glass substrate may be strengthened before or after pattern formation. That is, after a glass substrate is tempered, a pattern may be formed on the tempered glass, or after a pattern is formed on ordinary glass, the patterned glass may be tempered. The glass strengthening treatment is a treatment for increasing the strength by imparting a compressive strain to the surface of the glass, and is divided into a heat strengthening treatment and a chemical strengthening treatment according to a method for imparting a compressive strain to the surface. Since glass breaks from the surface by a tensile force, the strength can be increased if the surface is preliminarily compressed. The heat strengthening treatment is performed by heating the glass sheet to the vicinity of its softening point, and then rapidly cooling the glass surface with an air jet to form a compressive stress layer on the glass surface. When strengthening is performed after the pattern is formed, after heating to near the softening point in a heating furnace having a continuous or stepwise heating chamber, an air jet is blown perpendicularly on both sides of the glass substrate from a group of air nozzles. This is done by quenching.

ガラス基板は、金属イオン、金属コロイド、非金属元素などにより着色されていてもよい。ガラス基板の着色は公知の方法で行うことができる。着色は多くの場合、ディスプレイの見やすさを向上させる目的で行われる。   The glass substrate may be colored with metal ions, metal colloids, non-metallic elements, and the like. The glass substrate can be colored by a known method. Coloring is often performed for the purpose of improving the visibility of the display.

(金属層)
このような基板上に、透明な導電層を形成する方法やメッシュやストライプ状の金属層を形成し、電磁波シールド性を確保する。但し、透明導電層単体ではシート抵抗値を1Ω以下にすることが困難であり、また、抵抗値を低減するために透明導電層を厚く形成した場合、光線透過率が低下して、ディスプレイの視認性が低下する問題点や長時間の真空工程が必要になり、生産性が著しく低下するという問題点がある。そこで、基板上にメッシュ状の金属層、特に、金属層の材料として、抵抗値を低減しやすい銀を用いることが好ましい。
(Metal layer)
A method of forming a transparent conductive layer or a mesh or stripe-shaped metal layer is formed on such a substrate to ensure electromagnetic wave shielding properties. However, it is difficult to make the sheet resistance value 1Ω or less with the transparent conductive layer alone, and when the transparent conductive layer is formed thick in order to reduce the resistance value, the light transmittance is lowered and the display is visually recognized. There is a problem that productivity is lowered and a long vacuum process is required, and productivity is significantly lowered. Therefore, it is preferable to use silver that can easily reduce the resistance value as a mesh-like metal layer, particularly as a material of the metal layer, on the substrate.

該金属層には、銀以外にニッケルやアルミ等の金属を含有しても良い。但し、金属成分の中で銀の含有量を50質量%以上とすることが抵抗値を低減する上で重要である。銀の含有率が50質量%以下になると、抵抗値が増大しやすくなる。該金属層をメッシュ状やストライプ状に形成することで、メッシュやストライプの開口部分から光を透過することができる。   The metal layer may contain metals such as nickel and aluminum in addition to silver. However, it is important to reduce the resistance value by setting the silver content in the metal component to 50% by mass or more. When the silver content is 50% by mass or less, the resistance value tends to increase. By forming the metal layer in a mesh shape or a stripe shape, light can be transmitted from the openings of the mesh or stripe.

また、十分な電磁波遮蔽性能が得るためには、導電層の抵抗値として、1Ω・cm以下、好ましくは0.1Ω・cm以下とする必要がある。このためには、メッシュやストライプ状に形成する金属層の線幅を5〜30μmとすることが望ましい。メッシュやストライプの線幅としては、5μmよりも小さいとパターンの欠損が生じやすく、30μmを越えると光透過率が低下する問題がある。また、金属層の厚みは0.5〜15μmが好ましく、より好ましくは1〜10μmである。0.5μmよりも薄いと抵抗値が高くなり、電磁波遮蔽性能が不足する。一方、15μmよりも厚くなると、メッシュやストライプの形成工程が複雑になることや材料コストが増加するという問題があり、また、パターン側面での反射による視認性低下を防ぐための透明化処理工程が必要になる問題がある。   In order to obtain sufficient electromagnetic wave shielding performance, the resistance value of the conductive layer needs to be 1 Ω · cm or less, preferably 0.1 Ω · cm or less. For this purpose, it is desirable that the line width of the metal layer formed in a mesh or stripe shape is 5 to 30 μm. If the line width of the mesh or stripe is smaller than 5 μm, pattern defects are likely to occur, and if it exceeds 30 μm, there is a problem that the light transmittance decreases. Moreover, 0.5-15 micrometers is preferable and, as for the thickness of a metal layer, More preferably, it is 1-10 micrometers. If it is thinner than 0.5 μm, the resistance value becomes high and the electromagnetic wave shielding performance is insufficient. On the other hand, if it is thicker than 15 μm, there is a problem that the formation process of the mesh or stripe becomes complicated and the material cost increases, and a transparency treatment process for preventing a decrease in visibility due to reflection on the side surface of the pattern. There is a problem that is needed.

また、メッシュやストライプの形成ピッチは、粗くなるとモアレ現象により表示特性が低下する場合があり、繰り返し形成ピッチとしては、例えばPDPの前面に用いる場合は、画素ピッチの1/2以下とする必要がある。つまり、通常のPDPは0.7〜1mm四方の画素で形成されていることから、メッシュやストライプの形成ピッチは0.1〜0.5mmピッチで形成することが好ましい。   Further, when the formation pitch of the mesh or stripe becomes coarse, the display characteristics may be deteriorated due to the moire phenomenon. For example, when it is used on the front surface of the PDP, the repeated formation pitch needs to be ½ or less of the pixel pitch. is there. That is, since a normal PDP is formed with 0.7 to 1 mm square pixels, it is preferable to form the mesh or stripe with a pitch of 0.1 to 0.5 mm.

(黒色層)
黒色層を形成するために、本発明の感光性ペーストを用いることができる。金属層と同様にストライプ状もしくはメッシュ状の黒色層を別途に形成すること、つまり、金属層上部に黒色層を形成して反射を抑制することにより、コントラストを向上させるとともに電磁波遮蔽性能を向上させることができる。
(Black layer)
In order to form the black layer, the photosensitive paste of the present invention can be used. As with the metal layer, a separate stripe or mesh black layer is formed, that is, a black layer is formed on the metal layer to suppress reflection, thereby improving contrast and improving electromagnetic wave shielding performance. be able to.

黒色層の厚みとしては、黒色層の黒さにも影響されるが、0.5〜10μmが好ましい。十分な黒色度を得るには0.5μm以上の厚みが必要であり、また、材料コスト面で10μm以下とすることが好ましい。   The thickness of the black layer is influenced by the blackness of the black layer, but is preferably 0.5 to 10 μm. In order to obtain sufficient blackness, a thickness of 0.5 μm or more is necessary, and it is preferable that the material cost is 10 μm or less.

(透明導電層)
抵抗値を低減して電磁波遮蔽性能を向上しつつ、光透過率を向上するための方法として、基板表面に透明導電層を形成した基板を用いる方法がある。つまり、ガラス基板表面に、ITOや酸化錫からなる透明な導電層を形成したガラス基板を用いることにより、電磁波シールド性を向上することができる。これらの透明導電層は、基板上にスパッタやCVD(ケミカル・ベーパー・デポジション)法により形成できる。
(Transparent conductive layer)
As a method for improving the light transmittance while reducing the resistance value to improve the electromagnetic wave shielding performance, there is a method using a substrate in which a transparent conductive layer is formed on the substrate surface. That is, by using a glass substrate on which a transparent conductive layer made of ITO or tin oxide is formed on the surface of the glass substrate, electromagnetic wave shielding properties can be improved. These transparent conductive layers can be formed on the substrate by sputtering or CVD (Chemical Vapor Deposition).

透明導電層としては、ITOが酸化錫と比較して低抵抗化が可能な利点はあるが、基板としてガラスを用いる場合は、高価なインジウムを使用しない酸化錫の方がコスト面で優れる。また、金属層との組み合わせの点でも、銀をガラス基板上に形成する際に、銀/ガラス間の反応によって黄色化する問題は、緻密な酸化錫膜によって抑制できる利点がある。   As a transparent conductive layer, ITO has an advantage that resistance can be reduced as compared with tin oxide. However, when glass is used as a substrate, tin oxide not using expensive indium is superior in cost. Also, in terms of combination with the metal layer, the problem of yellowing due to the reaction between silver / glass when silver is formed on the glass substrate is advantageous in that it can be suppressed by a dense tin oxide film.

(電磁波シールド板の作製法)
電磁波シールド板を作製する方法としては、基板上に銀を含有するペーストを用いて必要なパターンを形成した後に、焼成により金属層を形成した後、本発明の感光性ペーストを用いて、必要なパターンを形成した後に、焼成により黒色層を形成する。尚、金属層と黒色層の焼成は一括で行うこともできる。金属層のパターン形成法としては、公知の方法を用いることができる。オフセット印刷、スクリーン印刷等のパターン印刷法を用いても良い、但し、オフセット印刷は、形成厚みを厚くすることが難しく、スクリーン印刷は、ライン幅を30μm以下に細くすることが困難という問題がある。そこで、好ましい方法としては、感光性ペースト法がある。感光性ペースト法は、感光性有機成分と無機成分を含有するペーストを用いて、フォトリソグラフィー法によるパターン形成する方法である。
(Manufacturing method of electromagnetic shielding plate)
As a method for producing an electromagnetic wave shielding plate, a necessary pattern is formed using a paste containing silver on a substrate, a metal layer is formed by firing, and then the photosensitive paste of the present invention is used. After forming the pattern, a black layer is formed by firing. In addition, baking of a metal layer and a black layer can also be performed at once. As a pattern forming method of the metal layer, a known method can be used. Pattern printing methods such as offset printing and screen printing may be used. However, offset printing is difficult to increase the formation thickness, and screen printing has a problem that it is difficult to reduce the line width to 30 μm or less. . Therefore, a preferred method is a photosensitive paste method. The photosensitive paste method is a method of forming a pattern by a photolithography method using a paste containing a photosensitive organic component and an inorganic component.

形成法の一例としては、基板上に金属粉末と感光性有機成分を含む感光性金属ペーストを塗布・乾燥し、さらに、その上から、本発明の感光性ペーストを塗布・乾燥し、その膜にメッシュ状パターンに対応するフォトマスクを介して、露光・現像することによって、パターンを形成する。基板としてガラス基板を用いた場合は、400〜700℃に加熱して、黒色層・金属層中の有機成分を焼去して、より黒色度が高く、抵抗値の低い層を形成できる。焼成温度が400℃未満の場合、パターン中の有機物が十分に減少しないため、金属層とガラス基板との密着性が不十分となる。一方、焼成温度が700℃を超えると、ガラス基板自体に変形を生じるおそれがある。   As an example of the forming method, a photosensitive metal paste containing a metal powder and a photosensitive organic component is applied and dried on a substrate, and further, the photosensitive paste of the present invention is applied and dried on the substrate to form a film. A pattern is formed by exposing and developing through a photomask corresponding to the mesh pattern. When a glass substrate is used as the substrate, it can be heated to 400 to 700 ° C. to burn out the organic components in the black layer / metal layer, thereby forming a layer with higher blackness and lower resistance. When the firing temperature is less than 400 ° C., the organic matter in the pattern is not sufficiently reduced, so that the adhesion between the metal layer and the glass substrate becomes insufficient. On the other hand, if the firing temperature exceeds 700 ° C., the glass substrate itself may be deformed.

金属層を十分に密着させるためには、パターン中の有機物の残存量は、焼成前の重量の10質量%以下となるようにするのが好ましく、さらには5質量%以下となるようにするのが一層好ましい。焼成時間は、好ましい温度範囲内で、残存有機物が好ましい範囲まで減少するように調整すればよい。また、パターンが形成されるガラス基板として、強化処理ガラスを用いる場合は、強化がなまされないよう、焼成条件を当該ガラスの歪点よりも低く設定する必要がある。そのためには、ガラスの歪点よりも30℃以上低い温度で焼成を行うのが好ましく、さらには50℃以上、とりわけ100℃以上低い温度で焼成を行うのが一層好ましい。一方、普通ガラスにパターンを形成してから焼成を行う場合は、ガラス基板の軟化点に近い温度で焼成した後、急冷することにより、ガラス基板の強化も同時に行うことができる。具体的には例えば、600〜700℃で数十秒〜十数分程度加熱した後、空気を吹き付けて急冷することにより、パターンの焼成と基材の強化処理を同時に行うことができる。強化処理条件は、ガラス基板の厚みや必要な強化度合いにより適宜決定される。   In order to sufficiently adhere the metal layer, the remaining amount of organic matter in the pattern is preferably 10% by mass or less of the weight before firing, and more preferably 5% by mass or less. Is more preferable. What is necessary is just to adjust baking time so that a residual organic substance may reduce to a preferable range within a preferable temperature range. Moreover, when using the tempered glass as the glass substrate on which the pattern is formed, it is necessary to set the firing conditions lower than the strain point of the glass so that the glass is not tempered. For this purpose, firing is preferably performed at a temperature 30 ° C. or more lower than the strain point of the glass, more preferably 50 ° C. or more, particularly 100 ° C. or more. On the other hand, when baking is performed after forming a pattern on ordinary glass, the glass substrate can be strengthened simultaneously by baking at a temperature close to the softening point of the glass substrate and then rapidly cooling. Specifically, for example, after heating at 600 to 700 ° C. for about several tens of seconds to several tens of minutes, the pattern is fired and the substrate is tempered simultaneously by blowing air and quenching. The strengthening treatment conditions are appropriately determined depending on the thickness of the glass substrate and the necessary degree of strengthening.

電磁波シールド板を用いて、ディスプレイ用の光学フィルターを作成するためには、反射防止機能や透過率制御機能を付与する必要がある。反射防止機能を付与する方法としては、加工した基板に低屈折率の反射防止塗料を塗布して、加熱する方法がある。また、反射防止機能を有するフィルムを該電磁波シールド板に貼付することにより、反射防止機能を有する電磁波シールド板を作製できる。さらには、透過する光の波長を制御するための色補正フィルムや、赤外線や紫外線をカットするフィルム、また、プラズマディスプレイに用いる場合は、ネオン光をカットする機能を有するフィルムなどを貼り付けることで、多機能の光学フィルターを作成できる。ガラス基板自体に適当な金属イオンを添加することにより、近赤外線吸収性能を付与することも可能である。指紋など汚染物質が表面に付着することを防止する防汚性フィルムなどが挙げられる。また、こうして得られる電磁波シールド板は、ディスプレイ用の前面フィルター、例えば、プラズマディスプレイパネルなどの前面フィルターとして、好適に用いることができる。   In order to create an optical filter for display using an electromagnetic wave shield plate, it is necessary to provide an antireflection function and a transmittance control function. As a method for imparting an antireflection function, there is a method in which an antireflection coating having a low refractive index is applied to a processed substrate and heated. Moreover, the electromagnetic wave shielding board which has an antireflection function is producible by sticking the film which has an antireflection function to this electromagnetic wave shielding board. Furthermore, a color correction film for controlling the wavelength of transmitted light, a film that cuts infrared rays or ultraviolet rays, and a film having a function of cutting neon light when used for a plasma display can be pasted. Can create multi-function optical filters. By adding an appropriate metal ion to the glass substrate itself, it is possible to impart near infrared absorption performance. Examples include antifouling films that prevent contaminants such as fingerprints from adhering to the surface. The electromagnetic wave shielding plate thus obtained can be suitably used as a front filter for display, for example, a front filter for a plasma display panel or the like.

(層構成)
電磁波シールド板の層構成としては、基板/黒色層/金属層、基板/金属層/黒色層、基板/黒色層/金属層/黒色層の構成があり、また、基板として、透明導電層を表面に形成した基板を用いることができる。基板としてガラス基板を用いた場合、塗布するペーストの種類と順序を変更することで、幅広く対応することができる。
(Layer structure)
The layer structure of the electromagnetic wave shielding plate includes substrate / black layer / metal layer, substrate / metal layer / black layer, substrate / black layer / metal layer / black layer, and a transparent conductive layer as the substrate. A substrate formed in the above can be used. When a glass substrate is used as the substrate, it can be widely handled by changing the type and order of pastes to be applied.

以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。なお、各実施例及び比較例で得られた電磁波シールド板は、以下の(1)及び(2)により線幅、パターン形状及び表面抵抗を測定し、また一部については、以下の(3)により電磁波遮蔽性を評価した。さらに、感光性ペーストに用いた光重合開始剤および増感剤の吸光係数は、(4)により求め、無機粉末の中心粒子径、最大粒子径は、(5)により求めた。
(1)線幅、パターン形状 格子パターンをキーエンス社製リアルサーフェスビュー(VE−7800)を用いてパターン形状を観察し、パターン頂部の幅を測定した。
(2)表面抵抗 三菱化学(株)製の表面抵抗測定器“ロレスタ”を使用し、4端針法にて測定した。
(3)電磁波遮蔽性 電磁波シールド板から一辺が100mmの正方形サンプルを切り出し、KEC(関西電子工業振興センター)法に準拠したアンリツ社製EMIシールド測定装置(MA8602B)を用いて測定した。
(4)分子吸光係数 次の手順により求めた。
a.光重合開始剤および/または増感剤を秤量し、γ−ブチルラクトンに完全に溶解させる。
b.秤量後、10mlのメスフラスコを用いて希釈する。
c.希釈溶液の265nm〜600nmの領域の吸収強度を島津製作所社製UV−3101PC型自記分光光度計(セル10mm)で0.5nm単位で測定する。
d.cで求めた吸光度が0.7を越えるときは、適当な濃度まで希釈を行い、吸収スペクトルを測定する。
e.測定した最大の吸光度が0.7以下になるまで希釈と測定を繰り返す。
f.得られた各濃度のスペクトルをランバート・ベールの式により、365nmでの単位濃度当たりの吸光係数(1/mol・cm)を算出する。
吸光係数=吸光度/(モル濃度×d) (式中dはセル長を示す)
(5)無機粉末の粒子径は、マイクロトラック社製粒度分布計HRA9320−X100を用いて、試料量1gを精製水中で1.5分間超音波で分散して測定した。粒子屈折率は、無機粉末の種類によって変更し、溶媒屈折率は、1.33とした。測定は3回行い、平均値より求めた。
(実施例1〜20)
大きさ970mm×580mmで厚み3mmのソーダガラス(日本板硝子社製)上に、酸化ビスマス、酸化珪素、酸化硼素、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛、酸化アルミニウムからなるガラスを粉砕した平均粒径0.8μmのガラス粉末3質量%、感光性アクリルポリマー(東レ社製APX−716)6質量%、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート3質量%、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン1質量%、平均粒径2μmのAg粉末(同和鉱業社製)74質量%、有機溶剤(ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート)13質量%からなる感光性銀ペーストをマイクロテック社製スクリーン印刷機および380メッシュのスクリーン版を用いて全面塗布し、タバイ社製熱風乾燥機を用いて、100℃で30分乾燥した。
EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited by these Examples. In addition, the electromagnetic wave shielding board obtained by each Example and the comparative example measured line | wire width, pattern shape, and surface resistance by the following (1) and (2), and also for the following (3) The electromagnetic wave shielding property was evaluated. Furthermore, the extinction coefficients of the photopolymerization initiator and sensitizer used for the photosensitive paste were obtained from (4), and the center particle size and the maximum particle size of the inorganic powder were obtained from (5).
(1) Line width, pattern shape The pattern shape was observed using the real surface view (VE-7800) by Keyence Corporation, and the width | variety of a pattern top part was measured.
(2) Surface resistance Using a surface resistance measuring instrument “Loresta” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, the surface resistance was measured by the four-end needle method.
(3) Electromagnetic wave shielding property A square sample having a side of 100 mm was cut out from the electromagnetic wave shielding plate, and measured using an EMI shield measuring device (MA8602B) manufactured by Anritsu Corporation in accordance with the KEC (Kansai Electronics Industry Promotion Center) method.
(4) Molecular extinction coefficient It calculated | required with the following procedure.
a. The photopolymerization initiator and / or sensitizer is weighed and completely dissolved in γ-butyllactone.
b. After weighing, dilute using a 10 ml volumetric flask.
c. The absorption intensity in the region of 265 nm to 600 nm of the diluted solution is measured in units of 0.5 nm with a UV-3101PC type self-recording spectrophotometer (cell 10 mm) manufactured by Shimadzu Corporation.
d. When the absorbance determined in c exceeds 0.7, dilution is performed to an appropriate concentration and an absorption spectrum is measured.
e. The dilution and measurement are repeated until the measured maximum absorbance is 0.7 or less.
f. The extinction coefficient (1 / mol · cm) per unit concentration at 365 nm is calculated from the obtained spectrum of each concentration by the Lambert-Beer equation.
Absorption coefficient = absorbance / (molar concentration × d) (where d represents the cell length)
(5) The particle size of the inorganic powder was measured by dispersing a sample amount of 1 g in purified water with ultrasonic waves for 1.5 minutes using a microtrac particle size distribution meter HRA9320-X100. The particle refractive index was changed depending on the kind of the inorganic powder, and the solvent refractive index was 1.33. The measurement was performed 3 times, and the average value was obtained.
(Examples 1-20)
A glass of bismuth oxide, silicon oxide, boron oxide, zirconium oxide, zinc oxide, aluminum oxide is pulverized on soda glass (manufactured by Nippon Sheet Glass Co., Ltd.) having a size of 970 mm × 580 mm and a thickness of 3 mm. 3% by mass of glass powder, 6% by mass of photosensitive acrylic polymer (APX-716 manufactured by Toray Industries, Inc.), 3% by mass of dipentaerythritol hexaacrylate, 1% by mass of 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, and Ag powder having an average particle diameter of 2 μm A photosensitive silver paste composed of 74% by mass of Mining Co., Ltd. and 13% by mass of an organic solvent (diethylene glycol monobutyl ether acetate) was applied over the entire surface using a Microtec screen printer and a 380 mesh screen plate, and hot air produced by Tabai. Dry at 100 ° C for 30 minutes using a dryer .

次に、表2に示した組成の感光性ペーストをマイクロテック社製スクリーン印刷機および380メッシュのスクリーン版を用いて全面塗布し、タバイ社製熱風乾燥機を用いて100℃で30分乾燥した。このようにして得られた基板に、線間隔300μm、線幅20μmのメッシュ状に開口部が形成されたフォトマスクを介して、露光を行った。露光機は、大日本スクリーン製露光機(光源:2kW超高圧水銀灯)を用いた。露光後、0.5質量%の2−アミノエタノール水溶液を用いて、2分間シャワーで現像して、パターンを得た。その後、この格子パターン付きガラス基板を700℃で5分間光洋サーモテック社製ローラーハース焼成炉を用いて焼成した後、空気を吹き付けて急冷した。この処理により、パターンは強固に基材に密着するとともに、基材ガラスは強化ガラスとなり、電磁波シールド板を作製した。   Next, the photosensitive paste having the composition shown in Table 2 was applied to the entire surface using a Microtec screen printer and a 380 mesh screen plate, and dried at 100 ° C. for 30 minutes using a hot air dryer manufactured by Tabai. . The substrate thus obtained was exposed through a photomask in which openings were formed in a mesh shape having a line interval of 300 μm and a line width of 20 μm. As the exposure machine, a Dainippon Screen exposure machine (light source: 2 kW super high pressure mercury lamp) was used. After the exposure, a pattern was obtained by developing with a 0.5 mass% 2-aminoethanol aqueous solution in a shower for 2 minutes. Then, this glass substrate with a lattice pattern was fired at 700 ° C. for 5 minutes using a roller hearth firing furnace manufactured by Koyo Thermotech Co., Ltd., and then rapidly cooled by blowing air. By this treatment, the pattern was firmly adhered to the base material, and the base glass became tempered glass to produce an electromagnetic wave shield plate.

なお、用いた材料を表2に示す。表2において、上段は材料、下段はその配合比率(重量部)である。   The materials used are shown in Table 2. In Table 2, the upper part is the material, and the lower part is the blending ratio (parts by weight).

Figure 2006147621
Figure 2006147621

Figure 2006147621
Figure 2006147621

A〜G:純ニッケルと純鉄の質量比が表1に示した組成になるように調整し、気相還元法で作製したニッケル−鉄合金粉末を分級機(日清エンジニアリング社製、TC−25IIIC)を用いて中心粒子径1.2μm、最大粒子径4.8μmとしたニッケル−鉄合金粉末を用いた。
H:酸化ビスマス(Bi)、酸化ケイ素(SiO)、酸化硼素(B)、酸化亜鉛(ZnO)からなる軟化点490℃、中心粒子径1μmのガラス粉末
I:酸化コバルト(Co、中心粒子径0.1μm、三井金属鉱業社製)
J:酸価=85、重量平均分子量32,000の感光性アクリルポリマー(東レ社製APX−716)
K:プロピレンオキシド変性トリメチロールプロパントリアクリレート(第一工業製薬社製)
L:2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1(分子吸光係数:3,200、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製)
M:2−メチル−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノプロパン−1−オン(分子吸光係数:280、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製)
N:1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン(分子吸光係数:20、チバ・スペシャリティ・ケミカルズ社製)
O:2,4−ジエチルチオキサントン(分子吸光係数:5,100、日本化薬社製)
P:4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(分子吸光係数:37,000、東京化成社製)
Q:N−ブチルアクリドン(最大吸収波長402nm、東京化成社製)
R:ベーシックブルー26(東京化成社製)
S:p−メトキシフェノール(東京化成社製)
T:ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート(協和発酵工業社製)
表2の組成の感光性ペーストを用いた結果を表3に示す。実施例1〜11、17、18では、十分に実用可能な感度で露光ができ、パターンの線幅、パターン形状も良好であった。実施例12、15、16では、多くの露光量を必要とし、パターン形状も底部が細り、やや不良であったが、パターン形成は可能であった。感光性有機成分が400nmを越えた波長領域に吸収極大をもつ化合物とビス(アルキルアミノ)ベンゾフェノンもしくはチオキサントン誘導体を含む実施例13、14では、高感度でパターン形状も良好であった。特に、線幅20μmのマスクを用いているため、現像後に20μmの線幅が得られ、焼成収縮により、15μmの線幅が得られた。
A to G: The nickel-iron alloy powder prepared by the vapor phase reduction method was adjusted so that the mass ratio of pure nickel and pure iron was as shown in Table 1, and was classified into a classifier (TC- manufactured by Nisshin Engineering Co., Ltd.). 25IIIC), a nickel-iron alloy powder having a center particle diameter of 1.2 μm and a maximum particle diameter of 4.8 μm was used.
H: Glass powder with a softening point of 490 ° C. and a center particle diameter of 1 μm made of bismuth oxide (Bi 2 O 3 ), silicon oxide (SiO 2 ), boron oxide (B 2 O 3 ), and zinc oxide (ZnO) I: cobalt oxide (Co 3 O 4 , center particle diameter 0.1 μm, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.)
J: Photosensitive acrylic polymer having an acid value of 85 and a weight average molecular weight of 32,000 (APX-716 manufactured by Toray Industries, Inc.)
K: Propylene oxide modified trimethylolpropane triacrylate (Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd.)
L: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 (molecular extinction coefficient: 3,200, manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
M: 2-methyl- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one (molecular extinction coefficient: 280, manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
N: 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone (molecular extinction coefficient: 20, manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
O: 2,4-diethylthioxanthone (molecular extinction coefficient: 5,100, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
P: 4,4-bis (diethylamino) benzophenone (molecular extinction coefficient: 37,000, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
Q: N-butylacridone (maximum absorption wavelength 402 nm, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
R: Basic Blue 26 (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
S: p-methoxyphenol (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
T: Diethylene glycol monobutyl ether acetate (manufactured by Kyowa Hakko Kogyo Co., Ltd.)
The results obtained using the photosensitive paste having the composition shown in Table 2 are shown in Table 3. In Examples 1 to 11, 17, and 18, exposure was possible with sufficiently practical sensitivity, and the line width and pattern shape of the pattern were good. In Examples 12, 15, and 16, a large amount of exposure was required, and the bottom of the pattern shape was thin, which was slightly poor, but pattern formation was possible. In Examples 13 and 14 in which the photosensitive organic component contains a compound having an absorption maximum in a wavelength region exceeding 400 nm and bis (alkylamino) benzophenone or a thioxanthone derivative, the sensitivity and the pattern shape were good. In particular, since a mask having a line width of 20 μm was used, a line width of 20 μm was obtained after development, and a line width of 15 μm was obtained by firing shrinkage.

次に、得られた電磁波シールド板の評価結果を表3に示す。   Next, Table 3 shows the evaluation results of the obtained electromagnetic wave shielding plate.

Figure 2006147621
Figure 2006147621

さらに、実施例1〜18で作製した電磁波シールド板に、反射防止機能、色補正機能、およびネオンカット機能を有する機能フィルム(住友大阪セメント社製)を貼合わせ、前面フィルターを作成し、画面のヘイズ感により視認性を評価したところ、良好であった。実施例5、6、17、18では、他の実施例に比較して電磁波シールド性がやや低いものであった。
(比較例1)
大きさ970mm×580mmのポリエステルフィルム上に、凹版オフセット印刷法を用いて、カーボンブラックを1重量%含有する銀ペーストをピッチ300μm、線幅20μmのメッシュパターンを形成した。その後、150℃に加熱し、電解メッキで銅メッキ層を3μmの厚みになるように形成し、電磁波シードフィルムを作製し、ガラス基板に貼合わせた。
その上で、反射防止機能、色補正機能、およびネオンカット機能を有する機能フィルム(住友大阪セメント社製)を貼合わせ、前面フィルターを作成し、画面のヘイズ感により視認性を評価したところ、良好であった。しかし、メッキ工程が必須であるため、工程が余分に必要であった。
(比較例2)
大きさ970mm×580mmのポリエステルフィルム上に、厚み13μm銅箔をラミネートした後、ドライフィルムレジストをラミネートし、ピッチ300μm、線幅20μmの開口を有するフォトマスクで露光後に現像、エッチング、レジスト剥離工程を経て、電磁波シールドフィルムを作製し、ガラス基板に貼合した。その上で、反射防止機能、色補正機能、およびネオンカット機能を有する機能フィルム(住友大阪セメント社製)を貼合わせ、前面フィルターを作製し、画面のヘイズ感により視認性を評価したところ、ヘイズ感が強く視認性不良であった。
Further, a functional film (manufactured by Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd.) having an antireflection function, a color correction function, and a neon cut function is bonded to the electromagnetic wave shield plate produced in Examples 1 to 18, and a front filter is created. When the visibility was evaluated by a haze feeling, it was good. In Examples 5, 6, 17, and 18, the electromagnetic wave shielding properties were slightly lower than those in the other examples.
(Comparative Example 1)
A mesh pattern having a pitch of 300 μm and a line width of 20 μm was formed on a polyester film having a size of 970 mm × 580 mm by using an intaglio offset printing method and a silver paste containing 1% by weight of carbon black. Then, it heated to 150 degreeC, the copper plating layer was formed so that it might become a thickness of 3 micrometers by electrolytic plating, the electromagnetic wave seed film was produced, and it bonded together to the glass substrate.
On top of that, a functional film (manufactured by Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd.) that has an antireflection function, a color correction function, and a neon cut function was laminated to create a front filter, and the visibility was evaluated based on the haze feeling of the screen. Met. However, since a plating process is essential, an extra process is necessary.
(Comparative Example 2)
After laminating a copper foil with a thickness of 13 μm on a polyester film with a size of 970 mm × 580 mm, a dry film resist is laminated, and after development with a photomask having an opening with a pitch of 300 μm and a line width of 20 μm, development, etching, and resist stripping steps are performed. Then, an electromagnetic wave shielding film was produced and bonded to a glass substrate. On top of that, a functional film (manufactured by Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd.) having an antireflection function, a color correction function, and a neon cut function was laminated to produce a front filter, and the visibility was evaluated based on the haze feeling of the screen. The feeling was strong and the visibility was poor.

Claims (11)

無機粉末と感光性有機成分からなるペーストであって、無機粉末が、少なくともニッケル−鉄系合金粉末およびガラス粉末を含むことを特徴とする感光性ペースト。 A photosensitive paste comprising an inorganic powder and a photosensitive organic component, wherein the inorganic powder includes at least a nickel-iron alloy powder and a glass powder. ニッケル−鉄系合金粉末が以下の範囲内の組成であることを特徴とする請求項1に記載の感光性ペースト。
ニッケル :55〜90質量%
鉄 :10〜45質量%
The photosensitive paste according to claim 1, wherein the nickel-iron-based alloy powder has a composition within the following range.
Nickel: 55-90% by mass
Iron: 10-45% by mass
ニッケル−鉄系合金粉末が以下の範囲内の組成であることを特徴とする請求項2に記載の感光性ペースト。
ニッケル :55〜90質量%
鉄 :10〜45質量%
モリブデン:0.5〜15質量%
The photosensitive paste according to claim 2, wherein the nickel-iron-based alloy powder has a composition within the following range.
Nickel: 55-90% by mass
Iron: 10-45% by mass
Molybdenum: 0.5 to 15% by mass
ニッケル−鉄系合金粉末、およびガラス粉末の中心粒子径が0.1〜5μmの範囲内、最大粒子径が10μm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の感光性ペースト。 4. The photosensitivity according to claim 1, wherein the central particle diameter of the nickel-iron alloy powder and the glass powder is in the range of 0.1 to 5 [mu] m, and the maximum particle diameter is 10 [mu] m or less. paste. ガラス粉末の軟化温度が350〜750℃の範囲内であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の感光性ペースト。 The photosensitive paste according to any one of claims 1 to 4, wherein the softening temperature of the glass powder is within a range of 350 to 750 ° C. ニッケル−鉄系合金粉末とガラス粉末との質量比が20:80〜80:20の範囲内であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の感光性ペースト。 The photosensitive paste according to any one of claims 1 to 5, wherein a mass ratio of the nickel-iron alloy powder and the glass powder is in a range of 20:80 to 80:20. 感光性有機成分が365nmの波長で分子吸光係数が1,000(1/mol・cm)以上である光重合開始剤および/または増感剤を含むことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の感光性ペースト。 The photosensitive organic component contains a photopolymerization initiator and / or a sensitizer having a wavelength of 365 nm and a molecular extinction coefficient of 1,000 (1 / mol · cm) or more. The photosensitive paste of crab. 感光性有機成分が400nmを越えた波長領域に吸収極大をもつ化合物とビス(アルキルアミノ)ベンゾフェノンもしくはチオキサントン誘導体を含むことを特徴とする請求項7に記載の感光性ペースト。 The photosensitive paste according to claim 7, wherein the photosensitive organic component contains a compound having an absorption maximum in a wavelength region exceeding 400 nm and a bis (alkylamino) benzophenone or thioxanthone derivative. 感光性有機成分がN−ブチルアクリドンおよび4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンまたはN−ブチルアクリドンおよび2,4−ジエチルチオキサントンを含むことを特徴とする請求項8に記載の感光性ペースト。 The photosensitive paste according to claim 8, wherein the photosensitive organic component comprises N-butylacridone and 4,4-bis (diethylamino) benzophenone or N-butylacridone and 2,4-diethylthioxanthone. 電磁波シールド層形成用に用いる請求項1〜9のいずれかに記載の感光性ペースト。 The photosensitive paste in any one of Claims 1-9 used for electromagnetic wave shield layer formation. 感光性ペーストを基板上に塗布して乾燥する工程を含むディスプレイパネル用部材の製造方法であって、感光性ペーストに請求項10に記載の感光性ペーストを用いることを特徴とするディスプレイパネル用部材の製造方法。 A method for producing a display panel member comprising a step of applying a photosensitive paste onto a substrate and drying the display panel member, wherein the photosensitive paste according to claim 10 is used as the photosensitive paste. Manufacturing method.
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