JP2006139176A - 回折格子及び回折格子の作製方法 - Google Patents
回折格子及び回折格子の作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006139176A JP2006139176A JP2004330323A JP2004330323A JP2006139176A JP 2006139176 A JP2006139176 A JP 2006139176A JP 2004330323 A JP2004330323 A JP 2004330323A JP 2004330323 A JP2004330323 A JP 2004330323A JP 2006139176 A JP2006139176 A JP 2006139176A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffraction grating
- grating
- charged particle
- particle beam
- spatial frequency
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 57
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】荷電粒子ビーム走査時に格子線間隔(アドレスグリッド数)を適宜変化させることで、空間周波数を精度良く実現した回折格子及びその回折格子の作製方法を提供する。
【選択図】図7
Description
電子ビームなどの荷電粒子ビームを用いる方法によれば、回折格子を構成している格子線を1本ずつ直接描画するため、格子間隔を任意に変えたり、直線に限らず曲線や円弧状などの回折格子を形成できるなど、作製するパターンの自由度が飛躍的に向上する。
(1)回折格子の空間周波数(格子線の格子間隔(ピッチ))
(2)回折格子の方向(格子線の方向)
(3)回折格子の描画領域
の3つがあり、
(1)に応じて、定点に対してその回折格子セルが光って見える色が変化し、
(2)に応じて、その回折格子セルが光って見える方向が変化し、
(3)に応じて、定点における光量が決定される。
(1)格子間隔が小さくても、空間周波数の誤差の少ない高精度な回折格子パターンが得られる。すなわち、この回折格子を用いることで、例えば、回折光の射出光角度の精度が高い光学素子などの実現が可能である。
(2)描画時の格子線の描画位置を変化させるだけで高精度な回折格子を作成できるので、回折格子の作製時間や作製コスト等にはほとんど悪影響を与えない。
でアドレスグリッドを表現したが、アドレスグリッドは感光性レジスト上の任意の点を指定するための概念的なものであり、実際にステージ上や感光性レジスト上に目印があるわけではない。
スグリッドの配置間隔以上あっても目的を達成することは可能である。例えば図7の実施例において、アドレスグリッドの数が、5及び6だけでなく、4や7といったような値をとっても、単位長さ当たりの格子線数が所望の空間周波数に合致していればよいのである。しかし、そのような回折格子からはノイズの多い回折光が射出されることになる。
02・・・断面が正弦波状のバイナリー格子
03・・・断面が鋸歯状のブレーズド格子
04・・・階段状回折格子
05・・・ライン部
06・・・スペース部
11・・・基板
12・・・ポジ型レジスト
13・・・荷電粒子ビーム
14・・・荷電粒子ビームの走査方向
15・・・荷電粒子ビームの描画方向
20・・・描画エリア
21・・・アドレスグリッド
22・・・荷電粒子ビーム照射の始点
23・・・荷電粒子ビーム照射の終点
24,25,26…格子線
30・・・ブレーズド格子の最浅部への荷電粒子ビーム
31・・・ブレーズド格子の最深部への荷電粒子ビーム
Claims (4)
- 感光材料上で荷電粒子ビームを走査して、格子線を直接描画する回折格子の作製方法によって作製される回折格子パターンであり、予め定められた単一の空間周波数を有する回折格子が、複数の間隔をもって配置された格子線群により形成されている部分を有することを特徴とする回折格子パターン。
- 請求項1記載の回折格子パターンにおいて、格子線の間隔が、アドレスグリッド数のn倍(nは整数)及びn倍+1、の双方からなることを特徴とする回折格子パターン。
- 感光材料上で荷電粒子ビームを走査して、格子線を直接描画する回折格子の作製方法において、予め定められた単一の空間周波数を有する回折格子のパターンを構成する格子線群が複数の間隔をもって配置されていることを特徴とする回折格子の作製方法。
- 感光材料上で荷電粒子ビームを走査して、格子線を直接描画する回折格子の作製方法において、予め定められた単一の空間周波数を有する回折格子のパターンを構成する格子線群の格子線との描画間隔が、アドレスグリッド数のn倍(nは整数)及びn倍+1、の双方からなることを特徴とする回折格子の作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004330323A JP4487737B2 (ja) | 2004-11-15 | 2004-11-15 | 回折格子の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004330323A JP4487737B2 (ja) | 2004-11-15 | 2004-11-15 | 回折格子の作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006139176A true JP2006139176A (ja) | 2006-06-01 |
JP4487737B2 JP4487737B2 (ja) | 2010-06-23 |
Family
ID=36620033
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004330323A Active JP4487737B2 (ja) | 2004-11-15 | 2004-11-15 | 回折格子の作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4487737B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01196123A (ja) * | 1988-02-01 | 1989-08-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 荷電ビーム描画装置,描画方法及び回折格子の製造方法 |
JPH0636994A (ja) * | 1992-07-15 | 1994-02-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 回折格子作製方法 |
JPH09329705A (ja) * | 1996-06-11 | 1997-12-22 | Nec Corp | 回折格子の作製方法 |
JP2004184780A (ja) * | 2002-12-04 | 2004-07-02 | Victor Co Of Japan Ltd | フレネル・レンズ型回折光学素子の設計方法 |
-
2004
- 2004-11-15 JP JP2004330323A patent/JP4487737B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01196123A (ja) * | 1988-02-01 | 1989-08-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 荷電ビーム描画装置,描画方法及び回折格子の製造方法 |
JPH0636994A (ja) * | 1992-07-15 | 1994-02-10 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 回折格子作製方法 |
JPH09329705A (ja) * | 1996-06-11 | 1997-12-22 | Nec Corp | 回折格子の作製方法 |
JP2004184780A (ja) * | 2002-12-04 | 2004-07-02 | Victor Co Of Japan Ltd | フレネル・レンズ型回折光学素子の設計方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4487737B2 (ja) | 2010-06-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101726779B (zh) | 一种制作全息双闪耀光栅的方法 | |
TWI612553B (zh) | 多重帶電粒子束描繪裝置及多重帶電粒子束描繪方法 | |
US4609259A (en) | Process for producing micro Fresnel lens | |
CN101799569B (zh) | 一种制作凸面双闪耀光栅的方法 | |
WO2012157697A1 (ja) | 回折格子製造方法、分光光度計、および半導体装置の製造方法 | |
WO2004074771A1 (ja) | 測長用標準部材およびその作製方法、並びにそれを用いた電子ビーム測長装置 | |
JP4743413B2 (ja) | 回折光学素子の作製方法 | |
JP2012133280A (ja) | 基板パターンの製造方法及び露光装置 | |
JP4487737B2 (ja) | 回折格子の作製方法 | |
CN108364899B (zh) | 工作台机构的位置校正方法及带电粒子束描绘装置 | |
JP6881168B2 (ja) | マルチビーム電子線描画装置における露光強度分布を求める方法および装置 | |
KR20200041250A (ko) | 회절 대물렌즈용 격자 구조 | |
KR20040086769A (ko) | 웨이퍼, 노광 마스크, 마크 검출 방법과 노광방법 | |
KR20170046833A (ko) | 패턴 생성 방법 및 이를 수행하기 위한 패턴 발생기 | |
JP4396320B2 (ja) | ブレーズド型回折格子の作製方法及びブレーズド型回折格子と光学シート | |
JP2005059469A (ja) | 防眩性フィルム及び防眩性フィルムの製造方法 | |
JP2003173954A (ja) | 電子ビーム描画方法、基材の製造方法、基材、その基材を形成するための金型、及び電子ビーム描画装置 | |
US8658336B2 (en) | Methods of correcting for variation across substrates during photolithography | |
CN110869853B (zh) | 在工件上产生曝光结构 | |
TWI798786B (zh) | 描繪方法、母版製造方法及描繪裝置 | |
JPH0540021A (ja) | マルチスリツト投光器 | |
JPH0466321B2 (ja) | ||
CN100474111C (zh) | 设计相栅图形的方法,以及光掩模系统的制造方法 | |
JP2006113429A (ja) | レリーフパターンの作製方法およびレリーフパターン | |
JP2004054265A (ja) | 回折格子パターンを有するディスプレイとその作製方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071025 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091215 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100212 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100309 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100322 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130409 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4487737 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140409 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |