JP2006135219A - 半導体パッケージ用ステムおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 アイレット本体21に、アイレット本体21とは別体に形成された放熱体25が接合されてなる半導体パッケージ用ステム20であって、前記アイレット本体21が、一対の鉄層22、24で銅層23を挟んだ層構造からなるクラッド材によって形成されるとともに、前記放熱体23が接合される接合領域に、前記クラッド材の銅層23が露出して形成され、前記放熱体25が前記銅層23の露出面23aの領域内に接合されていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
この半導体パッケージ用ステム10は、放熱体14の側面にレーザ素子16を接合し、レーザ素子16とリード15とをワイヤボンディングによって接続し、光透過窓17を備えたキャップ18をアイレット本体12に溶接することにより、光半導体装置として組み立てられる。
図6は、鉄と銅との2層構造からなるクラッド材を用いて形成した半導体パッケージ用ステム11を示す(特許文献1参照)。この半導体パッケージ用ステム11は、クラッド材をプレス加工し、プレス加工によって銅材部から放熱体14aを立ち上げ形状に形成したもので、アイレット本体12が鉄材部12aと銅材部12bからなる。
すなわち、アイレットと一体に放熱体を形成する場合は、加工工程上、被加工材に対してプレス加工を施した後に、リードをガラス封着するための透孔を孔あけ加工する。この透孔は、実際の製品では、放熱体の外面にきわめて接近して設けられることが多く、加工時に孔位置がわずかにずれただけで放熱体に接触してばりが生じてしまったり、所要の孔形状に加工できなかったりして不良発生の原因となる。
本発明はこれらの課題を解決すべくなされたものであり、熱放散性に優れるとともに、抵抗溶接によってキャップを接合する等の組み立て作業を支障なく行うことができ、加工上における問題によって放熱体の形状、配置等に制約が受けることがない半導体パッケージ用ステムおよびその製造方法を提供することを目的としている。
すなわち、アイレット本体に、アイレット本体とは別体に形成された放熱体が接合されてなる半導体パッケージ用ステムであって、前記アイレット本体が、一対の鉄層で銅層を挟んだ3層構造からなるクラッド材によって形成されるとともに、前記放熱体が接合される接合領域に、前記クラッド材の銅層が露出して形成され、前記放熱体が前記銅層の露出面の領域内に接合されていることを特徴とする。
また、前記アイレット本体の放熱体が接合される表面が、前記銅層の露出面を含めて平坦面に形成されていることにより、放熱体の接合が容易で信頼性の高い半導体パッケージ用ステムとして提供される。
また、前記放熱体が銅からなることにより、熱放散性の良好な半導体パッケージ用ステムとして提供できる。
また、前記平坦化加工が、クラッド材の表面から段差状に突出した鉄層部を機械的に除去することを施すことを特徴とする。
また、前記平坦化加工を施した後、アイレット本体にリードを挿通する透孔を形成する孔あけ加工を施すとともに、アイレット本体の外形抜き加工を施して個片のアイレット本体に形成することを特徴とする。
アイレット本体21は、放熱体25が接合される面とは反対側の面から順に、第1の鉄層22と、銅層23と、第2の鉄層24とが積層された3層構造に形成され、アイレット本体21の上下両面が鉄材によって被覆された構造となっている。
アイレット本体21は、鉄−銅−鉄の3層構造からなるクラッド材にプレス加工やシェービング加工を施して、第2の鉄層24の表面と銅層23の露出面23aとが同一高さ面の平坦面になるように形成されている。放熱体25はこの露出面23aにろう付けされている。
また、リード15をアイレット本体21にガラス封着する透孔を形成し、この透孔にリード15がガラス封着される。図1において、リード15aはアース用のリードであり、アイレット本体21の下面に抵抗溶接によって接合されている。
図2(a)は、アイレット本体21を形成する鉄−銅−鉄の3層構造からなるクラッド材30に対して、アイレット本体21の外径よりも大径に粗抜き加工した状態を示す。クラッド材30は第1の鉄層22と、銅層23と、第2の鉄層24を積層して形成されたものである。本実施形態で使用したクラッド材30は、第1の鉄層22の厚さが0.75mm、銅層23の厚さが0.7mm、第2の鉄層24の厚さが0.15mmのものである。実際には、クラッド材30は長尺な帯状体として提供され、所要のプレス加工を施す加工ステージ間を順送りされて加工される。
図2(b)は、銅層23を露出させる部位に合わせた凹部42を形成したプレス金型40を、粗抜き加工したクラッド材30に位置合わせして型押しする工程を示す。凹部42は平面形状が円形で、内底面(天井面)が平坦面に形成されている。凹部42の深さは第2の鉄層24の下層の銅層23も若干入り込む程度の深さに設定する。凹部42以外のプレス金型40の型押し面44は平坦面に形成されている。
図2(d)は、プレス金型40を用いてクラッド材30をプレス加工した後の状態を示す。クラッド材30の上面では、前記凹部42に対応した部位の鉄層部24a(下層の銅層を一部含む)が第2の鉄層24の厚さ分以上にクラッド材30の上面から段差状に突出する。この鉄層部24aを支持する銅層23の部位は台形状に盛り上がった形状となる。
図3(a)は、鉄層部24aの側面下部、すなわち第2の鉄層24の表面に切刃50の切削位置を位置合わせした状態で、図3(b)は、切刃50を第2の鉄層24の表面に沿って突き出すように動かして鉄層部24aをクラッド材30から切削する状態を示す。
図3(c)は、鉄層部24aを切削して除去したクラッド材30を示す。切刃50を第2の鉄層24の表面に沿って動かすことにより、鉄層部24aが銅層23から切削されて除去されるとともに、銅層23の表面が第2の鉄層24の表面と同一高さ面に形成されて銅層23が露出した露出面23aが形成される。
鉄層部24aを除去する工程は、鉄層部24aの下層の銅層23を露出させる目的と、放熱体25を精度よくろう付けできるようにするために、銅層23の露出面23aが平坦面となるように露出させる目的がある。したがって、化学的エッチングに比べてシェービング加工等の機械的な加工手段を利用する方が加工時間等を含めて有利である。
次いで、アイレット本体21にリード15をガラス封着した後、アイレット本体21に放熱体25をろう付けする。放熱体25はクラッド材30を用いてアイレット本体21を形成する工程とは別工程であらかじめ所定の個片に形成されている。
図3(d)は、アイレット本体21に形成した銅層の露出面23aに放熱体25をろう付けした状態を示す。ろう付け用の治具にアイレット本体21と銅からなる放熱体25とろう材とを配置し、加熱炉中でろう材を溶融してろう付けする。本実施形態では銀ろう付けによって放熱体25をアイレット本体21に接合した。25aが接合層である。
本実施形態の半導体パッケージ用ステムは、放熱体25をアイレット本体21にろう付けした後、アイレット本体21、放熱体25およびリード15、15aの外面にニッケルめっきおよび金めっきによる仕上げめっきが施される。
12、21 アイレット本体
12a 鉄材部
12b 銅材部
16 レーザ素子
18 キャップ
22 第1の鉄層
23 銅層
23a 露出面
24 第2の鉄層
24a 鉄層部
25 放熱体
26 傾斜凹部
30 クラッド材
40 プレス金型
42 凹部
50 切刃
Claims (7)
- アイレット本体に、アイレット本体とは別体に形成された放熱体が接合されてなる半導体パッケージ用ステムであって、
前記アイレット本体が、一対の鉄層で銅層を挟んだ3層構造からなるクラッド材によって形成されるとともに、前記放熱体が接合される接合領域に、前記クラッド材の銅層が露出して形成され、
前記放熱体が前記銅層の露出面の領域内に接合されていることを特徴とする半導体パッケージ用ステム。 - 前記アイレット本体の放熱体が接合される表面が、前記銅層の露出面を含めて平坦面に形成されていることを特徴とする請求項1記載の半導体パッケージ用ステム。
- 前記放熱体が銅からなることを特徴とする請求項1または2記載の半導体パッケージ用ステム。
- 一対の鉄層で銅層を挟んだ3層構造からなるクラッド材をプレス金型を用いて押圧し、当該クラッド材の片面に形成された鉄層の放熱体を接合する領域部分を、クラッド材の表面から当該領域部分の鉄層部が段差状に突出するようにプレス加工する工程と、
前記クラッド材の表面から段差状に突出した鉄層部を除去してクラッド材の表面を平坦面に形成するとともに、前記鉄層部の下層の銅層を露出させる平坦化加工によってアイレット本体を形成し、
当該アイレット本体とは別工程により形成した放熱体を、前記アイレット本体の前記銅層の露出面にろう付けする工程とを含むことを特徴とする半導体パッケージ用ステムの製造方法。 - 前記平坦化加工が、クラッド材の表面から段差状に突出した鉄層部を機械的に除去することを施すことを特徴とする請求項4記載の半導体パッケージ用ステムの製造方法。
- 前記平坦化加工を施した後、アイレット本体にリードを挿通する透孔を形成する孔あけ加工を施すとともに、アイレット本体の外形抜き加工を施して個片のアイレット本体に形成することを特徴とする請求項4または5記載の半導体パッケージ用ステムの製造方法。
- 請求項1〜3のいずれか一項記載の半導体パッケージ用ステムの放熱体にレーザ素子が搭載されていることを特徴とする光半導体装置。
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