JP2006135130A - 半導体製造装置用加熱体およびこれを搭載した加熱装置 - Google Patents
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- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67109—Apparatus for thermal treatment mainly by convection
Abstract
【解決手段】 被加熱物を載置またはある一定の距離を離して加熱する加熱面を有する加熱体であって、加熱体を構成する基材の表面、もしくは内部に発熱抵抗体を有し、前記加熱面の反対側に均熱板を有し、該均熱板の材質が銅または銅合金、もしくはアルミニウムまたはアルミニウム合金を主成分とすることにより、冷たいウェハを載置した瞬間の温度低下を抑制し、温度の戻りを素早く行えるようにする。
【選択図】 図1
Description
2 均熱板
3 冷却モジュール
4 給電用電極
5 温度測定手段
7 昇降手段
9 ボルト
Claims (13)
- 被加熱物を載置またはある一定距離を離して加熱する加熱面を有する加熱体であって、加熱体を構成する基材の表面もしくは内部に発熱抵抗体を有し、前記加熱面の反対側に銅または銅合金を主成分とする均熱板を有することを特徴とする半導体製造装置用加熱体。
- 被加熱物を載置またはある一定距離を離して加熱する加熱面を有する加熱体であって、加熱体を構成する基材の表面もしくは内部に発熱抵抗体を有し、前記加熱面の反対側にアルミニウムまたはアルミニウム合金を主成分とする均熱板を有することを特徴とする半導体製造装置用加熱体。
- 前記均熱板の表面に耐酸化性被膜が形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体製造装置用加熱体。
- 前記耐酸化性被膜がニッケルを主成分とすることを特徴とする請求項3記載の半導体製造装置用加熱体。
- 前記均熱板の厚みが5mm以上であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体製造装置用加熱体。
- 前記均熱板の厚みが20mm以下であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体製造装置用加熱体。
- 前記加熱体を構成する基材の主成分が窒化アルミニウムであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の半導体製造装置用加熱体。
- 前記発熱抵抗体が複数のゾーンに分割され、各ゾーンがそれぞれ独立に制御可能であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の半導体製造装置用加熱体。
- 前記加熱体に更に冷却モジュールを具備することを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の半導体製造装置用加熱体。
- 前記冷却モジュールには、冷却媒体が流通可能であることを特徴とする請求項9に記載の半導体製造装置用加熱体。
- 前記均熱板に加熱機能が付加されていることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載の半導体製造装置用加熱体。
- 前記均熱板の加熱機能が、均熱板の外周部の発熱量が大きいことを特徴とする請求項11に記載の半導体製造装置用加熱体。
- 請求項1乃至12のいずれかに記載の半導体製造装置用加熱体が金属製の容器に収容されていることを特徴とする半導体製造装置用加熱装置。
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