JP2006127899A - 電子銃 - Google Patents
電子銃 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006127899A JP2006127899A JP2004314232A JP2004314232A JP2006127899A JP 2006127899 A JP2006127899 A JP 2006127899A JP 2004314232 A JP2004314232 A JP 2004314232A JP 2004314232 A JP2004314232 A JP 2004314232A JP 2006127899 A JP2006127899 A JP 2006127899A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode pellet
- electron
- electron gun
- retainer
- cathode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J23/00—Details of transit-time tubes of the types covered by group H01J25/00
- H01J23/02—Electrodes; Magnetic control means; Screens
- H01J23/06—Electron or ion guns
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J23/00—Details of transit-time tubes of the types covered by group H01J25/00
- H01J23/02—Electrodes; Magnetic control means; Screens
- H01J23/06—Electron or ion guns
- H01J23/065—Electron or ion guns producing a solid cylindrical beam
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J3/00—Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J3/02—Electron guns
- H01J3/024—Electron guns using thermionic emission of cathode heated by electron or ion bombardment or by irradiation by other energetic beams, e.g. by laser
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2225/00—Transit-time tubes, e.g. Klystrons, travelling-wave tubes, magnetrons
- H01J2225/02—Tubes with electron stream modulated in velocity or density in a modulator zone and thereafter giving up energy in an inducing zone, the zones being associated with one or more resonators
- H01J2225/10—Klystrons, i.e. tubes having two or more resonators, without reflection of the electron stream, and in which the stream is modulated mainly by velocity in the zone of the input resonator
- H01J2225/14—Klystrons, i.e. tubes having two or more resonators, without reflection of the electron stream, and in which the stream is modulated mainly by velocity in the zone of the input resonator with tube-like electron stream coaxial with the axis of the resonators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microwave Tubes (AREA)
Abstract
【解決手段】 電子を放出するカソードペレットと、電子を放出させるための熱エネルギーをカソードペレットに与えるヒータが内蔵されたヒータキャップと、電子ビームの最外殻に対する表面の平均角度がピアス角に一致する形状に形成された、電子ビームを集束するためのウェネルト電極と、カソードペレットの周縁をヒータキャップに係止することで該カソードペレットをヒータキャップ上に設置固定すると共に、カソードペレットの電子放出面の周縁を覆う部位がウェネルト電極の一部として働くリテーナとを有する構成とする。
【選択図】 図1
Description
電子を放出させるための熱エネルギーを前記カソードペレットに与えるヒータが内蔵されたヒータキャップと、
電子ビームの最外殻に対する表面の平均角度がピアス角に一致する形状に形成された、前記電子ビームを集束するためのウェネルト電極と、
前記カソードペレットの周縁を前記ヒータキャップに係止することで該カソードペレットを前記ヒータキャップ上に設置固定すると共に、前記カソードペレットの電子放出面の周縁を覆う部位が前記ウェネルト電極の一部として働くリテーナと、
を有する構成とする。
電子を放出させるための熱エネルギーを前記カソードペレットに与えるヒータが内蔵されたヒータキャップと、
前記カソードペレットの周縁を前記ヒータキャップに係止することで該カソードペレットを前記ヒータキャップ上に設置固定すると共に、電子ビームの最外殻に対する表面の平均角度がピアス角に一致する形状に形成された、前記電子ビームを集束するためのウェネルト電極として働くリテーナと、
を有する構成とする。
12、32 ヒータ
13、33 ヒータキャップ
14、34 ウェネルト電極
15、35 リテーナ
16 電子銃筺体
17 金属支持体
21 電子銃
22 高周波回路
23 コレクタ
24 アノード電極
50 電子ビーム
Claims (7)
- 電子を放出するカソードペレットと、
電子を放出させるための熱エネルギーを前記カソードペレットに与えるヒータが内蔵されたヒータキャップと、
電子ビームの最外殻に対する表面の平均角度がピアス角に一致する形状に形成された、前記電子ビームを集束するためのウェネルト電極と、
前記カソードペレットの周縁を前記ヒータキャップに係止することで該カソードペレットを前記ヒータキャップ上に設置固定すると共に、前記カソードペレットの電子放出面の周縁を覆う部位が前記ウェネルト電極の一部として働くリテーナと、
を有する電子銃。 - 電子を放出するカソードペレットと、
電子を放出させるための熱エネルギーを前記カソードペレットに与えるヒータが内蔵されたヒータキャップと、
前記カソードペレットの周縁を前記ヒータキャップに係止することで該カソードペレットを前記ヒータキャップ上に設置固定すると共に、前記カソードペレットの電子放出面の周縁を覆う部位が電子ビームの最外殻に対する表面の平均角度がピアス角に一致する形状に形成された、前記電子ビームを集束するためのウェネルト電極として働くリテーナと、
を有する電子銃。 - 前記カソードペレットは、
円板状である請求項1または2記載の電子銃。 - 前記リテーナの厚さが、
0.2mm以下、または前記カソードペレット直径の10%以下の少なくともいずれか一方を満たす請求項1乃至3のいずれか1項記載の電子銃。 - 前記カソードペレットの電子放出面の周縁を覆う部位の内径は、
前記カソードペレットの直径の90%である請求項1乃至4のいずれか1項記載の電子銃。 - 前記リテーナは、
前記カソードペレットの周縁を前記ヒータキャップに押圧するように、前記カソードペレットと当接する端部が折り返し形状に成形された請求項1乃至5のいずれか1項記載の電子銃。 - 前記リテーナは、
前記カソードペレットの周縁を前記ヒータキャップに押圧するように、前記カソードペレットと当接する端部が円弧形状に成形された請求項1乃至5のいずれか1項記載の電子銃。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004314232A JP4134000B2 (ja) | 2004-10-28 | 2004-10-28 | 電子銃 |
US11/251,786 US20060091776A1 (en) | 2004-10-28 | 2005-10-18 | Electron gun |
KR1020050098945A KR100751840B1 (ko) | 2004-10-28 | 2005-10-20 | 전자총 |
FR0553240A FR2877489B1 (fr) | 2004-10-28 | 2005-10-25 | Canon a electrons |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004314232A JP4134000B2 (ja) | 2004-10-28 | 2004-10-28 | 電子銃 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006127899A true JP2006127899A (ja) | 2006-05-18 |
JP4134000B2 JP4134000B2 (ja) | 2008-08-13 |
Family
ID=36177567
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004314232A Active JP4134000B2 (ja) | 2004-10-28 | 2004-10-28 | 電子銃 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060091776A1 (ja) |
JP (1) | JP4134000B2 (ja) |
KR (1) | KR100751840B1 (ja) |
FR (1) | FR2877489B1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10068738B2 (en) | 2014-06-30 | 2018-09-04 | Nec Network And Sensor Systems, Ltd. | Traveling wave tube and high-frequency circuit system |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103236388A (zh) * | 2013-04-16 | 2013-08-07 | 成都国光电气股份有限公司 | 一种行波管阴极加钼套结构及制作方法 |
CN105874554B (zh) * | 2013-12-30 | 2018-05-08 | 迈普尔平版印刷Ip有限公司 | 阴极配置、电子枪以及包括此电子枪的光刻系统 |
KR101641049B1 (ko) | 2014-11-06 | 2016-07-20 | 국방과학연구소 | 부품 교체 가능한 전자 총 |
US9697988B2 (en) | 2015-10-14 | 2017-07-04 | Advanced Ion Beam Technology, Inc. | Ion implantation system and process |
JP7092470B2 (ja) * | 2017-07-24 | 2022-06-28 | Necネットワーク・センサ株式会社 | 電子銃 |
DE102018123100A1 (de) | 2018-09-20 | 2020-03-26 | Thales Deutschland GmbH Electron Devices | Elektronenkanone |
RU2756845C1 (ru) * | 2020-12-28 | 2021-10-06 | Акционерное Общество "Наука И Инновации" | Катодно-подогревательный узел для электронно-лучевой пушки |
RU2766565C1 (ru) * | 2021-05-25 | 2022-03-15 | Акционерное Общество "Наука И Инновации" | Катодный узел с профилированным тепловым зазором для мощной электронно-лучевой пушки |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3107036B2 (ja) * | 1998-03-20 | 2000-11-06 | 日本電気株式会社 | 冷陰極搭載電子管用電子銃 |
US6492647B1 (en) * | 1999-05-07 | 2002-12-10 | Agere Systems, Inc. | Electron guns for lithography tools |
JP3293605B2 (ja) * | 1999-09-29 | 2002-06-17 | 日本電気株式会社 | 集束電極付電界放出型冷陰極搭載電子銃 |
JP3497147B2 (ja) * | 2001-09-19 | 2004-02-16 | 株式会社エー・イー・ティー・ジャパン | 超小形マイクロ波電子源 |
JP3996442B2 (ja) * | 2002-05-27 | 2007-10-24 | Necマイクロ波管株式会社 | 電子銃 |
-
2004
- 2004-10-28 JP JP2004314232A patent/JP4134000B2/ja active Active
-
2005
- 2005-10-18 US US11/251,786 patent/US20060091776A1/en not_active Abandoned
- 2005-10-20 KR KR1020050098945A patent/KR100751840B1/ko active IP Right Grant
- 2005-10-25 FR FR0553240A patent/FR2877489B1/fr active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10068738B2 (en) | 2014-06-30 | 2018-09-04 | Nec Network And Sensor Systems, Ltd. | Traveling wave tube and high-frequency circuit system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060091776A1 (en) | 2006-05-04 |
FR2877489B1 (fr) | 2015-07-03 |
KR100751840B1 (ko) | 2007-08-24 |
FR2877489A1 (fr) | 2006-05-05 |
KR20060054128A (ko) | 2006-05-22 |
JP4134000B2 (ja) | 2008-08-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100751840B1 (ko) | 전자총 | |
JP5800578B2 (ja) | X線管 | |
US9029795B2 (en) | Radiation generating tube, and radiation generating device and apparatus including the tube | |
JP2007066694A (ja) | X線管 | |
GB2121234A (en) | High power gridded inductive output linear electron beam tube | |
US20090251054A1 (en) | Collector and electron tube | |
US6774552B2 (en) | Electron gun | |
KR101992873B1 (ko) | 열방출을 높인 엑스레이 튜브 | |
US10950407B2 (en) | Electron gun | |
EP2239757B1 (en) | X-ray tube | |
AU763548B2 (en) | High energy X-ray tube | |
JP2021096951A (ja) | 陰極構体 | |
US3448325A (en) | Linear beam tube having a beam collector cooled by radiation through an infrared window | |
JP2000215819A (ja) | 進行波管 | |
US6635978B1 (en) | Electron tube with axial beam and pyrolitic graphite grid | |
US3476967A (en) | Electron discharge device with a gettering and collecting electrode | |
JP3067699B2 (ja) | 輻射冷却形進行波管 | |
CN214753635U (zh) | 一种微焦点x射线管 | |
JPS6347100B2 (ja) | ||
JP2677212B2 (ja) | 直線ビームマイクロ波管の製造方法 | |
JP2019140026A (ja) | 電子銃 | |
JPH0155745B2 (ja) | ||
JP2019220268A (ja) | 電子銃 | |
KR950010691Y1 (ko) | 음극선관용 전자총의 캐소드전극 | |
JPH10154467A (ja) | 進行波管 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060210 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060802 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060906 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061101 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070328 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080414 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080602 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110606 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4134000 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110606 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110606 Year of fee payment: 3 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110606 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120606 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120606 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130606 Year of fee payment: 5 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |