FR2877489A1 - Canon a electrons - Google Patents
Canon a electrons Download PDFInfo
- Publication number
- FR2877489A1 FR2877489A1 FR0553240A FR0553240A FR2877489A1 FR 2877489 A1 FR2877489 A1 FR 2877489A1 FR 0553240 A FR0553240 A FR 0553240A FR 0553240 A FR0553240 A FR 0553240A FR 2877489 A1 FR2877489 A1 FR 2877489A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- cathode
- retainer
- electron
- pellet
- electron gun
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims abstract description 83
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 24
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 claims description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 8
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 6
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 6
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000691 Re alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 3
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J23/00—Details of transit-time tubes of the types covered by group H01J25/00
- H01J23/02—Electrodes; Magnetic control means; Screens
- H01J23/06—Electron or ion guns
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J23/00—Details of transit-time tubes of the types covered by group H01J25/00
- H01J23/02—Electrodes; Magnetic control means; Screens
- H01J23/06—Electron or ion guns
- H01J23/065—Electron or ion guns producing a solid cylindrical beam
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J3/00—Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J3/02—Electron guns
- H01J3/024—Electron guns using thermionic emission of cathode heated by electron or ion bombardment or by irradiation by other energetic beams, e.g. by laser
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2225/00—Transit-time tubes, e.g. Klystrons, travelling-wave tubes, magnetrons
- H01J2225/02—Tubes with electron stream modulated in velocity or density in a modulator zone and thereafter giving up energy in an inducing zone, the zones being associated with one or more resonators
- H01J2225/10—Klystrons, i.e. tubes having two or more resonators, without reflection of the electron stream, and in which the stream is modulated mainly by velocity in the zone of the input resonator
- H01J2225/14—Klystrons, i.e. tubes having two or more resonators, without reflection of the electron stream, and in which the stream is modulated mainly by velocity in the zone of the input resonator with tube-like electron stream coaxial with the axis of the resonators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microwave Tubes (AREA)
Abstract
Une pastille de cathode (31) en forme de disque est installée et fixée par un dispositif de retenue (35) sur un capot de dispositif de chauffage (13) qui inclut un dispositif de chauffage (32). La partie de ce dispositif de retenue (35) qui couvre la périphérie de sa surface d'émission des électrons de la pastille de cathode (31) sert de partie d'électrode de Wehnelt (34). En variante, le dispositif de retenue (35) est formé de telle sorte que l'angle moyen de la surface par rapport à l'enveloppe la plus extérieure du faisceau d'électrons corresponde à l'angle de Pierce de telle sorte que la partie de ce dispositif de retenue (35) qui couvre la périphérie de la surface d'émission des électrons de la pastille de cathode (31) serve d'électrode de Wehnelt (34).
Description
2877489 1
CANON A ELECTRONS
Contexte de l'invention La présente invention concerne un canon à électrons utilisé dans un tube hyperfréquence tel qu'un tube à onde progressive ou un klystron, et plus particulièrement un canon à électrons de Pierce qui comprend une électrode de Wehnelt pour concentrer un faisceau d'électrons.
Description de l'art connexe
Les tubes à onde progressive et les klystrons sont des tubes à électrons destinés à amplifier des signaux haute fréquence au moyen de l'interaction entre un circuit haute fréquence et un faisceau d'électrons qui est émis par un canon à électrons. Ces tubes à électrons sont construits comme celui qui est présenté sur la figure 1. Ils comprennent: un canon à électrons 21 qui émet un faisceau d'électrons 50; un circuit haute fréquence 22 destiné à générer un interaction entre le faisceau d'électrons 50 émis par le canon à électrons 21 et des signaux haute fréquence (micro-ondes) ; un collecteur 23 destiné à capturer le faisceau d'électrons 50 émis depuis le circuit haute fréquence 22, et une électrode d'anode 24 destinée à guider le faisceau d'électrons 50 émis par le canon à électrons 21 dans le circuit haute fréquence 22.
Le faisceau d'électrons 50 émis par le canon à électrons 21 est accéléré par l'électrode d'anode 24 et guidé dans le circuit haute fréquence 22, et il progresse à l'intérieur tout en interagissant avec un signal haute fréquence appliqué en entrée depuis la borne d'entrée du circuit haute fréquence 22. Le faisceau d'électrons 50 fourni en sortie depuis l'intérieur du circuit haute fréquence 22 est capturé par le collecteur 23. A ce moment-là, le signal haute fréquence qui a été amplifié par l'interaction avec le faisceau d'électrons 50 est fourni en sortie depuis la borne de sortie du circuit haute fréquence 22.
Les canons à électrons 21 qui sont utilisés dans les tubes hyperfréquences tels que les tubes à ondes progressives et les klystrons de ce type appartiennent à de nombreux types connus, l'un d'eux étant le canon à électrons de Pierce qui comprend une électrode de Wehnelt destinée à concentrer le faisceau d'électrons.
La figure 2 présente une vue latérale en coupe de la configuration d'un canon à électrons de Pierce de l'art antérieur.
Ainsi que cela est illustré sur la figure 2, un canon à électrons de Pierce de l'art antérieur a une configuration qui comprend: une pastille de cathode 11 destinée à émettre des électrons thermiques; un dispositif de chauffage 12 destiné à appliquer de l'énergie thermique pour que la pastille de cathode 11 électrons thermiques; un capot de de chauffage 13 destiné à encapsuler le de chauffage 12; et une électrode de destinée à concentrer les électrons et à former le faisceau d'électrons 50.
Le capot du dispositif de chauffage 13 est construit comme un cylindre composé de molybdène (Mo) emette les dispositif dispositif Wehnelt 14 thermiques avec une extrémité fermée, la pastille de cathode 11 étant installée sur la surface fermée.
La pastille de cathode 11 est formée d'un substrat de tungstène poreux qui est imprégné d'un oxyde (matière émettrice) de baryum (Ba), calcium (Ca), ou d'aluminium (Al). La pastille de cathode 11 est formée approximativement en forme de disque convexe dans la direction axiale de l'émission d'électrons et elle comprend une indentation étagée autour de sa périphérie vue en coupe le long de l'axe d'émission des électrons, et elle a une forme telle que la surface d'émission des électrons est de forme plate ou concave faisant partie d'une surface sphérique, et telle que la surface sur le côté opposé à la surface d'émission des électrons est plate. La pastille de cathode 11 est fixée sur le capot du dispositif de chauffage 13 par la pression contre l'indentation susmentionnée vers la surface fermée, ladite pression étant exercée par un dispositif de retenue 15. Une pastille de cathode de cette forme est présentée, par exemple, dans le brevet JP-A 2003 346 671.
Le dispositif de retenue 15 est en forme de cylindre et utilise un métal réfractaire tel que le tantale (Ta), le molybdène (Mo), ou un alliage molybdène/rhénium (Mo-Re), l'extrémité du dispositif de retenue 15 qui n'est pas en contact avec la pastille de cathode étant collée au capot du dispositif de chauffage 13 par soudage ou brasage et solidarisation à la suite du positionnement de la pastille de cathode.
L'électrode de Wehnelt 14 est en forme de tore, comprend une ouverture au centre obtenue en usinant du métal tel que du molybdène et est fixée par soudage ou par brasage et solidarisation au bord de l'une des ouvertures dans l'enveloppe du canon à électrons 16, qui est de forme cylindrique.
Le capot du dispositif de chauffage 13 auquel la pastille de cathode 11 a été fixée est supporté à l'intérieur de l'enveloppe du canon à électrons 16 par des éléments de support métallique 17 qui sont composés de tantale (Ta), molybdène (Mo), d'alliage de molybdène/rhénium (Mo-Re), ou d'alliage de fer-nickelcobalt (Kovar: Kv). Il est fixé dans une position telle que la surface d'émission des électrons de la pastille de cathode 11 et la surface de l'électrode de Wenhelt 14 forment sensiblement un même plan. De plus, la surface de l'électrode de Wenhelt 14 sur le côté de l'électrode d'anode 24 est traitée pour avoir un angle de 67,5 (appelé angle de Pierce ) par rapport à l'enveloppe la plus extérieure du faisceau d'électrons 50 (voir la figure 2).
Dans le canon à électrons de Pierce de l'art antérieur présenté sur la figure 2, l'espacement de la pastille de cathode et de l'électrode de Wehnelt, c'est-à-dire la pervéance, doit correspondre à une valeur désignée avec un niveau de précision élevé de façon à concentrer les électrons qui sont émis par la pastille de cathode selon un diamètre de faisceau désiré. Il est également crucial de réduire la divergence dans la direction axiale de l'émission des électrons entre la surface d'émission des électrons de la pastille de cathode et la surface de l'électrode de Wehnelt.
Une variation importante de la pervéance ou de l'espace entre la pastille de cathode et l'électrode de Wehnelt dans la direction axiale de l'émission d'électrons entraîne des problèmes tels que la collision avec l'électrode d'anode des électrons qui sont émis par la pastille de cathode, ou la fluctuation du diamètre du faisceau d'électrons dans le circuit haute fréquence, ce qui entraîne qu'une partie du faisceau d'électrons frappe le circuit haute fréquence.
Ces problèmes entraînent une augmentation de la consommation électrique ou une réduction des performances d'amplification du tube hyperfréquence.
De plus, dans l'intérêt de réduire la consommation électrique dans un canon à électrons, l'énergie thermique produite par le dispositif de chauffage est de préférence transférée efficacement à la pastille de cathode, et en outre, la chaleur qui est transmise à la pastille de cathode n'est préférablement pas diffusée au moyen de l'enveloppe du canon à électrons ou de l'électrode de Wehnelt.
Dans le canon à électrons de Pierce de l'art antérieur présenté sur la figure 2, les éléments de support métalliques qui sont fixés dans des positions éloignées de la pastille de cathode sont utilisés pour supporter le capot du dispositif de chauffage à l'intérieur de l'enveloppe du canon à électrons de telle sorte que l'énergie thermique qui est transmise par le dispositif de chauffage à la pastille de cathode n'est pas diffusée par l'enveloppe du canon à électrons ou l'électrode de Wehnelt. Des problèmes ont donc été rencontrés étant donné que des gabarits et des outils de grande précision étaient nécessaires pour souder et fixer le capot du dispositif de chauffage de façon à maintenir, à des valeurs prescrites, la pervéance et la variation de l'espace dans la direction axiale de l'émission des électrons, entre la pastille de cathode et l'électrode de Wehnelt et également parce qu'une plage de variations étendue est apparue au cours de la fabrication.
De plus, quand la forme en coupe dans la direction axiale de l'émission d'électrons de la pastille de cathode est convexe, les électrons sont émis vers l'extérieur depuis la partie de la périphérie de la pastille de cathode qui n'est pas couverte par le dispositif de retenue (appelée cidessous émission latérale ), et cela donne lieu aux problèmes précédemment décrits relatifs au fait que les électrons émis depuis la pastille de cathode frappent l'électrode d'anode, et que la fluctuation du diamètre du faisceau d'électrons à l'intérieur du circuit haute fréquence fait qu'une partie du faisceau d'électrons frappe le circuit haute fréquence, empêchant ainsi l'obtention de bonnes caractéristiques d'émission des électrons. Il en résulte que les gabarits et les outils de haute précision décrits précédemment ont été utilisés pour réduire au minimum l'espace entre la pastille de cathode et l'électrode de Wehnelt, et que l'électrode de Wehnelt a également été positionnée pour précéder la surface de la cathode (du côté de l'électrode d'anode) de façon à concentrer les électrons qui ont été émis vers l'extérieur.
En outre, dans les communications hyperfréquences ces dernières années, les ondes radio de fréquences encore plus élevées sont préférées pour obtenir des volumes supérieurs et une utilisation plus efficace des ondes radio. La taille des tubes hyperfréquences s'est également réduite avec ce déplacement vers des ondes de fréquence plus élevées, et les canons à électrons sont donc maintenant fabriqués dans des tailles plus petites.
Cependant, étant donné le profil en coupe convexe dans la direction axiale de l'émission d'électrons de la pastille de cathode dans le canon à électrons de type Pierce de l'art antérieur qui est présenté sur la figure 2, l'épaisseur de la pastille de cathode doit être augmentée à un certain degré pour supporter la force de fixation appliquée par le dispositif de retenue. Le poids de la pastille de cathode a été augmenté en conséquence, et il a été nécessaire de rendre le dispositif de retenue plus épais et plus fort pour fixer la pastille de cathode sur le capot du dispositif de chauffage par brasage et soudage. Cette construction a donc empêché la réduction de la taille du canon à électrons.
Résumé de l'invention Un objet de la présente invention est d'offrir un canon à électrons qui permette moins de différences individuelles résultant des variations de la fabrication, et qui permette aussi d'obtenir de meilleures caractéristiques d'émission d'électrons.
Dans la présente invention qui peut parvenir à l'objet décrit ci-dessus, la périphérie d'une pastille de cathode en forme de disque est mise en prise avec le capot du dispositif de chauffage au moyen d'un dispositif de retenue, moyennant quoi la pastille de cathode est disposée et fixée sur le capot du dispositif de chauffage.
De plus, la pastille de cathode n'est pas seulement disposée et fixée sur le capot du dispositif de chauffage au moyen du dispositif de retenue, mais la forme du dispositif de retenue est choisie de telle sorte que l'angle moyen de la surface du dispositif de retenue par rapport à l'enveloppe la plus extérieure du faisceau d'électrons corresponde à l'angle de Pierce et de telle sorte que la partie du dispositif de retenue qui couvre la périphérie de la surface d'émission des électrons de la pastille de cathode fonctionne comme une électrode de Wehnelt.
Etant donné que la partie du dispositif de retenue qui couvre la périphérie de la surface d'émission des électrons fonctionne comme une électrode de Wehnelt dans la construction décrite ci-dessus, la pervéance et la divergence, dans la direction axiale de l'émission d'électrons, entre la surface d'émission des électrons de la pastille de cathode et la surface du dispositif de retenue qui fonctionne comme une électrode de Wehnelt sont uniformes, et les différences individuelles dans la relation positionnelle de l'électrode de Wehnelt et de la surface de la pastille de cathode sont réduites.
Ainsi, malgré l'occurrence de variations de fabrication dans l'espace entre le dispositif de retenue et l'électrode de Wehnelt qui est disposée à la périphérie du dispositif de retenue, l'influence sur le champ électrique de la surface de la pastille de cathode est réduite. De plus, l'émission latérale ne survient pas, parce que la périphérie de la pastille de cathode est couverte par le dispositif de retenue. Il en résulte que des canons à électrons qui offrent des caractéristiques excellentes d'émission d'électrons et dans lesquels les différences individuelles sont réduites peuvent être obtenus.
Les objets, caractéristiques et avantages de la présente invention, ainsi que d'autres, apparaîtront à la lecture de la description qui suit en référence avec les dessins annexés qui présentent des exemples de la présente invention.
Brève description des dessins
La figure 1 présente une vue en coupe latérale d'un exemple de la configuration d'un tube à onde progressive; la figure 2 est une vue en coupe latérale de la configuration d'un canon à électrons de l'art antérieur; la figure 3 est une vue en coupe latérale d'un exemple de la configuration d'un canon à électrons de 25 la présente invention; la figure 4 est une vue en coupe latérale de la configuration d'une modification du canon à électrons qui est présenté sur la figure 3; et la figure 5 est une vue en coupe latérale de la 30 configuration d'une autre modification du canon à électrons de la présente invention.
Description détaillée des modes de réalisation préférés La figure 3 est une vue en coupe latérale d'un exemple de la configuration d'un canon à électrons de la présente invention.
Ainsi que cela est illustré sur la figure 3, le canon à électrons de la présente invention est une configuration dans laquelle la pastille de cathode 31 est en forme de disque et la périphérie de la pastille de cathode 31 est mise en prise avec et pressée contre la surface fermée du capot du dispositif de chauffage 33 au moyen du dispositif de retenue 35, moyennant quoi la pastille de cathode 31 est fixée sur le capot du dispositif de chauffage 33.
Comme dans l'art antérieur, la pastille de cathode 31 est fixée dans une position telle que sa surface d'émission des électrons et la surface de l'électrode de Wehnelt 34 sont sensiblement dans un même plan. Ici, le dispositif de retenue 35 a une construction qui n'est saillante qu'en épaisseur par rapport à la surface d'émission des électrons de la pastille de cathode 31. La construction est autrement identique à celle d'un canon à électrons de l'art antérieur et l'explication de cette construction est par conséquent omise dans les présentes.
Dans le canon à électrons de la présente invention, la partie du dispositif de retenue 35 qui couvre la périphérie de la surface d'émission des électrons de la pastille de cathode 31 n'est pas utilisée seulement comme un élément de fixation pour fixer la pastille de cathode 31, mais elle fonctionne également comme une électrode de Wehnelt 34 pour concentrer les électrons.
Ainsi que cela est décrit précédemment, dans un canon à électrons de l'art antérieur, la forme convexe du profil de la pastille de cathode dans la direction axiale d'émission des électrons entraîne une augmentation de l'intensité du champ électrique à la périphérie (partie du bord). De plus, un champ électrique n'est pas formé parallèlement à la surface de la pastille de cathode, et les électrons sont donc émis vers l'extérieur. Il en résulte que les électrons qui ont été émis vers l'extérieur ont été concentrés en réduisant au minimum l'espace entre la pastille de cathode et l'électrode de Wehnelt, et également en disposant l'électrode de Wehnelt pour qu'elle précède la surface de la cathode (du côté de l'électrode d'anode).
Dans le canon à électrons de la présente invention, l'intensité du champ sur la partie du bord du dispositif de retenue 35 augmente parce que la périphérie (partie du bord) de la surface d'émission des électrons de la pastille de cathode 31 est couverte par le dispositif de retenue 35, mais la caractéristique de flux laminaire du faisceau d'électrons ne se détériore pas étant donné que les électrons ne sont pas émis depuis le dispositif de retenue 35.
De plus, dans le canon à électrons selon la présente invention, la relation positionnelle du dispositif de retenue 35 qui fonctionne comme électrode de Wehnelt 34 et de la surface de la pastille de cathode 31 est fixe, et la pervéance et la divergence dans la direction axiale d'émission des électrons entre la surface d'émission des électrons de la pastille de cathode 31 et la surface de l'électrode de Wehnelt 34 sont également fixes.
L'intensité du champ à la périphérie de la pastille de cathode 31 est déterminée sensiblement par la relation positionnelle avec le dispositif de retenue 35 et elle est donc virtuellement inchangée. De plus, l'émission latérale ne survient donc pas parce que la périphérie de la pastille de cathode 31 est couverte par le dispositif de retenue 35. La réduction des différences individuelles dans la relation positionnelle du dispositif de retenue 35 et de la surface de la pastille de cathode 31 entraîne une réduction de l'influence exercée sur le champ électrique de la surface de la pastille de cathode 31 en dépit des variations de fabrication dans l'espace entre le dispositif de retenue 35 et l'électrode de Wehnelt 34 qui est disposée à la périphérie du dispositif de retenue 35. Par conséquent, des canons à électrons peuvent être obtenus dans lesquels les différences individuelles sont limitées, et qui offrent des caractéristiques excellentes d'émission d'électrons.
En outre, dans le canon à électrons selon la présente invention, la pastille de cathode 31 est en forme de disque, et l'épaisseur de la pastille de cathode 31 dans la direction axiale d'émission des électrons peut donc être réduite par rapport à celle de l'art antérieur. La capacité thermique de la pastille de cathode 31 est donc réduite et la conductivité thermique du dispositif de chauffage 32 à la pastille de cathode 31 est améliorée. Le dispositif fonctionne donc avec une puissance de chauffage moindre, moyennant quoi la consommation d'énergie du tube hyperfréquence peut être réduite. De plus, la vitesse de la réponse thermique peut être accélérée et la durée de démarrage depuis la mise en route de l'alimentation électrique jusqu'au fonctionnement du canon à électrons peut donc être raccourcie.
De plus, dans le canon à électrons selon la présente invention, quand l'épaisseur du dispositif de retenue 35 est supérieure à 0,2 mm, ou quand l'épaisseur du dispositif de retenue 35 est supérieure à environ 10 % du diamètre de la pastille de cathode, l'intensité du champ électrique devient non uniforme depuis la partie centrale jusqu'à la partie périphérique de la surface de la pastille de cathode 31, moyennant quoi le problème survient lié au fait que les électrons de la partie périphérique de la pastille de cathode 31 sont émis vers la partie centrale et la caractéristique de flux laminaire du faisceau d'électrons ne peut pas être maintenue. L'épaisseur du dispositif de retenue 35 répond donc de préférence à l'une des conditions d'épaisseur inférieure à 0,2 mm ou inférieure à 10 % du diamètre de la pastille de cathode 31. L'épaisseur du dispositif de retenue 35 doit seulement être suffisante pour assurer la force nécessaire pour fixer la pastille de cathode 31, et une pastille de cathode 31 plus fine et plus légère facilite la réduction de l'épaisseur du dispositif de retenue 35.
En outre, dans le canon à électrons selon la présente invention, si l'angle de Pierce (67,5 ) par rapport au faisceau d'électrons, est adopté comme angle moyen, formé par la partie du dispositif de retenue 35 qui sert d'électrode de Wehnelt 34 avec la surface de l'électrode de Wehnelt 34, aucune limitation particulière ne doit être imposée sur la surface de la pastille de cathode 31 qui est couverte par le dispositif de retenue 35. Cependant, une couverture trop importante de la surface de la pastille de cathode 31 par le dispositif de retenue 35 gêne l'utilisation efficace de la pastille de cathode 31. D'autre part, une couverture insuffisante de la surface de la pastille de cathode 31 par le dispositif de retenue 35 diminue la fonction d'électrode de Wehnelt 34 du dispositif de retenue 35. Par conséquent, le diamètre intérieur du dispositif de retenue 35 qui couvre la périphérie de la surface de la pastille de cathode 31 est de préférence approximativement de 90 % du diamètre de la pastille de cathode 31.
Ainsi que cela a été décrit précédemment, le dispositif de retenue 35 est formé d'une plaque métallique réfractaire fine qui est composée, par exemple, de tantale (Ta), molybdène (Mo), ou d'alliage molybdène/rhénium (Mo-Re). D'autre part, le tungstène est utilisé comme matériau principal de la pastille de cathode 31, ainsi que cela est décrit ci-dessus. La différence entre le coefficient de dilatation thermique du dispositif de retenue 35 et le coefficient de dilatation thermique de la pastille de cathode 31 n'est pas grande, et la différence entre les coefficients de dilatation thermique n'entraîne pratiquement aucune diminution de la force de fixation de la pastille de cathode 31 due au dispositif de retenue 35. Cependant, pour empêcher même une légère réduction de la force, l'extrémité du dispositif de retenue 35 qui est en contact avec la pastille de cathode 31 doit être traitée pour avoir une forme retournée ainsi que cela est illustré sur la figure 4A, ou une forme d'arc ainsi que cela est illustré sur la figure 4B.
De plus, la surface d'émission d'électrons de la pastille de cathode 31 n'a pas besoin d'être plate ainsi que cela est illustré sur la figure 3, mais elle peut être traitée pour avoir une forme concave qui forme une partie d'une sphère ainsi que cela est illustré sur la figure 4C. Dans un tel cas, l'extrémité du dispositif de retenue 35 qui est en contact avec la pastille de cathode 31 doit être de forme retournée ainsi que cela est illustré sur la figure 4A, ou en forme d'arc ainsi que cela est illustré sur la figure 4B ou en forme courbée avec un angle supérieur à 90 par rapport à la surface concave.
Ainsi que cela a été décrit précédemment, le dispositif de retenue 35 sert d'électrode de Wehnelt 34 dans la présente invention, mais ce fait montre que toute configuration est possible tant que l'angle moyen entre la partie du dispositif de retenue 35 qui sert d'électrode de Wehnelt 34 et la surface de l'électrode de Wehnelt 34 est l'angle de Pierce par rapport au faisceau d'électrons. En d'autres termes, la fonction d'électrode de Wehnelt du dispositif de retenue 35 peut être réalisée en donnant au dispositif de retenue 35 sur le côté de la surface d'émission des électrons de la pastille de cathode 31 une forme d'entonnoir ou une forme qui comprend une forme d'entonnoir ainsi que cela est illustré sur les figures 5A à 5C. Dans un tel cas, l'électrode de Wehnelt 34 est inutile.
Selon le canon à électrons de la présente invention, la partie du dispositif de retenue 35 qui couvre la périphérie de la surface d'émission des électrons sert d'électrode de Wehnelt 34, fixant ainsi la pervéance et la divergence dans la direction axiale d'émission des électrons de la surface d'émission des électrons de la pastille de cathode 31 et de la surface du dispositif de retenue qui sert d'électrode de Wehnelt 34, et réduisant les différences individuelles dans la relation positionnelle entre l'électrode de Wehnelt 34 qui est formée par le dispositif de retenue 35 et la surface de la pastille de cathode 31. Il en résulte que l'influence sur le champ électrique de la surface de la pastille de cathode 31 est réduite en dépit de la survenue de variations, lors de la fabrication, de l'espace entre l'électrode de Wehnelt 34 qui est placée à la périphérie du dispositif de retenue 35 et le dispositif de retenue 35. En outre, l'émission latérale ne survient pas étant donné que la périphérie de la pastille de cathode 31 est couverte par le dispositif de retenue 35. Il en résulte que des canons à électrons qui offrent moins de différences individuelles et qui offrent des caractéristiques excellentes d'émission d'électrons peuvent être obtenus.
Bien que les modes de réalisation préférés de la présente invention aient été décrits en utilisant des
termes spécifiques, cette description est donnée
uniquement à titre d'illustration, et il faut comprendre que des modifications et des variantes peuvent être réalisées sans se départir de l'esprit ou
de la portée des revendications jointes.
Claims (1)
18 REVENDICATIONS
1. Canon à électrons caractérisé en ce qu'il comprend: une pastille de cathode (31) destinée à émettre des électrons; un capot de dispositif de chauffage (13) qui inclut un dispositif de chauffage (32) destiné à transmettre à ladite pastille de cathode (31) de l'énergie thermique pour provoquer l'émission d'électrons; une électrode de Wehnelt (34) destinée à concentrer un faisceau d'électrons qui est formé de telle sorte qu'un angle moyen de sa surface par rapport à une enveloppe la plus extérieure dudit faisceau d'électrons corresponde à l'angle de Pierce; et un dispositif de retenue (35) destiné à être mis en prise avec et à maintenir une périphérie de ladite pastille de cathode (31) audit capot du dispositif de chauffage (13) afin d'installer et de fixer ladite pastille de cathode (31) sur ledit capot du dispositif de chauffage (32), dans lequel une partie dudit dispositif de retenue (35) qui couvre la périphérie d'une surface d'émission d'électrons de ladite pastille de cathode (31) sert également de partie de ladite électrode de Wehnelt (34).
2. Canon à électrons caractérisé en ce qu'il comprend: une pastille de cathode (31) destinée à émettre des électrons; un capot de dispositif de chauffage (32) qui inclut un dispositif de chauffage (32) pour transmettre à ladite pastille de cathode (31) de l'énergie thermique pour provoquer l'émission d'électrons; et un dispositif de retenue (35) destiné à être mis en prise avec et à maintenir une périphérie de ladite pastille de cathode (31) audit capot du dispositif de chauffage (32) afin d'installer et de fixer ladite pastille de cathode (31) sur ledit capot du dispositif de chauffage (32), dans lequel une partie dudit dispositif de retenue (35) qui couvre la périphérie d'une surface d'émission d'électrons de ladite pastille de cathode (31) est formée de telle sorte que l'angle moyen d'une surface dudit dispositif de retenue (35) par rapport une enveloppe la plus extérieure d'un faisceau d'électrons corresponde à l'angle de Pierce de façon à servir également d'électrode de Wehnelt (34) pour concentrer ledit faisceau d'électrons.
3. Canon à électrons selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite pastille de cathode (31) est en forme de disque.
4. Canon à électrons selon la revendication 2, 25 caractérisé en ce que ladite pastille de cathode (31) est en forme de disque.
5. Canon à électrons (21) selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'épaisseur dudit dispositif de retenue (35) satisfait au moins l'une des deux conditions.
ladite épaisseur n'est pas supérieure à 0,2 mm; et ladite épaisseur n'est pas supérieure à 10 % du diamètre de ladite pastille de cathode (31).
6. Canon à électrons selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'épaisseur dudit dispositif de retenue (35) satisfait au moins l'une des deux conditions.
ladite épaisseur n'est pas supérieure à 0,2 mm; et ladite épaisseur n'est pas supérieure à 10 % du diamètre de ladite pastille de cathode (31).
7. Canon à électrons selon la revendication 1, caractérisé en ce que le diamètre intérieur de la partie qui couvre la périphérie de la surface d'émission des électrons de ladite pastille de cathode (31) est de 90 % du diamètre de ladite pastille de cathode (31).
8. Canon à électrons selon la revendication 2, caractérisé en ce que le diamètre intérieur de la partie qui couvre la périphérie de la surface d'émission des électrons de ladite pastille de cathode (31) est de 90 % du diamètre de ladite pastille de cathode (31).
9. Canon à électrons selon la revendication 1, 30 caractérisé en ce que ledit dispositif de retenue (35) a une forme dans laquelle une extrémité dudit dispositif de retenue (35) en contact avec ladite pastille de cathode (31) est recourbée de telle sorte que la périphérie de ladite pastille de cathode (31) est pressée contre ledit capot du dispositif de chauffage (32).
10. Canon à électrons selon la revendication 2, caractérisé en ce que ledit dispositif de retenue (35) a une forme dans laquelle une extrémité dudit dispositif de retenue (35) en contact avec ladite pastille de cathode (31) est recourbée de telle sorte que la périphérie de ladite pastille de cathode (31) est pressée contre ledit capot du dispositif de chauffage (32).
11. Canon à électrons selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit dispositif de retenue (35) a une forme dans laquelle une extrémité dudit dispositif de retenue (35) en contact avec ladite pastille de cathode (31) est en forme d'arc de telle sorte que la périphérie de ladite pastille de cathode (31) est pressée contre ledit capot du dispositif de chauffage (32).
12. Canon à électrons selon la revendication 2, caractérisé en ce que ledit dispositif de retenue (35) a une forme dans laquelle une extrémité dudit dispositif de retenue (35) en contact avec ladite pastille de cathode (31) est en forme d'arc de telle sorte que la périphérie de ladite pastille de cathode (31) est pressée contre ledit capot du dispositif de chauffage (32).
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004314232A JP4134000B2 (ja) | 2004-10-28 | 2004-10-28 | 電子銃 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2877489A1 true FR2877489A1 (fr) | 2006-05-05 |
FR2877489B1 FR2877489B1 (fr) | 2015-07-03 |
Family
ID=36177567
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR0553240A Active FR2877489B1 (fr) | 2004-10-28 | 2005-10-25 | Canon a electrons |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060091776A1 (fr) |
JP (1) | JP4134000B2 (fr) |
KR (1) | KR100751840B1 (fr) |
FR (1) | FR2877489B1 (fr) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103236388A (zh) * | 2013-04-16 | 2013-08-07 | 成都国光电气股份有限公司 | 一种行波管阴极加钼套结构及制作方法 |
WO2015101537A1 (fr) * | 2013-12-30 | 2015-07-09 | Mapper Lithography Ip B.V. | Ensemble cathode, canon à électrons et système de lithographie comprenant un canon à électrons de ce type |
JP5835822B1 (ja) | 2014-06-30 | 2015-12-24 | Necネットワーク・センサ株式会社 | 高周波回路システム |
KR101641049B1 (ko) | 2014-11-06 | 2016-07-20 | 국방과학연구소 | 부품 교체 가능한 전자 총 |
US9697988B2 (en) | 2015-10-14 | 2017-07-04 | Advanced Ion Beam Technology, Inc. | Ion implantation system and process |
JP7092470B2 (ja) * | 2017-07-24 | 2022-06-28 | Necネットワーク・センサ株式会社 | 電子銃 |
DE102018123100A1 (de) | 2018-09-20 | 2020-03-26 | Thales Deutschland GmbH Electron Devices | Elektronenkanone |
RU2756845C1 (ru) * | 2020-12-28 | 2021-10-06 | Акционерное Общество "Наука И Инновации" | Катодно-подогревательный узел для электронно-лучевой пушки |
RU2766565C1 (ru) * | 2021-05-25 | 2022-03-15 | Акционерное Общество "Наука И Инновации" | Катодный узел с профилированным тепловым зазором для мощной электронно-лучевой пушки |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3107036B2 (ja) * | 1998-03-20 | 2000-11-06 | 日本電気株式会社 | 冷陰極搭載電子管用電子銃 |
US6492647B1 (en) * | 1999-05-07 | 2002-12-10 | Agere Systems, Inc. | Electron guns for lithography tools |
JP3293605B2 (ja) * | 1999-09-29 | 2002-06-17 | 日本電気株式会社 | 集束電極付電界放出型冷陰極搭載電子銃 |
JP3497147B2 (ja) * | 2001-09-19 | 2004-02-16 | 株式会社エー・イー・ティー・ジャパン | 超小形マイクロ波電子源 |
JP3996442B2 (ja) * | 2002-05-27 | 2007-10-24 | Necマイクロ波管株式会社 | 電子銃 |
-
2004
- 2004-10-28 JP JP2004314232A patent/JP4134000B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-10-18 US US11/251,786 patent/US20060091776A1/en not_active Abandoned
- 2005-10-20 KR KR1020050098945A patent/KR100751840B1/ko active IP Right Grant
- 2005-10-25 FR FR0553240A patent/FR2877489B1/fr active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4134000B2 (ja) | 2008-08-13 |
KR100751840B1 (ko) | 2007-08-24 |
FR2877489B1 (fr) | 2015-07-03 |
US20060091776A1 (en) | 2006-05-04 |
KR20060054128A (ko) | 2006-05-22 |
JP2006127899A (ja) | 2006-05-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FR2877489A1 (fr) | Canon a electrons | |
US4942588A (en) | Laser device | |
US10609804B2 (en) | Laser driven lamp | |
US9224570B2 (en) | Vacuum encapsulated, high temperature diamond amplified cathode capsule and method for making same | |
JPH09129973A (ja) | 半導体レーザデバイスの製造方法 | |
EP0824758B1 (fr) | Canon a electrons a grille | |
FR2774508A1 (fr) | Dispositif a faisceau lineaire possedant une cathode et une anode | |
FR2771215A1 (fr) | Structure de collecteur de tube a onde progressive | |
FR2877765A1 (fr) | Tube electronique | |
EP0587481B1 (fr) | Tube électronique à structure radiale | |
US6774552B2 (en) | Electron gun | |
EP0048690B1 (fr) | Tube à gaz à décharge pour émission laser de puissance à très haute stabilité | |
EP0003937B1 (fr) | Cathode pour canon électronique | |
EP1055246B1 (fr) | Grille pour tube electronique a faisceau axial | |
WO2001099140A1 (fr) | Cathode a rendement thermique optimise | |
FR2925758A1 (fr) | Tube electronique a cavite resonnante | |
JPH10154467A (ja) | 進行波管 | |
WO2023148143A1 (fr) | Procédé de fabrication d'une anode pour une source à rayons x de type cathode froide | |
FR2765727A1 (fr) | Radiateur thermique utilise pour refroidir un tube a onde progressive par un rayonnement thermique | |
JP2020064804A (ja) | マグネトロン | |
US20060033432A1 (en) | Photomultiplier tube with improved light collection | |
JPS5837708B2 (ja) | キンゾクジヨウキレ−ザカン | |
FR2789222A1 (fr) | Canon a electrons et procede de fabrication de celui-ci | |
FR2775117A1 (fr) | Grille pour tube electronique a faisceau axial a performances ameliorees | |
FR2647257A1 (fr) | Cathode impregnee avec capacite reduite avec application aux tubes de visualisation du type indexation de faisceau, et tubes electroniques comprenant un tel dispositif |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TP | Transmission of property | ||
TP | Transmission of property |
Owner name: NEC NETWORK AND SENSOR SYSTEMS, LTD., JP Effective date: 20150908 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 11 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 12 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 13 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 14 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 15 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 16 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 17 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 18 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 19 |