JPS6347100B2 - - Google Patents
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- JPS6347100B2 JPS6347100B2 JP550181A JP550181A JPS6347100B2 JP S6347100 B2 JPS6347100 B2 JP S6347100B2 JP 550181 A JP550181 A JP 550181A JP 550181 A JP550181 A JP 550181A JP S6347100 B2 JPS6347100 B2 JP S6347100B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J23/00—Details of transit-time tubes of the types covered by group H01J25/00
- H01J23/02—Electrodes; Magnetic control means; Screens
- H01J23/04—Cathodes
Landscapes
- Microwave Tubes (AREA)
- Solid Thermionic Cathode (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はピアス形電子銃に用いられる含浸型
陰極の改良に関する。
陰極の改良に関する。
進行波管(TWT)、クライストロン等に代表
されるマイクロ波帯域で動作する直線ビーム電子
管は、電子ビームを射出・形成する電子銃、電磁
波を伝搬ないし誘導して電子ビームと相互作用を
行なう高周波回路、相互作用を終えた電子ビーム
を捕集するコレクタが直線的に走行する電子ビー
ム路に沿つて順に配置された構成をしている。こ
のうち、電子銃は通常、同心球殻を中心からある
立体角で切り取つた構造をしており、外側の球殻
の一部が陰極、内側が陽極となる。陽極には外部
電源によつて陰極に対して正の電位が与えられて
いる。陰極から射出される電子ビームは同心球殻
の中心に向つて集束され、陽極にあけられた穴を
通過して高周波回路の中に導びき入れられる。
されるマイクロ波帯域で動作する直線ビーム電子
管は、電子ビームを射出・形成する電子銃、電磁
波を伝搬ないし誘導して電子ビームと相互作用を
行なう高周波回路、相互作用を終えた電子ビーム
を捕集するコレクタが直線的に走行する電子ビー
ム路に沿つて順に配置された構成をしている。こ
のうち、電子銃は通常、同心球殻を中心からある
立体角で切り取つた構造をしており、外側の球殻
の一部が陰極、内側が陽極となる。陽極には外部
電源によつて陰極に対して正の電位が与えられて
いる。陰極から射出される電子ビームは同心球殻
の中心に向つて集束され、陽極にあけられた穴を
通過して高周波回路の中に導びき入れられる。
また球殻の一部を切り取つたことによる電位分
布の補正は陰極と同電位のウエネルト電極(ビー
ム形成電極)で行なう。
布の補正は陰極と同電位のウエネルト電極(ビー
ム形成電極)で行なう。
このような構成の電子銃を研究者にちなんでピ
アス形電子銃と呼んでいる。ピアス形電子銃の陰
極は、凹球面をなす電子放射面と陰極を加熱する
ヒータが取り付けられた面を二つの底面とする略
円柱状をなしており、ヒータにより所定の高温度
に加熱されて熱電子を放射する熱陰極である。
アス形電子銃と呼んでいる。ピアス形電子銃の陰
極は、凹球面をなす電子放射面と陰極を加熱する
ヒータが取り付けられた面を二つの底面とする略
円柱状をなしており、ヒータにより所定の高温度
に加熱されて熱電子を放射する熱陰極である。
マイクロ波管で使用される熱陰極の種類は、酸
化物陰極と含浸型陰極(Iカソード)が主要なも
のである。特に大電力管には後者の含浸型陰極が
使用されている。
化物陰極と含浸型陰極(Iカソード)が主要なも
のである。特に大電力管には後者の含浸型陰極が
使用されている。
含浸型陰極は多孔質タングステンにバリウム・
カルシウム・アルミニウムの酸化物を含浸させた
もので動作温度は950〜1150℃と高いが動作電流
密度は5A/cm2程度迄取れる大きい利点を有して
いる。
カルシウム・アルミニウムの酸化物を含浸させた
もので動作温度は950〜1150℃と高いが動作電流
密度は5A/cm2程度迄取れる大きい利点を有して
いる。
一方含浸型陰極を使用した従来の電子銃の問題
点として、動作温度が高いことに起因している耐
圧不良、真空度劣化、材料疲労等他に、電子ビー
ム集束上の問題があつた。
点として、動作温度が高いことに起因している耐
圧不良、真空度劣化、材料疲労等他に、電子ビー
ム集束上の問題があつた。
第1図は従来の含浸型陰極を用いたピアス形電
子銃の縦断面図である。多孔質(気孔率約18%)
タングステン基体にバリウム・カルシウム・アル
ミニウムの酸化物を含浸させた陰極1は略円柱状
をなしている。陽極2に対向する電子放射面3は
凹球面でその反対側にはモリブデン製の円筒4が
ろう付けまたは溶接によつて取り付けられ、その
中にヒータ5がアルミナ焼結体6の中に埋め込ま
れて設置されている。ヒータ5によつて陰極1は
約1050℃に加熱され熱電子が放射される。陰極1
と同電位のウエネルト電極7の作用によつて電子
ビーム8となつて陽極2の穴を通過して高周波回
路(図示せず)に導びき入れられる。
子銃の縦断面図である。多孔質(気孔率約18%)
タングステン基体にバリウム・カルシウム・アル
ミニウムの酸化物を含浸させた陰極1は略円柱状
をなしている。陽極2に対向する電子放射面3は
凹球面でその反対側にはモリブデン製の円筒4が
ろう付けまたは溶接によつて取り付けられ、その
中にヒータ5がアルミナ焼結体6の中に埋め込ま
れて設置されている。ヒータ5によつて陰極1は
約1050℃に加熱され熱電子が放射される。陰極1
と同電位のウエネルト電極7の作用によつて電子
ビーム8となつて陽極2の穴を通過して高周波回
路(図示せず)に導びき入れられる。
このような従来の電子銃においては、陰極1と
ウエネルト電極7を組立上離さなければならない
ため第2図に拡大して示すように、電子放射面3
からでなく略円柱状をなす陰極1の円周側面9の
上端部からも電子が放射されていた。陰極側面か
ら放射された電子は電子ビームの最外殻を形成
し、しかもピアス形電子銃の設計上考慮されてい
ないため、陽極あるいは高周波回路へ衝突しやす
く電子ビーム集束上の問題を種々ひき起こしてい
た。このことを防止するため、第3図に示すよう
に電子放射面3の端部までモリブデン円筒4をか
ぶせる方法がある。モリブデン円筒4は活性体で
はないので陰極側面からの不要な電子放射はな
い。
ウエネルト電極7を組立上離さなければならない
ため第2図に拡大して示すように、電子放射面3
からでなく略円柱状をなす陰極1の円周側面9の
上端部からも電子が放射されていた。陰極側面か
ら放射された電子は電子ビームの最外殻を形成
し、しかもピアス形電子銃の設計上考慮されてい
ないため、陽極あるいは高周波回路へ衝突しやす
く電子ビーム集束上の問題を種々ひき起こしてい
た。このことを防止するため、第3図に示すよう
に電子放射面3の端部までモリブデン円筒4をか
ぶせる方法がある。モリブデン円筒4は活性体で
はないので陰極側面からの不要な電子放射はな
い。
しかし、この場合には電子放射面3とウエネル
ト電極(図示せず)の間が離れすぎ、ウエネルト
電極の作用を効果的にすることができず良好な電
子ビーム集束特性が得られないという欠点があつ
た。
ト電極(図示せず)の間が離れすぎ、ウエネルト
電極の作用を効果的にすることができず良好な電
子ビーム集束特性が得られないという欠点があつ
た。
したがつて、この発明の目的はピアス形電子銃
の略円柱状をなす含浸型陰極側面からの電子放射
を電子放射面とウエネルト電極間の距離を小さく
し、良好な電子ビーム集束特性が得られる含浸型
陰極を提供することにある。
の略円柱状をなす含浸型陰極側面からの電子放射
を電子放射面とウエネルト電極間の距離を小さく
し、良好な電子ビーム集束特性が得られる含浸型
陰極を提供することにある。
この発明による含浸型陰極は、多孔質タングス
テン基体がバリウム・カルシウム・アルミニウム
の酸化共融混合物で含浸され、凹球面をなす電子
放射面とヒータ取り付け面を底面とする略円筒状
をなし、円周側面の電子放射面に近い側面の一部
が絶縁性被膜によつて封孔処理をされていること
を特徴としている。
テン基体がバリウム・カルシウム・アルミニウム
の酸化共融混合物で含浸され、凹球面をなす電子
放射面とヒータ取り付け面を底面とする略円筒状
をなし、円周側面の電子放射面に近い側面の一部
が絶縁性被膜によつて封孔処理をされていること
を特徴としている。
次に実施例について説明する。
第4図は本発明による含浸型陰極10とモリブ
デン製の支持円筒4およびアルミナ焼結体6の中
に埋め込まれたヒータ5の組立体11を示してい
る。含浸型陰極10は次のような工程でつくられ
る。
デン製の支持円筒4およびアルミナ焼結体6の中
に埋め込まれたヒータ5の組立体11を示してい
る。含浸型陰極10は次のような工程でつくられ
る。
まず、約5ミクロンの粒径のタングステン粉末
をプレスし2200℃で焼結して気孔率18%の多孔質
タングステンのインゴツトをつくる。ついで、例
えば無酸素銅を含浸させて機械加工性を良くし所
定の寸法に加工する。銅は1800℃の真空処理を行
なうことによつて完全に除去される。次にロー付
けあるいは溶接によつてモリブデン円筒4に接合
させる。そのあと、あらかじめタングステンの細
線をコイル状に巻回してつくられたヒータ5をア
ルミナ粉末と有機バインダの混練物といつしよに
モリブデン円筒4の中に設置して約1700℃で混練
物を焼結させる。ついで、酸化バリウム・酸化カ
ルシウム・酸化アルミニウムを(4:1:1)の
モル比に調合したものを、凹球面をなす電子放射
面3の上にのせ、1600℃で溶融・含浸させる。こ
こまでは従来の製法と何ら変りはない。このよう
にしてつくられた含浸型陰極10の円周側面に本
発明であるアルミナ等の絶縁物から成る被膜12
を溶融噴射コーテイング法にて形成する。このア
ルミナ被膜12は、アルミナセラミツクのロツド
を酸素―アセチレンガン内で燃焼、溶融し、圧縮
空気でスプレーする方法により形成される。この
被膜の厚さは自由に制御出来、この場合5〜20μ
程度で良い。これで本発明の陰極が出来上がる。
をプレスし2200℃で焼結して気孔率18%の多孔質
タングステンのインゴツトをつくる。ついで、例
えば無酸素銅を含浸させて機械加工性を良くし所
定の寸法に加工する。銅は1800℃の真空処理を行
なうことによつて完全に除去される。次にロー付
けあるいは溶接によつてモリブデン円筒4に接合
させる。そのあと、あらかじめタングステンの細
線をコイル状に巻回してつくられたヒータ5をア
ルミナ粉末と有機バインダの混練物といつしよに
モリブデン円筒4の中に設置して約1700℃で混練
物を焼結させる。ついで、酸化バリウム・酸化カ
ルシウム・酸化アルミニウムを(4:1:1)の
モル比に調合したものを、凹球面をなす電子放射
面3の上にのせ、1600℃で溶融・含浸させる。こ
こまでは従来の製法と何ら変りはない。このよう
にしてつくられた含浸型陰極10の円周側面に本
発明であるアルミナ等の絶縁物から成る被膜12
を溶融噴射コーテイング法にて形成する。このア
ルミナ被膜12は、アルミナセラミツクのロツド
を酸素―アセチレンガン内で燃焼、溶融し、圧縮
空気でスプレーする方法により形成される。この
被膜の厚さは自由に制御出来、この場合5〜20μ
程度で良い。これで本発明の陰極が出来上がる。
このようにしてつくられた含浸陰極10の円周
側面はアルミナ被膜によつて封孔されてバリウム
の単原子層(電気的二重層)が形成されないので
この部分から電子は放射されない。また、アルミ
ナ被膜の厚さは数十ミクロン以下であるのでウエ
ネルト電極を陰極から組立上に必要な距離だけ離
れた位置に設置できるので陰極端部から放射した
電子に対しても十分な作用を及ぼすことができ電
子ビーム集束上の問題を惹起しない。
側面はアルミナ被膜によつて封孔されてバリウム
の単原子層(電気的二重層)が形成されないので
この部分から電子は放射されない。また、アルミ
ナ被膜の厚さは数十ミクロン以下であるのでウエ
ネルト電極を陰極から組立上に必要な距離だけ離
れた位置に設置できるので陰極端部から放射した
電子に対しても十分な作用を及ぼすことができ電
子ビーム集束上の問題を惹起しない。
尚、被膜形成方法としては本発明で述べた通称
ロツドスプレー法の他にプラズマ溶射法等もあ
り、材質もアルミナ、マグネシア等の酸化物セラ
ミツクスや炭化物セラミツクス等種々選択するこ
とが可能である。この様なセラミツクス材は金属
と異なりバリウム付着によつて電気的二重層が出
来ない大きな利点を有している。
ロツドスプレー法の他にプラズマ溶射法等もあ
り、材質もアルミナ、マグネシア等の酸化物セラ
ミツクスや炭化物セラミツクス等種々選択するこ
とが可能である。この様なセラミツクス材は金属
と異なりバリウム付着によつて電気的二重層が出
来ない大きな利点を有している。
本発明による含浸型陰極を用いれば、含浸型陰
極としての電子放射特性は従来のものと何ら変わ
りなく、かつ陰極側面からの不要な電子放射が阻
止され、電子ビーム集束特性の良好なピアス形電
子銃を得ることができ、ひいては高周波特性の良
好なマイクロ波電子管を得ることができる。
極としての電子放射特性は従来のものと何ら変わ
りなく、かつ陰極側面からの不要な電子放射が阻
止され、電子ビーム集束特性の良好なピアス形電
子銃を得ることができ、ひいては高周波特性の良
好なマイクロ波電子管を得ることができる。
第1図は従来の含浸型陰極を用いたピアス形電
子銃の縦断面図、第2図は第1図の陰極端部の拡
大図、第3図は別の従来技術による含浸型陰極の
断面図、第4図は本発明の一実施例における含浸
型陰極の断面図である。 1……従来技術による含浸型陰極、2……陽
極、3……含浸陰極の電子放射面、4……モリブ
デン製の支持円筒、5……ヒータ、6……アルミ
ナ焼結体、7……ウエネルト電極、8……電子ビ
ーム、9……含浸陰極の円周側面、10……本発
明による含浸陰極、11……含浸陰極とモリブデ
ン製の支持円筒、ヒータ、アルミナ焼成体の組立
体、12……アルミナ質等絶縁性被膜。
子銃の縦断面図、第2図は第1図の陰極端部の拡
大図、第3図は別の従来技術による含浸型陰極の
断面図、第4図は本発明の一実施例における含浸
型陰極の断面図である。 1……従来技術による含浸型陰極、2……陽
極、3……含浸陰極の電子放射面、4……モリブ
デン製の支持円筒、5……ヒータ、6……アルミ
ナ焼結体、7……ウエネルト電極、8……電子ビ
ーム、9……含浸陰極の円周側面、10……本発
明による含浸陰極、11……含浸陰極とモリブデ
ン製の支持円筒、ヒータ、アルミナ焼成体の組立
体、12……アルミナ質等絶縁性被膜。
Claims (1)
- 1 多孔質タングステン基体がバリウム・カルシ
ウム・アルミニウムの酸化共融混合物で含浸さ
れ、凹球面をなす電子放射面とヒータ取り付け面
を底面とする略円柱状をなし、円周側面の電子放
射面に近い側面の一部が電気的絶縁物から成る被
膜を溶融コーテイング法によつて形成、封孔処理
されていることを特徴とする含浸型陰極。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP550181A JPS57119436A (en) | 1981-01-16 | 1981-01-16 | Impregnated type cathode |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP550181A JPS57119436A (en) | 1981-01-16 | 1981-01-16 | Impregnated type cathode |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS57119436A JPS57119436A (en) | 1982-07-24 |
JPS6347100B2 true JPS6347100B2 (ja) | 1988-09-20 |
Family
ID=11612958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP550181A Granted JPS57119436A (en) | 1981-01-16 | 1981-01-16 | Impregnated type cathode |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS57119436A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0146383B1 (en) * | 1983-12-20 | 1992-08-26 | Eev Limited | Apparatus for forming electron beams |
JPH0624095B2 (ja) * | 1984-12-14 | 1994-03-30 | 株式会社東芝 | 含浸形陰極の製造方法 |
JP5183115B2 (ja) * | 2007-07-20 | 2013-04-17 | 三菱電機株式会社 | X線発生装置 |
-
1981
- 1981-01-16 JP JP550181A patent/JPS57119436A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS57119436A (en) | 1982-07-24 |
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