JP2006124419A - エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ハロゲン系難燃剤、及びアンチモン化合物を含まず、難燃性、高温保管特性、及び耐湿信頼性に優れた半導体封止用エポキシ樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】 (A)エポキシ樹脂、(B)フェノール樹脂、(C)硬化促進剤、(D)水酸化アルミニウム、(E)前記水酸化アルミニウムを除く無機充填材を必須成分とし、前記水酸化アルミニウムが温純水による洗浄処理を行った水酸化アルミニウムであり、かつ前記水酸化アルミニウムに含まれる全Na2O量が0.1重量%以下、熱水抽出Na2O量が0.03重量%以下であることを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
【解決手段】 (A)エポキシ樹脂、(B)フェノール樹脂、(C)硬化促進剤、(D)水酸化アルミニウム、(E)前記水酸化アルミニウムを除く無機充填材を必須成分とし、前記水酸化アルミニウムが温純水による洗浄処理を行った水酸化アルミニウムであり、かつ前記水酸化アルミニウムに含まれる全Na2O量が0.1重量%以下、熱水抽出Na2O量が0.03重量%以下であることを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
Description
本発明は、ハロゲン系難燃剤、アンチモン化合物を含まず、難燃性、耐湿信頼性に優れた半導体封止用エポキシ樹脂組成物、及び半導体装置に関するものである。
従来、ダイオード、トランジスタ、集積回路等の電子部品は、主にエポキシ樹脂組成物で封止されている。これらのエポキシ樹脂組成物中には、難燃性を付与するために、通常、ハロゲン系難燃剤、及びアンチモン化合物が配合されている。ところが、環境・衛生の点からハロゲン系難燃剤、及びアンチモン化合物を使用しないで、難燃性に優れたエポキシ樹脂組成物の開発が要求されている。
又はロゲン系難燃剤及びアンチモン化合物を含むエポキシ樹脂組成物で封止された半導体装置を高温下で保管した場合、これらの難燃剤成分から熱分解したハロゲン化物が遊離し、半導体素子の接合部を腐食し、半導体装置の信頼性を損なうことが知られており、難燃剤としてハロゲン系難燃剤とアンチモン化合物を使用しなくても難燃グレードがUL−94のV−0を達成できるエポキシ樹脂組成物が要求されている。
このように、半導体装置を高温下(例えば、185℃等)に保管した後の半導体素子の接合部(ボンディングパッド部)の耐腐食性のことを高温保管特性といい、この高温保管特性を改善する手法としては、五酸化二アンチモンを使用する方法(例えば、特許文献1参照。)や、酸化アンチモンと有機ホスフィンとを組み合わせる方法(例えば、特許文献2参照。)等が提案され、効果が確認されているが、最近の半導体装置に対する高温保管特性の高い要求レベルに対して、エポキシ樹脂組成物の種類によっては不満足なものもある。
ハロゲン系難燃剤、及びアンチモン化合物に代わる難燃剤として水酸化アルミニウムを添加する方法(例えば、特許文献3、4参照。)が提案されており、水酸化アルミニウムの添加により難燃性を維持し、高温保管特性も改善できる。しかし水酸化アルミニウムの工業的製法はバイヤー法とよばれる水酸化ナトリウム水溶液中での析出法であり、Na2Oを含んだ水酸化アルミニウムしか得られないという欠点がある。Na2O含有量が多い水酸化アルミニウムを半導体封止樹脂に用いた場合には、水酸化アルミニウムから溶出するナトリウムイオンが原因となって硬化物の電気的特性を低下させ、半導体装置の耐湿信頼性を劣化させるために、Na2O量の少ない水酸化アルミニウムが望まれている。
即ち、難燃性を維持し、ハロゲン系難燃剤、及びアンチモン化合物を使用しない高温保管特性、耐湿信頼性に優れたエポキシ樹脂組成物が求められている。
又はロゲン系難燃剤及びアンチモン化合物を含むエポキシ樹脂組成物で封止された半導体装置を高温下で保管した場合、これらの難燃剤成分から熱分解したハロゲン化物が遊離し、半導体素子の接合部を腐食し、半導体装置の信頼性を損なうことが知られており、難燃剤としてハロゲン系難燃剤とアンチモン化合物を使用しなくても難燃グレードがUL−94のV−0を達成できるエポキシ樹脂組成物が要求されている。
このように、半導体装置を高温下(例えば、185℃等)に保管した後の半導体素子の接合部(ボンディングパッド部)の耐腐食性のことを高温保管特性といい、この高温保管特性を改善する手法としては、五酸化二アンチモンを使用する方法(例えば、特許文献1参照。)や、酸化アンチモンと有機ホスフィンとを組み合わせる方法(例えば、特許文献2参照。)等が提案され、効果が確認されているが、最近の半導体装置に対する高温保管特性の高い要求レベルに対して、エポキシ樹脂組成物の種類によっては不満足なものもある。
ハロゲン系難燃剤、及びアンチモン化合物に代わる難燃剤として水酸化アルミニウムを添加する方法(例えば、特許文献3、4参照。)が提案されており、水酸化アルミニウムの添加により難燃性を維持し、高温保管特性も改善できる。しかし水酸化アルミニウムの工業的製法はバイヤー法とよばれる水酸化ナトリウム水溶液中での析出法であり、Na2Oを含んだ水酸化アルミニウムしか得られないという欠点がある。Na2O含有量が多い水酸化アルミニウムを半導体封止樹脂に用いた場合には、水酸化アルミニウムから溶出するナトリウムイオンが原因となって硬化物の電気的特性を低下させ、半導体装置の耐湿信頼性を劣化させるために、Na2O量の少ない水酸化アルミニウムが望まれている。
即ち、難燃性を維持し、ハロゲン系難燃剤、及びアンチモン化合物を使用しない高温保管特性、耐湿信頼性に優れたエポキシ樹脂組成物が求められている。
本発明は、ハロゲン系難燃剤、及びアンチモン化合物を含まず、難燃性、高温保管特性、及び耐湿信頼性に優れた半導体封止用エポキシ樹脂組成物、及びこれを用いて半導体素子を封止してなる半導体装置を提供するものである。
本発明は、
[1] (A)エポキシ樹脂、(B)フェノール樹脂、(C)硬化促進剤、(D)水酸化アルミニウム、(E)前記水酸化アルミニウムを除く無機充填材を必須成分とし、前記水酸化アルミニウムに含まれる全Na2O量が0.1重量%以下、熱水抽出Na2O量が0.03重量%以下であることを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
[2] 前記水酸化アルミニウムが温純水による洗浄処理を行った水酸化アルミニウムである第[1]項記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
[3] 前記水酸化アルミニウムがカップリング剤によって表面処理されたものを含む第[1]又は[2]項記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
[4] 前記水酸化アルミニウムの平均粒径が1〜20μmであり、最大粒径が75μm以下である第[1]、[2]又は[3]項記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
[5] 前記水酸化アルミニウムが全エポキシ樹脂組成物中に1〜20重量%含まれる第[1]ないし[4]項のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
[6] 全エポキシ樹脂組成物中に含まれる臭素原子及びアンチモン原子がともに0.1重量%未満である第[1]ないし[5]項のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
[7] 第[1]ないし[6]項のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置、
である。
[1] (A)エポキシ樹脂、(B)フェノール樹脂、(C)硬化促進剤、(D)水酸化アルミニウム、(E)前記水酸化アルミニウムを除く無機充填材を必須成分とし、前記水酸化アルミニウムに含まれる全Na2O量が0.1重量%以下、熱水抽出Na2O量が0.03重量%以下であることを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
[2] 前記水酸化アルミニウムが温純水による洗浄処理を行った水酸化アルミニウムである第[1]項記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
[3] 前記水酸化アルミニウムがカップリング剤によって表面処理されたものを含む第[1]又は[2]項記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
[4] 前記水酸化アルミニウムの平均粒径が1〜20μmであり、最大粒径が75μm以下である第[1]、[2]又は[3]項記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
[5] 前記水酸化アルミニウムが全エポキシ樹脂組成物中に1〜20重量%含まれる第[1]ないし[4]項のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
[6] 全エポキシ樹脂組成物中に含まれる臭素原子及びアンチモン原子がともに0.1重量%未満である第[1]ないし[5]項のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物、
[7] 第[1]ないし[6]項のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置、
である。
本発明に従うと、ハロゲン系難燃剤、及びアンチモン化合物を含まず、難燃性に優れた半導体封止用エポキシ樹脂組成物が得られ、これを用いた半導体装置は高温保管特性、及び耐湿信頼性に優れる。
本発明は、水酸化アルミニウムを必須成分として含み、前記水酸化アルミニウムが温純水による洗浄処理を行った水酸化アルミニウムであり、かつ前記水酸化アルミニウムに含まれる全Na2O量が0.1重量%以下、熱水抽出Na2O量が0.03重量%以下であることにより、ハロゲン系難燃剤、及びアンチモン化合物を含まずに難燃性に優れ、かつ高温保管特性、及び耐湿信頼性に優れる半導体装置が得られる半導体封止用エポキシ樹脂組成物を提供するものである。
以下、本発明について詳細に説明する。
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明に用いるエポキシ樹脂としては、1分子内にエポキシ基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般を言い、その分子量、分子構造を特に限定するものではないが、例えば、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、スチルベン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、アルキル変性トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、トリアジン核含有エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂(フェニレン骨格、ビフェニレン骨格等を有する)等が挙げられ、これらは単独でも2種類以上併用して用いても差し支えない。
本発明に用いるフェノール樹脂としては、1分子内にフェノール性水酸基を2個以上有するモノマー、オリゴマー、ポリマー全般を言い、その分子量、分子構造を特に限定するものではないが、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、トリフェノールメタン型樹脂、フェノールアラルキル樹脂(フェニレン骨格、ビフェニレン骨格等を有する)、ナフトールアラルキル樹脂(フェニレン骨格、ビフェニレン骨格等を有する)等が挙げられ、これらは単独でも2種類以上併用して用いても差し支えない。これらの内では特に、フェノールノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン変性フェノール樹脂、フェノールアラルキル樹脂、ナフトールアラルキル樹脂、テルペン変性フェノール樹脂等が好ましい。
エポキシ樹脂とフェノール樹脂の配合量としては、全エポキシ樹脂のエポキシ基数と全フェノール樹脂のフェノール性水酸基数の比で0.8〜1.3が好ましい。
エポキシ樹脂とフェノール樹脂の配合量としては、全エポキシ樹脂のエポキシ基数と全フェノール樹脂のフェノール性水酸基数の比で0.8〜1.3が好ましい。
本発明に用いる硬化促進剤としては、エポキシ基とフェノール性水酸基との硬化反応を促進させるものであればよく、一般に封止材料に使用するものを用いることができる。例えば、1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−7、トリフェニルホスフィン、2−メチルイミダゾール、テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート等が挙げられ、これらは単独でも2種類以上併用して用いても差し支えない。
本発明に用いる水酸化アルミニウムは難燃剤として作用し、その難燃機構としては、燃焼時に水酸化アルミニウムが脱水分解を開始し、吸熱することによって燃焼反応を阻害するものである。また、硬化した樹脂成分の炭化を促進することが知られており、硬化物表面に酸素を遮断する難燃層を形成すると考えられる。
本発明に用いる水酸化アルミニウムは、水酸化アルミニウムに含まれる全Na2Oが0.1重量%以下、熱水抽出Na2Oが0.03重量%以下であることを必須とする。水酸化アルミニウムに含まれる全Na2Oを0.1重量%以下、熱水抽出Na2Oを0.03重量%以下とするには、温純水によって洗浄処理する方法等を用いることができる。該洗浄処理に使用する温純水の温度は、少なくとも40℃以上が望ましい。特に好ましくは80℃以上で、80℃以上の温純水を使用すると高い洗浄効果が得られる。水酸化アルミニウムに含まれる全Na2Oが0.1重量%を超えると、水酸化アルミニウム内部から表面、さらには外部へ溶出するナトリウムイオンの量が多くなり、ナトリウムイオンによる半田応対回路の腐食が進み易くなり半田応対装置の耐湿信頼性が低下する。さらに熱水抽出Na2Oが0.03重量%を超えると水酸化アルミニウム粒子表面付近から溶出するナトリウムイオンの量が多くなりナトリウムイオンによる半導体回路の腐食が進み易くなり半導体装置の耐湿信頼性が低下する。
水酸化アルミニウムの全Na2O量は以下の方法で求めることができる。水酸化アルミニウムを希硫酸で加熱溶解し、得られた溶液からJIS H1901−1977準拠の炎光光度法によりナトリウム量を測定し、Na2O換算する。また、水酸化アルミニウムの熱水抽出Na2O量は以下の方法で求めることができる。水酸化アルミニウムに純水を加え、80℃〜95℃で2時間熱水抽出した後、ろ過して得られた溶液からJIS H1901−1977準拠の炎光光度法によりナトリウム量を測定し、Na2O換算する。
本発明に用いる水酸化アルミニウムは、水酸化アルミニウムに含まれる全Na2Oが0.1重量%以下、熱水抽出Na2Oが0.03重量%以下であることを必須とする。水酸化アルミニウムに含まれる全Na2Oを0.1重量%以下、熱水抽出Na2Oを0.03重量%以下とするには、温純水によって洗浄処理する方法等を用いることができる。該洗浄処理に使用する温純水の温度は、少なくとも40℃以上が望ましい。特に好ましくは80℃以上で、80℃以上の温純水を使用すると高い洗浄効果が得られる。水酸化アルミニウムに含まれる全Na2Oが0.1重量%を超えると、水酸化アルミニウム内部から表面、さらには外部へ溶出するナトリウムイオンの量が多くなり、ナトリウムイオンによる半田応対回路の腐食が進み易くなり半田応対装置の耐湿信頼性が低下する。さらに熱水抽出Na2Oが0.03重量%を超えると水酸化アルミニウム粒子表面付近から溶出するナトリウムイオンの量が多くなりナトリウムイオンによる半導体回路の腐食が進み易くなり半導体装置の耐湿信頼性が低下する。
水酸化アルミニウムの全Na2O量は以下の方法で求めることができる。水酸化アルミニウムを希硫酸で加熱溶解し、得られた溶液からJIS H1901−1977準拠の炎光光度法によりナトリウム量を測定し、Na2O換算する。また、水酸化アルミニウムの熱水抽出Na2O量は以下の方法で求めることができる。水酸化アルミニウムに純水を加え、80℃〜95℃で2時間熱水抽出した後、ろ過して得られた溶液からJIS H1901−1977準拠の炎光光度法によりナトリウム量を測定し、Na2O換算する。
水酸化アルミニウムの平均粒径としては、1〜20μmが好ましく、より好ましくは1〜15μmである。また最大粒径としては75μm以下が好ましい。平均粒径が下限値を下回ると、Na2Oを多く取り込みやすくなる傾向にあり、また上限値を超えると、比表面積が小さくなり、難燃性が不足する可能性がある。
水酸化アルミニウムの含有量としては、全エポキシ樹脂組成物中に1〜20重量%が好ましく、更に好ましくは1〜15重量%である。下限値を下回ると難燃性が不足し、上限値を越えると流動性や硬化性等の成形性、耐半田クラック性が低下する可能性がある。
水酸化アルミニウムの含有量としては、全エポキシ樹脂組成物中に1〜20重量%が好ましく、更に好ましくは1〜15重量%である。下限値を下回ると難燃性が不足し、上限値を越えると流動性や硬化性等の成形性、耐半田クラック性が低下する可能性がある。
本発明では、水酸化アルミニウムがカップリング剤によって表面処理されたものを含んでいてもよい。カップリング剤により表面処理された水酸化アルミニウムを用いると、機械強度の高いエポキシ樹脂組成物の硬化物を得ることが可能となる。カップリング剤は水酸化アルミニウムとエポキシ樹脂との界面の結合を強固にし、エポキシ樹脂組成物の硬化物の機械強度を向上させるものである。
本発明に用いるカップリング剤は、特に限定するものではないが、アミノ基、エポキシ基を含むシランカップリング剤が好ましい。アミノ基を有するシランカップリング剤はエポキシ樹脂と反応することにより、エポキシ基を含むシランカップリング剤は硬化剤であるフェノール樹脂と反応することにより機械強度向上への寄与が大きい。代表的なシランカップリング剤としては、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランが挙げられるがこれらに限定されるものではない。これらのシランカップリング剤は、単独でも混合して用いてもよい。
本発明に用いるカップリング剤は、特に限定するものではないが、アミノ基、エポキシ基を含むシランカップリング剤が好ましい。アミノ基を有するシランカップリング剤はエポキシ樹脂と反応することにより、エポキシ基を含むシランカップリング剤は硬化剤であるフェノール樹脂と反応することにより機械強度向上への寄与が大きい。代表的なシランカップリング剤としては、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランが挙げられるがこれらに限定されるものではない。これらのシランカップリング剤は、単独でも混合して用いてもよい。
本発明に用いる前記水酸化アルミニウムを除く無機充填材としては、一般に封止材料に使用されているものを使用することができる。例えば、溶融シリカ、結晶シリカ、タルク、アルミナ、窒化珪素等が挙げられ、これらは単独でも2種類以上併用して用いても差し支えない。特に、溶融シリカが好ましい。
無機充填材の含有量としては、成形性と耐半田クラック性のバランスから、全エポキシ樹脂組成物中に60〜95重量%が好ましく、更に好ましくは70〜90重量%である。下限値を下回ると吸水率の上昇に伴い耐半田クラック性が低下し、上限値を越えるとワイヤースィープ及びパッドシフト等の問題が生じる可能性がある。
無機充填材の含有量としては、成形性と耐半田クラック性のバランスから、全エポキシ樹脂組成物中に60〜95重量%が好ましく、更に好ましくは70〜90重量%である。下限値を下回ると吸水率の上昇に伴い耐半田クラック性が低下し、上限値を越えるとワイヤースィープ及びパッドシフト等の問題が生じる可能性がある。
水酸化アルミニウムと無機充填材との合計量としては、成形性と耐半田クラック性のバランスから、全エポキシ樹脂組成物中に60〜95重量%が好ましい。下限値を下回ると吸水率の上昇に伴う耐半田クラック性が低下し、上限値を越えるとワイヤースィープ及びパッドシフト等の成形性の問題が生じる可能性がある。
本発明のエポキシ樹脂組成物は、(A)〜(E)成分の他、必要に応じて臭素化エポキシ樹脂、酸化アンチモン等の難燃剤を含有することは差し支えないが、半導体装置の150〜200℃の高温下での電気特性の安定性が要求される用途では、臭素原子、アンチモン原子の含有量が、ともに全エポキシ樹脂組成物中に0.1重量%未満であることが好ましく、完全に含まれない方がより好ましい。臭素原子、アンチモン原子のいずれかが上限値を超えると、高温下に放置したときに半導体装置の抵抗値が時間と共に増大し、最終的には半導体素子の金線が断線する不良が発生する可能性がある。また、環境保護の観点からも、臭素原子、アンチモン原子の含有量がともに0.1重量%未満で、極力含有されていないことが望ましい。
本発明のエポキシ樹脂組成物は、(A)〜(E)成分を必須成分とするが、これ以外に必要に応じてカーボンブラック等の着色剤、天然ワックス、合成ワックス等の離型剤、及びシリコーンオイル、ゴム等の低応力添加剤等の種々の添加剤を適宜配合しても差し支えない。
また、本発明のエポキシ樹脂組成物は、(A)〜(E)成分、及びその他の添加剤等を、ミキサー等を用いて充分に均一に混合した後、更に熱ロール又はニーダー等で溶融混練し、冷却後粉砕して得られる。
本発明のエポキシ樹脂組成物を用いて、半導体素子等の各種の電子部品を封止し、半導体装置を製造するには、トランスファーモールド、コンプレッションモールド、インジェクションモールド等の従来からの成形方法で硬化成形すればよい。
また、本発明のエポキシ樹脂組成物は、(A)〜(E)成分、及びその他の添加剤等を、ミキサー等を用いて充分に均一に混合した後、更に熱ロール又はニーダー等で溶融混練し、冷却後粉砕して得られる。
本発明のエポキシ樹脂組成物を用いて、半導体素子等の各種の電子部品を封止し、半導体装置を製造するには、トランスファーモールド、コンプレッションモールド、インジェクションモールド等の従来からの成形方法で硬化成形すればよい。
以下に本発明の実施例を示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。配合割合は重量部とする。
なお、実施例、及び比較例で用いたエポキシ樹脂、フェノール樹脂の略号及び構造、水酸化アルミニウムの内容を以下にまとめて示す。
なお、実施例、及び比較例で用いたエポキシ樹脂、フェノール樹脂の略号及び構造、水酸化アルミニウムの内容を以下にまとめて示す。
エポキシ樹脂(E−1):オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂
(日本化薬(株)製、EOCN1020、軟化点55℃、エポキシ当量196)
エポキシ樹脂(E−2):ビフェニル型エポキシ樹脂
(ジャパンエポキシレジン(株)製、YX−4000、エポキシ当量190、融点105℃)
フェノール樹脂(H−1):フェノールノボラック樹脂
(住友ベークライト(株)製、PR−HF−3軟化点80℃、水酸基当量104
フェノール樹脂(H−2):フェノールビフェニルアラルキル型フェノール樹脂
(明和化成(株)製、MEH−7851SS、水酸基当量203、軟化点66℃)
(日本化薬(株)製、EOCN1020、軟化点55℃、エポキシ当量196)
エポキシ樹脂(E−2):ビフェニル型エポキシ樹脂
(ジャパンエポキシレジン(株)製、YX−4000、エポキシ当量190、融点105℃)
フェノール樹脂(H−1):フェノールノボラック樹脂
(住友ベークライト(株)製、PR−HF−3軟化点80℃、水酸基当量104
フェノール樹脂(H−2):フェノールビフェニルアラルキル型フェノール樹脂
(明和化成(株)製、MEH−7851SS、水酸基当量203、軟化点66℃)
水酸化アルミニウム1:全Na2O含有量0.05重量%、熱水抽出全Na2O含有量0.02重量%、平均粒径4.3μm、最大粒径30μmの温純水による洗浄処理を行った水酸化アルミニウム。
水酸化アルミニウム2:全Na2O含有量0.04重量%、熱水抽出全Na2O含有量0.01重量%、平均粒径1.8μm、最大粒径14μmの温純水による洗浄処理を行った水酸化アルミニウム。
水酸化アルミニウム3:全Na2O含有量0.06重量%、熱水抽出全Na2O含有量0.006重量%、平均粒径3.7μm、最大粒径21μmの温純水による洗浄処理を行った水酸化アルミニウムで更にγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランで表面処理された水酸化アルミニウム。表面処理に使用したγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランの量は該水酸化アルミニウムの1重量%である。
水酸化アルミニウム4:全Na2O含有量0.06重量%、熱水抽出全Na2O含有量0.02重量%、平均粒径4.4μm、最大粒径21μmの温純水による洗浄処理を行った水酸化アルミニウムで更にγ−アミノプロピルトリエトキシシランで表面処理された水酸化アルミニウム。表面処理に使用したγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランの量は該水酸化アルミニウムの1重量%である。
水酸化アルミニウム5:全Na2O含有量0.35重量%、熱水抽出全Na2O含有量0.08重量%、平均粒径11.2μm、最大粒径48μmの温純水による洗浄処理を行っていない水酸化アルミニウム。
水酸化アルミニウム6:全Na2O含有量0.08重量%、熱水抽出全Na2O含有量0.07重量%、平均粒径4.5μm、最大粒径34μmの温純水による洗浄処理を行っていない水酸化アルミニウム。
水酸化アルミニウム2:全Na2O含有量0.04重量%、熱水抽出全Na2O含有量0.01重量%、平均粒径1.8μm、最大粒径14μmの温純水による洗浄処理を行った水酸化アルミニウム。
水酸化アルミニウム3:全Na2O含有量0.06重量%、熱水抽出全Na2O含有量0.006重量%、平均粒径3.7μm、最大粒径21μmの温純水による洗浄処理を行った水酸化アルミニウムで更にγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランで表面処理された水酸化アルミニウム。表面処理に使用したγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランの量は該水酸化アルミニウムの1重量%である。
水酸化アルミニウム4:全Na2O含有量0.06重量%、熱水抽出全Na2O含有量0.02重量%、平均粒径4.4μm、最大粒径21μmの温純水による洗浄処理を行った水酸化アルミニウムで更にγ−アミノプロピルトリエトキシシランで表面処理された水酸化アルミニウム。表面処理に使用したγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランの量は該水酸化アルミニウムの1重量%である。
水酸化アルミニウム5:全Na2O含有量0.35重量%、熱水抽出全Na2O含有量0.08重量%、平均粒径11.2μm、最大粒径48μmの温純水による洗浄処理を行っていない水酸化アルミニウム。
水酸化アルミニウム6:全Na2O含有量0.08重量%、熱水抽出全Na2O含有量0.07重量%、平均粒径4.5μm、最大粒径34μmの温純水による洗浄処理を行っていない水酸化アルミニウム。
実施例1
エポキシ樹脂(E−2) 6.76重量%
フェノール樹脂(H−1) 2.30重量%
フェノール樹脂(H−2) 2.30重量%
トリフェニルホスフィン(以下、TPPという) 0.25重量%
水酸化アルミニウム1 3.00重量%
溶融球状シリカ (平均粒径26.5μm) 84.30重量%
γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(以下、エポキシシランという)
0.20重量%
カーボンブラック 0.30重量%
カルナバワックス 0.30重量%
を常温でミキサーを用いて混合し、70〜100℃でロール混練し、冷却後粉砕してエポキシ樹脂組成物を得た。得られたエポキシ樹脂組成物を以下の方法で評価した。結果を表1に示す。
エポキシ樹脂(E−2) 6.76重量%
フェノール樹脂(H−1) 2.30重量%
フェノール樹脂(H−2) 2.30重量%
トリフェニルホスフィン(以下、TPPという) 0.25重量%
水酸化アルミニウム1 3.00重量%
溶融球状シリカ (平均粒径26.5μm) 84.30重量%
γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(以下、エポキシシランという)
0.20重量%
カーボンブラック 0.30重量%
カルナバワックス 0.30重量%
を常温でミキサーを用いて混合し、70〜100℃でロール混練し、冷却後粉砕してエポキシ樹脂組成物を得た。得られたエポキシ樹脂組成物を以下の方法で評価した。結果を表1に示す。
評価方法
臭素原子、アンチモン原子含有量:圧力5.9MPaで直径40mm、厚さ5〜7mmに圧縮成形し、得られた成形品を蛍光X線分析装置を用いて、全エポキシ樹脂組成物中の臭素原子、アンチモン原子の含有量を定量した。単位は重量%。
臭素原子、アンチモン原子含有量:圧力5.9MPaで直径40mm、厚さ5〜7mmに圧縮成形し、得られた成形品を蛍光X線分析装置を用いて、全エポキシ樹脂組成物中の臭素原子、アンチモン原子の含有量を定量した。単位は重量%。
スパイラルフロー:EMMI−1−66に準じたスパイラルフロー測定用金型を用いて、金型温度175℃、圧力6.9MPa、硬化時間120秒で測定した。単位はcm。
難燃性:低圧トランスファー成形機を用いて、成形温度175℃、圧力6.9MPa、硬化時間120秒で試験片(127mm×12.7mm×3.2mm)を成形し、アフターベークとして175℃、8時間処理した後、UL−94垂直法に準じて難燃性の判定をした。
熱時強度:低圧トランスファー成形機を用いて、成形温度175℃、圧力6.9MPa、硬化時間120秒で試験片(80mm×10mm×4mm)を成形し、アフターベークとして175℃、8時間処理した後、240℃での曲げ強度をJIS K 6911に準じて測定した。単位はN/mm2。
高温保管特性:低圧トランスファー成形機を用いて、成形温度175℃、圧力6.9MPa、硬化時間120秒で16pDIP(チップサイズ3.0mm×3.5mm)を成形し、アフターベークとして175℃、8時間処理した後、高温保管試験(185℃、1000時間)を行い、配線間の電気抵抗値が初期値に対し20%増加したパッケージを不良と判定した。15個のパッケージ中の不良個数を示す。
耐湿信頼性 :低圧トランスファー成形機を用いて、金型温度175℃、注入圧力9.8MPa、硬化時間120秒で16pDIP(チップサイズ3.0mm×3.5mm)を成形し、ポストキュアとして175℃で8時間処理した後、プレッシャークッカー試験(125℃、圧力2.2×105Pa、500時間)を行い、回路のオープン不良を測定した。15個のパッケージ中の不良個数を示す。
実施例2〜6、比較例1〜4
表1の配合に従い、実施例1と同様にしてエポキシ樹脂組成物を得、実施例1と同様にして評価した。結果を表1に示す。
実施例1以外で用いた成分について、以下に示す。
臭素化エポキシ樹脂:臭素化ビスフェノール型エポキシ樹脂(軟化点61℃、エポキシ当量359)
三酸化アンチモン
表1の配合に従い、実施例1と同様にしてエポキシ樹脂組成物を得、実施例1と同様にして評価した。結果を表1に示す。
実施例1以外で用いた成分について、以下に示す。
臭素化エポキシ樹脂:臭素化ビスフェノール型エポキシ樹脂(軟化点61℃、エポキシ当量359)
三酸化アンチモン
Claims (7)
- (A)エポキシ樹脂、(B)フェノール樹脂、(C)硬化促進剤、(D)水酸化アルミニウム、(E)前記水酸化アルミニウムを除く無機充填材を必須成分とし、前記水酸化アルミニウムに含まれる全Na2O量が0.1重量%以下、熱水抽出Na2O量が0.03重量%以下であることを特徴とする半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 前記水酸化アルミニウムが温純水による洗浄処理を行った水酸化アルミニウムである請求項1記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 前記水酸化アルミニウムがカップリング剤によって表面処理されたものを含む請求項1又は2記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 前記水酸化アルミニウムの平均粒径が1〜20μmであり、最大粒径が75μm以下である請求項1、2又は3のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 前記水酸化アルミニウムが全エポキシ樹脂組成物中に1〜20重量%含まれる請求項1ないし4のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 全エポキシ樹脂組成物中に含まれる臭素原子及びアンチモン原子がともに0.1重量%未満である請求項1ないし5のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
- 請求項1ないし6のいずれかに記載の半導体封止用エポキシ樹脂組成物を用いて半導体素子を封止してなることを特徴とする半導体装置。
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JP2008143950A (ja) * | 2006-12-06 | 2008-06-26 | Nitto Denko Corp | 半導体封止用エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた半導体装置 |
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-
2004
- 2004-10-26 JP JP2004310808A patent/JP2006124419A/ja active Pending
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