JP2006112870A - 光検出装置 - Google Patents
光検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006112870A JP2006112870A JP2004299175A JP2004299175A JP2006112870A JP 2006112870 A JP2006112870 A JP 2006112870A JP 2004299175 A JP2004299175 A JP 2004299175A JP 2004299175 A JP2004299175 A JP 2004299175A JP 2006112870 A JP2006112870 A JP 2006112870A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photodetector
- heat
- cooling
- light
- solid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
【課題】 冷却効率が向上されると共に、構造を簡素として製作が容易とされた光検出装置を提供すること。
【解決手段】 光透過性を有する乾燥多孔質ゲルGは、熱伝導率が極めて低く、断熱性が高いものである。この乾燥多孔質ゲルGを断熱材とし、光検出器3の入射面3xを、その光の入射を妨げることなく断熱材Gで覆う共に、冷却型光検出器5の放熱部4hを除くその表面を、断熱材Gで覆い、冷却型光検出器5を外部に対して効果的に断熱して光検出器3を冷却する。また、冷却型光検出器5を、上記乾燥多孔質ゲルGを用いてモールド封止し、装置の構造を簡略化すると共に、冷却型光検出器5の表面に密着して乾燥多孔質ゲルGを施工し、冷却型光検出器5の表面での隙間の形成を防止してガスの対流による熱伝達を防ぎ、冷却型光検出器5を外部に対して効果的に断熱して光検出器3を冷却する。
【選択図】 図1
【解決手段】 光透過性を有する乾燥多孔質ゲルGは、熱伝導率が極めて低く、断熱性が高いものである。この乾燥多孔質ゲルGを断熱材とし、光検出器3の入射面3xを、その光の入射を妨げることなく断熱材Gで覆う共に、冷却型光検出器5の放熱部4hを除くその表面を、断熱材Gで覆い、冷却型光検出器5を外部に対して効果的に断熱して光検出器3を冷却する。また、冷却型光検出器5を、上記乾燥多孔質ゲルGを用いてモールド封止し、装置の構造を簡略化すると共に、冷却型光検出器5の表面に密着して乾燥多孔質ゲルGを施工し、冷却型光検出器5の表面での隙間の形成を防止してガスの対流による熱伝達を防ぎ、冷却型光検出器5を外部に対して効果的に断熱して光検出器3を冷却する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、光検出装置に関し、特に光検出装置の光検出器を冷却する固体冷却素子を備えた光検出装置に関する。
画像を撮像する撮像装置(光検出装置)として、光が透過可能な窓を有する筐体内に、光を検出する電荷結合素子(固体撮像素子;光検出器)を収容し、この電荷結合素子の温度を室温以下の一定温度に保持すべく、電荷結合素子を冷却させる固体冷却素子を備えているものがある。このような撮像装置では、冷却効率を高めるため、例えばコルクやプラスチック等を用いた断熱材に、固体冷却素子を埋め込むと共に、電荷結合素子の入射面を除くその電荷結合素子の周囲に断熱材を配置して、外部からの熱の流入を低減させるものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
また、断熱材として、例えばクーラーボックス等の保冷用の断熱ボックスに採用され、内部を視認可能とすべく、光が透過可能なモノリシックシリカエアロゲル(乾燥多孔質ゲル)を部分的に用いたものが知られている。このモノリシックシリカエアロゲルは、例えばガラス板等により上下方向から挟み込まれ、その側面部は、ステンレススチール等の金属薄板により囲まれて、これらのガラス板と金属薄板との接続部はパッキンを介して接着剤等により接合され、断熱ボックスに組み込まれて使用される(例えば、特許文献2参照)。
特開昭54−139423号公報
実開平6−85278号公報
しかしながら、特許文献1記載の撮像装置にあっては、光の入射を妨げる断熱材を、光検出器の入射面に施工できないため、この入射面から外部の熱が流入し、冷却効率が不十分であった。さらに、断熱材は単に配置されているだけであり、断熱材と光検出器及び冷却素子との間に隙間が生じ、外部と熱交換し、冷却効率が低下してしまうという問題がある。
また、特許文献2記載の断熱材にあっては、モノリシックシリカエアロゲルが部分的に設けられ、上記のように構造が複雑となっていた。また、近年、構造が簡素とされた光検出装置が求められている。
本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、モノリシックエアロゲルを用いることで、冷却効率が向上されると共に、構造を簡素として製作が容易とされた光検出装置を提供することを目的とする。
本発明の光検出装置は、光が入射する入射面を有する光検出器と、この光検出器と熱的に接続されて当該光検出器の熱を吸熱する吸熱部及びこの吸熱部からの熱を放熱する放熱部を有する固体冷却素子と、を備えた冷却型光検出器を具備する光検出装置において、冷却型光検出器は、その固体冷却素子の放熱部を除く表面が、光透過性を有する乾燥多孔質ゲルを用いてモールド封止されていることを特徴としている。
光透過性を有する乾燥多孔質ゲルは、熱伝導率が極めて低く、断熱性が高いものである。本発明の光検出装置によれば、光透過性を有する乾燥多孔質ゲルを断熱材とし、光検出器の入射面は、その光の入射を妨げられることなく、断熱材に覆われている共に、冷却型光検出器の放熱部を除くその表面は、断熱材に覆われているため、冷却型光検出器は外部に対して効果的に断熱されてその光検出器が冷却される。また、冷却型光検出器は、上記のように乾燥多孔質ゲルによりモールド封止されるため、装置の構造が簡略化されると共に、冷却型光検出器の表面に密着して乾燥多孔質ゲルが施工され、冷却型光検出器の表面での隙間の形成が防止されてガスの対流による熱伝達が発生せず、冷却型光検出器は外部に対して効果的に断熱されて光検出器が冷却される。
ここで、冷却型光検出器は、その固体冷却素子の放熱部を除く当該固体冷却素子及び光検出器の表面が、乾燥多孔質ゲルにより一体的にモールド封止されていると、装置の構造が一層簡略化される。
また、冷却型光検出器は、光を透過させる光透過窓を有すると共に真空とされた気密容器内に、収容されていると、筐体内での結露の発生が防止されると共に、筐体内でのガスの対流が無く、筐体外部から冷却型光検出器への熱の流入が防止され、一層冷却効率が高められる。
また、冷却型光検出器は、光を透過させる光透過窓を有すると共に不活性ガスが充填された気密容器内に、収容されていると、筐体内での結露の発生が防止される。
ここで、光検出器としては、具体的には、固体撮像素子、光電子増倍管が挙げられる。
このように本発明による光検出装置によれば、冷却型光検出器が外部に対して効果的に断熱されてその光検出器が冷却され、冷却効率が向上される。また、構造が簡素とされ、製作が容易とされる。
以下、本発明の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において、同一または相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。図1は、本発明の第1実施形態に係る冷却型CCDカメラの内部構成を示す概略断面図、図2は、図1中の冷却型光検出器を示す概略断面図である。
図1に示す冷却型CCDカメラ(光検出装置)10は、微弱光を検出可能なCCDカメラであり、光を透過させる光透過窓1を有する気密容器2を備え、この気密容器2内に、光を検出する固体撮像素子(光検出器)であるCCD(Charge Coupled Device)3と、このCCD3を冷却する固体冷却素子4とを収容している。これらのCCD3及び固体冷却素子4は、本実施形態の冷却型光検出器5を構成し、この冷却型光検出器5、気密容器2及び、CCD3を制御するCCD駆動回路14は、冷却型CCDカメラ10の外郭を成すケーシング6内に収容されている。また、このケーシング6には、光を集光する集光レンズ7が設けられている。
気密容器2は、金属等により筒状に成形され、その両端部に蓋部材8,9が溶着等により固定されている。蓋部材8は、その中央に円形の開口8aを有し、この開口8aを閉じるように、円盤状でガラス製の光透過窓1が設けられている。蓋部材9は、その中央に矩形の開口9aを有し、この開口9aには、後述する冷却ブロック13が挿嵌され保持されている。光透過窓1及び冷却ブロック13は、シーリング材(不図示)を介して気密容器2に気密に装着されている。さらに、蓋部材9は、上記開口9aの周囲に開口部9bを有し、この開口部9bに、CCD駆動回路14に接続する信号線11が挿通されている。この信号線11は、シーリング材を介して気密に封止されている。そして、気密容器2は、その光透過窓1が集光レンズ7と対向するように、ケーシング6に固定されている。また、気密容器2内は気密に保たれ、窒素が封入されている。これにより、気密容器2内での結露の発生が防止されている。
CCD3は、図2に示すように、板状を成し、一方の面が光透過窓1を透過した光が入射する入射面3xとされ、この入射面3xには、図示しない複数のフォトダイオードが配置され、入射した光を光電変換する。また、CCD3には、上記信号線11が接続され、この信号線11は、気密容器2外に導出され、CCD駆動回路14に接続されている。CCD3は、信号線11を介してCCD駆動回路14から伝送される所定の信号により所定に駆動される。
CCD3の入射面3xとは反対側の面には、図1及び図2に示すように、皿状のセラミックステム12が、熱伝導性の高い接着材により、面接触して接続され、CCD3とセラミックステム12とは、熱の移動が可能な構成とされている。
固体冷却素子4は、図示しない温度調節器から供給される電流によりペルチェ効果を発揮して一方の面の吸熱部で吸熱し、他方の面の放熱部が放熱するペルチェ素子で構成されている。なお、ここで言う放熱部とは、放熱面のことを言う(以下、同じ)。この固体冷却素子4は、図示の例では、冷却機能を増倍するように、3個のペルチェ素子を相互に放熱部と吸熱部が接触する向きで3段に積み重ねて構成されている。そして、この3段のペルチェ素子からなる固体冷却素子4は、最も低温側の吸熱部4cがセラミックステム12の背面に熱伝導性の高い接着材により、面接触して接続され、セラミックステム12の熱を吸熱する構成とされている。本実施形態では、この最も低温側の吸熱部4cが固体冷却素子4の吸熱部となる。このように、CCD3は、セラミックステム12を介して固体冷却素子4の吸熱部4cと熱的に接続され、固体冷却素子4に通電することで、ペルチェ効果が発揮され、CCD3が冷却される。
この固体冷却素子4の最も高温側の放熱部4hには、図1に示すように、この放熱部4hを冷却する冷却ボックス13のその伝熱面13aが、熱伝導性の高い接着材により、密着して固定されている。冷却ボックス13は、箱型を成し、その内部には、伝熱面13aを冷却すべく冷却水が流れる経路(不図示)が形成され、この経路には、冷却水を供給する給水配管15及び、経路を通過した冷却水を排出する排水配管16が各々接続されている。本実施形態では、この最も高温側の放熱部4hが固体冷却素子4の放熱部となり、固体冷却素子4の放熱部4hの熱は、伝熱面13aを介して、経路内を流れる冷却水に伝わり、放熱部4hが冷やされる。
ここで、本実施形態にあっては、図1及び図2に示すように、固体冷却素子4の放熱部4hを除く冷却型光検出器5の表面が、光透過性を有するシリカエアロゲル(乾燥多孔質ゲル)Gを断熱材として、モールド封止により、光の入射面3xを含み一体的に覆われている。すなわち、シリカエアロゲルGは、CCD3の外表面、セラミックステム12の外表面、及び固体冷却素子4の放熱部4hを除く外表面に密着して覆うと共に、断熱効果を所定に得るべく、所定の厚さとされている。
図3は、図2中のシリカエアロゲルGの構造モデルを示す模式図である。このシリカエアロゲルは、直径数nmのシリカ粒子により数珠状に繋がって、3次元的に結合した構造を有する極細空隙の多孔体で、密度が0.05g・cm−3〜0.2g・cm−3、気孔率が90%〜96%、比表面積が500m2・g−1〜1000m2・g−1、孔径が数nm〜20nmであり、光を透過させると共に、熱伝導率が低く、高い断熱性を有している。
次に、このような冷却型光検出器5をシリカエアロゲルGによりモールド封止する方法について説明する。まず、図4に示すように、成形型としての金型17を用意する。金型17は、角槽を成す下型18と、冷却型光検出器5を上方から支持する上型19とを備えている。下型18は、シリカエアロゲルGの前段階であるシリカ湿潤ゲルG1を流し込む型である。上型19は、板状を成し、中央に開口19aと、その両側に冷却型光検出器5に接続されている信号線11を挿通させる一対の開口19bと、シリカ湿潤ゲルG1を充填する充填口(不図示)とを有している。
そして、このように構成された金型17を用い、上型19の開口19bに信号線11を下側から挿通し、固体冷却素子4の放熱部4hの周縁と上型19の開口19aの周縁が重なるように位置決めして、冷却型光検出器5を逆さに吊るすように、上型19に固定する。このとき、冷却型光検出器5は、下型18に対して、所定の間隔を有している。次いで、上型19を下型18に被せ金型18,19同士を圧着固定する。
次に、所定の容器内で、アルコキシシランにエタノール(C2H5OH)とアンモニア水溶液(NH3、H2O)とを混合して、シリカ湿潤ゲルG1を製作する。そして、このシリカ湿潤ゲルG1を上型19の充填口を通して、金型17内に充填する。その後、室温にて数日経過すると、縮重合反応が充分に進行してシリカ湿潤ゲルG1は、ゲル化し、ゲル状化合物でモールド封止された冷却型光検出器5が得られる。
次に、熟成工程を行う。金型17を離型して下型18から、上型19に固定され周囲にゲル状化合物が形成された冷却型光検出器5を取り出し、この冷却型光検出器5をエタノールが満たされたエージング容器20内に入れる。これにより、ゲル状化合物のゲル構造が強化されると共に、不純物が除去される。そして、例えばテトラメチルジシラザン等を疎水化材として、ゲル状化合物に添加して、エアロゲル表面疎水化を行う。
次に、乾燥工程を行う。ゲル状化合物でモールド封止された冷却型光検出器5をエージング容器20から取り出し、乾燥炉22に入れて、エタノールの超臨界状態で乾燥させ、ゲル状化合物中の溶媒を蒸発させる。そして、上型19を取り外し、シリカエアロゲルGによりモールド封止された冷却型光検出器5を得る。この状態で、入射面3xを含み、放熱部4hを除く冷却型光検出器5の表面は、シリカエアロゲルGにより、密着して一体的に覆われている。そして、この冷却型光検出器5を気密容器2、ケーシング6に収容して上記冷却型CCDカメラ10が得られる。なお、冷却型光検出器5を乾燥多孔質ゲルでモールド封止する方法は上記の方法に限られるものではなく、使用する溶媒や超臨界の条件等が異なる他の方法を用いることも可能である。
このような冷却型CCDカメラ10によれば、図1に示すように、集光レンズ7及び光透過窓1を通過した光は、シリカエアロゲルGを透過して、CCD3の入射面3xに到達し、図示しないフォトダイオードにより検知される。この時、光透過性を有するシリカエアロゲルGを断熱材とし、CCD3の入射面3xは、その光の入射を妨げられることなく、断熱材に覆われている共に、冷却型光検出器5の放熱部4hを除くその表面は、断熱材に覆われているため、冷却型光検出器5は外部に対して効果的に断熱されてそのCCD3が冷却されている。また、冷却型光検出器5は、このようにシリカエアロゲルGにより一体的にモールド封止されているため、装置の構造が簡略化されると共に、冷却型光検出器5の表面に密着してシリカエアロゲルGが施工され、冷却型光検出器5の表面での隙間の形成が防止されてガスの対流による熱伝達が発生せず、冷却型光検出器5は外部に対して効果的に断熱されてCCD3が冷却される。その結果、冷却効率の向上が図られると共に、冷却型CCDカメラ10の製作が容易とされている。従って、CCD3の入射面3xからの熱電子の発生を低減させることができる。因みに、本実施形態の固体冷却素子4によれば、冷却水の温度が20℃の場合、固体冷却素子4の吸熱部4cは、放熱部4hに対して60℃冷やされ、−40℃となる。
なお、本実施形態において、結露の発生を防止すべく気密容器2内に窒素を充填する構成としているが、キセノンを始めとしたその他の不活性ガスを充填しても良く、また、結露が発生する虞のない使用条件では、不活性ガスを充填しなくても良い。また、気密容器2内を必要に応じて真空としても良い。このように気密容器2内を真空とすると、気密容器2内での結露の発生が防止されると共に、気密容器2内でのガスの対流が無く、気密容器2外部から冷却型光検出器5への熱の流入が防止され、一層冷却効率が高められる。
図5は、本発明の第2実施形態に係る電子管装置を示す概略構成図である。この電子管装置(光検出装置)30は、光を透過させる光透過窓31を有するケーシング36を備え、このケーシング36内に、光を検出するヘッドオン型の光電子増倍管(光検出器)33と、この光電子増倍管33を冷却する固体冷却素子34とを収容している。これらの光電子増倍管33及び固体冷却素子34は、本実施形態の冷却型光検出器35を構成している。
ケーシング36は、熱伝導性の良い金属製、好ましくはアルミニウム製のケース38と、電気絶縁性が良くかつ断熱性の良い合成樹脂製のソケット部39とから構成されている。
ケース38の外形は直方体形を成し、その内部に横断面円形の空間が形成され、この空間は、光電子増倍管33を収容する光電子増倍管収容部(以下「収容部」という)38aと、ソケット部39を収容すると共にケース38に固定するソケット固定部38bとから構成されている。ソケット固定部38bの内径は、段差面38eを介して収容部38aの内径より大径とされている。この段差面38eには、ソケット部39を固定する複数のめねじ38fが形成されている。また、熱伝導性の良いケース38は放熱板の機能をも有しており、ケース38の一方の外側面には、空冷のためのファン43が取り付けられている。
ケース38の光の入射方向の先端面(図示左側)38hには、光透過窓31を収容する横断面円形状の凹部38cが設けられると共に、この凹部38cの底部に、凹部38cと収容部38aとを連通する横断面円形状の開口38dを軸線に沿って備えている。この開口38dの内径は、凹部38c及び収容部38aの内径より小径とされている。凹部38cには、円盤状を成しガラス製の光透過窓31が固定される。
ソケット部39は、光電子増倍管33を後方から保持するソケット39aと、このソケット39aに設けられた複数のソケットピン39bと、このソケットピン39bが貫通・固定されて後方からソケット39aを保持するソケットホルダー39cとから構成されている。光電子増倍管33に設けられたステムピン42aは、対応するソケットピン39bに接続・固定され、ソケットピン39bを介して外部の電圧端子或いは信号の読み出し線に接続される。
そして、ソケット部39は、ソケット固定部38bに後方から挿入されて、段差面38eに、固定用リング44を介して保持用ねじ45により固定され、収容部38aは、上述した光透過窓31及びソケット部39により封止される。この状態で、光電子増倍管33は、断熱性を有するソケット部39により、ケーシング36に対して固定され保持される。
次に、光電子増倍管33及び固体冷却素子34を備える冷却型光検出器35について説明する。光電子増倍管33は、光が入射する入射面40xを有する円形の受光面板40と、この受光面板40を入射側に有する円筒形の金属側管41と、この金属側管41の入射側とは反対側に設けられ基台部となる円形のステム42とから構成されている。受光面板40の内側には光電面40aが形成され、ステム42に、上記ステムピン42aが複数貫通固定されている。
固体冷却素子34は、円環状を成す複数のペルチェ素子を相互に放熱部と吸熱部が接触する向きで多段に積み重ねて構成されている。そして、固体冷却素子34は、その最も低温側の円環状の吸熱部34cが光電子増倍管33の入射面40xと対面するように配置され、その最も高温側の円環状の放熱部34hが、円環状を成すスペーサ37を介して、ケース38の開口38dを形成する鍔部38gと接するように配置される。固体冷却素子34は、ソケット部39及び光電子増倍管33によるケース38への押し付けによって保持されている。この状態で、光電子増倍管33の光電面40aは、固体冷却素子34の吸熱部34cと熱的に接続され、固体冷却素子34の放熱部34hは、円環状を成すスペーサ37を介して、ケーシング36に熱的に接続されている。そして、固体冷却素子34に通電することで、ペルチェ効果が発揮され、光電子増倍管33が冷却される。固体冷却素子34の放熱部34hの熱は、ケーシング36に伝わり、上述したファン43により、冷却される。
ここで、本実施形態にあっては、固体冷却素子34の放熱部34hを除く、冷却型光検出器35の表面が、光透過性を有するシリカエアロゲルGを断熱材として、モールド封止により入射面40xを含み覆われている。すなわち、収容部38a、開口38d、スペーサ37の筒孔及び固体冷却素子34の筒孔は、シリカエアロゲルGにより満たされ、固体冷却素子34の放熱部34hを除く外表面、光電子増倍管33の入射面40xを含む外表面は、シリカエアロゲルGにより覆われている。
このような電子管装置30によれば、光透過窓31を透過した光は、シリカエアロゲルGを透過して、光電子増倍管33の光電面40aに到達し、光電面40aから光電変換によって電子が放出され、その電子は光電子増倍管33内に設置された電子増倍部において増倍されて、アノード電極によって電気信号として取り出される。この電気信号は、光電子増倍管33の所定のステムピン42a及びこれに接続されたソケットピン39bを経て出力される。この時、光透過性を有するシリカエアロゲルGを断熱材とし、光電子増倍管33の入射面40xは、その光の入射を妨げられることなく、断熱材に覆われている共に、冷却型光検出器35の放熱部34hを除くその表面は、断熱材に覆われているため、冷却型光検出器35は外部に対して効果的に断熱されてその光電子増倍管33が冷却されている。また、冷却型光検出器35は、シリカエアロゲルGを用いてモールド封止されているため、装置の構造が簡略化されると共に、冷却型光検出器35の表面に密着してシリカエアロゲルGが施工され、冷却型光検出器35の表面での隙間の形成が防止されてガスの対流による熱伝達が発生せず、冷却型光検出器35は外部に対して効果的に断熱されて光電子増倍管33が冷却されている。この光電子増倍管33の冷却により光電面40aからの熱電子の発生を低減させることができる。
このように電子管装置30では、冷却型光検出器35は外部に対して効果的に断熱されてその光電子増倍管33が冷却され、冷却効率の向上が図られている。また、モールド封止により電子管装置30の構造が簡素とされ、製作が容易とされている。なお、この電子管装置30では、光入射面40xを覆うシリカエアロゲルとそれ以外を覆うシリカエアロゲルとが一体ではない。
図6は、本発明の第3実施形態に係る電子管装置50の冷却型光検出器55を示す概略断面図である。この第3実施形態の電子管装置(光検出装置)50が第2実施形態の電子管装置30と違う点は、光電子増倍管(光検出器)53をケーシング56に固定する方法が異なる点と、固体冷却素子54の配置及び熱的接続方法、並びに、シリカエアロゲルGのモールド形態が異なる点である。
具体的には、電子管装置50は、光電子増倍管53を固定する伝熱性支持部材52を具備している。この伝熱性支持部材52は、光電子増倍管53を固定する支持突片52aと、固体冷却素子54の吸熱部54cに面接触して固定される固定片52bとを有している。これらの支持突片52a及び固定片52bは、板状を成し、例えばアルミニウム合金や銅合金などの熱伝導性の高い金属材料で構成されて、互いの端面を接合して側面視L字型を成している。
伝熱性支持部材52の支持突片52aには、光透過窓(不図示)を透過した光を光電子増倍管53の入射面60xを通して裏面の光電面60aに導くための絞孔52cが開口されている。この絞孔52cは、光入射窓の周囲のケーシングから発せられる背景光を遮断できる所定の直径に設定されている。この支持突片52aの背面側(図示右側)に、光電子増倍管53の受光面板60が面接触してねじ固定され、固定片52bの下面が、固体冷却素子54の吸熱部54cに面接触して固定される。この状態で、光電子増倍管53の受光面板60が、伝熱性支持部材52を介して、固体冷却素子54の吸熱部54cに熱的に接続される。
固体冷却素子54は、その放熱部54hがケーシング56の内面に接触して、板バネ状の止金具65により押圧状態で固定されている。そして、固体冷却素子54に通電することで、光電子増倍管53が冷却される。
ここで、光電子増倍管53、伝熱性支持部材52及び固体冷却素子54が本実施形態の冷却型光検出器55とされ、固体冷却素子54の放熱部54hを除く、冷却型光検出器55の表面は、光透過性を有するシリカエアロゲルGを断熱材として、モールド封止により、入射面60xを含み一体的に覆われている。
このような電子管装置50によれば、光透過窓を通過した光は、シリカエアロゲルGを透過して、光電子増倍管53の光電面60aに到達し、光電変換される。また、光電子増倍管53は、固体冷却素子54のペルチェ効果により、良好に冷却され、光透過性を有するシリカエアロゲルGを断熱材とし、光電子増倍管53の入射面60xは、その光の入射を妨げられることなく、断熱材に覆われている共に、冷却型光検出器55の放熱部54hを除くその表面は、断熱材に覆われているため、冷却型光検出器55は外部に対して効果的に断熱されてその光電子増倍管53が冷却されている。また、冷却型光検出器55は、シリカエアロゲルGを用いて一体的にモールド封止されているため、装置の構造が簡略化されると共に、冷却型光検出器55の表面に密着してシリカエアロゲルGが施工され、冷却型光検出器55の表面での隙間の形成が防止されてガスの対流による熱伝達が発生せず、冷却型光検出器55は外部に対して効果的に断熱されて光電子増倍管53が冷却されている。この光電子増倍管53の冷却により、光電面60aからの熱電子の発生を低減させることができる。
このように電子管装置50では、第1実施形態と同様に、冷却型光検出器55は外部に対して効果的に断熱されてその光電子増倍管53が冷却され、冷却効率の向上が図られている。また、一体的なモールド封止により電子管装置50の構造が簡素とされ、製作が容易とされている。
図7は、本発明の第4実施形態に係る電子管装置を示す概略断面図である。この電子管装置70は、サイドオン型の光電子増倍管73を具備し、この光電子増倍管73は、両端に開口を有する管71、この管71の一方の開口を封止する金属製の蓋部材84a及び管71の他方の開口を封止するステム78を備え、管71、蓋部材84a及びステム78により内部に減圧環境を提供する真空容器を形成している。管71は円筒状の透明なガラスバルブであり、その側壁が入射面74xとされてこれに入射した光を透過させる。光電子増倍管73は管71内に配置された検出器本体72を備えている。また、電子管装置70には、光電子増倍管73を冷却する固体冷却素子91が設けられている。
検出器本体72は、金属製の支持基板75を備え、この支持基板75上に、光電陰極材料より成る光電面74が設けられている。そして、この検出器本体72は、管71の側方から内部に入射した光を光電面74で光電変換し、光電変換により発生した電子を減圧環境下で増倍して電気信号として光電子増倍管73の外部に出力する。
光電面74を有する支持基板75は、蓋部材84aの下面に設けられた把持機構83により、その上端部分75aが把持されて支持されている。これらの支持基板75及び把持機構83は、熱伝導性及び電気的導通性の良い材料から成形されて、支持基板75は、蓋部材84aと熱的に接続されている。
固体冷却素子91は、ペルチェ素子により構成され、その吸熱部91cが蓋部材84aの上面に面接触して配置される。また、放熱部91hの上部には、放熱フィン89aを有するヒートシンク89が面接触して立設される。そして、ヒートシンク89が蓋部材84aに対してねじ固定され、固体冷却素子91が、蓋部材84aに押圧されて固定される。この状態で、光電子増倍管73の光電面74が、支持基板75及び蓋部材84aを介して、固体冷却素子91の吸熱部91cに熱的に接続される。
ここで、光電子増倍管73及び固体冷却素子91が本実施形態の冷却型光検出器95とされ、固体冷却素子91の放熱部91hを除く、冷却型光検出器95の表面は、光透過性を有するシリカエアロゲルGを断熱材として、モールド封止により、入射面74xを含み一体的に覆われている。すなわち、シリカエアロゲルGは、管71の外表面、ステム78の外表面、蓋部材84aの外表面及び固体冷却素子91の放熱部91hを除く外表面を覆っている。
このような電子管装置70によれば、シリカエアロゲルGを透過した光は、管71を通過して、光電子増倍管73の光電面74に到達し、光電変換される。また、光電子増倍管73は、固体冷却素子91のペルチェ効果により、良好に冷却され、光透過性を有するシリカエアロゲルGを断熱材とし、光電子増倍管73の入射面74xは、その光の入射を妨げられることなく、断熱材に覆われている共に、冷却型光検出器95の放熱部91hを除くその表面は、断熱材に覆われているため、冷却型光検出器95は外部に対して効果的に断熱されてその光電子増倍管73が冷却されている。また、冷却型光検出器95は、シリカエアロゲルGを用いて一体的にモールド封止されているため、装置の構造が簡略化されると共に、冷却型光検出器95の表面に密着してシリカエアロゲルGが施工され、冷却型光検出器95の表面での隙間の形成が防止されてガスの対流による熱伝達が発生せず、冷却型光検出器95は外部に対して効果的に断熱されて光電子増倍管73が冷却されている。この光電子増倍管73の冷却により、光電面74からの熱電子の発生を低減させることができる。
このように電子管装置70では、第3実施形態と同様に、冷却型光検出器95は外部に対して効果的に断熱されてその光電子増倍管73が冷却され、冷却効率の向上が図られている。また、一体的なモールド封止により電子管装置70の構造が簡素とされ、製作が容易とされている。
以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態にあっては、光検出器として、CCD(固体撮像素子)3及び光電子増倍管33,53,73を挙げているが、その他の光検出器であっても良い。
なお、本発明は、光透過性を有する乾燥多孔質ゲル(シリカエアロゲル)が、固体冷却素子の放熱部の表面に多少かかっている場合も、固体冷却素子の放熱部を除く表面が乾燥多孔質ゲルによりモールド封止されているものとして含む。
1,31…光透過窓、2…気密容器、3…CCD(固体撮像素子;光検出器)、3x,30x,60x,74x…入射面、4,34,54…固体冷却素子、4c,34c,54c,91c…吸熱部、4h,34h,54h,91h…放熱部、5,35,55,95…冷却型光検出器、10…冷却型CCDカメラ(光検出装置)、30,50,70…電子管装置(光検出装置)、33,53,73…光電子増倍管(光検出器)、G…シリカエアロゲル(乾燥多孔質ゲル)。
Claims (6)
- 光が入射する入射面を有する光検出器と、この光検出器と熱的に接続されて当該光検出器の熱を吸熱する吸熱部及びこの吸熱部からの熱を放熱する放熱部を有する固体冷却素子と、を備えた冷却型光検出器を具備する光検出装置において、
前記冷却型光検出器は、その固体冷却素子の前記放熱部を除く表面が、光透過性を有する乾燥多孔質ゲルを用いてモールド封止されていることを特徴とする光検出装置。 - 前記冷却型光検出器は、その固体冷却素子の前記放熱部を除く当該固体冷却素子及び前記光検出器の表面が、前記乾燥多孔質ゲルにより一体的にモールド封止されていることを特徴とする請求項1記載の光検出装置。
- 前記冷却型光検出器は、光を透過させる光透過窓を有すると共に真空とされた気密容器内に、収容されていることを特徴とする請求項1又は2記載の光検出装置。
- 前記冷却型光検出器は、光を透過させる光透過窓を有すると共に不活性ガスが充填された気密容器内に、収容されていることを特徴とする請求項1又は2記載の光検出装置。
- 前記光検出器は、固体撮像素子であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の光検出装置。
- 前記光検出器は、光電子増倍管であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の光検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004299175A JP2006112870A (ja) | 2004-10-13 | 2004-10-13 | 光検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004299175A JP2006112870A (ja) | 2004-10-13 | 2004-10-13 | 光検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006112870A true JP2006112870A (ja) | 2006-04-27 |
Family
ID=36381507
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004299175A Pending JP2006112870A (ja) | 2004-10-13 | 2004-10-13 | 光検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006112870A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104183654A (zh) * | 2013-05-24 | 2014-12-03 | 牛津仪器分析公司 | 半导体探测器头及其制造方法 |
JP2017538111A (ja) * | 2014-10-22 | 2017-12-21 | ライカ マイクロシステムズ シーエムエス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングLeica Microsystems CMS GmbH | 検出器装置 |
JP2018509629A (ja) * | 2015-03-23 | 2018-04-05 | モレキュラー デバイシーズ, エルエルシー | 低減された結露を有する冷却された光電子増倍管ベースの光検出器ならびに関連する装置および方法 |
JP2018100830A (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 横河電機株式会社 | 光スペクトル測定装置 |
CN108459068A (zh) * | 2018-06-14 | 2018-08-28 | 沧州医学高等专科学校 | 凝胶制备用自动化装置及使用方法 |
KR102243189B1 (ko) * | 2020-10-12 | 2021-04-21 | 김윤호 | 진공 빔 프로파일링 장치 |
JP2021063812A (ja) * | 2020-12-01 | 2021-04-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
US11448553B2 (en) | 2016-03-09 | 2022-09-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light detection device |
-
2004
- 2004-10-13 JP JP2004299175A patent/JP2006112870A/ja active Pending
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104183654A (zh) * | 2013-05-24 | 2014-12-03 | 牛津仪器分析公司 | 半导体探测器头及其制造方法 |
EP2806467A3 (en) * | 2013-05-24 | 2015-03-11 | Oxford Instruments Analytical Oy | Semiconductor detector head and a method for manufacturing the same |
CN104183654B (zh) * | 2013-05-24 | 2018-07-27 | 牛津仪器科技公司 | 半导体探测器头及其制造方法 |
JP2017538111A (ja) * | 2014-10-22 | 2017-12-21 | ライカ マイクロシステムズ シーエムエス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングLeica Microsystems CMS GmbH | 検出器装置 |
JP2018509629A (ja) * | 2015-03-23 | 2018-04-05 | モレキュラー デバイシーズ, エルエルシー | 低減された結露を有する冷却された光電子増倍管ベースの光検出器ならびに関連する装置および方法 |
US11448553B2 (en) | 2016-03-09 | 2022-09-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light detection device |
JP2018100830A (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 横河電機株式会社 | 光スペクトル測定装置 |
CN108459068A (zh) * | 2018-06-14 | 2018-08-28 | 沧州医学高等专科学校 | 凝胶制备用自动化装置及使用方法 |
CN108459068B (zh) * | 2018-06-14 | 2024-04-30 | 沧州医学高等专科学校 | 凝胶制备用自动化装置及使用方法 |
KR102243189B1 (ko) * | 2020-10-12 | 2021-04-21 | 김윤호 | 진공 빔 프로파일링 장치 |
JP2021063812A (ja) * | 2020-12-01 | 2021-04-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
JP7139401B2 (ja) | 2020-12-01 | 2022-09-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102091040B1 (ko) | 웨이퍼-레벨 패키지의 열 적외선 센서 어레이 | |
JP3277378B2 (ja) | マイクロホン装置 | |
CN1501055A (zh) | 光电检测器 | |
US20130182179A1 (en) | CCD camera architecture and methods of manufacture | |
RU2005126694A (ru) | Элемент для детектирования электромагнитного излучения, в частности инфракрасного излучения, модуль формирования оптического инфракрасного изображения, включающий такой элемент, и способ для его реализации | |
JP2006112870A (ja) | 光検出装置 | |
CN102997999A (zh) | 一种红外焦平面阵列探测器 | |
JP3884616B2 (ja) | 光検出装置およびこれを用いた撮像装置 | |
WO1999059186A1 (fr) | Tube electronique | |
JP2007274569A (ja) | 撮像装置 | |
JP3276418B2 (ja) | イメージ管装置 | |
JP2007225932A (ja) | 赤外線通信用モジュール | |
WO2012012919A1 (zh) | 聚光型太阳能电池模块的防污透气装置 | |
CN108180672B (zh) | 一种emccd探测器的真空封装杜瓦 | |
CN202903333U (zh) | 一种红外焦平面阵列探测器 | |
JP2005333029A (ja) | 光半導体装置および光モジュール | |
JP2011142575A (ja) | 冷却型撮像装置 | |
JPH10115556A (ja) | 赤外線検出器 | |
JP6563258B2 (ja) | 放射線検出器およびその製造方法 | |
JP2021143860A (ja) | 光検出器 | |
KR101385493B1 (ko) | 태양에너지 열전발전 장치 | |
JP2007333653A (ja) | 放射線検出装置 | |
CN213514553U (zh) | 一种液氮金属杜瓦瓶 | |
JP2007088052A (ja) | 撮像装置およびその製造方法 | |
JPH06350112A (ja) | 赤外線検知器 |