JP2006110487A - 基板塗布システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平板状の基板4を支承するテーブル部材3と、テーブル部材に支承された基板の上表面に流体を塗布する塗布手段2と、テーブル部材に支承された基板の表面における異物の有無を検出する異物有無検出手段5、6と異物の存在を検出したことに応答して、塗布手段をテーブル部材に支承された基板から離れる方向に移動させる異物存在検出時処理手段CTRを有している。
【選択図】 図2
Description
この基板塗布システムは、洗浄液、純水を用いて塗布対象基板を洗浄する基板洗浄工程S1と、洗浄された基板の表面に薬液などの流体を塗布する基板塗布工程S2と、塗布された流体を乾燥させる基板乾燥工程S3とを含んでいる。そして、基板洗浄工程S1から基板塗布工程S2へ、および基板塗布工程S2から基板乾燥工程S3へ、基板を搬送する基板搬送用ロボットRBを含んでいるとともに、各工程および基板搬送用ロボットRBを制御する制御部CTRを含んでいる。また、制御部CTRは、各工程からの信号、基板搬送用ロボットRBからの信号を受け取って必要な処理を行うことができる。なお、基板洗浄工程S1、基板乾燥工程S3は従来公知であるから、詳細な説明を省略する。
この基板塗布工程は、基台1上に設けられた口金部2と、図示しない駆動源によって所定方向に往復動可能な基板支承台3と、基板支承台3に吸着状態で支承される基板4と、口金部2と平行に(基板支承台3の移動方向と直交し、かつ基板4の上面に沿う方向に)半導体レーザー光を、所定の広がりを有する状態で照射する投光器5と、この半導体レーザー光を受光する受光器6とを有している。この投光器5と受光器6とで異物有無検出手段を構成する。すなわち、受光器6による受光光量の多少に応じて、異物の不存在、異物の存在を検出することができる。また、口金部2と異物有無検出手段とは、基台1によって互いに連結されているとともに、所定の相対位置関係を保持するよう構成されている。
前記投光器5は、例えば、上下方向のレーザー光出射角度を微調整するマイクロメータ(図示せず)と、水平方向のレーザー光出射角度を微調整する微調整ねじ機構(図示せず)と、上下方向のレーザー光出射位置を微調整する送りねじ機構(図示せず)とを有している。そして、マイクロメータによる微調整後にロックするためのクランプ(図示せず)を有している。
そして、投光器5に含まれるレーザーは、楕円形状のレーザー光のうち、長軸が基板4の上面と平行になるように位置決めされており、この結果、半導体レーザー光を、所定の広がりを有する状態で照射することができる。したがって、レーザー光をスポット状に絞り込んだ場合には、基板4の厚みが変化したことに応答して、投光器および受光器の上下位置を変更する必要があるのに対して、本実施形態では、基板4の厚みが変化した場合であっても、投光器5および受光器6の上下位置を変更する必要がない。
ただし、従来公知の他の構成を採用することも可能である。
3 基板支承台
4 基板
5 投光器
6 受光器
CTR 制御部
Claims (2)
- 平板状の基板(4)を支承するテーブル部材(3)と、テーブル部材(3)に支承された基板(4)の上表面に流体を塗布する塗布手段(2)と、テーブル部材に支承された基板(4)の表面における異物の有無を検出する異物有無検出手段(5)(6)と、異物の存在を検出したことに応答して、塗布手段(2)をテーブル部材(3)に支承された基板(4)から離れる方向に移動させる異物存在検出時処理手段(CTR)とを含むことを特徴とする基板塗布システム。
- 前記異物存在検出時処理手段(CTR)は、さらに、該当する基板(4)を特定する基板特定データと関連させて異物存在検出を表すデータを保持し、しかも、塗布手段(2)、異物有無検出手段(5)(6)に対する基板(4)の相対的な移動をそのまま継続させる請求項1に記載の基板塗布システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004301738A JP2006110487A (ja) | 2004-10-15 | 2004-10-15 | 基板塗布システム |
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JP2004301738A JP2006110487A (ja) | 2004-10-15 | 2004-10-15 | 基板塗布システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006110487A true JP2006110487A (ja) | 2006-04-27 |
Family
ID=36379439
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2004301738A Pending JP2006110487A (ja) | 2004-10-15 | 2004-10-15 | 基板塗布システム |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2006110487A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06180295A (ja) * | 1992-11-06 | 1994-06-28 | Oji Kako Kk | シートの異物検出方法及び装置 |
JPH11345848A (ja) * | 1999-05-06 | 1999-12-14 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2002001195A (ja) * | 2000-06-19 | 2002-01-08 | Toray Ind Inc | 塗布方法および塗布装置並びにカラーフィルタの製造方法およびその製造装置 |
-
2004
- 2004-10-15 JP JP2004301738A patent/JP2006110487A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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