JP2006108424A - 露光方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 マスクMには複数の同一パターンが形成されている。マスクMとワークWを相対的に移動させ、アライメント顕微鏡2により、マスクMのアライメントマークと、ワークWのアライメントマークを検出し、マスクMとワークWの位置合わせを行い、マスクM上の複数の同一パターンをワークW上に繰り返し露光する。マスクMと光照射部1の間には、マスキングブレード6が設けられ、マスクMに形成されたパターンをワークW上に露光する際、予め設定された手順でマスキングブレード6により、マスクMに形成された複数の同一パターンのうちの一部のパターンを遮光して露光する。
【選択図】 図1
Description
従来、上記半導体製造装置以外の分野、例えば、プリント基板・液晶基板等の生産において露光処理を行なう時は、基板とほぼ同じ大きさのマスクを準備し、基板の露光領域全体を一括して露光処理する、一括露光が行なわれてきた。しかし、最近は、基板の大型化に伴うマスクの大型化を防ぐために、上記分野においても、逐次露光が採用されるようになってきた。
マスクが大型化すると、マスク製作のコストアップやマスク自重による露光精度の低下等の問題がある。逐次露光を採用することにより、マスクの大きさを基板の大きさよりも小さく作ることができるので、上記の問題を解決できる。
上記プリント基板や液晶基板等を逐次露光する露光装置については、例えば特許文献1や、特許文献2などに開示されている。
図12は、従来の逐次露光装置の概略構成図であり、本図を用いて説明する。
マスクMには2行×2列の同一パターン(図中Pで示す)が形成されており、2行×2列の各パターンの四隅には、位置合せのためのマスク・アライメントマーク(以下マスクマークと略記する)MAMが形成されている。なお、ここではマスクMの横方向のパターンの並びを行といい、縦方向の並びを列と呼ぶ。
露光を行なう基板(ワーク)Wには、4行×4列の同一パターンが形成されるようレイアウトされ、マスクマークMAMに対応するように、各パターンの四隅にはあらかじめワーク・アライメントマーク(以下ワークマークと略記する)WAMが形成されている。
このため、露光領域内(図中ワーク上の点線囲みで示す)にアライメントマークを検出するためのアライメント顕微鏡2a〜2dが挿入される。アライメント顕微鏡2a〜2dは、マスクMとワークWの縦横回転(XYθ)方向の位置合せを行うために、少なくとも2台以上必要である。本例では4台使用する場合を示しており、4台のアライメント顕微鏡を使用して、マスクM上の2行×2列のパターンの四隅のマスクマークMAM1,MAM2,MAM3,MAM4(同図で黒丸で示している)と、ワークW上の2行×2列のパターンの四隅のワークマークWAM11,WAM12,WAM13,WAM14(同図で黒丸で示している)の位置合わせを行う。
なお、マスクMとワークWの位置合わせは、理論的には2個のマスクマークとそれに対応したワークマークを用いて行うことも可能であるが、位置合わせ精度を確保する上で、できるだけ多くのマークを用いて行うのが望ましい。ここでは、マスクMの四隅に設けられた4個のマスクマークとそれに対応した4個のワークマークを用いて行う。
制御部12は、マスクマークMAM1〜MAM4とワークマークWAM11〜WAM14の像が所定の位置関係になるように、ワークステージ制御部13により、ワークWが載置されたワークステージ(図示せず)を移動させる。なお、ワークWを移動させる代わりに、マスクMを移動させてもよいが、以下では、ワークWを移動させる場合について説明する。
これにより、マスクマークMAM1〜MAM4とワークマークWAM11〜WAM14のそれぞれが所定の位置関係になるように位置合せされる。なおこの位置合せは、目視によって行なわれる場合もある。
ワークWの領域A1の露光が終わると、ワークWを図面左方向にパターンPの2列分移動させ、ワークWの領域A2(領域A1に隣り合う4パターン領域で形成される領域)の露光を行う。
領域A2の露光の際にも、領域A1の位置合わせと同様に、アライメント顕微鏡2a〜2dにより、マスクマークMAM1〜MAM4と、領域A2の四隅に設けられたワークマークWAMを検出し、マスクMとワークWの位置合せを行う。なお、マスクマークMAM1〜MAM4の相対位置は変わらないので、アライメント顕微鏡2a〜2dの位置は、領域A1の位置合わせの場合と同じである。
ついで、光照射部1からマスクMに露光光を含む光を照射し、ワークWの領域A2に2行×2列のマスクパターンPを露光する。これで2行×4列の露光が終了する。
さらに、ワークWを図面右方向にパターンPの2列分移動させ、ワークWの領域A4の露光を行う。すなわち、マスクマークMAM1〜MAM4とワークWの領域A4の四隅に設けられたワークマークWAMを検出して位置合せし、領域A4に2行×2列のパターンPを露光する。以上でワークW上に4行×4列のパターンが露光される。
1個ずつパターンPを露光すると、16回の位置合せと露光の手順を繰り返さなければならないが、このように、マスクに同一パターンを2行×2列形成することにより、位置合せと露光の手順は4回の繰り返しで済む。
図13の場合、ワークWの領域A1〜A4については、上記従来例と同様の手順で露光できる。しかし、ワークW上に形成されるべき5列目の余りの領域A5(同図のハッチングで示した領域)については、領域A1〜A4と同様な露光を行うことはできない。
すなわち、領域A5にはパターンが1列しかない。このため、ワークマークもマスクマークMAM1,MAM3に対応するWAM51,WAM53はあるが、マスクマークMAM2,MAM4に対応すべきワークマークがない。したがって、本来使用を想定していた4個のアライメントマークが使用できないことになる。
アライメントマークが2個だけでも位置合わせはできるが、マスクとワークの精度良い位置合せができず、領域A5の露光精度が悪化する。
なお、領域A5の一列のパターンの図面右側にもワークマークWAM52,WAM54が形成されているので、このワークマークと、これに対応するマスクM上のマスクマーク(マスクMの1列目のパターンの右側に形成されたマスクマーク)をアライメント顕微鏡2a〜2dにより検出すれば位置合せができる。
しかし、そのためには、図面右側の2台のアライメント顕微鏡2c,2dを、ワークマークWAM51,WAM53とそれに対応したマスクマークが検出できる位置まで移動させなければならず、アライメント顕微鏡2a,2bと2c,2dの相対位置を変える必要がある。このためには、新たにそのための移動機構が必要となるとともに、そのための操作が必要であり、装置の構造や制御が複雑になる。
本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためになされたものであって、マスクに複数の同一パターンが形成され、この複数の同一パターンをワークに逐次露光する方法において、ワークに形成されるパターンの数が、マスクに形成されたパターンの数で割り切れないような場合であっても、アライメント顕微鏡の位置を変更することなく、本来使用を想定した個数のアライメントマークを使用して位置合せし、露光できるようにすることを目的とする。
(1)ワークに形成されるパターンの数が、マスクに形成されたパターンの数で割り切れないような場合であっても、本来使用を想定した個数のアライメントマークを使用して位置合せをし、露光することができる。
(2)余った領域を露光する際にも、アライメント顕微鏡の位置を変更することなくマスクとワークの位置合わせができるので、位置合わせの際にアライメント顕微鏡を移動させる操作などが不要であり、装置の構成や制御が複雑となることがない。
(3)露光手順を適切に選定すれば、同じ露光回数のワーク・アライメントマークの組合わせを使用して位置合わせを行うことができるので、ワーク・アライメントマークを検出しにくくなるといった問題は生じない。
図1において、1は露光光を照射する光照射部であり、紫外線を含む光を放射するランプ1aと、ランプ1aの光を集光する反射鏡1bを備えている。
3はマスクステージであり、マスクステージ3にはマスクMが載置される。マスクMには、前記したように複数の同一パターンが形成され、各パターンの四隅に位置合せのためのマスクマークが形成されている。
また、マスクMと光照射部1の間であってマスクMの近傍には、マスクMの一部を遮光するためのマスキングブレード6が設けられている。マスキングブレード6は、2乃至4枚の遮光板から構成され、マスキングブレード制御部14により制御され、同図左右方向、同図垂直方向に移動可能であり、マスク上の一部の領域に露光光が照射されないように遮光する。同図では、同図の左右方向に移動するマスキングブレード6(A,B)と、同図の垂直方向に移動するマスキングブレード6(C)が示されている。
なお、マスキングブレードとは、パターンを形成したマスクの光入射側に挿入する遮光部材のことであり、マスクに複数のパターンが形成されている場合、必要なパターンのみをワークに露光するために、露光装置においては一般的に用いられる。
マスキングブレードを用いた先行技術として、例えば特許文献3のマスキングブレード22や特許文献4の遮光板5などがある。
光照射部1から照射される光は、マスクM上に照射され、マスクM上に設けられたマスクパターンは、投影レンズ4を介してワークステージ5上のワークWに投影される。
アライメント顕微鏡2は、2乃至4台設けられ、マスクMの四隅に設けられたマスクマークと、それに対応したワークW上の2乃至4個のワークマークを検出する。アライメント顕微鏡2は、同図矢印方向に退避可能に構成されている。
アライメント顕微鏡2の画像センサSで受像されたマスクマーク像とワークマーク像は、画像処理部11に送られ、画像処理部11でマスクマーク像とワークマーク像の位置を検出する。画像処理部11で検出された位置データは制御部12に送られ、制御部12はマスクマークとワークマークの位置が所定の位置関係になるように、例えば一致するように、ワークステージ制御部13によりワークステージ5を移動させる。
また制御部12は、マスクMに形成されたパターンをワーク上に露光する際、予め設定された手順でワークステージ5を移動させるとともに、マスキングブレード制御部14によりマスキングブレード6を駆動して、マスクMに形成された複数の同一パターンのうちの一部のパターンを遮光する。
なお、図2では、分かり易くするため2枚のマスキングブレードA,Bのみを示しているが、4枚のマスキングブレードを用いる場合には、同図(a)に示したものを、もう一組用意し、90°回転させて重ねて配置する。
図2に示すようにマスキングブレードA,Bの一方端には、ガイド21に沿って移動する移動子21aが取り付けられマスキングブレードA,Bは、ガイド21に沿って同図の矢印方向に移動可能に構成されている。
上記ガイド21にリニアモータなどの駆動機構を設けることで、マスキングブレードA,Bをガイド21に沿って移動させ、マスクM上の任意の位置に位置決めすることができる。
図3(b)は、X方向に移動する1枚のマスキングブレードAと、Y方向に移動する1枚のマスキングブレードCを設けた場合を示しており、このようにマスキングブレードを配置することで、マスクM上に形成されたパターンを同図の左方向から、および、上方向から遮光することができる。
図3(c)は図3(b)と同様に、X方向に移動する1枚のマスキングブレードAと、Y方向に移動する1枚のマスキングブレードCを設けた場合であるが、この例では、マスキングブレードAのエッジa1,a2、マスキングブレードCのエッジc1,c2を利用してマスクM上のパターンを遮光するように構成されている。
例えば、マスキングブレードAを位置M1に位置決めすることで、エッジa1により、マスクM上のパターンを同図の左側から遮光することができ、位置M2に位置決めすることで、エッジa2によりマスクM上のパターンを同図の左側から遮光することができる。同様に、マスキングブレードCを位置M1に位置決めすることで、エッジc1により、マスクM上のパターンを同図の上側から遮光することができ、位置M2に位置決めすることで、エッジc2によりマスクM上のパターンを同図の下側から遮光することができる。
上記マスクパターンPがワークW上に露光されるが、ワークWには図4(b)に示すように7行×5列の合計35のパターンが形成されるようにレイアウトされている。なお、ワークWには、事前にあるいは前回の露光により、各パターンの四隅に相当する位置にワークマークWAMが形成されている。
ワークWに何種類かのマスクパターンを必要回数、重ねて露光し、露光が終了した後、ワークWを各パターン毎に切り離すことにより、図4(c)に示す製品が得られる。
図5に示すように、マスクMと、ワークWの間に4台のアライメント顕微鏡2a〜2dを挿入し、上記黒丸で示したマスクマーク像とワークマーク像の位置を検出し、マスクマークとワークマークの位置が一致するように、ワークWを移動させる。
上記位置合わせが終了すると、前記したように、光照射部1から光を照射して、マスクパターンをワークW上に露光する。その際、必要に応じて、マスキングブレード6でマスクM上の所定のパターンを遮光する。
上記領域の露光が終了すると、ワークWを移動させて、ワークW上の次の領域について、上記と同様に位置合わせを行い、必要に応じて、マスキングブレード6でマスクM上の所定のパターンを遮光してマスクパターンをワークW上に露光する。以下、この動作を繰り返すことで、ワークW上に7行×5列のパターンを露光する。
なお、以下ではワークW上の各パターンPが露光される各領域を、パターン領域といい、各パターン領域を図6に示すワークWの 上側および左側に付した行、列の番号で特定する。例えば左上端の1行目−1列目のパターン領域をP11、1行目−2列目のパターン領域をP12、2行目−1列目のパターン領域をP21、以下同様に、7行目−5列目のパターン領域をP75と呼ぶ。
このため、マスキングブレード6を挿入しない状態で、マスクMの四隅に設けられたマスクマークMAM(図4の黒丸で示したマスクマーク)と、ワークW上の対応する位置に形成されたワークマークWAM(この場合は、ワークWのパターン領域P11の左上角、パターン領域P31の左下角、パターン領域P13の右上角、パターン領域P33の右下角のワークマーク) をアライメント顕微鏡2a〜2dで検出し、マスクMとワークWの位置合わせを行う。なお、この時には光照射部1から露光光は照射されていない。
次に、図6(a)に示すように、ワークWのパターン領域P13,P23,P33にマスクMを介した光が照射されないように、図3(a)のマスキングブレードBでマスクMに形成されたパターンの一部を遮光し、光照射部1から光を照射して、ワークWのパターン領域P11,P12,P21,P22,P31,P32を露光する。
次に、図6(b)に示すように、マスキングブレードA〜Dで遮光せずに、光照射部1から光を照射して、ワークWのパターン領域P13〜P15,P23〜P25,P33〜P35を露光する。
ここで、(a)の露光時、パターン領域P13,P23,P33はマスキングブレードにより遮光されているので、このパターン領域が二重に露光されることはない。
レジストは露光されると変色し、露光前と露光後では、アライメント顕微鏡によるワークマークの見え方が変わってくるため、露光回数の異なるワークマークの組を使用した位置合わせは、露光回数の同じワークマークの組を使用した場合より難しくなる。
上記(a)のように、まずマスキングブレードで、ワークWのパターン領域P13,P23,P33にマスクMを介した光が照射されないようにして露光し、ついで、(b)で(a)で露光されていないパターン領域P13,P33のワークマークと、これから露光するパターン領域であるP15、P35のワークマークを使用して位置合わせを行うことで、上記のように露光回数の異なるワークマークの組を使用することによる問題を回避することができる。
次に、図6(c)に示すように、マスキングブレードA,DでマスクパターンPの一部を遮光して、光照射部1から光を照射して、ワークWのパターン領域P44,P45を露光する。
(d)図6(d)に示すように、ワークWを同図において右方向にパターンPの2列分移動する。上記と同様に、マスクMの四隅に設けられたマスクマークMAMと、ワークW上の対応する位置に形成されたワークマークWAMをアライメント顕微鏡2a〜2dで検出し、マスクMとワークWの位置合わせを行う。
次に、図6(d)に示すように、マスキングブレードDでマスクパターンPの一部を遮光して、光照射部1から光を照射して、ワークWのパターン領域P41,P42,P43を露光する。
次に、図6(e)に示すように、マスキングブレードBでマスクパターンPの一部を遮光して、光照射部1から光を照射して、ワークWのパターン領域P51,P52,P61,P62,P71,P72を露光する。
(f)図6(f)に示すように、ワークWを同図において左方向にパターンPの2列分移動する。上記と同様に、マスクMの四隅に設けられたマスクマークMAMと、ワークW上の対応する位置に形成されたワークマークをアライメント顕微鏡2a〜2dで検出し、マスクMとワークWの位置合わせを行う。
次に、図6(f)に示すように、マスキングブレードで遮光せずに、光照射部1から光を照射して、残りのパターン領域P53,P54,P55,P63,P64,P65,P73,P74,P75を露光する。以上で全ての領域の露光が終了する。
なお、上記では図3(a)に示した4枚のマスキングブレードを使用して、遮光する場合について説明したが、前記図3(c)に示した2枚のマスキングブレードを用い、両側のエッジを用いて遮光するようにしてもよい。
(a)図7(a)に示すように、まずワークW上のパターン領域P11〜P32にマスクMに形成されたパターンPを露光する。
すなわち、上記露光手順(1)と同様に、マスクMの四隅に設けられたマスクマークMAMと、ワークW上の対応する位置に形成されたワークマークWAMをアライメント顕微鏡2a〜2dで検出し、マスクMとワークWの位置合わせを行う。
次に、図7(a)に示すように、ワークWのパターン領域P13,P23,P33にマスクMを介した光が照射されないように、マスキングブレードBでマスクMに形成されたパターンの一部を遮光し、光照射部1から光を照射して、ワークWのパターン領域P11,P12,P21,P22,P31,P32を露光する。
次に、図7(b)に示すように、マスキングブレードA〜Dで遮光せずに、光照射部1から光を照射して、ワークWのパターン領域P13〜P15,P23〜P25,P33〜P35を露光する。ここまでの手順は、露光手順(1)と同じである。
(c)図7(c)に示すように、ワークWを同図において上方向にパターンPの3行分移動し、さらに右方向に2列分移動する。上記と同様に、マスクMの四隅に設けられたマスクマークMAMと、ワークW上の対応する位置に形成されたワークマークをアライメント顕微鏡2a〜2dで検出し、マスクMとワークWの位置合わせを行う。
次に、図7(c)に示すように、マスキングブレードB,DでマスクパターンPの一部を遮光して、光照射部1から光を照射して、ワークWのパターン領域P41,P42を露光する。
次に、図7(d)に示すように、マスキングブレードDでマスクパターンPの一部を遮光して、光照射部1から光を照射して、ワークWのパターン領域P43,P44,P45を露光する。
(e)図7(e)に示すように、ワークWを同図において上方向にパターンPの1行分移動し、さら右方向に2列分移動させる。上記と同様に、マスクMの四隅に設けられたマスクマークMAMと、ワークW上の対応する位置に形成されたワークマークをアライメント顕微鏡2a〜2dで検出し、マスクMとワークWの位置合わせを行う。
次に、図7(e)に示すように、マスキングブレードBでマスクパターンPの一部を遮光して、光照射部1から光を照射して、ワークWのパターン領域P51,P52,P61,P62,P71,P72を露光する。
次に、図7(f)に示すように、マスキングブレードで遮光せずに、光照射部1から光を照射して、残りのパターン領域P53,P54,P55,P63,P64,P65,P73,P74,P75を露光する。
以上で全ての領域の露光が終了する。
上記露光手順(2)によれば、露光手順(1)に比べ、次の領域に移動する際のワークWの移動量は大きくなるが、2枚のマスキングブレードを用いて、露光を行うことができる。また、露光手順(1)と同様、露光回数の同じワークマークを使用して位置合わせを行うことができる。
次に図8により、上記のように露光回数の異なるワークマークを使用した露光について説明する。なお、この露光手順は、図3(b)に示すように2枚のマスキングブレードを使用して(この例では、マスキングブレードA,Cの2枚を使用)、露光する場合の手順を示している。
(a)図8(a)に示すように、まずワークW上のパターン領域P11〜P33にマスクMに形成されたパターンPを露光する。
すなわち、前記したようにマスクMの四隅に設けられたマスクマークMAMと、ワークW上の対応する位置に形成されたワークマークをアライメント顕微鏡2a〜2dで検出し、マスクMとワークWの位置合わせを行う。
次に、図8(a)に示すように、マスキングブレードA,Cで遮光せずに、光照射部1から光を照射して、ワークWのパターン領域P11,P12,P13,P21,P22,P23,P31,P32,P33を露光する。
ここで、上記(a)でワークWのパターン領域P13,P23,P33は露光済みなので、パターン領域P13の左上角のワークマーク、パターン領域P33の左下角のワークマークと、ワークWのパターン領域P15の右上角のワークマーク、パターン領域P35の右下角のワークマークは露光回数が異なるが、ここでは、位置合わせに支障がないとして、露光回数の異なるワークマークを使用して位置合わせを行っている。
次に、図8(b)に示すように、ワークWのパターン領域P13,P23,P33にマスクMを介した光が照射されないように、マスキングブレードAでマスクMに形成されたパターンの一部を遮光し、光照射部1から光を照射して、ワークWのパターン領域P14〜P15,P24〜P25,P34〜P35を露光する。
(c)図8(c)に示すように、ワークWを同図において上方向にパターンPの3行分移動し、さらに右方向に2列分移動する。上記と同様に、マスクMの四隅に設けられたマスクマークMAMと、ワークW上の対応する位置に形成されたワークマークをアライメント顕微鏡2a〜2dで検出し、マスクMとワークWの位置合わせを行う。
次に、図8(c)に示すように、マスキングブレードA,Cで遮光せずに、光照射部1から光を照射して、ワークWのパターン領域P41〜P43,P51〜P53,P61〜P63を露光する。
次に、図8(d)に示すように、マスキングブレードAでマスクパターンPの一部を遮光して、光照射部1から光を照射して、ワークWのパターン領域P44,P45,P54,P55,P64,P65を露光する。
(e)図8(e)に示すように、ワークWを同図において上方向にパターンPの1行分移動し、さら右方向に2列分移動させる。上記と同様に、マスクMの四隅に設けられたマスクマークMAMと、ワークW上の対応する位置に形成されたワークマークをアライメント顕微鏡2a〜2dで検出し、マスクMとワークWの位置合わせを行う。
次に、図8(e)に示すように、マスキングブレードCでマスクパターンPの一部を遮光して、光照射部1から光を照射して、ワークWのパターン領域P71,P72,P73を露光する。
次に、図8(f)に示すように、マスキングブレードCでマスクパターンPの一部を遮光して、光照射部1から光を照射して、ワークWのパターン領域P74,P75を露光する。以上で全ての領域の露光が終了する。
上記露光手順(3)では、露光回数の異なるワークマークであっても、位置合わせに支障がないとして、露光回数の異なるワークマークの組合せを使用して位置合わせをしているので、露光の手順を前記露光手順(1)(2)に比べ、自由に選定することができる。
本実施例のマスクMには2列の同一パターンPが形成されており、2列の各パターンPの両側には、位置合せのためのマスクマークMAM1とMAM2及びMAM3とMAM4が形成されている。
また、露光を行なうワークWには、2行×5列( 1列が余っている)の同一パターンが形成されるようレイアウトされ、マスクマークMAM1とMAM2に対応するように、あらかじめワークマークWAM1とWAM2及びWAM3とWAM4・・・が形成されている。
ワークWにマスクパターンPを露光するにあたり、前記したように、マスクMとワークWの位置合せが行なわれる。
露光領域内にマスクマークとワークマークを検出するためのアライメント顕微鏡2a,2bが挿入され、アライメント顕微鏡2a,2bにより、マスクMの両側に形成されたマスクマークMAM1,MAM4(同図では黒丸で示している)とマスクマークMAM1,MAM4に対応するワークW上に形成されたワークマークWAM1,WAM4(同図では黒丸で示している)の像が、アライメント顕微鏡2a,2bの画像センサSで受像される。なお、図9では、前記図1に示した投影レンズは省略されている。
受像したマスクマーク像と、ワークマーク像は画像処理部11に送られ、画像処理部11でマスクマーク像とワークマーク像の位置を検出する。画像処理部11で検出された位置データは制御部12に送られ、制御部12はマスクマークとワークマークの位置が一致するように、ワークステージ制御部13によりワークステージ(図示せず)を駆動して、ワークWを移動させる。
マスクMに形成されたパターンをワークW上に露光する際、制御部12は予め設定された手順で、ワークWを移動させるとともに、必要に応じてマスキングブレード制御部14によりマスキングブレード6a,6bを駆動して、マスクMに形成された2つの同一パターンPのうちの一方のパターンを遮光する。
以下同様に、ワークWを次の領域に移動させながら、上記手順を繰り返しマスクMのパターンPをワークW上に露光する。
(a)マスクMの両側に形成されたマスクマークMAM1、MAM4とワークW上のワークマークWAM1、WAM4をアライメント顕微鏡2a,2bで検出し、マスクMとワークWの位置合せを行なう。
そして、光照射部1から光を照射して、ワークW上に、図10(a)に示すように、マスクMに形成された同一の2つのパターンPを同時にワークWのパターン領域P11,P12に露光する。
次に、図10(b)に示すようにマスキングブレード6bを挿入し、ワークW上のパターン領域P4に対応するマスクパターンを遮光し、ワーク上のパターン領域P13のみを露光する。
(c)図10(c)に示すように、ワークを同図において、左方向にパターンPの1列分だけ移動する。マスクマークMAM1とワークマークWAM7,マスクマークMAM4とワークマークWAM10をアライメント顕微鏡2a,2bで検出し、マスクMとワークWの位置合せを行なう。そして、図10(c)に示すようにワークW上のパターン領域P14とP15を露光する。
ここで、(b)の露光時、パターン領域P4はマスキングブレードにより遮光されているので、パターン領域P14が二重に露光されることはない。
また、(b)においてマスキングブレード6bで、ワークWのパターン領域P14に光が照射されないように遮光し、ついで、(c)で露光されていないパターン領域P14のワークマークWAM7と、これから露光するパターン領域であるP15のワークマークWAM10を使用して位置合わせを行っているので、露光回数の同一のワークマークの組を使用して位置合わせは行うことができる。
以上で1行目5列のパターンの露光が終わる。
まず、図10(d)に示すように、ワークWを同図において上方向にパターンPの1 行分移動させる。そして、図10(d)に示すように、1行目の露光と同様、ワークW上のパターン領域P21とP22の位置合せと露光を行う。
ついで、図10(e)に示すように、ワークWを左方向に1列分移動させ、ワークW上のパターン領域P23、P24の位置合せを行い、マスキングブレード6bにより、パターン領域P24が露光されないように遮光してのパターン領域P23のみを露光する。
さらに、図10(e)に示すように、ワークWを左方向に1列分移動させ、ワークW上のパターン領域P24とP25の位置合せを行いパターン領域P24,P25を露光する。
以上で、ワークW上に10個のパターンPが露光される。
次に図11により、上記のように露光回数の異なるワークマークを使用した露光手順(2)について説明する。なお、この露光手順では、マスキングブレード2aのみを使用する。
(a)マスクMの両側に形成されたマスクマークMAM1、MAM4とワークW上のワークマークWAM1、WAM4をアライメント顕微鏡2a,2bで検出し、マスクMとワークWの位置合せを行なう。
そして、光照射部1から光を照射して、ワークW上に、図11(a)に示すように、マスクMに形成された同一の2つのパターンPを同時に露光する。
そして、図11(b)に示すようにワークW上のパターン領域P13とP14を露光する。
(c)図11(c)に示すように、ワークWを、同図において、左方向にパターンPの1列分だけ移動する。マスクマークMAM1とワークマークWAM7,マスクマークMAM4とワークマークWAM10をアライメント顕微鏡2a,2bで検出し、マスクMとワークWの位置合せを行なう。
次に、図11(c)に示すように、マスキングブレード6aにより、ワークW上のパターン領域P14に対応するマスクパターンを遮光し、ワーク上のパターン領域P15のみを露光する。
ここで、(c)の露光時、パターン領域P14はマスキングブレードにより遮光されているので、パターン領域P14が二重に露光されることはない。
また、上記(b)でワークWのパターン領域P14は露光済みなので、パターン領域P14の左側のワークマークWAM7と、パターン領域P15の右側のワークマークWAM10とは露光回数が異なるが、ここでは、位置合わせに支障がないとして、露光回数の異なるワークマークを使用して位置合わせを行っている。
以上で1行目5列のパターンの露光が終わる。
(d)続いて、上記と同様に、2行目のパターンの露光を行なうが、上記と同様なので説明を省略する。
1a ランプ
1b 反射鏡
2a〜2d アライメント顕微鏡
3 マスクステージ
4 投影レンズ
5 ワークステージ
6,6a,6b マスキングブレード
11 画像処理部
12 制御部
13 ワークステージ制御部
14 マスキングブレード制御部
M マスク
W ワーク
Claims (1)
- マスクに複数の同一パターンと各パターンに対応してマスク・アライメントマークとが形成され、ワークとマスクを相対的に移動させ、ワークに対し上記複数の同一パターンを繰り返し露光する露光方法において、
繰り返し露光を行う際、上記マスク・アライメントマークとワークに形成されたワーク・アライメントマークとの位置合せを、同一位置に固定されたアライメント顕微鏡を用いて行ない、
マスクに形成された複数の同一パターンのうち少なくとも一つのマスク・アライメントマークに対応する上記位置合わせに使用したマスクパターンを、少なくとも1回遮光して露光する
ことを特徴とする露光方法。
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