JP2006106749A - 波長フィルターの下部クラッド層のパターン作製用モールド及び導波管型波長フィルターの製造方法(methodofmanufacturingmoldforpatterninglowercladdinglayerofwavelengthfilterandofmanufacturingwaveguide−typewavelengthfilterusingthemold) - Google Patents
波長フィルターの下部クラッド層のパターン作製用モールド及び導波管型波長フィルターの製造方法(methodofmanufacturingmoldforpatterninglowercladdinglayerofwavelengthfilterandofmanufacturingwaveguide−typewavelengthfilterusingthemold) Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明の波長フィルターの下部クラッディング層のパターンを作製するためのモールドの製造方法は、a)基板をエッチングして前記基板上に格子パターンを作製する段階;b)光導波管パターン用エッチングマスクを作製し、前記食核マスクを利用して基板をエッチングする段階;及びc)前記エッチングマスクを除去する段階を包含し、
本発明の導波管型波長フィルターの製造方法は、a)基板上に下部クラッディング層をコーティングする段階;b)前記のモールド製造方法によって作製されたモールドを利用して下部クラッディング層のパターンを作製する段階;c)下部クラッディング層にモールドのパターンを固定させた後、モールドを分離する段階;d)コア層と上部クラッディング層を形成する、段階を包含する。
【選択図】図3d
Description
次の条件をブラッグ条件(Bragg condition)と言う。
(条件式)λ2 =2neff・Λ(neff;有効屈折率、 Λ;格子周期)
前記図1には、便宜のため、上部クラッド層を省略してコア層だけを図示している。
以下、本発明の好適な実施例を添付の図面を参照して説明する。なお、各添付図面の構成要素などに付与する参照符号は、同一の構成要素に対しては他の図面に表示される場合にも同一の符号を与える。また、公知の機能及び構成に対しては詳細な説明を省略する。
図3aは、基板301上に格子パターン302を形成する工程であり、先ず用意された基板301上にレーザー干渉露光方法(LIL;Laser Interference Lithography)を利用してフォトレジストパターンを形成した後、反応イオンエッチング工程で基板301をエッチングし、前記基板の上に格子パターンを作製する。前記基板301の材質は石英ガラスのような透明基板を使用することができ、シリコンのような半導体基板を使用することもできる。
以上、本発明の好適な実施例を挙げて詳細に説明したが、当該分野の当業者であれば、別添特許請求の範囲に記載された本発明の要旨と思想の範囲内で、多様な変更や修正が可能であることを理解するであろうことは勿論である。
303 ; エッチングマスク 402 ; 平坦化用高分子層
501 ; 基板(波長フィルター用) 502 ; 下部クラッド層
503 ; モールド 504 ; コア層
505 ; 上部クラッド層
Claims (15)
- 基板をエッチングして前記基板上に格子パターンを作製する段階;
光導波管パターン用エッチングマスクを作製し、前記エッチングマスクを利用して基板をエッチングする段階;及び
前記エッチングマスクを除去する段階;
を包含する、波長フィルターの下部クラッド層のパターン作製用モールドの製造方法。 - 前記基板は、透明基板又は半導体基板を使用することを特徴とする請求項1に記載の波長フィルターの下部クラッド層のパターン作製用モールドの製造方法。
- 前記エッチングマスクの幅は、光導波管の幅と同一であることを特徴とする、請求項1に記載の波長フィルターの下部クラッド層のパターン作製用モールドの製造方法。
- 前記エッチングの深さは、光導波管の内で下部クラッド層と重なる深さと同一であることを特徴とする、請求項1に記載の波長フィルターの下部クラッド層のパターン作製用モールドの製造方法。
- 前記基板上に形成される格子パターンは、レーザー干渉露光方法によって形成されることを特徴とする、請求項1に記載の波長フィルター下部クラッド層のパターン作製用モールドの製造方法。
- 前記食刻マスクは、クロム(Cr)パターンを利用することを特徴とする、請求項1に記載の波長フィルターの下部クラッド層のパターン作製用モールドの製造方法。
- 基板上に光導波管パターンを形成する段階;
前記光導波管パターンの上部に平坦化用高分子層をコーティングし、前記平坦化用高分子層の上部に格子パターンを作製する段階;および
前記光導波管パターンの上部に形成された格子パターンを除く残余部分の平坦化用高分子層を除去する段階;
をさらに包含する、波長フィルターの下部クラッド層のパターン作製用モールドの製造方法。 - 前記基板は、透明基板又は半導体基板を使用することを特徴とする、請求項7に記載の波長フィルターの下部クラッド層のパターン作製用モールドの製造方法。
- 前記光導波管パターンの幅は、光導波管の幅と同一であることを特徴とする、請求項7に記載の波長フィルターの下部クラッド層のパターン作製用モールドの製造方法。
- 前記光導波管パターンの高さは、光導波管の内で下部クラッド層と重なる深さと同一であることを特徴とする、請求項7に記載の波長フィルターの下部クラッド層のパターン作製用モールドの製造方法。
- 前記格子パターンは、レーザー干渉露光方法によって形成されることを特徴とする、請求項7に記載の波長フィルターの下部クラッド層のパターン作製用モールドの製造方法。
- 前記格子パターンは、前記光導波管パターンの上部にのみ形成されることを特徴とする、請求項7に記載の波長フィルター下部クラッド層のパターン作製用モールドの製造方法。
- 基板上に下部クラッド層をコーティングする段階;
前記請求項1又は2に記載のモールド製造方法によって作製されたモールドを利用して下部クラッド層のパターンを作製する段階;
下部クラッド層に前記モールドのパターンを固定させた後、モールドを分離する段階;及び
コア層と上部クラッド層を形成する段階;
を包含する、導波管型波長フィルターの製造方法。 - 前記下部クラッド層のパターンを作製する方法は、熱刻印、又は、紫外線刻印の方法を利用して前記モールドのパターンを下部クラッド層に複写することを特徴とする、請求項13に記載の導波管型波長フィルターの製造方法。
- 前記モールドのパターンを下部クラッド層に固定させる方法は、熱又は紫外線を利用することを特徴とする、請求項13に記載の導波管型波長フィルターの製造方法。
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