JP2006106251A - 位相欠陥修正用マスク修正光学系,位相欠陥修正用マスク修正装置,及び位相欠陥修正用レーザcvdマスク修正装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の結合ミラーで一部反射した位相検出用レーザ光23は、第1の対物レンズ2により位相シフトフォトマスク面上に集光・走査された後、第2の対物レンズ7及び第2の結像光学系8を経て、第2の結合ミラー20に到達する。一方、第1の結合ミラーを一部透過した位相検出用レーザ光である参照用レーザ光24は、参照光光学系18及び位相調整機構19を経て、第2の結合ミラーに到達する。そして該第2の結合ミラーにより位相検出用レーザ光と参照用レーザ光とを結合した合成ビーム25が、透過像観察装置9に導かれる。
【選択図】 図3
Description
2…第1の対物レンズ
3…照明光源
4…第1の結像光学系
5…反射像観察装置
6…反射像観察光学部
7…第2の対物レンズ
8…第2の結像光学系
9…透過像観察装置
10…透過像観察光学部
11…可変開口窓駆動機構
12…リレーレンズ群
13…第1の結合ミラー
14…マーキング光源
15…レーザ光学部
16…ビーム走査機構
17…位相検出用レーザ装置
18…参照光光学系
19…位相調整機構
20…第2の結合ミラー
21…参照光光学部
22…偏向ビーム
23…位相検出ビーム
24…参照ビーム
25…合成ビーム
26…マーキングビーム
30…石英基板
31…位相シフト溝
32…薄膜
33…位相欠陥
34…可変開口窓駆動機構により制限された領域
35…部分
36…位相欠陥
37…状態
Claims (5)
- 加工用レーザ光を照射することにより位相シフトフォトマスクに存在する位相欠陥を修正するレーザ加工を行う加工用レーザ装置と、前記位相シフトフォトマスク面上における前記加工用レーザ光の照射位置を予め観察するためのマーキング光を出射するマーキング光源と、前記位相シフトフォトマスク面上において前記加工用レーザ光と前記マーキング光を走査するビーム走査機構と、前記加工用レーザ光と前記マーキング光の走査領域を制御するための可変開口窓を駆動する可変開口窓駆動機構と、前記ビーム走査機構と前記位相シフトフォトマスクとの間に介在されて前記加工用レーザ光と前記マーキング光が透過する複数のレンズからなるリレーレンズ群と、該リレーレンズ群を透過した前記加工用レーザ光を90%以上反射すると共に該リレーレンズ群を透過した前記マーキング光をほぼ50%反射する特性を有する第1の結合ミラーと、を少なくとも含むレーザ光学部と、
前記第1の結合ミラーにより反射された前記加工用レーザ光と前記マーキング光を前記位相シフトフォトマスク面上に集光するための第1の対物レンズと、前記位相シフトフォトマスクを照明するための照明光を出射する照明光源と、前記照明光により照明された前記位相シフトフォトマスクの反射像を形成する第1の結像光学系と、該反射像を観察するための反射像観察装置と、を少なくとも含む反射像観察光学部と、
前記位相シフトフォトマスクを透過した前記照明光により該位相シフトフォトマスクの透過像を形成する第2の対物レンズ及び第2の結像光学系と、該透過像を観察するための透過像観察装置と、を少なくとも含む透過像観察光学部と、
を備える位相欠陥修正用マスク修正光学系であって、
前記加工用レーザ光及び前記マーキング光と光軸が一致するように調整され、前記位相シフトフォトマスク面上における位相情報を検出するための位相検出用レーザ光を照射する位相検出用レーザ装置を前記レーザ光学部に含み、
前記ビーム走査機構は、前記位相シフトフォトマスク面上において前記位相検出用レーザ光を走査し、
前記第1の結合ミラーは、前記リレーレンズ群を透過した前記位相検出用レーザ光をほぼ50%反射する特性を有し、
該第1の結合ミラーを透過した前記位相検出用レーザ光である参照用レーザ光を前記透過像観察装置に導く参照光光学系と、前記参照用レーザ光の位相を調整する位相調整機構と、該位相調整機構により位相を調整された前記参照用レーザ光と前記位相欠陥の部位に走査されて前記位相シフトフォトマスクを透過した前記位相検出用レーザ光とを結合して前記透過像観察装置に導く第2の結合ミラーと、を少なくとも含む参照光光学部をさらに備えることを特徴とする位相欠陥修正用マスク修正光学系。 - 請求項1に記載した位相欠陥修正用マスク修正光学系を用い、
前記位相シフトフォトマスクを搭載し位置情報により位置決めできるX―Yテーブルと、
該X―Yテーブル,前記加工用レーザ装置,前記位相検出用レーザ装置,及び外部機器とのインターフェイス機能と、
を少なくとも含むことを特徴とする位相欠陥修正用マスク修正装置。 - 請求項2に記載した位相欠陥修正用マスク修正装置であって、
前記位相調整機構により位相を調整された前記参照用レーザ光と前記位相欠陥の部位に走査されて前記位相シフトフォトマスクを透過した前記位相検出用レーザ光とを結合して入射させた前記透過像観察装置で当該2つのレーザ光の干渉光の明るさが前記位相欠陥の修正達成目標レベル範囲に到達するまで前記レーザ加工を行う旨を前記加工用レーザ装置に指示し、当該2つのレーザ光の干渉光の明るさが前記位相欠陥の修正達成目標レベル範囲に到達したときに前記レーザ加工を終了する旨を前記加工用レーザ装置に指示する制御機能をさらに含むことを特徴とする位相欠陥修正用マスク修正装置。 - 請求項1に記載した位相欠陥修正用マスク修正光学系を用い、
前記位相シフトフォトマスクを搭載し位置情報により位置決めできるX―Yテーブルと、
前記加工用レーザを用いた光学的及び熱的化学反応により前記位相シフトフォトマスクに無機物あるいは無機化合物の薄膜を付着させることにより前記位相欠陥を修正するレーザCVD加工を前記レーザ加工装置により行うために当該無機物あるいは当該無機化合物をガス化するガス化機構と、
前記X−Yテーブル,前記加工用レーザ装置,前記位相検出用レーザ装置,前記ガス化機構,及び外部機器とのインターフェイス機能と、
を少なくとも含むことを特徴とする位相欠陥修正用レーザCVDマスク修正装置。 - 請求項4に記載した位相欠陥修正用レーザCVDマスク修正装置であって、
前記位相調整機構により位相を調整された前記参照用レーザ光と前記位相欠陥の部位に走査されて前記位相シフトフォトマスクを透過した前記位相検出用レーザ光とを結合して入射させた前記透過像観察装置で当該2つのレーザ光の干渉光の明るさが前記位相欠陥の修正達成目標レベル範囲に到達するまで前記ガス化を行う旨を前記ガス化機構に指示すると共に前記レーザCVD加工を行う旨を前記加工用レーザ装置に指示し、当該2つのレーザ光の干渉光の明るさが前記位相欠陥の修正達成目標レベル範囲に到達したときに前記ガス化を終了する旨を前記ガス化機構に指示すると共に前記レーザCVD加工を終了する旨を前記加工用レーザ装置に指示する制御機能をさらに含むことを特徴とする位相欠陥修正用レーザCVDマスク修正装置。
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