JP2006105469A - Drying device - Google Patents

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浩 海保
Takeshi Ikuma
健 井熊
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a drying device capable of efficiently drying a powder while effectively preventing coagulation of the powder. <P>SOLUTION: The drying device comprises a chamber 1, a mesh 2 arranged at the lower end of the chamber 1, a gas feeding chamber 3 provided on the opposite side to the chamber 1 across the mesh 2, and a gas feeding part 4 supplying a gas to the gas feeding chamber 3. The drying device 10 is adapted to supply the gas supplied to the gas feeding chamber 3 from the gas feeding part 4 into the chamber 1 through the mesh 2, and circulate the powder with circulation of the gas within the chamber 1 to dry the powder. The mesh 2 is arranged at the lower end of the chamber 1 and has a curved shape. The mesh 2 is bonded to the outer circumferential surface of the chamber 1 at its edges. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、乾燥装置に関するものである。   The present invention relates to a drying apparatus.

従来より、粉体に対して加熱した気体を供給することにより、粉体を乾燥させる乾燥装置が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
特許文献1に記載の乾燥装置100は、図5に示すように、筒状のチャンバ101と、チャンバ101の下端部に設けられた平板状のメッシュ102とを有している。この乾燥装置100は、メッシュ102を介してチャンバ101内に気体を供給し、チャンバ101内で気体とともに粉体を循環させ、粉体を乾燥させる構成となっている。
Conventionally, a drying apparatus for drying a powder by supplying a heated gas to the powder is known (for example, see Patent Document 1).
As shown in FIG. 5, the drying apparatus 100 described in Patent Document 1 includes a cylindrical chamber 101 and a flat mesh 102 provided at the lower end of the chamber 101. The drying apparatus 100 is configured to supply a gas into the chamber 101 via the mesh 102, circulate the powder together with the gas in the chamber 101, and dry the powder.

しかしながら、この乾燥装置100では、チャンバ101の内壁面とメッシュ102とで角部が形成されているため、角部において気体(粉体)の循環が悪くなり、この角部付近に粉体が滞留してしまうといった問題があった。このように粉体が滞留すると、乾燥が不十分となったり、また、滞留した粉体が凝集してしまったり等、種々の問題が生じてしまう。   However, in this drying apparatus 100, since the corner is formed by the inner wall surface of the chamber 101 and the mesh 102, the circulation of the gas (powder) deteriorates at the corner, and the powder stays in the vicinity of the corner. There was a problem such as. When the powder stays in this way, various problems occur, such as insufficient drying and aggregation of the staying powder.

特開昭63−302285号公報JP-A 63-302285

本発明の目的は、粉体の凝集を効果的に防止し、効率よく粉体を乾燥させることが可能な乾燥装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a drying apparatus capable of effectively preventing powder aggregation and drying powder efficiently.

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の乾燥装置は、粉体を流動させて乾燥する乾燥装置であって、
筒状部と、
前記筒状部の下端部にメッシュとを有し、
前記メッシュは、湾曲形状をなし、かつ、その縁部において、前記筒状部の外周面に接合されていることを特徴とする。
これにより、粉体の凝集を効果的に防止し、効率よく粉体を乾燥させることができる。
Such an object is achieved by the present invention described below.
The drying device of the present invention is a drying device for flowing powder and drying,
A tubular part;
Having a mesh at the lower end of the cylindrical part;
The mesh has a curved shape and is joined to an outer peripheral surface of the cylindrical portion at an edge thereof.
Thereby, aggregation of the powder can be effectively prevented and the powder can be efficiently dried.

本発明の乾燥装置は、粉体を流動させて乾燥する乾燥装置であって、
筒状部と、
前記筒状部の下端部に湾曲形状の湾曲部とを有し、
前記湾曲部にメッシュが形成されており、かつ、
前記筒状部と前記湾曲部とは、一体的に成型されたものであることを特徴とする。
これにより、粉体の凝集を効果的に防止し、効率よく粉体を乾燥させることができる。
The drying device of the present invention is a drying device for flowing powder and drying,
A tubular part;
A curved portion having a curved shape at the lower end of the cylindrical portion;
A mesh is formed in the curved portion, and
The cylindrical portion and the curved portion are formed integrally.
Thereby, aggregation of the powder can be effectively prevented and the powder can be efficiently dried.

本発明の乾燥装置では、前記筒状部は、その上端部付近において、上方に向かって横断面積が漸減することが好ましい。
これにより、筒状部内において、気体(粉体)をより円滑に循環(流動)させることができる。
本発明の乾燥装置では、前記筒状部の内周面に対して電圧を印加するための電圧印加手段が設けられていることが好ましい。
これにより、筒状部の内周面に粉体が付着するのを効果的に防止することができる。その結果、粉体の凝集をより効果的に防止することができるとともに、粉体の回収効率も向上する。
In the drying apparatus of the present invention, it is preferable that a cross-sectional area of the cylindrical portion gradually decreases in the vicinity of the upper end portion.
Thereby, gas (powder) can be circulated (flowed) more smoothly in the cylindrical portion.
In the drying apparatus of this invention, it is preferable that the voltage application means for applying a voltage with respect to the internal peripheral surface of the said cylindrical part is provided.
Thereby, it can prevent effectively that powder adheres to the internal peripheral surface of a cylindrical part. As a result, it is possible to more effectively prevent the powder from agglomerating and improve the powder recovery efficiency.

以下、本発明の乾燥装置の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
まず、本発明の乾燥装置の第1実施形態について説明する。
図1は、本発明の乾燥装置の構成の第1実施形態を模式的に示す縦断面図、図2は、図1に示す乾燥装置のメッシュ付近の部分縦断面図である。なお、以下の説明では、図1中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。
Hereinafter, preferred embodiments of a drying apparatus of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
First, a first embodiment of the drying apparatus of the present invention will be described.
FIG. 1 is a longitudinal sectional view schematically showing a first embodiment of the configuration of the drying apparatus of the present invention, and FIG. 2 is a partial longitudinal sectional view in the vicinity of the mesh of the drying apparatus shown in FIG. In the following description, the upper side in FIG. 1 is referred to as “upper” or “upper”, and the lower side is referred to as “lower” or “lower”.

乾燥装置10は、図1に示すように、筒状のチャンバ(筒状部)1と、チャンバ1の下端部にメッシュ2と、メッシュ2のチャンバ1とは反対側に気体供給室3と、気体供給室3に気体を供給する気体供給部4とを有している。
この乾燥装置10は、チャンバ1内に粉体を投入した状態で、メッシュ2を介して気体がチャンバ1内に供給され、チャンバ1内での気体の循環とともに、粉体を循環(流動)させ、粉体を乾燥させる構成となっている。
As shown in FIG. 1, the drying apparatus 10 includes a cylindrical chamber (cylindrical portion) 1, a mesh 2 at the lower end of the chamber 1, a gas supply chamber 3 on the opposite side of the mesh 2 from the chamber 1, A gas supply unit 4 that supplies gas to the gas supply chamber 3 is provided.
In the drying apparatus 10, the gas is supplied into the chamber 1 through the mesh 2 in a state where the powder is put into the chamber 1, and the powder is circulated (flowed) along with the circulation of the gas in the chamber 1. The powder is dried.

メッシュ2は、チャンバ1の下端部に配されており、湾曲形状を有している。
このメッシュ2は、図2に示すように、その縁部において、チャンバ1の外周面に接合されている。
ところで、従来の乾燥装置では、チャンバの内壁面とメッシュとで角部が形成されていたため、角部において粉体の循環が悪くなり、この角部付近に粉体が滞留してしまう。また、このように粉体が滞留すると、乾燥が不十分となったり、また、滞留した粉体が凝集してしまったり等、種々の問題が生じてしまう。
The mesh 2 is disposed at the lower end of the chamber 1 and has a curved shape.
As shown in FIG. 2, the mesh 2 is joined to the outer peripheral surface of the chamber 1 at the edge thereof.
By the way, in the conventional drying apparatus, since the corner is formed by the inner wall surface of the chamber and the mesh, the circulation of the powder is deteriorated at the corner, and the powder stays in the vicinity of the corner. Further, when the powder stays in this way, various problems such as insufficient drying and aggregation of the staying powder occur.

本発明では、メッシュが湾曲形状をなし、かつ、メッシュを、その縁部において、チャンバの外周面に接合する点に特徴を有している。このような特徴を有することにより、前述したような角部をなくすことができ、その結果、円滑に気体を循環(流動)させることができる。その結果、粉体の滞留を効果的に防止することができ、粉体の凝集を防止するとともに、効率よく粉体を乾燥させることができる。また、このような構成であると、メンテナンスが容易であるとともに、メッシュの交換も容易である。   The present invention is characterized in that the mesh has a curved shape and the mesh is joined to the outer peripheral surface of the chamber at the edge thereof. By having such characteristics, the corners as described above can be eliminated, and as a result, the gas can be circulated (flowed) smoothly. As a result, the retention of the powder can be effectively prevented, the powder can be prevented from agglomerating, and the powder can be efficiently dried. In addition, with such a configuration, maintenance is easy and mesh replacement is also easy.

また、メッシュ2には、図2に示すように、気体は通過できるが、粉体は通過できない、複数の微細な貫通孔21が形成されている。
貫通孔21は、鉛直方向に貫通している。これにより、メッシュ2を通過した気体を、チャンバ1内全体により確実に行き渡らせることができる。その結果、粉体の凝集や、乾燥の不十分等をより確実に防止することができる。
Further, as shown in FIG. 2, the mesh 2 is formed with a plurality of fine through-holes 21 through which gas can pass but powder cannot pass.
The through hole 21 penetrates in the vertical direction. Thereby, the gas that has passed through the mesh 2 can be more reliably distributed throughout the chamber 1. As a result, it is possible to more reliably prevent powder aggregation and insufficient drying.

気体供給部4は、配管41を介して、気体供給室3に気体を供給する機能を有している。
気体供給部4には、気体を加熱する加熱装置(図示せず)が設けられている。これにより、加熱された気体を供給することができ、より確実に粉体を乾燥させることができる。
配管41は、気体供給室3内に、気体を噴射する複数のノズル42を有している。これにより、気体供給室3内に、均一に気体を供給することができる。
気体供給室3は、気体が供給されると、その内部の圧力が高くなる。その結果、気体供給室3内の圧力と、チャンバ1内の圧力とに差が生じ、この圧力差により、気体は、貫通孔21を通って、チャンバ1内に供給される。
The gas supply unit 4 has a function of supplying gas to the gas supply chamber 3 via the pipe 41.
The gas supply unit 4 is provided with a heating device (not shown) for heating the gas. Thereby, the heated gas can be supplied and a powder can be dried more reliably.
The pipe 41 has a plurality of nozzles 42 that inject gas into the gas supply chamber 3. Thereby, gas can be uniformly supplied into the gas supply chamber 3.
When the gas is supplied to the gas supply chamber 3, the pressure inside the gas supply chamber 3 increases. As a result, a difference occurs between the pressure in the gas supply chamber 3 and the pressure in the chamber 1, and the gas is supplied into the chamber 1 through the through hole 21 due to this pressure difference.

なお、チャンバ1内に供給される気体の速度は、各貫通孔21において同じであってもよいし、異なっていてもよい。例えば、メッシュ2の中央付近での供給速度が、メッシュ2の縁部付近での供給速度よりも速くしたり、遅くしたりすることにより、チャンバ1内での気体の循環方向を調節することができる。供給速度の調整は、例えば、ノズル42の径を調節したり、ノズル42にバルブ等を設けて、噴射する量を調節したりすることにより行うことができる。   In addition, the speed of the gas supplied into the chamber 1 may be the same in each through hole 21 or may be different. For example, the gas circulation direction in the chamber 1 can be adjusted by making the supply speed near the center of the mesh 2 faster or slower than the supply speed near the edge of the mesh 2. it can. The supply speed can be adjusted, for example, by adjusting the diameter of the nozzle 42, or by providing a valve or the like in the nozzle 42 to adjust the amount to be ejected.

チャンバ1には、チャンバ1内に乾燥すべき粉体の投入・取り出しをするための粉体出入口11が設けられている。
また、チャンバ1には、チャンバ1内の気体を排気する気体排気手段12が設けられている。これにより、チャンバ1内の圧力を調節することができる。また、チャンバ1内において、より円滑に気体を循環させることができる。
The chamber 1 is provided with a powder inlet / outlet port 11 for loading / unloading the powder to be dried in the chamber 1.
Further, the chamber 1 is provided with gas exhaust means 12 for exhausting the gas in the chamber 1. Thereby, the pressure in the chamber 1 can be adjusted. Further, the gas can be circulated more smoothly in the chamber 1.

また、チャンバ1には、電圧を印加するための電圧印加手段7が接続されている。電圧印加手段7で、チャンバ1の内周面側に、粉体と同じ極性の電圧を印加することにより、例えば、以下のような効果が得られる。
例えば、帯電性の高い粉体(例えば、トナー等)を用いる場合、チャンバ1の内面側に、粉体と同じ極性の電圧を印加することにより、チャンバ1の内周面に粉体が付着するのを効果的に防止することができる。その結果、粉体の凝集をより効果的に防止することができるとともに、粉体の回収効率も向上する。
The chamber 1 is connected with a voltage applying means 7 for applying a voltage. By applying a voltage having the same polarity as the powder to the inner peripheral surface side of the chamber 1 by the voltage applying means 7, for example, the following effects can be obtained.
For example, when using a highly chargeable powder (for example, toner), the powder adheres to the inner peripheral surface of the chamber 1 by applying a voltage having the same polarity as the powder to the inner surface of the chamber 1. Can be effectively prevented. As a result, it is possible to more effectively prevent the powder from agglomerating and improve the powder recovery efficiency.

また、チャンバ1の内周面に対して、鏡面加工等の加工を施してもよい。これにより、粉体が、チャンバ1の内周面に付着するのを効果的に防止することができる。その結果、粉体の凝集をより効果的に防止することができるとともに、粉体の回収効率も向上する。
次に、本発明の乾燥装置の第2実施形態について説明する。以下、本実施形態について、前述した実施形態との違いを中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
Further, the inner peripheral surface of the chamber 1 may be subjected to processing such as mirror processing. Thereby, it is possible to effectively prevent the powder from adhering to the inner peripheral surface of the chamber 1. As a result, it is possible to more effectively prevent the powder from agglomerating and improve the powder recovery efficiency.
Next, a second embodiment of the drying apparatus of the present invention will be described. Hereinafter, the present embodiment will be described with a focus on differences from the above-described embodiments, and description of similar matters will be omitted.

図3は、本発明の乾燥装置の構成の第2実施形態を模式的に示す縦断面図、図4は、図3に示す乾燥装置のメッシュ付近の部分縦断面図である。なお、以下の説明では、図1中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。
図3、図4に示すように、本実施形態の乾燥装置10では、チャンバ(筒状部)1とメッシュ2とが一体的に形成されている。これより、凝集の発生や乾燥不十分の一つの要因である角部をなくすことができ、円滑に気体を循環させることができる。その結果、粉体の滞留を効果的に防止することができ、粉体の凝集を防止するとともに、効率よく粉体を乾燥させることができる。
FIG. 3 is a longitudinal sectional view schematically showing a second embodiment of the configuration of the drying apparatus of the present invention, and FIG. 4 is a partial longitudinal sectional view in the vicinity of the mesh of the drying apparatus shown in FIG. In the following description, the upper side in FIG. 1 is referred to as “upper” or “upper”, and the lower side is referred to as “lower” or “lower”.
As shown in FIGS. 3 and 4, in the drying apparatus 10 of the present embodiment, a chamber (tubular portion) 1 and a mesh 2 are integrally formed. As a result, the corners, which are one cause of aggregation and insufficient drying, can be eliminated, and the gas can be circulated smoothly. As a result, the retention of the powder can be effectively prevented, the powder can be prevented from agglomerating, and the powder can be efficiently dried.

このようにチャンバ1とメッシュ2とを一体的に形成する方法としては、例えば、筒状体の一方の端部を塞いで、湾曲形状に成型して湾曲部を形成し、該湾曲部に複数の貫通孔を形成する方法等を用いることができる。
また、図3に示すように、本実施形態では、チャンバ1の上端部付近が、上方に向かって湾曲している。すなわち、チャンバ1は、上端部付近において、上方に向かって横断面積が漸減する漸減部13を有している。このような形状とすることにより、チャンバ1内において、気体をより円滑に循環させることができる。
本実施形態は、上述したもの以外は、前述した第1実施形態と同様の構成を有する。
以上、本発明について、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
As a method of integrally forming the chamber 1 and the mesh 2 in this way, for example, one end of a cylindrical body is closed, molded into a curved shape to form a curved portion, and a plurality of portions are formed on the curved portion. For example, a method of forming a through hole can be used.
Further, as shown in FIG. 3, in the present embodiment, the vicinity of the upper end portion of the chamber 1 is curved upward. That is, the chamber 1 has a gradually decreasing portion 13 in which the cross-sectional area gradually decreases upward near the upper end portion. By adopting such a shape, the gas can be circulated more smoothly in the chamber 1.
The present embodiment has the same configuration as that of the first embodiment described above, except for the one described above.
As mentioned above, although this invention was demonstrated based on suitable embodiment, this invention is not limited to this.

例えば、本発明の乾燥装置は、前述した実施形態のようなものに限定されず、装置を構成する各部は、同様の機能を発揮する任意のものと置換、または、その他の構成を追加することもできる。
また、前述した実施形態では、気体供給部から加熱した気体を供給するものとして説明したが、これに限定されず、例えば、常温の気体を供給して、気体供給室内で加温するものであってもよい。また、チャンバ内を加熱して、常温の気体を供給する構成であってもよい。また、乾燥した気体を供給する構成であってもよい。
For example, the drying apparatus of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and each part constituting the apparatus is replaced with an arbitrary one that exhibits the same function, or other configuration is added. You can also.
In the above-described embodiment, the heated gas is supplied from the gas supply unit. However, the present invention is not limited to this. For example, normal temperature gas is supplied and heated in the gas supply chamber. May be. Moreover, the structure which heats the inside of a chamber and supplies normal temperature gas may be sufficient. Moreover, the structure which supplies the dry gas may be sufficient.

また、前述した実施形態では、メッシュの貫通孔が、鉛直方向に貫通しているものとして説明したが、これに限定されない。例えば、貫通孔が、チャンバの内壁面側に向かって傾いた方向に貫通したものであってもよい。また、メッシュの中心部付近では、鉛直方向で、縁部に向かうにつれて、チャンバの内壁面側に向かって傾くよう構成されていてもよい。これにより、チャンバ内での気体の循環をより円滑にすることができる。   In the above-described embodiment, the mesh through-hole is described as penetrating in the vertical direction, but the present invention is not limited to this. For example, the through hole may penetrate in a direction inclined toward the inner wall surface side of the chamber. Further, in the vicinity of the center of the mesh, it may be configured to be inclined in the vertical direction toward the inner wall surface of the chamber as it goes toward the edge. Thereby, circulation of the gas in a chamber can be made smoother.

本発明の乾燥装置の第1実施形態を模式的に示した縦断面図である。It is the longitudinal cross-sectional view which showed typically 1st Embodiment of the drying apparatus of this invention. 図1に示した乾燥装置のメッシュ付近を示す部分縦断面図である。It is a fragmentary longitudinal cross-section which shows the mesh vicinity of the drying apparatus shown in FIG. 本発明の乾燥装置の第2実施形態を模式的に示した縦断面図である。It is the longitudinal cross-sectional view which showed typically 2nd Embodiment of the drying apparatus of this invention. 図3に示した乾燥装置のメッシュ付近を示す部分縦断面図である。It is a fragmentary longitudinal cross-section which shows the mesh vicinity of the drying apparatus shown in FIG. 従来の乾燥装置を模式的に示した縦断面図である。It is the longitudinal cross-sectional view which showed the conventional drying apparatus typically.

符号の説明Explanation of symbols

1……チャンバ 2……メッシュ 21……貫通孔 3……気体供給室 4……気体供給部 41……配管 42……ノズル 7……電圧印加手段 10……乾燥装置 11……粉体出入口 12……気体排出手段 12……圧力調整手段 13……漸減部 100……乾燥装置 101……チャンバ 102……メッシュ   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Chamber 2 ... Mesh 21 ... Through-hole 3 ... Gas supply chamber 4 ... Gas supply part 41 ... Piping 42 ... Nozzle 7 ... Voltage application means 10 ... Drying device 11 ... Powder inlet / outlet 12 …… Gas discharge means 12 …… Pressure adjustment means 13 …… gradual decreasing part 100 …… drying device 101 …… chamber 102 …… mesh

Claims (4)

粉体を流動させて乾燥する乾燥装置であって、
筒状部と、
前記筒状部の下端部にメッシュとを有し、
前記メッシュは、湾曲形状をなし、かつ、その縁部において、前記筒状部の外周面に接合されていることを特徴とする乾燥装置。
A drying device for flowing powder and drying,
A tubular part;
Having a mesh at the lower end of the cylindrical part;
The drying device characterized in that the mesh has a curved shape and is joined to an outer peripheral surface of the cylindrical portion at an edge thereof.
粉体を流動させて乾燥する乾燥装置であって、
筒状部と、
前記筒状部の下端部に湾曲形状の湾曲部とを有し、
前記湾曲部にメッシュが形成されており、かつ、
前記筒状部と前記湾曲部とは、一体的に成型されたものであることを特徴とする乾燥装置。
A drying device for flowing powder and drying,
A tubular part;
A curved portion having a curved shape at the lower end of the cylindrical portion;
A mesh is formed in the curved portion, and
The drying device characterized in that the cylindrical portion and the bending portion are integrally molded.
前記筒状部は、その上端部付近において、上方に向かって横断面積が漸減する請求項1または2に記載の乾燥装置。   The drying apparatus according to claim 1, wherein the cylindrical portion gradually decreases in cross-sectional area upward near the upper end portion thereof. 前記筒状部の内周面に対して電圧を印加するための電圧印加手段が設けられている請求項1ないし3のいずれかに記載の乾燥装置。
The drying apparatus according to any one of claims 1 to 3, further comprising a voltage applying means for applying a voltage to the inner peripheral surface of the cylindrical portion.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108917293A (en) * 2018-05-22 2018-11-30 张顺 A kind of pharmaceutical production boiling drier

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108917293A (en) * 2018-05-22 2018-11-30 张顺 A kind of pharmaceutical production boiling drier
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