KR102320180B1 - filter unit and having the same Apparatus for supplying chemical - Google Patents

filter unit and having the same Apparatus for supplying chemical Download PDF

Info

Publication number
KR102320180B1
KR102320180B1 KR1020140065897A KR20140065897A KR102320180B1 KR 102320180 B1 KR102320180 B1 KR 102320180B1 KR 1020140065897 A KR1020140065897 A KR 1020140065897A KR 20140065897 A KR20140065897 A KR 20140065897A KR 102320180 B1 KR102320180 B1 KR 102320180B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
chemical solution
port
membrane
chemical
filter housing
Prior art date
Application number
KR1020140065897A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20150138928A (en
Inventor
조원필
오래택
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020140065897A priority Critical patent/KR102320180B1/en
Publication of KR20150138928A publication Critical patent/KR20150138928A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102320180B1 publication Critical patent/KR102320180B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D19/00—Degasification of liquids
    • B01D19/0031—Degasification of liquids by filtration

Abstract

본 발명은 약액을 사용하여 기판을 처리하는 처리 장치에 약액을 공급하기 위한 장치에 관한 것으로, 약액 공급 장치는 약액 공급부; 상기 약액 공급부에 저장된 약액을 순환하는 순환라인; 상기 순환라인으로부터 분기되고, 상기 처리 장치로 약액을 공급하는 공급라인; 상기 순환라인상에 설치되어 상기 약액을 필터링하기 위한 필터 유닛을 포함하되; 상기 필터 유닛은 상기 필터 유닛의 멤브레인을 통과하기 전과 후에 각각 약액 내의 버블을 벤트한다. The present invention relates to an apparatus for supplying a chemical solution to a processing apparatus for processing a substrate using a chemical solution, the chemical solution supplying device comprising: a chemical solution supply unit; a circulation line for circulating the chemical solution stored in the chemical solution supply unit; a supply line branched from the circulation line and supplying a chemical solution to the processing device; a filter unit installed on the circulation line to filter the chemical solution; The filter unit vents bubbles in the chemical solution before and after passing through the membrane of the filter unit, respectively.

Description

필터 유닛 및 그것을 갖는 약액 공급 장치{ filter unit and having the same Apparatus for supplying chemical} A filter unit and a chemical solution supplying device having the same { filter unit and having the same Apparatus for supplying chemical}

본 발명은 약액 공급 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 약액 내의 버블을 효과적으로 제거하여 약액을 공급할 수 있는 필터 유닛 및 그것을 갖는 약액 공급 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a chemical solution supply device, and more particularly, to a filter unit capable of supplying a chemical solution by effectively removing bubbles in the chemical solution, and a chemical solution supply device having the same.

일반적으로 반도체 소자는 기판 상에 사진(photo), 확산(diffusion), 증착(deposition), 식각(etching) 및 이온 주입(ion implant) 등과 같은 공정들을 반복하여 제조한다. 이러한 각 공정에 있어서, 약액이 사용될 때에는 별도의 약액 공급 장치를 통해 공정 처리 장치에 약액이 공급된다. 이때, 해당 공정의 조건에 부합하도록 약액이 공급되어야 한다.In general, a semiconductor device is manufactured by repeating processes such as photo, diffusion, deposition, etching, and ion implantation on a substrate. In each of these processes, when the chemical solution is used, the chemical solution is supplied to the process treatment device through a separate chemical solution supply device. At this time, the chemical solution must be supplied to meet the conditions of the process.

약액에 포함된 이물질, 기포, 두 가지 종류 이상의 약액 혼합 등에 의하여 약액이 기판에 도포될 때, 기판 상의 약액이 균일하게 도포되지 못할 수 있다. 예를 들어, 약액의 흐름 중에 발생하는 기포에 대하여는 약액 저장소에서 제거하기가 가능하지 않았다. When the chemical solution is applied to the substrate due to foreign substances, air bubbles, or mixing of two or more types of chemical solution contained in the chemical solution, the chemical solution on the substrate may not be uniformly applied. For example, it was not possible to remove bubbles generated during the flow of the chemical solution from the chemical solution reservoir.

따라서, 연속적으로 공급되는 약액 등에서 발생하는 기포 등을 효과적으로 제거하는 장치가 필요하다.Therefore, there is a need for a device that effectively removes bubbles, etc. generated in the continuously supplied chemical solution.

본 발명의 실시예들은 약액 내의 기포를 벤트시 기포와 함께 배출되는 약액을 재순환시켜 다시 사용할 수 있는 필터 유닛 및 그것을 갖는 약액 공급 장치를 제공하고자 한다.Embodiments of the present invention are intended to provide a filter unit that can be reused by recycling the chemical solution discharged together with the bubbles when the bubbles in the chemical solution are vented, and a chemical solution supply device having the same.

본 발명의 실시예들은 처리 장치로 공급되는 약액 내의 기포를 효과적으로 제거할 수 있는 필터 유닛 및 그것을 갖는 약액 공급 장치를 제공하고자 한다.SUMMARY Embodiments of the present invention are to provide a filter unit capable of effectively removing bubbles in a chemical solution supplied to a processing device, and a chemical solution supply device having the same.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. The object of the present invention is not limited thereto, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 일 측면에 따르면, 약액 공급부; 상기 약액 공급부에 저장된 약액을 순환하는 순환라인; 상기 순환라인으로부터 분기되고, 상기 처리 장치로 약액을 공급하는 공급라인; 상기 순환라인상에 설치되어 상기 약액을 필터링하기 위한 필터 유닛을 포함하되; 상기 필터 유닛은 상기 필터 유닛의 멤브레인을 통과하기 전과 후에 각각 약액 내의 버블을 벤트하는 약액 공급 장치를 제공하는데 있다.According to an aspect of the present invention, a chemical supply unit; a circulation line for circulating the chemical solution stored in the chemical solution supply unit; a supply line branched from the circulation line and supplying a chemical solution to the processing device; a filter unit installed on the circulation line to filter the chemical solution; The filter unit is to provide a chemical solution supply device for venting bubbles in the chemical solution before and after passing through the membrane of the filter unit, respectively.

또한, 상기 필터 유닛은 필터 하우징; 및 상기 필터 하우징에 설치되는 원통형상의 멤브레인을 포함하되; 상기 필터 하우징은 약액이 유입되는 유입포트; 필터링된 약액이 배출되는 배출포트; 상기 멤브레인을 통과하기 전 약액 내의 버블이 벤트되는 업스트림 벤트 포트; 및 상기 필터 유닛의 멤브레인을 통과한 약액 내의 버블이 벤트되는 다운스트림 벤트 포트를 포함할 수 있다.In addition, the filter unit may include a filter housing; and a cylindrical membrane installed in the filter housing; The filter housing includes an inlet port through which the chemical is introduced; a discharge port through which the filtered chemical solution is discharged; an upstream vent port through which bubbles in the chemical are vented before passing through the membrane; and a downstream vent port through which bubbles in the chemical solution that have passed through the membrane of the filter unit are vented.

또한, 상기 필터 하우징은 상기 멤브레인에 의해 둘러싸이는 코어공간과, 상기 멤브레인을 둘러싸는 외곽 공간으로 구획되고, 상기 업스트립 벤트 포트는 상기 외곽 공간과 연결되며, 상기 다운스트림 벤트 포트는 상기 코어공간과 연결될 수 있다.In addition, the filter housing is divided into a core space surrounded by the membrane and an outer space surrounding the membrane, the upstrip vent port is connected to the outer space, and the downstream vent port is connected to the core space and can be connected

또한, 상기 필터 하우징은 상기 유입포트측과 연결되는 유입측 드레인 포트; 및 상기 배출포트측과 연결되는 배출측 드레인 포트를 더 포함할 수 있다.In addition, the filter housing may include: an inlet drain port connected to the inlet port; and a discharge-side drain port connected to the discharge port side.

또한, 상기 약액 공급 장치는 상기 업스트림 벤트 포트로부터 벤트되는 버블이 포함된 약액을 재사용하기 위해 상기 업스트림 벤트 포트와 상기 순환라인을 연결하는 업스트림 벤트라인을 더 포함할 수 있다.In addition, the chemical solution supply device may further include an upstream vent line connecting the upstream vent port and the circulation line to reuse the chemical solution containing bubbles vented from the upstream vent port.

또한, 상기 업스트림 벤트라인은 상기 공급라인의 분기지점을 우회하여 상기 순환라인에 연결될 수 있다.In addition, the upstream vent line may be connected to the circulation line by bypassing a branch point of the supply line.

또한, 상기 약액 공급 장치는 상기 다운스트림 벤트 포트로부터 벤트되는 버블이 포함된 약액을 재사용하기 위해 상기 업스트림 벤트 포트와 상기 공급라인의 분기지점 후방의 상기 순환라인을 연결하는 다운스트림 벤트라인을 더 포함할 수 있다.In addition, the chemical supply device further includes a downstream vent line connecting the upstream vent port and the circulation line behind the branch point of the supply line to reuse the chemical solution containing bubbles vented from the downstream vent port. can do.

또한, 상기 다운스트림 벤트라인은 상기 공급라인의 분기지점을 우회하여 상기 순환라인에 연결될 수 있다.In addition, the downstream vent line may be connected to the circulation line by bypassing a branch point of the supply line.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 필터 하우징; 및 상기 필터 하우징에 설치되는 원통형상의 멤브레인을 포함하되; 상기 필터 하우징은 약액이 유입되는 유입포트; 필터링된 약액이 배출되는 배출포트; 상기 멤브레인을 통과하기 전 약액 내의 버블이 벤트되는 업스트림 벤트 포트; 및 상기 필터 유닛의 멤브레인을 통과한 약액 내의 버블이 벤트되는 다운스트림 벤트 포트를 포함하는 필터 유닛을 제공하는데 있다. According to another aspect of the present invention, a filter housing; and a cylindrical membrane installed in the filter housing; The filter housing includes an inlet port through which the chemical is introduced; a discharge port through which the filtered chemical solution is discharged; an upstream vent port through which bubbles in the chemical are vented before passing through the membrane; and a downstream vent port through which bubbles in the chemical solution that have passed through the membrane of the filter unit are vented.

또한, 상기 필터 하우징은 상기 멤브레인에 의해 둘러싸이는 코어공간과, 상기 멤브레인을 둘러싸는 외곽 공간으로 구획되고, 상기 업스트립 벤트 포트는 상기 외곽 공간과 연결되며, 상기 다운스트림 벤트 포트는 상기 코어공간과 연결될 수 있다.In addition, the filter housing is divided into a core space surrounded by the membrane and an outer space surrounding the membrane, the upstrip vent port is connected to the outer space, and the downstream vent port is connected to the core space and can be connected

또한, 상기 필터 하우징은 상기 유입포트측과 연결되는 유입측 드레인 포트; 및 상기 배출포트측과 연결되는 배출측 드레인 포트를 더 포함할 수 있다.In addition, the filter housing may include: an inlet drain port connected to the inlet port; and a discharge-side drain port connected to the discharge port side.

본 발명에 의하면, 약액 내의 기포를 벤트시 기포와 함께 배출되는 약액을 재순환시켜 다시 사용할 수 있는 각별한 효과를 갖는다.According to the present invention, it has a special effect that it can be used again by recycling the chemical solution discharged together with the bubbles when the bubbles in the chemical solution are vented.

본 발명에 의하면, 멤브레인을 통과하기 전과 후에 각각 약액 내의 버블을 벤트하는 2중 버블 벤트를 통해 처리 장치로 공급될 약액 내의 기포를 효과적으로 제거할 수 있는 각별한 효과를 갖는다.According to the present invention, it is possible to effectively remove bubbles in the chemical solution to be supplied to the treatment device through the double bubble vent for venting the bubbles in the chemical solution before and after passing through the membrane, respectively.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 약액 공급 장치를 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 필터 유닛의 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 필터 유닛의 단면 사시도이다.1 is a view showing a chemical liquid supply device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view of the filter unit shown in FIG. 1 .
FIG. 3 is a cross-sectional perspective view of the filter unit shown in FIG. 1 .

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. Since the present invention can apply various transformations and can have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known technology may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as “comprise” or “have” are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It should be understood that this does not preclude the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다. Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and in the description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are given the same reference numbers regardless of the reference numerals, and duplicates thereof A description will be omitted.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 약액 공급 장치를 보여주는 도면이고, 도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 필터 유닛의 단면도 및 단면 사시도이다.1 is a view showing a chemical solution supplying apparatus according to an embodiment of the present invention, FIGS. 2 and 3 are cross-sectional and cross-sectional perspective views of the filter unit shown in FIG.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 약액 공급 장치(10)는 약액 공급부(20), 순환라인(30), 공급라인(40) 그리고 필터 유닛(100)을 포함한다.1 to 3 , the chemical solution supply device 10 includes a chemical solution supply unit 20 , a circulation line 30 , a supply line 40 , and a filter unit 100 .

약액 공급부(20)는 약액이 저장되는 탱크를 포함할 수 있다. 도시하지 않았지만, 약액 공급부(20)는 복수의 처리액들을 혼합하여 약액을 생성할 수 있다. The chemical solution supply unit 20 may include a tank in which the chemical solution is stored. Although not shown, the chemical solution supply unit 20 may mix a plurality of treatment solutions to generate a chemical solution.

순환 라인(30)은 약액 공급부(20)에 저장된 약액을 순환시킨다. The circulation line 30 circulates the chemical solution stored in the chemical solution supply unit 20 .

공급 라인(40)들은 처리 장치(90) 각각으로 약액을 공급하기 위해 순환라인(30)으로부터 분기된다. 처리 장치(90)에서는 공급 라인(40)을 통해 제공받은 약액을 이용하여 기판을 처리한다.The supply lines 40 are branched from the circulation line 30 to supply the chemical to each of the processing devices 90 . The processing device 90 processes the substrate using the chemical solution provided through the supply line 40 .

필터 유닛(100)은 케미컬 필터로써 순환라인(30)상에 설치된다. 필터 유닛(100)은 약액을 필터링하는 기능 이외에 필터 유닛(100)의 멤브레인을 통과하기 전과 후에 각각 약액 내의 버블을 벤트하는 2중 버블 벤트 기능을 갖는다. The filter unit 100 is installed on the circulation line 30 as a chemical filter. The filter unit 100 has a double bubble vent function for venting bubbles in the chemical solution before and after passing through the membrane of the filter unit 100, respectively, in addition to the function of filtering the chemical solution.

필터 유닛(100)은 필터 하우징(110;housing)과, 그 필터 하우징(110)에 내장된 멤브레인(130)을 포함하여 구성된다. 필터 하우징(110)과 멤브레인(130)은 대체로 원통형으로 제공될 수 있다. The filter unit 100 includes a filter housing 110 and a membrane 130 embedded in the filter housing 110 . The filter housing 110 and the membrane 130 may be provided in a generally cylindrical shape.

본 발명의 필터 유닛(100)은 약액을 멤브레인(130)에 통과시켜 약액으로부터 이물이나 오염물(이하, "파티클"이라 한다)을 여과하여 정화하고, 멤브레인을 통과하기 전과 후에 각각 약액 내의 버블을 벤트한다. 여기서의 약액은 주로 액상의 케미컬, 가령 반도체 세정 공정에서 빈번히 사용되는 세정액을 대표적인 예로 들 수 있다. The filter unit 100 of the present invention passes the chemical solution through the membrane 130 to filter and purify foreign substances or contaminants (hereinafter, referred to as “particles”) from the chemical solution, and vents bubbles in the chemical solution before and after passing through the membrane, respectively. do. The chemical liquid here is mainly liquid chemical, for example, a cleaning liquid frequently used in a semiconductor cleaning process can be exemplified as a representative example.

필터 하우징(110)은 필터 유닛(100)의 전체적인 외관을 이룬다. 필터 하우징(110)은 원통형 측벽(112;cylindrical side wall)의 상하에 각각 상부벽(114;top wall)과 하부벽(116;bottom wall)이 결합된 밀폐된 구조이다. The filter housing 110 forms the overall appearance of the filter unit 100 . The filter housing 110 has a closed structure in which a top wall 114 and a bottom wall 116 are coupled to the upper and lower sides of the cylindrical side wall 112 .

상부벽(114)에는 업스트림 벤트(upstream vent) 포트(122)와 다운스트림(downstream vent) 벤트 포트(124)가 마련된다. 그리고 하부벽(116)에는 약액이 유입되는 유입포트(126)와 필터링된 약액이 배출되는 배출포트(127), 유입포트(126) 측과 연결되는 유입측 드레인 포트 (128)및 배출포트(127)측과 연결되는 배출측 드레인 포트(129)가 마련된다. The upper wall 114 is provided with an upstream vent port 122 and a downstream vent port 124 . And the lower wall 116 has an inlet port 126 through which the chemical solution is introduced, an outlet port 127 through which the filtered chemical solution is discharged, an inlet drain port 128 and an outlet port 127 connected to the inlet port 126 side. ) side drain port 129 connected to the side is provided.

약액은 유입 포트(130)를 통해 필터 하우징(110) 내부로 유입된다. 필터 하우징(110) 내부로 유입된 약액은 멤브레인(130)에 의해 여과된다. 필터 하우징(110) 내부에서 멤브레인(130)에 의해 여과된 약액은 배출 포트(127)를 통해 필터 하우징(110) 내부로부터 유출된다. The chemical is introduced into the filter housing 110 through the inlet port 130 . The chemical introduced into the filter housing 110 is filtered by the membrane 130 . The chemical liquid filtered by the membrane 130 inside the filter housing 110 flows out from the inside of the filter housing 110 through the discharge port 127 .

필터 하우징(110)은 멤브레인(130)에 의해 둘러싸이는 코어공간(CA)과, 멤브레인을 둘러싸는 외곽 공간(OA)으로 구획된다. 업스트립 벤트 포트(122)는 외곽 공간(CA)과 연결되며, 다운스트림 벤트 포트(124)는 코어공간(OA)과 연결된다. The filter housing 110 is divided into a core space CA surrounded by the membrane 130 and an outer space OA surrounding the membrane. The upstrip vent port 122 is connected to the outer space CA, and the downstream vent port 124 is connected to the core space OA.

즉, 유입 포트(130)를 통해 필터 하우징(110) 내부로 유입된 약액은 멤브레인(130)을 둘러싸는 외곽 공간(OA)으로 흘러가고, 이때 버블이나 에어가 포함된 약액은 업스트립 벤트 포트(122)를 통해 필터 유닛(100)으로부터 배출된다. 업스트립 벤트 포트(122)에는 업스트림 벤트라인(이하, 제1벤트라인이라고 함)(70)이 연결된다. 제1벤트라인(70)은 업스트림 벤트 포트(122)로부터 벤트되는 버블이 포함된 약액을 재사용할 수 있도록 순환라인(30)으로 재공급한다. 제1벤트라인(70)은 공급라인(40)의 분기지점 및 순환라인(300에 설치된 정압 밸브(32)를 우회하여 순환라인(30)에 연결된다. That is, the chemical liquid introduced into the filter housing 110 through the inlet port 130 flows into the outer space OA surrounding the membrane 130, and at this time, the chemical liquid containing bubbles or air enters the upstrip vent port ( It is discharged from the filter unit 100 through 122). An upstream vent line (hereinafter, referred to as a first vent line) 70 is connected to the upstream vent port 122 . The first vent line 70 is re-supplied to the circulation line 30 so that the chemical solution containing bubbles vented from the upstream vent port 122 can be reused. The first vent line 70 is connected to the circulation line 30 by bypassing the positive pressure valve 32 installed at the branch point of the supply line 40 and the circulation line 300 .

그리고, 멤브레인(130)을 통과한 약액은 멤브레인(130)에 의해 둘러싸이는 코어 공간(CA)으로 흘러가고, 이때 버블이나 에어가 포함된 약액은 다운스트립 벤트 포트(124)를 통해 필터 유닛(100)으로부터 배출된다. 다운스트립 벤트 포트(124)에는 다운스트림 벤트라인(이하, 제2벤트라인이라고 함)(80)이 연결된다. 제2벤트라인(80)은 다운스트림 벤트 포트(124)로부터 벤트되는 버블이 포함된 약액을 재사용할 수 있도록 순환라인(30)으로 재공급한다. 제2벤트라인(80)은 공급라인(40)의 분기지점 및 순환라인(30)에 설치된 정압 밸브(32)를 우회하여 순환라인에 연결된다. 이처럼, 본 발명의 약액 공급 장치는 필터 유닛에서 벤트시 기포와 함께 배출되는 약액을 재순환시켜 다시 사용할 수 있다. Then, the chemical solution that has passed through the membrane 130 flows into the core space CA surrounded by the membrane 130 , and at this time, the chemical solution containing bubbles or air flows through the downstrip vent port 124 into the filter unit 100 ) is emitted from A downstream vent line (hereinafter, referred to as a second vent line) 80 is connected to the downstream vent port 124 . The second vent line 80 is re-supplied to the circulation line 30 so that the chemical solution containing bubbles vented from the downstream vent port 124 can be reused. The second vent line 80 is connected to the circulation line by bypassing the positive pressure valve 32 installed at the branch point of the supply line 40 and the circulation line 30 . As such, the chemical liquid supply device of the present invention can be used again by recirculating the chemical liquid discharged together with air bubbles when the filter unit is vented.

제1벤트라인(70)과 제2벤트라인(80)에는 각각 니들(needle;72,82) 밸브가 제공된다. Needle valves 72 and 82 are provided in the first vent line 70 and the second vent line 80, respectively.

일 예로, 업스트림 벤트 포트(122)와 다운스트림 벤트 포트(124)는 홀(hole)을 가진 원통형의 돌출부(cylindrical protrusion)로 형성될 수 있다. 그 돌출부의 일부는 특정 배관에 연결되기에 적합한 형상의 연결부를 이룬다. 일례로, 연결부는 나사 형상일 수 있다. 업스트림 벤트 포트(122)와 다운스트림 벤트 포트(124)는 위에서 상술한 형상 이외에 다른 형상일 수 있음에 유의하여야 할 것이다. For example, the upstream vent port 122 and the downstream vent port 124 may be formed as a cylindrical protrusion having a hole. A portion of the protrusion forms a connection portion of a shape suitable for connection to a particular pipe. As an example, the connection part may have a screw shape. It should be noted that the upstream vent port 122 and the downstream vent port 124 may have other shapes than those described above.

멤브레인(130)은 필터 하우징(110) 내부에서 약액의 흐름 경로상, 즉 유입 포트(126)와 배출 포트(127) 사이에 놓인다. 멤브레인(130)은 원통형상으로 필터 하우징(110) 내부에 설치된다. 유입 포트(126)를 통해 필터 하우징(110)의 외곽 공간(OA)으로 유입된 약액은 멤브레인(130)을 통과한다. 멤브레인(130)을 통과한 약액은 코어 공간(CA)으로 이동되어 배출 포트(127)를 통해 필터 유닛(100)으로부터 배출된다. 약액이 멤브레인(130)을 통과하는 과정에서 약액에 함유된 파티클은 멤브레인(130)에서 여과된다. 멤브레인(130)은 불소수지(fluororesin), 예를 들어, PTFE(폴리테트라플루오르에틸렌) 혹은 PCTFE(폴리클로로트리플루오로에틸렌) 혹은 PVDF(폴리비닐리덴플루오라이드) 혹은 PVF(폴리비닐플루오라이드) 등으로 제작될 수 있다.The membrane 130 is placed on the flow path of the chemical within the filter housing 110 , that is, between the inlet port 126 and the outlet port 127 . The membrane 130 is installed inside the filter housing 110 in a cylindrical shape. The chemical solution introduced into the outer space OA of the filter housing 110 through the inlet port 126 passes through the membrane 130 . The chemical liquid passing through the membrane 130 is moved to the core space CA and discharged from the filter unit 100 through the discharge port 127 . As the chemical solution passes through the membrane 130 , particles contained in the chemical solution are filtered by the membrane 130 . The membrane 130 is made of a fluororesin, for example, PTFE (polytetrafluoroethylene) or PCTFE (polychlorotrifluoroethylene) or PVDF (polyvinylidene fluoride) or PVF (polyvinyl fluoride), etc. can be made with

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical spirit of the present invention, and various modifications and variations will be possible without departing from the essential characteristics of the present invention by those skilled in the art to which the present invention pertains. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but to explain, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments. The protection scope of the present invention should be construed by the following claims, and all technical ideas within the equivalent range should be construed as being included in the scope of the present invention.

10 : 약액 공급 장치 20 : 약액 공급부
30 : 순환 라인 100 : 필터 유닛
110 : 필터 하우징 130 : 멤브레인10: chemical liquid supply device 20: chemical liquid supply unit
30: circulation line 100: filter unit
110: filter housing 130: membrane

Claims (11)

약액을 사용하여 기판을 처리하는 처리 장치에 약액을 공급하기 위한 장치에 있어서:
약액 공급부;
상기 약액 공급부에 저장된 약액을 순환하는 순환라인;
상기 순환라인으로부터 분기되고, 상기 처리 장치로 약액을 공급하는 공급라인;
상기 순환라인상에 설치되어 상기 약액을 필터링하기 위해 필터 하우징에 설치되는 원통형상의 멤브레인을 갖는 필터 유닛을 포함하되;
상기 필터 하우징은
약액이 유입되는 유입포트;
필터링된 약액이 배출되는 배출포트;
상기 멤브레인을 통과하기 전 버블이 포함된 약액이 벤트되는 업스트림 벤트 포트; 및
상기 멤브레인을 통과한 버블이 포함된 약액이 벤트되는 다운스트림 벤트 포트를 포함하는 약액 공급 장치. An apparatus for supplying a chemical solution to a processing apparatus that processes a substrate using the chemical solution, comprising:
drug supply unit;
a circulation line for circulating the chemical solution stored in the chemical solution supply unit;
a supply line branched from the circulation line and supplying a chemical solution to the processing device;
a filter unit installed on the circulation line and having a cylindrical membrane installed in a filter housing to filter the chemical;
The filter housing is
an inlet port through which the chemical is introduced;
a discharge port through which the filtered chemical solution is discharged;
an upstream vent port through which the chemical solution containing bubbles is vented before passing through the membrane; and
and a downstream vent port through which the chemical solution containing bubbles passing through the membrane is vented. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 필터 하우징은
상기 멤브레인에 의해 둘러싸이는 코어공간과, 상기 멤브레인을 둘러싸는 외곽 공간으로 구획되고,
상기 업스트립 벤트 포트는 상기 외곽 공간과 연결되며, 상기 다운스트림 벤트 포트는 상기 코어공간과 연결되는 약액 공급 장치. The method of claim 1,
The filter housing is
It is divided into a core space surrounded by the membrane and an outer space surrounding the membrane,
The upstrip vent port is connected to the outer space, and the downstream vent port is connected to the core space. 제 1 항에 있어서,
상기 필터 하우징은
상기 유입포트측과 연결되는 유입측 드레인 포트; 및
상기 배출포트측과 연결되는 배출측 드레인 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.The method of claim 1,
The filter housing is
an inlet drain port connected to the inlet port; and
The chemical solution supply device, characterized in that it further comprises a discharge side drain port connected to the discharge port side. 제 1 항에 있어서,
상기 약액 공급 장치는
상기 업스트림 벤트 포트로부터 벤트되는 버블이 포함된 약액을 재사용하기 위해 상기 업스트림 벤트 포트와 상기 순환라인을 연결하는 업스트림 벤트라인을 더 포함하는 약액 공급 장치.The method of claim 1,
The drug supply device is
The chemical liquid supply apparatus further comprising an upstream vent line connecting the upstream vent port and the circulation line to reuse the chemical liquid containing bubbles vented from the upstream vent port. 제 5 항에 있어서,
상기 업스트림 벤트라인은 상기 공급라인의 분기지점을 우회하여 상기 순환라인에 연결되는 약액 공급 장치.6. The method of claim 5,
The upstream vent line bypasses a branch point of the supply line and is connected to the circulation line. 제 1 항에 있어서,
상기 약액 공급 장치는
상기 다운스트림 벤트 포트로부터 벤트되는 버블이 포함된 약액을 재사용하기 위해 상기 업스트림 벤트 포트와 상기 공급라인의 분기지점 후방의 상기 순환라인을 연결하는 다운스트림 벤트라인을 더 포함하는 약액 공급 장치.The method of claim 1,
The drug supply device is
and a downstream vent line connecting the upstream vent port and the circulation line behind a branch point of the supply line to reuse the chemical liquid containing bubbles vented from the downstream vent port. 제 7 항에 있어서,
상기 다운스트림 벤트라인은 상기 공급라인의 분기지점을 우회하여 상기 순환라인에 연결되는 약액 공급 장치.8. The method of claim 7,
The downstream vent line bypasses a branch point of the supply line and is connected to the circulation line. 필터 유닛에 있어서:
필터 하우징; 및
상기 필터 하우징에 설치되는 원통형상의 멤브레인을 포함하되;
상기 필터 하우징은
약액이 유입되는 유입포트; 필터링된 약액이 배출되는 배출포트; 상기 멤브레인을 통과하기 전 버블이 포함된 약액이 벤트되는 업스트림 벤트 포트; 및 상기 필터 유닛의 멤브레인을 통과한 약액 중에 버블이 포함된 약액이 벤트되는 다운스트림 벤트 포트를 포함하는 필터 유닛. In the filter unit:
filter housing; and
including a cylindrical membrane installed in the filter housing;
The filter housing is
an inlet port through which the chemical is introduced; a discharge port through which the filtered chemical solution is discharged; an upstream vent port through which the chemical solution containing bubbles is vented before passing through the membrane; and a downstream vent port through which the chemical solution containing bubbles in the chemical solution passing through the membrane of the filter unit is vented. 제 9 항에 있어서,
상기 필터 하우징은
상기 멤브레인에 의해 둘러싸이는 코어공간과, 상기 멤브레인을 둘러싸는 외곽 공간으로 구획되고,
상기 업스트립 벤트 포트는 상기 외곽 공간과 연결되며, 상기 다운스트림 벤트 포트는 상기 코어공간과 연결되는 필터 유닛. 10. The method of claim 9,
The filter housing is
It is divided into a core space surrounded by the membrane and an outer space surrounding the membrane,
The upstream vent port is connected to the outer space, and the downstream vent port is connected to the core space. 제 9 항에 있어서,
상기 필터 하우징은
상기 유입포트측과 연결되는 유입측 드레인 포트; 및
상기 배출포트측과 연결되는 배출측 드레인 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필터 유닛.
10. The method of claim 9,
The filter housing is
an inlet drain port connected to the inlet port; and
The filter unit further comprising a discharge-side drain port connected to the discharge port side.
KR1020140065897A 2014-05-30 2014-05-30 filter unit and having the same Apparatus for supplying chemical KR102320180B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140065897A KR102320180B1 (en) 2014-05-30 2014-05-30 filter unit and having the same Apparatus for supplying chemical

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140065897A KR102320180B1 (en) 2014-05-30 2014-05-30 filter unit and having the same Apparatus for supplying chemical

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150138928A KR20150138928A (en) 2015-12-11
KR102320180B1 true KR102320180B1 (en) 2021-11-03

Family

ID=55020184

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140065897A KR102320180B1 (en) 2014-05-30 2014-05-30 filter unit and having the same Apparatus for supplying chemical

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102320180B1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230030129A (en) 2021-08-24 2023-03-06 세메스 주식회사 The method of cleaning filter

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100598918B1 (en) * 2003-09-05 2006-07-10 세메스 주식회사 A solution supply method and chemical solution supply apparatus in use the semiconductor device fabrication installation
KR20060030689A (en) * 2004-10-06 2006-04-11 삼성전자주식회사 Substrate cleaning apparatus
KR20090013556A (en) * 2007-08-02 2009-02-05 웅진코웨이주식회사 High-turbidity filter
JP5565482B2 (en) * 2012-02-16 2014-08-06 東京エレクトロン株式会社 Liquid processing method and apparatus for removing gas in filter
JP5910401B2 (en) * 2012-08-03 2016-04-27 東京エレクトロン株式会社 Method of operating processing liquid supply apparatus, processing liquid supply apparatus, and storage medium

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150138928A (en) 2015-12-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10173909B2 (en) Tubular fluid purification apparatus
US20080169230A1 (en) Pumping and Dispensing System for Coating Semiconductor Wafers
KR20150039569A (en) Processing liquid supplying apparatus and processing liquid supplying method
KR102320180B1 (en) filter unit and having the same Apparatus for supplying chemical
JP2013188427A (en) Ascites processing device and ascites processing method
KR102263669B1 (en) Cleaning apparatus and cleaning method for water treatment membrane, and water treatment system
JP2015103662A (en) Filter cleaning method, liquid processing apparatus and storage medium
JP2012045488A5 (en)
KR102117155B1 (en) Chemical solution feeder, substrate treatment apparatus, method for feeding chemical solution, and method for treating substrate
KR101557831B1 (en) ABSORPTION REMOVING APPARATUS OF HARMFUL COMPONENT AND WASTE GAS DEODORIZINGf FOR FIRST PROCESSING USING SCRUBBER
EP3778499A1 (en) Header-equipped air diffusion device, and membrane separation activated sludge device
CN105829251A (en) Air diffusion pipe and method for washing air diffusion pipe
JP6108391B2 (en) Balance tank
MY193464A (en) Solid chemical agent housing body and water treatment method
KR101732224B1 (en) Cleaning system of separation membrane and method using the same
US11041300B2 (en) Cooling apparatus of regulating tank
JP2007035733A (en) Chemical processing apparatus
JP2017069345A (en) Filter switching method in substrate processing apparatus
TW201810360A (en) Semiconductor drying apparatus and circulating and filtering method of drying liquid used for the apparatus
JP2015191897A5 (en)
JP6535493B2 (en) Substrate processing equipment
TWI818479B (en) Processing liquid distribution method
CN204395565U (en) A kind of full-automatic filter
CN204159220U (en) Positive osmosis filtration device
KR102042635B1 (en) Single type apparatus for drying a substrate and single type system for cleaning a substrate including the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant