JP2006093654A - 半導体レーザ素子、半導体レーザ素子の製造方法、光ディスク装置および光伝送システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 この発明の半導体レーザ素子では、上記第2導電型の半導体層群108〜114に接するp側電極115は、上記第2導電型の半導体層群108〜114に接する側から順に、Ag層115aと、Pd層115bと、Au層115cとを有する。上記Ag層115aの屈折率は、上記半導体層群108〜114に用いられる半導体材料の屈折率よりも十分に小さいので、発振したレーザ光は、上記p側電極115にまで漏れることなく、上記半導体層群108〜114内に閉じ込めることができる。
【選択図】 図1
Description
第1導電型の基板と、
この第1導電型の基板上に設けられた活性層と、
この活性層上に設けられると共に上部にストライプ状のリッジ部を有する第2導電型の半導体層群と、
上記第2導電型の半導体層群の上記リッジ部の側面、および、上記第2導電型の半導体層群の上記リッジ部を除く領域であって上記リッジ部近傍の表面、の少なくとも一方と、上記リッジ部の最上部とに接する電極と
を備え、
この電極は、上記第2導電型の半導体層群に接する側に、Agからなる層を有することを特徴とする。
上記第2導電型の半導体層群の上記リッジ部の最上部以外の少なくとも一部は、第2導電型の不純物のドーピング濃度が1×1017cm-3以下の低濃度半導体層であり、
上記電極は、上記高濃度半導体層および上記低濃度半導体層に連なって接する。
第1導電型の基板上に活性層を形成する工程と、
上記活性層上に、少なくとも不純物のドーピング濃度が1×1017cm-3以下の低濃度半導体層と不純物のドーピング濃度が1×1018cm-3以上の高濃度半導体層とを有する第2導電型の半導体層群を形成する工程と、
上記第2導電型の半導体層群の一部を除去してリッジ部を形成する工程と、
上記第2導電型の半導体層群上に、少なくともAgからなる層を堆積させて、電極を形成する工程と
を備えることを特徴としている。
図1は、本発明の第1実施形態の半導体レーザ素子の構造を示したものである。この半導体レーザ素子は、n−GaAs基板101上に、n−GaAsバッファ層102、n−Al0.5Ga0.5As第1下クラッド層103、n−Al0.422Ga0.578As第2下クラッド層104、Al0.25Ga0.75As下ガイド層105、多重歪量子井戸活性層106、Al0.25Ga0.75As第1上ガイド層107、p−Al0.4Ga0.6As第2上ガイド層108、p−Al0.456Ga0.544As第1上クラッド層109、低濃度半導体層の一例としてのp−Al0.456Ga0.544As第2上クラッド層110とp−In0.1568Ga0.8432As0.4P0.6半導体層111が順次積層されている。
[表1] 蒸着Ag膜の屈折率
図7は、本発明にかかる光ディスク装置200の構造の一例を示したものである。これは光ディスク201にデータを書き込んだり、書き込まれたデータを再生したりするためのものであり、その際用いられる発光素子として、先に説明した第1実施形態の構成を使用し、波長780nm帯で発振するように活性層の組成・層厚を調整した半導体レーザ素子202を備えている。
図8は、本発明の第3実施形態の光伝送システムに使用される光伝送モジュール300を示す断面図である。また、図9は光源の部分を示す斜視図であり、図10は、光伝送システムの概略図である。この第3実施形態では、光源として第1実施形態で説明した発振波長890nmのInGaAs系半導体レーザ素子(レーザチップ)301を、また受光素子302としてシリコン(Si)のpinフォトダイオードを用いている。詳しくは後述するが、通信を行う双方の側(例えば、端末とサーバ)にそれぞれ同じ光伝送モジュール300を備えることにより、双方の光伝送モジュール300間で光信号を送受信する光伝送システムが構成される。
102 n−GaAsバッファ層
103 n−AlGaAs第1下クラッド層
104 n−AlGaAs第2下クラッド層
105 AlGaAs下ガイド層
106 多重歪量子井戸活性層
107 AlGaAs第1上ガイド層
108 p−AlGaAs第2上ガイド層
109 p−AlGaAs第1上クラッド層
110 p−AlGaAs第2上クラッド層
111 p−InGaAsP半導体層
112 p−AlGaAs第3上クラッド層
113 p−GaAsコンタクト層
114 p+−GaAsコンタクト層
115 p側電極
115a Ag層
115b Pd層
115b Au層
116 n側電極
117 フォトレジスト
117a リッジ形成領域
117b リッジ形成外領域
130 リッジ部
200 光ディスク装置
201 光ディスク
202 半導体レーザ素子
203 コリメートレンズ
204 ビームスプリッタ
205 λ/4偏光板
206 対物レンズ
207 受光素子用対物レンズ
208 信号検出用受光素子
209 信号光再生回路
300 光伝送モジュール
301 半導体レーザ素子(レーザチップ)
301a 低反射膜
301b 高反射膜
301c ショットキー接合している電極領域
302 受光素子
303 エポキシ樹脂モールド
304,305 レンズ部
306 回路基板
306a 凹部
307a,307b,307c ワイヤ
308 IC回路
309 シリコン樹脂
310 レーザマウント
311 ヒートシンク
311b 基部
312 正電極
313 平坦部
314 レーザビーム
315 パーソナルコンピュータ
316 基地局
401 n型GaAs基板
402 n型InGaPクラッド層
403 InGaAs/GaAs歪量子井戸活性層
404 p型InGaPクラッド層
405 p型InGaAsコンタクト層
406 p電極
407 n電極
408 ショットキー接合部
Claims (19)
- 第1導電型の基板と、
この第1導電型の基板上に設けられた活性層と、
この活性層上に設けられると共に上部にストライプ状のリッジ部を有する第2導電型の半導体層群と、
上記第2導電型の半導体層群の上記リッジ部の側面、および、上記第2導電型の半導体層群の上記リッジ部を除く領域であって上記リッジ部近傍の表面、の少なくとも一方と、上記リッジ部の最上部とに接する電極と
を備え、
この電極は、上記第2導電型の半導体層群に接する側に、Agからなる層を有することを特徴とする半導体レーザ素子。 - 請求項1に記載の半導体レーザ素子において、
上記電極は、上記第2導電型の半導体層群に接する側から順に、Agからなる層と、白金族元素または白金族元素化合物からなる層と、Auからなる層とを有することを特徴とする半導体レーザ素子。 - 請求項1または2に記載の半導体レーザ素子において、
上記電極は、上記第2導電型の半導体層群の上記リッジ部の側面、および、上記第2導電型の半導体層群の上記リッジ部を除く領域であって上記リッジ部近傍の表面、の両方に接することを特徴とする半導体レーザ素子。 - 請求項1または2に記載の半導体レーザ素子において、
上記電極のAgからなる層の厚みは、50nm以上であることを特徴とする半導体レーザ素子。 - 請求項2に記載の半導体レーザ素子において、
上記電極の白金族元素または白金族元素化合物からなる層は、Pdからなる層であることを特徴とする半導体レーザ素子。 - 請求項5に記載の半導体レーザ素子において、
上記電極における上記Agからなる層と上記Pdからなる層との界面に、AgPd合金層を有することを特徴とする半導体レーザ素子。 - 請求項5に記載の半導体レーザ素子において、
上記Pdからなる層の厚みは、10nm以上であることを特徴とする半導体レーザ素子。 - 請求項1または2に記載の半導体レーザ素子において、
上記第2導電型の半導体層群と上記電極のAgからなる層との間に、Pdからなる層を有することを特徴とする半導体レーザ素子。 - 請求項1または2に記載の半導体レーザ素子において、
上記第2導電型の半導体層群の上記リッジ部の最上部は、第2導電型の不純物のドーピング濃度が1×1018cm-3以上の高濃度半導体層であり、
上記第2導電型の半導体層群の上記リッジ部の最上部以外の少なくとも一部は、第2導電型の不純物のドーピング濃度が1×1017cm-3以下の低濃度半導体層であり、
上記電極は、上記高濃度半導体層および上記低濃度半導体層に連なって接することを特徴とする半導体レーザ素子。 - 請求項9に記載の半導体レーザ素子において、
上記低濃度半導体層と上記活性層との間に、少なくとも1×1017cm-3以上の不純物のドーピング濃度を有する第2導電型の半導体層が形成されていることを特徴とする半導体レーザ素子。 - 第1導電型の基板上に活性層を形成する工程と、
上記活性層上に、少なくとも不純物のドーピング濃度が1×1017cm-3以下の低濃度半導体層と不純物のドーピング濃度が1×1018cm-3以上の高濃度半導体層とを有する第2導電型の半導体層群を形成する工程と、
上記第2導電型の半導体層群の一部を除去してリッジ部を形成する工程と、
上記第2導電型の半導体層群上に、少なくともAgからなる層を堆積させて、電極を形成する工程と
を備えることを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。 - 請求項11に記載の半導体レーザ素子の製造方法において、
上記リッジ部の最上部は、GaAsからなる層であり、
上記電極を形成する工程の前に、上記リッジ部の最上部の表面をフッ酸で洗浄する工程を備えることを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。 - 請求項12に記載の半導体レーザ素子の製造方法において、
上記フッ酸は、水またはフッ化アンモニウムで10分の1以上に希釈されたフッ酸溶液であることを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。 - 請求項11に記載の半導体レーザ素子の製造方法において、
上記電極を形成する工程は、上記Agからなる層に引き続いて、白金族元素または白金族元素化合物からなる層、および、Auからなる層を、順に堆積させて、電極を形成する工程を含むことを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。 - 請求項14に記載の半導体レーザ素子の製造方法において、
上記電極を形成する工程は、上記電極となる上記層を大気中に暴露させずに堆積させることを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。 - 請求項15に記載の半導体レーザ素子の製造方法において、
上記電極を形成する工程は、上記白金族元素または白金族元素化合物からなる層としてPdからなる層を上記Agからなる層に堆積させて、上記Agからなる層と上記Pdからなる層との界面に、AgPd合金層を形成する工程を含むことを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。 - 請求項11に記載の半導体レーザ素子の製造方法において、
上記第2導電型の半導体層群を形成する工程は、上記低濃度半導体層と上記活性層の間に、少なくとも1×1017cm-3以上の不純物のドーピング濃度を有する第2導電型の半導体層を形成する工程を含むことを特徴とする半導体レーザ素子の製造方法。 - 請求項1または2に記載の半導体レーザ素子を備えることを特徴とする光ディスク装置。
- 請求項1または2に記載の半導体レーザ素子を備えることを特徴とする光伝送システム。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007317731A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Sharp Corp | 半導体レーザ素子、光ディスク装置および光伝送システム |
JP2010109013A (ja) * | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体レーザ素子およびその製造方法 |
WO2012120894A1 (ja) * | 2011-03-10 | 2012-09-13 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | 半導体発光素子およびその製造方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007184411A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Sony Corp | 発光ダイオードおよびその製造方法ならびに集積型発光ダイオードおよびその製造方法ならびに発光ダイオードバックライトならびに発光ダイオード照明装置ならびに発光ダイオードディスプレイならびに電子機器ならびに電子装置およびその製造方法 |
DE102006035627A1 (de) * | 2006-07-31 | 2008-02-07 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | LED-Halbleiterkörper |
TWI377645B (en) * | 2009-05-07 | 2012-11-21 | Atomic Energy Council | Ohmic contact having silver material |
DE102013207258A1 (de) * | 2013-04-22 | 2014-10-23 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Halbleiterlaser |
US9865772B2 (en) | 2015-01-06 | 2018-01-09 | Apple Inc. | LED structures for reduced non-radiative sidewall recombination |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62266890A (ja) | 1986-05-14 | 1987-11-19 | Fujitsu Ltd | 半導体レ−ザ素子 |
JPH04111375A (ja) | 1990-08-30 | 1992-04-13 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体レーザ素子 |
EP0575684A1 (en) * | 1992-06-22 | 1993-12-29 | International Business Machines Corporation | Decoupled optic and electronic confinement laser diode |
JP4018177B2 (ja) * | 1996-09-06 | 2007-12-05 | 株式会社東芝 | 窒化ガリウム系化合物半導体発光素子 |
JP3739951B2 (ja) | 1998-11-25 | 2006-01-25 | 東芝電子エンジニアリング株式会社 | 半導体発光素子およびその製造方法 |
US6586762B2 (en) * | 2000-07-07 | 2003-07-01 | Nichia Corporation | Nitride semiconductor device with improved lifetime and high output power |
JP4599687B2 (ja) * | 2000-08-08 | 2010-12-15 | ソニー株式会社 | レーザダイオード、半導体発光装置および製造方法 |
US6728282B2 (en) * | 2001-06-18 | 2004-04-27 | Lucent Technologies Inc. | Engineering the gain/loss profile of intersubband optical devices having heterogeneous cascades |
JP3804485B2 (ja) * | 2001-08-02 | 2006-08-02 | ソニー株式会社 | 半導体レーザー素子の製造方法 |
WO2003041234A1 (fr) * | 2001-11-05 | 2003-05-15 | Nichia Corporation | Element semi-conducteur |
JP4204982B2 (ja) * | 2002-04-04 | 2009-01-07 | シャープ株式会社 | 半導体レーザ素子 |
US20060138431A1 (en) * | 2002-05-17 | 2006-06-29 | Robert Dwilinski | Light emitting device structure having nitride bulk single crystal layer |
JP4622335B2 (ja) * | 2003-08-04 | 2011-02-02 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体レーザ素子 |
JP4130163B2 (ja) * | 2003-09-29 | 2008-08-06 | 三洋電機株式会社 | 半導体発光素子 |
US7558307B2 (en) * | 2004-02-16 | 2009-07-07 | Sharp Kabushiki Kaisha | Semiconductor laser device, semiconductor laser device manufacturing method, optical disk apparatus and optical transmission system |
US7356060B2 (en) * | 2004-03-15 | 2008-04-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor laser device and method for fabricating the same |
-
2005
- 2005-06-20 JP JP2005179330A patent/JP4224041B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-08-25 US US11/210,792 patent/US7593442B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007317731A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Sharp Corp | 半導体レーザ素子、光ディスク装置および光伝送システム |
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